JP2019030915A - 研磨装置、研磨方法、およびプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、第1実施形態に係る研磨装置の構成を示すブロック図である。図1に示す研磨装置1には、研磨テーブル11が設置されている。研磨テーブル11は、テーブル駆動機構21に接続されている。テーブル駆動機構21は、任意の回転数で研磨テーブル11を回転させる。研磨テーブル11上には、交換可能な研磨パッド12が設置されている。
第2実施形態に係る研磨装置の構成は、第1実施形態に係る研磨装置1と同様である。そのため、研磨装置の詳細な説明は省略する。
TH=−0.0182×Cpad−110.95+10 (1)
式(1)では、図7に示す直線の近似式に、ばらつきマージンとして10(A/min)を考慮している。
第3実施形態に係る研磨装置の構成は、第1実施形態に係る研磨装置1と同様である。また、本実施形態に係る研磨対象物は、第2実施形態に係る研磨対象物110と同じである。そのため、これらの詳細な説明は省略する。
Tmax=−0.0054×Cpad+16.96+5 (2)
式(2)では、図9に示す直線の近似式に、ばらつきマージンとして5(sec)を考慮している。
第4実施形態に係る研磨装置の構成は、第1実施形態に係る研磨装置1と同様である。また、本実施形態に係る研磨対象物は、第2実施形態に係る研磨対象物110と同じである。そのため、これらの詳細な説明は省略する。
THnext=Dmin+10 (3)
例えば、前回の極小値Dminが−108.5である場合、上式(3)によれば、しきい値THnextは、−98.5(=−108.5+10)となる。
第5実施形態に係る研磨装置の構成は、第1実施形態に係る研磨装置1と同様である。そのため、研磨装置の詳細な説明は省略する。
第6実施形態に係る研磨装置の構成は、第1実施形態に係る研磨装置1と同様である。また、本実施形態に係る研磨対象物は、第5実施形態に係る研磨対象物110と同じである。そのため、これらの詳細な説明は省略する。
TH=0.0694×Tn−66.17+2 (4)
式(4)では、ばらつきマージンとして2(A/min)を考慮している。
第7実施形態に係る研磨装置の構成は、第1実施形態に係る研磨装置1と同様である。また、本実施形態に係る研磨対象物は、第2実施形態に係る研磨対象物110と同じである。そのため、これらの詳細な説明は省略する。
Imin = 0.0199 × DN + 5.40 + 1 (5)
式(5)では、図16に示す直線の近似式に、ばらつきマージンとして1(A)を考慮している。
図18は、第8実施形態に係る研磨装置の構成を示すブロック図である。図18に示す研磨装置2では、図1に示す研磨装置1と同様の構成要素には同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
Claims (10)
- 研磨対象物の表面を研磨する研磨装置であって、
研磨中における前記表面の状態に相関する特性値を検知する検知部と、
前記特性値または研磨時間が、研磨の終点に対応する終点条件を満たしたことを検出する終点検出部と、
前記研磨装置に関する装置情報と、前記研磨対象物に関する研磨対象物情報との少なくとも一方に基づいて前記終点条件を設定し、設定した前記終点条件を前記終点検出部へ出力する終点条件設定部と、
を備える研磨装置。 - 前記表面を研磨する研磨パッドと、
前記研磨パッドを研削するドレッサーと、をさらに備え、
前記研磨パッドの使用状態、前記ドレッサーの使用状態、または前記研磨パッドの研削レートが前記装置情報として前記終点条件設定部に入力される、請求項1に記載の研磨装置。 - 前記終点検出部で以前に検出された前記特性値または前記研磨時間が前記装置情報として前記終点条件設定部に入力される、請求項1に記載の研磨装置。
- 前記研磨対象物の膜厚、表面段差、反り量、およびパターンの長さの少なくとも一つが予め計測され、計測値が前記研磨対象物情報として前記終点条件設定部に入力される、請求項1に記載の研磨装置。
- 前記研磨装置の研磨履歴を示す履歴情報が前記装置情報として前記終点条件設定部に入力される、請求項1に記載の研磨装置。
- 前記表面を研磨する研磨パッドと、
前記研磨パッドが設けられた研磨テーブルと、
前記研磨テーブルを駆動するテーブル駆動機構と、をさらに備え、
前記検知部は、前記テーブル駆動機構の駆動電流を前記特性値として検知する、請求項1に記載の研磨装置。 - 研磨中における前記表面に光を照射する光源をさらに備え、
前記検知部は、前記光が前記表面で反射した反射光に関する光学値を前記特性値として検知し、
前記終点条件設定部は、前記光源の累積使用時間を示す前記装置情報に基づいて前記終点条件を設定する、請求項1に記載の研磨装置。 - 前記研磨装置で以前に研磨された前記研磨対象物の履歴が前記装置情報として前記終点条件設定部に入力される、請求項1に記載の研磨装置。
- 研磨装置に関する装置情報と、研磨対象物に関する研磨対象物情報との少なくとも一方に基づいて、前記研磨装置による研磨の終点に対応する終点条件を設定し、
前記研磨装置で前記研磨対象物の表面を研磨し、
研磨中における前記表面の状態に相関する特性値を検知し、
前記特性値または研磨時間が、設定した前記終点条件を満たしたことを検出すると、研磨を終了する、研磨方法。 - 研磨対象物の表面の研磨中における前記表面の状態に相関する特性値を検知する検知部と、前記特性値または研磨時間が、研磨の終点に対応する終点条件を満たしたことを検出する終点検出部と、を備える研磨装置に接続されるコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記研磨装置に関する装置情報と、前記研磨対象物に関する研磨対象物情報との少なくとも一方に基づいて前記終点条件を設定し、
設定した前記終点条件を前記終点検出部へ出力する、プログラム。
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