JP2017515307A - 終点検出のための連続特徴トラッキング - Google Patents
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Abstract
Description
正規化されたスペクトル = (A - Dark)/(X - Dark)
ここで、Aは未加工のスペクトル、Darkは暗条件下で得られたスペクトル、Xは金属層又は未加工のシリコン基板などの下層のスペクトルである。
Claims (15)
- 研磨を制御する方法であって、
基板を研磨すること、
前記基板が研磨されている間に、前記基板からの反射光スペクトルの第1シーケンスを、インシトゥスペクトログラフィック光学モニタシステムで測定すること、
スペクトルの前記第1シーケンスの中で、スペクトルの前記第1シーケンスにおいて展開する第1の位置を有する第1のスペクトル特徴を選択すること、
スペクトルの前記第1シーケンスからの測定された各スペクトルに関して、第1の位置の値のシーケンスを生成するため、前記第1のスペクトル特徴に対して第1の位置の値を決定すること
第1の位置の値の前記シーケンスに基づいて、前記第1スペクトル特徴の前記位置が第1の境界と交差したことを決定すること、
前記第1のスペクトル特徴が前記第1の境界と交差した後、前記基板が研磨されている間に、前記基板からの反射光スペクトルの第2シーケンスを測定すること、
前記第1のスペクトル特徴の前記位置が前記第1の境界と交差したことが決定されると、スペクトルの前記第2シーケンスにおいて展開する第2の位置を有する第2のスペクトル特徴を選択すること、
スペクトルの前記第2シーケンスからの測定された各スペクトルに関して、第2の位置の値のシーケンスを生成するため、前記第2のスペクトル特徴に対して第2の位置の値を決定すること、
位置の値の前記第2シーケンスに基づいて、研磨終点をトリガーすること又は研磨パラメータを調整することのうちの少なくとも1つ
を含む、方法。 - 前記第2のスペクトル特徴の位置が第2の境界と交差したことが決定されると、前記研磨終点をトリガーすることを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のスペクトル特徴の波長は時間と共に第1の方向に単調に変化し、前記所定の第2の波長範囲は前記第1の方向とは反対の前記第1の境界の側面に配置される、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の境界は前記スペクトログラフィック光学モニタシステムの動作範囲のエッジ近傍にある、請求項1に記載の方法。
- 前記第2の境界は前記スペクトログラフィック光学モニタシステムの動作範囲のエッジ近傍にある、請求項1に記載の方法。
- 研磨操作を制御するための操作をプロセッサに実行させるように操作可能で、非一過性コンピュータ記憶媒体上にエンコードされたコンピュータプログラム製品であって、前記操作は、
前記基板が研磨されている間に、前記基板からの反射光スペクトルの第1シーケンスの測定値を、インシトゥスペクトログラフィック光学モニタシステムから受け取ること、
スペクトルの前記第1シーケンスの中で、スペクトルの前記第1シーケンスにおいて展開する第1の位置を有する第1のスペクトル特徴を選択すること、
スペクトルの前記第1シーケンスからの測定された各スペクトルに関して、第1の位置の値のシーケンスを生成するため、前記第1のスペクトル特徴に対して第1の位置の値を決定すること、
第1の位置の値の前記シーケンスに基づいて、前記第1スペクトル特徴の前記位置が第1の境界と交差したことを決定すること、
前記第1のスペクトル特徴が前記第1の境界と交差した後、前記基板が研磨されている間に、前記基板からの反射光スペクトルの第2シーケンスの測定値を、前記インシトゥスペクトログラフィック光学モニタシステムから受け取ること、
前記第1のスペクトル特徴の前記位置が前記第1の境界と交差したことが決定されると、スペクトルの前記第2シーケンスにおいて展開する第2の位置を有する第2のスペクトル特徴を選択すること、
スペクトルの前記第2シーケンスからの測定された各スペクトルに関して、第2の位置の値のシーケンスを生成するため、前記第2のスペクトル特徴に対して第2の位置の値を決定すること、及び
位置の値の前記第2シーケンスに基づいて、研磨終点をトリガーすること又は研磨パラメータを調整することのうちの少なくとも1つ
を含む、コンピュータプログラム製品。 - 前記操作は、前記第2のスペクトル特徴の位置が第2の境界と交差したことが決定されると、前記研磨終点をトリガーすることを含む、請求項6に記載のコンピュータプログラム製品。
- 前記操作は、関数を第2の位置の値の前記シーケンスに適合することを含み、前記第2のスペクトル特徴の位置が第2の境界と交差したことを決定することは、前記関数が閾値と交差したことを決定することを含む、請求項7に記載のコンピュータプログラム製品。
- 前記第1のスペクトル特徴と前記第2のスペクトル特徴はそれぞれ、ピーク、変曲点又はゼロ交点を含む、請求項6に記載のコンピュータプログラム製品。
- 前記第1のスペクトル特徴と第2のスペクトル特徴はそれぞれ、極大値又は極小値を含む、請求項9に記載のコンピュータプログラム製品。
- 前記操作は、前記第1のスペクトル特徴の初期位置の値を決定すること、及び前記第1のスペクトル特徴の現在位置の値を決定することを含み、前記第1の位置の値は、前記初期位置の値と前記現在位置の値との間の差分を含む、請求項6に記載のコンピュータプログラム製品。
- 前記操作は、前記第1のスペクトル特徴が前記第1の境界と交差するときの前記第2のスペクトル特徴の初期位置の値を決定することを含み、前記操作は、前記第2のスペクトル特徴の現在位置の値を決定することを更に含み、前記第2の位置の値は、前記初期位置の値と前記現在位置の値との間の差分を含む、請求項6に記載のコンピュータプログラム製品。
- 前記第2のスペクトル特徴を選択することは、前記第2のスペクトル特徴に対する所定の第2の波長範囲を検索することを含む、請求項6に記載のコンピュータプログラム製品。
- 前記所定の第2の波長範囲を検索することは、前記所定の第2の波長範囲に極大値又は極小値を見出すことを含む、請求項13に記載のコンピュータプログラム製品。
- 研磨パッドを支持するプラテン、
前記研磨パッドに接して基板を保持するキャリアヘッド、
前記基板が研磨されている間に前記基板からの反射光スペクトルを測定するように構成されたインシトゥスペクトログラフィック光学モニタシステム、及び
コントローラであって、
前記基板が研磨されている間に前記基板からの反射光スペクトルの第1シーケンスの測定値を、前記インシトゥスペクトログラフィック光学モニタシステムから受け取り、
スペクトルの前記第1シーケンスの中で、スペクトルの前記第1シーケンスにおいて展開する第1の位置を有する第1のスペクトル特徴を選択し、
スペクトルの前記第1シーケンスからの測定された各スペクトルに関して、第1の位置の値のシーケンスを生成するため、前記第1のスペクトル特徴に対して第1の位置の値を決定し、
第1の位置の値の前記シーケンスに基づいて、前記第1のスペクトル特徴の前記位置が第1の境界と交差したことを決定し、
前記第1のスペクトル特徴が前記第1の境界と交差した後、前記基板が研磨されている間に、前記基板からの反射光スペクトルの第2シーケンスの測定値を、前記インシトゥスペクトログラフィック光学モニタシステムから受け取り、
前記第1のスペクトル特徴の前記位置が前記第1の境界と交差したことが決定されると、スペクトルの前記第2シーケンスにおいて展開する第2の位置を有する第2のスペクトル特徴を選択し、
スペクトルの前記第2シーケンスからの測定された各スペクトルに関して、第2の位置の値のシーケンスを生成するため、前記第2のスペクトル特徴に対して第2の位置の値を決定し、更に
位置の値の前記第2シーケンスに基づいて、研磨終点をトリガーすること又は研磨パラメータを調整することのうちの少なくとも1つ
を行うように構成されたコントローラ
を備える研磨システム。
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