JP2002106785A - 相対運動部品監視装置 - Google Patents
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Abstract
り、寿命に至る前のその交換時期を監視可能とし、こう
した相対運動部品を用いた機械や装置類の信頼性確保に
寄与し得る相対運動部品監視装置を提供すること。 【解決手段】外部に露呈した接触面となる係合凹部10
1を有するレール102を備え、接触面の潤滑に潤滑剤
106が使用されるリニアウエイ10に対して潤滑剤1
06の色の変化を検知するカラーセンサ121を備え、
また、管理手段122においてはカラーセンサの測定結
果から固体潤滑剤の状態を検知するとともに、その検知
結果に基づいてリニアウエイの寿命到来や交換時期など
を管理する構成を備えている。
Description
の摺動接触または転がり接触する面のうちの少なくとも
一方の面が外部に露呈し、かつその接触面の潤滑に潤滑
剤が使用される相対運動部品を監視する相対運動部品監
視装置に関する。このような相対運動部品には、例え
ば、リニアウエイ、ボールネジ、リニア玉軸受、その他
がある。
における接触面に対しては、摩耗防止のためにグリース
などの潤滑剤が施されている。そして、この相対運動部
品を、例えば、クリーンルーム内に設置される半導体や
液晶の製造装置などに使用する場合、そのクリーンルー
ム内の清浄な雰囲気が汚染されるのを防止するために、
前記潤滑には低発塵性の潤滑剤が使用される。
は、一般的に真空や高温といった特殊環境下で使用され
るため、それに使用される相対運動部品の接触面を潤滑
する潤滑剤は、通常の寿命よりも短くなる傾向となるた
め、その寿命やその交換時期などを監視することは特に
重要となる。
事前に検知可能としたり、寿命に至る前のその交換時期
を監視可能とし、こうした相対運動部品を用いた機械や
装置類の信頼性確保に寄与し得る相対運動部品監視装置
を提供することを課題としている。
相対運動部品監視装置は、相対運動する一対の摺動接触
または転がり接触する面を有しかつ少なくとも一方の接
触面に潤滑剤が使用されている相対運動部品に対し本発
明第1の場合は潤滑剤の色の変化を検知する検知要素
を、本発明第2の場合は前記接触面の輝度変化を検知す
る検知要素を備えたものである。
状、液状の潤滑剤が含まれる。
耗粉の混入程度などによりその表示色が当初のそれより
変化してくるから、表示色の変化から潤滑剤の状態つま
りはその潤滑剤が設けられている相対運動部品の状態を
判断することができる。
い、固体潤滑剤が微小剥離してその固体潤滑剤表面の光
沢つまり表面輝度が低下してくるから、その表面輝度の
低下から潤滑剤の状態つまりは相対運動部品の状態を判
断することができる。
運動部品監視装置によると、前記検知要素により潤滑剤
の状態を検知できるので、かかる相対運動部品の取扱者
は、その検知からその寿命の到来時期やその交換時期な
どが分かり、こうした相対運動部品を用いた機械や装置
類の信頼性確保に寄与し得る。
知要素の出力に基づいて当該相対運動部品の寿命あるい
は寿命に至る前の交換時期を管理する管理要素を備えた
場合、その管理要素により取扱者は、その相対運動部品
を交換時期などを管理できるから、こうした相対運動部
品を用いた機械や装置類の信頼性確保に寄与し得る。
が、蒸気圧の高いフッ素系オイルとされ、前記接触面に
付着されている。
が、フッ素系固体膜とされ、前記接触面に被覆されてい
る。
実施形態に基づいて説明する。
り、図1は、相対運動部品としてのリニアウエイとカラ
ーセンサとを示す斜視図であり、図2は、図1のリニア
ウエイの断面図であり、図3は、図1のカラーセンサを
含む相対運動部品監視装置の詳細回路図であり、図4
は、相対運動部品監視装置によるリニアウエイの寿命あ
るいは寿命に至る前の交換時期の説明に供するカラーセ
ンサの出力特性を示す図である。
される相対運動部品としてのリニアウエイ、121は、
本実施形態の相対運動部品監視装置が備えるカラーセン
サである。
の係合凹部101を有するレール102と、側面に接触
面としての係合凹部103を有するハウジング104と
を有し、両係合凹部101,103間にボール105が
複数介装されている。
部101,103とボール105との接触面の間にそれ
らの潤滑を行うための固体潤滑剤106が固体膜状に被
覆形成されている。
は、フッ素系の樹脂などがある。
ロエチレン(PTFE)、テトラフルオロエチレン共重
合体(ETFE)、ポリトリフロロエチレン、ポリトリ
クロロエチレン、ヘキサフロロプロピレン、ポリビニル
フメライド、ポリビニリデンフロライドの単独重合体ま
たは共重合体等の周知のフッ素系樹脂があり、また、ポ
リテトラフルオロエチレンの単独樹脂が好ましく、例え
ばテフロン(米国デュポン社)やポリフロン(ダイキン
工業(株))の登録商標名で販売されているフッ素系樹
脂を好適に使用できる。そして、これらフッ素系樹脂か
らなる粒子と適当なバインダおよび界面活性剤とを適当
な溶剤に分散した溶液中(水溶液、アルコール等)に浸
漬することにより固体潤滑剤106が成膜される。ま
た、固体潤滑剤106の膜厚は、特に限定しないが、そ
れをフッ素系樹脂で構成した場合、好ましい膜厚は、
0.01〜5μmの範囲、より好ましい膜厚は、0.0
5〜0.3μmの範囲である。
FEの場合、使用当初の表示色は、透明であり、劣化し
てくると薄い黄土色から薄い茶色に変化してくる。固体
潤滑剤106として劣化してきてリニアウエイ10の交
換時期を示す表示色は茶色であり、リニアウエイ10の
寿命を示す表示色は焦げ茶色である。
るレール102の係合凹部101が外部に露呈してお
り、そこに設けられる固体潤滑剤106の状態は外部か
らカラーセンサ121で検知可能となっている。
02の係合凹部101に被膜形成されている固体潤滑剤
106の表示色を検知する検知要素であって、このよう
なカラーセンサ121としては、例えば可視光センサが
ある。
の使用当初の表示色に対応した波長の光のみを特に高感
度で透過するフィルタと、このフィルタを通過する光量
を電気的に計測出力する計測部とからなる。
の通過光量が一定以上の場合、その主たる通過光は固体
潤滑剤106の使用当初の表示色に対応した特定波長の
光であり、そのフィルタの通過光量が一定以下になる
と、主たる通過光は特定波長の光でなくなり固体潤滑剤
106の劣化が進行していることを示す。
ように上記カラーセンサ12以外に、管理手段122、
報知手段123および表示手段124を有する。この場
合、管理手段122は、CPUを含めソフトウエアで構
成可能である。
のレール102が形成されている凹部101に設けられ
ている固体潤滑剤106の状態が検知可能な位置に配置
されており、その凹部101の固体潤滑剤の表示色に対
応した検知出力を出力するようになっている。
較判別手段122bおよびデータメモリ122cで構成
されている。
により操作されて、相対運動部品の種類やその相対運動
部品に使用されている潤滑剤の種類を比較判別手段12
2bに入力するようになっている。
aで指定された相対運動部品が、リニアウエイ12の場
合、そのリニアウエイ10に使用されている固体潤滑剤
106の種類などに関するデータをデータメモリ122
cから読み出とともに、そのデータをカラーセンサ12
1から入力したデータと比較するとともに、その比較か
ら、リニアウエイ10の交換時期や寿命を判別する。
種類に応じた潤滑剤の種類および各潤滑剤毎の使用当初
の表示色とそれに対応したカラーセンサ121の感度
と、その劣化の進行に伴うカラーセンサ121の感度低
下と、各感度に対応した相対運動部品の交換時期、相対
運動部品の寿命をそれぞれ記憶している。このデータメ
モリ122cに対しては、外部からデータを記憶させる
ことができるようになっている。このデータは例えば図
4で示されるように固体潤滑剤の種類に対応して使用当
初の表示色に対応した光の波長λ0とそれに対応した感
度L0と、表示色変化の進行に伴う他の光の波長λ1、
λ2と、そのときの波長λ0での感度L1、L2のデー
タが含まれる。
作用を説明する。図4の横軸は、波長(nm)、縦軸
は、カラーセンサ121の出力(感度)を示している。
固体潤滑剤106の使用当初において、その表示色に対
応した光の中心波長はλ0であって、カラーセンサ12
1の出力感度はL0となり最大である。
り、表示色が変化し、変化した表示色に対応した光の中
心波長がλ1からさらにλ2にずれる。そして、カラー
センサ121のフィルタは、波長λ0の光を通過させる
から、使用当初の表示色に対応した波長λ0の感度は、
表示色変化の進行に伴い感度はそれぞれL1からL2へ
と変化することとなる。そして、波長λ0での感度がL
1の場合はその交換時期であり、L2の場合はその寿命
となることを示している。
カラーセランサ121から入力される感度データと、デ
ータメモリ122cに記憶されている感度データとを比
較して固体潤滑剤106の状態を判別し、これによっ
て、リニアウエイ10の寿命予知やその交換時期を管理
することができる。
の寿命予知あるいはその交換時期を報知手段123に出
力したり、表示手段124に表示させたりするようにな
っている。
動部品として上述したリニアウエイに限定されるもので
はなく、他の相対運動部品についても適用して実施する
ことができる。
サ121は、固体潤滑剤106がフッ素系樹脂であると
し、それに対応して使用当初の表示色の光の波長λ0に
対して感度最大となるフィルタを内蔵しているが、固体
潤滑剤106の種類に対応して使用当初の表示色の光の
波長に対応したフィルタを内蔵させることで、他の種類
の固体潤滑剤に対する表示色の変化を検知できるように
してよい。
てフッ素系樹脂よりなる固体潤滑剤が接触面に被覆され
ていたが、これに限定されるものではなく、半固体潤滑
剤としてのグリース、液体状ないし流動状の潤滑剤とし
てオイルも含み、また、オイルの場合、蒸気圧の高いフ
ッ素系オイル(例えばPFPE)とし前記接触面に付着
させたものが好ましい。
化エチレン樹脂)のオリゴマーやPFPE(パーフルオ
ロポリエーテル)など分子内に塩素やエーテル結合を有
するオイルがある。前記PFPEとしては、モンテカチ
ーニ社の商品名フォンブリンの他、ダイキン工業(株)
製の商品名デムナムやデュポン社の商品名クライトック
スなどが挙げられる。グリース状のものではPTFE・
フルオロカーボン油グリース、PTFE・フロロシリコ
ーン油グリースやPTFE・フッ素化ポリエーテル油グ
リースがある。
106の状態を検知する要素としては、固体潤滑剤10
6の表示色の変化を検知するカラーセンサ121であっ
たが、これに限定されるものではない。すなわち、固体
潤滑剤106の表面は鏡面状態に仕上げられてその表面
光沢つまり表面輝度は高いが、使用されて摩耗すること
により微小な凹凸が発生しその表面輝度が低下してく
る。そこで図5で示すようにカラーセンサ121に代え
て光ファイバセンサ121aを配置し、この表面輝度の
変化を検知できるようにしてもよい。この場合、光ファ
イバセンサ121aは、前記表面輝度の低下に応じてそ
の出力が低下するから、相対運動部品監視装置12にお
ける管理手段122は、光ファイバセンサ121aの出
力低下が一定に達すると、リニアウエイ10の交換時期
であるとし、さらに、光ファイバセンサ121aの出力
低下が発生するとリニアウエイ10の寿命であると判別
することができる。
ボールネジ30とこれを監視する相対運動部品監視装置
20とが示されている。図6について説明すると、30
1はネジ軸、302はナット、303はボール、304
はサーキュレータチューブである。
5が形成されている。ナット302は、ネジ軸301に
外嵌されており、その内周面にネジ軸301の螺旋溝3
05に対応する螺旋溝306が形成されている。複数の
ボール303は、ねじ軸301の螺旋溝305と、ナッ
ト302の螺旋溝306との間に介装されている。サー
キュレータチューブ304は、ネジ軸301またはナッ
ト302のいずれか一方の回転により両螺旋溝305,
306間に介装されるボール303を転動循環させるた
めのもので、ナット302に取り付けられている。
ジ軸301の外周面とナット302の内周面とに対し
て、固体潤滑剤307が被覆形成されている。
るカラーセンサ121は、ネジ軸301の螺旋溝305
に設けられている固体潤滑剤307の表示色を検知でき
るように配置されている。なお、相対運動部品監視装置
12における他の構成要素の図示は省略している。
と同様に固体潤滑剤307の表示色の変化からボールネ
ジ30の交換時期ないしはその寿命を判別できる。
ア玉軸受40とこれに対する相対運動部品監視装置12
が備えるカラーセンサ121とを示す。この場合、図7
は、リニア玉軸受の要部の上半断面図である。401
は、円筒形の軸からなるレール、402は円筒部材から
なる移動体、403は保持器、404は転動体としての
ボール、405は環体である。
に軸方向に沿う直線状の溝406が全長に及んで設けら
れている。
領域の円周六箇所にレール401の溝406に径方向で
対向するようにそれぞれ負荷循環ボール列および無負荷
循環ボール列用の不図示の溝が設けられている。
一部に沿うように湾曲加工された円筒形状をなす。その
両端部分は、環体407により支持されている。保持器
403の軸方向中間領域には、平面的に見ると横長の輪
状溝408が周方向に複数設けられている。
ール401の外周面と移動体402の内周面に対して、
固体潤滑剤409が被覆形成されている。
るカラーセンサ121は、固体潤滑剤409の表示色を
検知できるように配置されている。なお、相対運動部品
監視装置12における他の構成要素の図示は省略してい
る。
と同様に固体潤滑剤409の表示色の変化からリニア玉
軸受40の交換時期ないしはその寿命を判別できる。
または転がり接触する面を有しかつ少なくとも一方の接
触面に潤滑剤が使用されている相対運動部品に対し潤滑
剤の色の変化を検知する検知要素を備えたものであるか
ら、その検知要素による潤滑剤の表示色の変化からその
劣化程度ないしは摩耗粉の混入程度などを検知し潤滑剤
の状態つまりはその潤滑剤が設けられている相対運動部
品の状態を判断することが可能となり、その寿命の到来
時期やその交換時期などが分かり、こうした相対運動部
品を用いた機械や装置類の信頼性確保に寄与し得る。
リニアウエイと相対運動部品監視装置が備えるカラーセ
ンサとを示す斜視図
置の詳細回路図
換時期の説明に供するカラーセンサの出力特性を示す図
してのリニアウエイと相対運動部品監視装置が備える光
ファイバセンサとを示す図
部品としてのボールネジと相対運動部品監視装置が備え
るカラーセンサとを示す図
部品としてのリニア玉軸受と相対運動部品監視装置が備
えるカラーセンサとを示す図
Claims (5)
- 【請求項1】 相対運動する一対の摺動接触または転が
り接触する面のうちの少なくとも一方の面が外部に露呈
し、かつその接触面の潤滑に潤滑剤が使用される相対運
動部品に対して潤滑剤の色の変化を検知する検知要素を
備えたことを特徴とする相対運動部品監視装置。 - 【請求項2】 相対運動する一対の摺動接触または転が
り接触する面のうちの少なくとも一方の面が外部に露呈
し、かつその接触面の潤滑に潤滑剤が使用される相対運
動部品に対して前記接触面の輝度変化を検知する検知要
素を備えたことを特徴とする相対運動部品監視装置。 - 【請求項3】 請求項1または2の相対運動部品監視装
置において、 前記検知要素の出力に基づいて前記相対運動部品の寿命
に至る前の交換時期ないしは寿命を管理する管理要素を
備えた、ことを特徴とする相対運動部品監視装置。 - 【請求項4】 請求項1ないし3いずれかの相対運動部
品監視装置において、 前記潤滑剤が、フッ素系固体膜とされ、前記接触面に被
覆されている、ことを特徴とする相対運動部品監視装
置。 - 【請求項5】 請求項1ないし3いずれかの相対運動部
品監視装置において、 前記潤滑剤が、蒸気圧の高いフッ素系オイルとされ、前
記接触面に付着されている、ことを特徴とする相対運動
部品監視装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000295548A JP2002106785A (ja) | 2000-09-28 | 2000-09-28 | 相対運動部品監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000295548A JP2002106785A (ja) | 2000-09-28 | 2000-09-28 | 相対運動部品監視装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002106785A true JP2002106785A (ja) | 2002-04-10 |
Family
ID=18777958
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000295548A Pending JP2002106785A (ja) | 2000-09-28 | 2000-09-28 | 相対運動部品監視装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2002106785A (ja) |
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