JP2019045166A - 転がり軸受を備える機械の運転管理方法及び運転管理システム - Google Patents
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Abstract
Description
しかしながら、この方法は判定剤が金属イオンと反応する必要があるのに対し、潤滑油中の金属摩耗粉は主にイオンではなく固体金属として存在するため、判定剤と反応して発色することがなく、潤滑油中の金属摩耗粉の測定には有効ではない。
[1] 転がり軸受を備える機械の運転管理方法であって、
(a)転がり軸受に使用された潤滑油の色情報を得る工程、及び
(b)得られた色情報を予め設定した閾値と比較し、それにより転がり軸受交換の要否を判定する工程、
を含む、前記方法。
[2] 前記工程(a)が、回収した潤滑油をメンブランフィルタでろ過し、ろ過残渣が付着したメンブランフィルタ(メンブランパッチ)の色相(RGB)を測定し、下記式(1)に基づき、ΔERGB及び√(ΔERGB)を算出する工程である、[1]に記載の方法。
[4] さらに、潤滑油中の粒子の濃度を測定し、濃度の測定値と予め設定した閾値とを比較し、測定値が閾値以上の場合には転がり軸受の交換が必要であると判定し、閾値未満の場合には転がり軸受を再利用可能と判定する工程を含む、[1]〜[3]のいずれか1に記載の方法。
[5] 前記[1]〜[4]のいずれか1に記載の運転管理方法に用いる運転管理システムであって、潤滑油の色情報を得る手段、及び得られた色情報を予め設定した閾値と比較し、転がり軸受の交換の要否を判定する解析手段を具備する、運転管理システム。
[6] メンブランフィルタを備えるろ過装置、
ろ過残渣が付着したメンブランフィルタ(メンブランパッチ)の色相を測定する色相判別装置、及び
色相判別装置により得られる色情報を解析し、予め設定した閾値と比較して、転がり軸受交換の要否を判定する解析装置
を含む、[5]に記載の運転管理システム。
[7] さらに、メンブランパッチのろ過残渣の重量を測定する重量計を含む、[5]又は[6]に記載の運転管理システム。
[8] さらに、潤滑油中の粒子の濃度を測定する粒子濃度測定装置を含む、[5]〜[7]のいずれか1に記載の運転管理システム。
場合には、異常運転対応が可能となる一方で、摩損していない摺動部の交換頻度を削減し、ランニングコストを大幅に削減することが可能である。
本発明は、潤滑油の汚染度に基づいて、転がり軸受の交換の要否を判断する運転管理方法である。たとえば、半導体製造装置にセラミックボールを含む転がり軸受が用いられる場合、鉄系炭素鋼である内輪及び外輪の間に摺動可能に保持されているセラミックボールに、潤滑油が循環供給されている。セラミックボールそのものは良好な耐薬品性及び耐摩耗性を有する上に、潤滑油によって被覆されているため、半導体製造工程で用いるフッ素含有ガスによる劣化や内輪及び外輪との摺動による摩耗劣化を受けにくい。一方、鉄系炭素鋼である内輪及び外輪は摩耗劣化を受けやすい。従前は、転がり軸受の劣化の有無に関わらず定期的に転がり軸受を交換しており、劣化していないセラミックボールを含む転がり軸受も交換されていた。特にセラミックボールは高価であるため、劣化していない転がり軸受を定期的に交換することはランニングコストを上昇させる要因ともなっている。本発明は、転がり軸受の交換が必要か否かを簡易に判定して、劣化しておらず機械の動作異常を引き起こす恐れが低い転がり軸受を再利用する運転管理方法を提供する。本発明の運転管理方法は、セラミックボール製の玉を含む転がり軸受に限定されず、転動体が銅製、セラミック製などの玉軸受、ころ軸受など通常の転がり軸受を含む機械に適用することができる。
ろ過装置の概略を図2に示す。本試験に用いるろ過装置200は防塵用蓋202、シリンダ204、フラスコ206、及び真空ポンプ208から構成される。
メンブランパッチの色を定量的に測定するために色相判別装置を用いる。色相を判別できる装置であれば特に限定されないが、例えばメンブランパッチの表面と裏面から白色光を投射し、その反射光と透過光から色パラメータ(RGB値、最大色差、ΔERGB)を測定する装置であるCPA(CPA:Colorimetric patch analyzer)を好適に用いることができ、これらのパラメータを用いて潤滑油の劣化度と劣化要因を推定する。反射光はメンブランパッチ表面に捕捉された汚染物の色情報を取得し、透過光はメンブランパッチ表面及び内部に捕捉された汚染物全体の色情報を取得することができる。
最大色差(MCD:Maximum color difference)はRGB値の2色間の色差の最大値であり、主に潤滑油の劣化要因と関係が深いことが分かっている
(非特許文献1)。ΔERGBはR、G、B及びシアン、マゼンタ、黄、黒、白の3次元立体における白からの距離であり、上記式(1)で表される。
第2面214(下面側)に第2光(白色光)を線対称位置に所定入射角度で入射させる第2光源124及び126と、メンブランパッチ210の上面側から入射した第1光が透過した第1透過光及びメンブランパッチ210の下面側から入射した第2光が反射した第2反射光を検出する第1カラーセンサ104と、メンブランパッチ210の下面側から入射した第2光が透過した第2透過光及びメンブランパッチ210の上面側から入射した第1光が反射した第1反射光を検出する第2カラーセンサ108と、を備える。第1光源120と第2光源126並びに第1光源122と第2光源124とは、メンブランパッチ210の厚み分だけずれた位置に第1光及び第2光がそれぞれ入射する位置に、対向するように設けられている。第1カラーセンサ104及び第2カラーセンサ108は、メンブランパッチ210に対して線対称となる位置に対向して設けられている。設置部110に設けられている空洞部114によって、第1光源120及び122からの第1光に基づく第1透過光は、第1カラーセンサ104側に遮断されずに到達することができ、第2光源124及び126からの第2光は、フィルタパッチ210の第2面214に到達し、さらに第2カラーセンサ108側に遮断されずに到達することができる。メンブランパッチ210は、試料油すなわち汚染物を捕捉した領域が空洞部114に合致するようにセットする。このような構成とすることによって、メンブランパッチ210の第1面212から第2面214の側に透過する第1透過光と、これとは逆に、第2面214から第1面212の側に透過する第2透過光とを、それぞれ、同一の条件(同一の状態)で、第1カラーセンサ104および第2カラーセンサ108で検出することができる。また、第1反射光および第2反射光についても、それぞれ、同一の条件(同一の状態)で、第1カラーセンサ104および第2カラーセンサ108で検出することができる。第1カラーセンサ104および第2カラーセンサ108は、RGBカラーセンサによって構成され、波長が380nm〜780nmの範囲の可視光線領域を、赤(R)、緑(G)、青(B)の各色成分(色信号)に分けて検出する。測色時には、ケーシング本体130の内部は、外部から光(外界光)の侵入が遮断された状態、すなわち、暗室状態となる。
本試験に用いる解析装置は、色相判別装置により得られる色情報を解析し、予め設定した閾値と比較して、転がり軸受交換の要否を判定することができる演算処理装置であれば特に限定されない。
(1)メンブランパッチの調製
ろ過に用いるメンブランフィルタの表面及び断面を図3に示す。試料油として、機械または設備で使用された油を用いる。シリンダ204とフラスコ206の間に外径25mm、厚さ0.125mm、孔径0.8μmのセルロスアセテート製メンブランフィルタ210を取り付け、試料油25mlをシリンダ204に注入し、真空ポンプ208を使用して真空引きを行うことで、試料油をメンブランフィルタでろ過する。ろ過面積は約227mm2であり、1mlあたりのろ過面積は約9mm2/mlとなる。ろ過残渣により色の付いたメンブランフィルタから石油エーテルで油分を取り除いた後、ファンネルを外し、フィルタの縁から石油エーテルを滴下する。メンブランフィルタを取り外し、50℃に設定したホットプレートにメンブランフィルタを乗せ、石油エーテルを再度滴下後10分間乾燥させ、メンブランフィルタに試料油が付着したメンブランパッチ210とする。
得られたメンブランパッチ210を、色相判別装置100にセットする。次いで、第1光源120及び122を発光させ、メンブランパッチ210の第1面212からの第1透過光を第1カラーセンサ104で測色して透過光による赤(R)、緑(G)、青(B)の色情報を取得し、次に第1面212からの第1反射光を第2カラーセンサ108で測色し
て反射光による赤(R)、緑(G)、青(B)の色情報を取得する。同様に、第2光源124及び126を発光させ、メンブランパッチ210の第2面214からの第2透過光を第2カラーセンサ108で測色して透過光による赤(R)、緑(G)、青(B)の色情報を取得し、次に第2面214からの第2反射光を第1カラーセンサ104で測色して反射光による赤(R)、緑(G)、青(B)の色情報を取得する。なお、第1光源及び第2光源とも、透過光による色情報及び反射光による色情報の取得は同時でなければよく、順序は問わない。
反射光による色相はメンブランパッチ表面に捕捉された汚染物の色情報であり、透過光はメンブランパッチ表面及び内部に捕捉された汚染物全体の色情報であるから、√(ΔERGB)は透過光又は反射光のいずれで計測したかによって閾値が相違する。
得られた透過光の√(ΔERGB)、反射光の√(ΔERGB)などの色情報を、予め設定した各閾値と比較し、それにより転がり軸受交換の要否を判定する。
さらに、サンプル2、7及び9については、Siの量が顕著に高い。これらのサンプルの転がり軸受は、Si系のプロセスガスの雰囲気下において使用しているため、Si化合物(SiO2など)が発生し、潤滑状態を悪化させ、転がり軸受の摩耗による金属粉が多く発生しているものと推察される。
Claims (8)
- 転がり軸受を備える機械の運転管理方法であって、
(a)転がり軸受に使用された潤滑油の色情報を得る工程、及び
(b)得られた色情報を予め設定した閾値と比較し、それにより転がり軸受交換の要否を判定する工程、
を含む、前記方法。 - 前記工程(a)が、回収した潤滑油をメンブランフィルタでろ過し、ろ過残渣が付着したメンブランフィルタ(メンブランパッチ)の色相(RGB)を測定し、下記式(1)に基づき、ΔERGB及び√(ΔERGB)を算出する工程である、請求項1に記載の方法。
- さらに、メンブランパッチのろ過残渣の重量を測定し、得られたろ過残渣の重量を予め設定した閾値と比較し、ろ過残渣の残渣重量が閾値以上の場合には転がり軸受を洗浄する必要があると判定し、閾値未満の場合には転がり軸受を再利用可能であると判定する工程を含む、請求項2に記載の方法。
- さらに、潤滑油中の粒子の濃度を測定し、濃度の測定値と予め設定した閾値とを比較し、測定値が閾値以上の場合には転がり軸受を交換する必要があると判定し、閾値未満の場合には転がり軸受を再利用可能と判定する工程を含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。
- 請求項1〜4のいずれか1に記載の運転管理方法に用いる運転管理システムであって、潤滑油の色情報を得る手段、及び得られた色情報を予め設定した閾値と比較し、転がり軸受の交換の要否を判定する解析手段を具備する、運転管理システム。
- メンブランフィルタを備えるろ過装置、
ろ過残渣が付着したメンブランフィルタ(メンブランパッチ)の色相を測定する色相判別装置、及び
色相判別装置により得られる色情報を解析し、予め設定した閾値と比較して、転がり軸受交換の要否を判定する解析装置
を含む、請求項5に記載の運転管理システム。 - さらに、メンブランパッチのろ過残渣の重量を測定する重量計を含む、請求項6に記載の運転管理システム。
- さらに、潤滑油中の粒子の濃度を測定する粒子濃度測定装置を含む、請求項5〜7のいずれか1項に記載の運転管理システム。
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