JP2019029653A - ウェーハ洗浄装備の温度制御装置およびこれを用いた温度制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハ洗浄装備の温度制御装置およびこれを用いた温度制御方法は洗浄槽110の、内槽111の内側に設けられた第1温度センサー120の測定値と、内槽の内側にウェーハを移送させるトランスファーロボット130に設けられた第2温度センサー140の測定値とを比較することによって、内槽の内側に設けられた第1温度センサーの異常作動を判断する。ウェーハ洗浄装備の温度制御方法は、複数の洗浄槽のそれぞれの内槽に収容された洗浄液を排出した後、それぞれの内槽に設定温度の純水を供給した状態で、それぞれの内槽の内側に設けられた温度センサーの測定値を比較することによって、温度センサーの異常作動を判断する。
【選択図】図4
Description
(付記1)
カセットに収納されたウェーハを洗浄するための洗浄液が収容される内槽と、前記内槽からあふれる前記洗浄液が収容される外槽とを含む洗浄槽、
前記内槽の内側に備えられ、前記洗浄液の温度を測定して第1測定値を生成する第1温度センサー、
前記外槽から前記内槽に前記洗浄液を循環させる循環流路、
前記循環流路上に備えられ、前記第1温度センサーの前記第1測定値に基づいて洗浄液を加熱するヒーター、
前記カセットを把持した状態で前記内槽の内側にウェーハを出入させるトランスファーロボット、
前記トランスファーロボットに備えられ、前記洗浄液の温度を測定して第2測定値を生成する第2温度センサー、および、
前記第1温度センサーの前記第1測定値と前記第2温度センサーの前記第2測定値と比較して、前記第1温度センサーの感知異常を判断する制御部、
を含むウェーハ洗浄装備の温度制御装置。
前記トランスファーロボットは、
前記カセットの前/後面を把持することができる一対のロボットアームを含み、
前記第2温度センサーは、
前記ロボットアームが前記内槽に投入された場合、前記第1温度センサーと近接するように前記ロボットアームの少なくとも一つのロボットアームに設けられる、
付記1に記載のウェーハ洗浄装備の温度制御装置。
前記第2温度センサーは、
テフロン系のコーティング層が備えられた白金温度計である、
付記2に記載のウェーハ洗浄装備の温度制御装置。
前記制御部は、
前記第1測定値と前記第2測定値との間の差が設定温度以上の場合、前記第1温度センサーが誤動作したと判断する、
付記1に記載のウェーハ洗浄装備の温度制御装置。
前記制御部は、
前記第1測定値と前記第2測定値との間の差が設定温度未満の場合、前記第1温度センサーが正常に動作していると判断する、
付記1に記載のウェーハ洗浄装備の温度制御装置。
前記洗浄槽と前記第1温度センサーは複数備えられ、
前記制御部は、
複数の前記洗浄槽のそれぞれの前記内槽から前記洗浄液を排水させ、設定温度の純水を給水した状態で複数の前記洗浄槽のそれぞれの前記第1温度センサーで測定された測定値を互いに比較して、前記第1温度センサーの感知異常を判断する、
付記1に記載のウェーハ洗浄装備の温度制御装置。
カセットに収納されたウェーハをトランスファーロボットが把持して、洗浄液が収容された内槽の内側にウェーハを投入し、前記ウェーハを洗浄するステップ、
前記洗浄中に前記内槽の内側に備えられた第1温度センサーと前記トランスファーロボットに備えられた第2温度センサーとで前記洗浄液の温度を測定して第1および第2測定値を生成するステップ、
前記第1測定値と前記第2測定値とを比較して前記第1温度センサーの感知異常を判断するステップ、および、
前記判断結果に基づいて前記第1温度センサーの感知異常を知らせるステップ、
を含むウェーハ洗浄装備の温度制御方法。
前記第1および第2測定値を生成するステップは、
前記第2温度センサーが前記第1温度センサーと近接した位置で前記洗浄液の温度を測定するステップを含む、
付記7に記載のウェーハ洗浄装備の温度制御方法。
ウェーハを複数の洗浄槽のそれぞれの内槽に収容された洗浄液によって洗浄するステップ、
前記洗浄の完了後、前記複数の洗浄槽のそれぞれの前記内槽から洗浄液を排水させ、設定温度の純水を給水した状態で前記複数の洗浄槽のそれぞれの前記内槽の内側にそれぞれ備えられた第1温度センサーで純水の温度を測定して測定値を生成するステップ、
前記第1温度センサーの測定値を互いに比較して、前記第1温度センサーの感知異常を判断するステップ、および、
前記判断結果に基づいて前記第1温度センサーの感知異常を知らせるステップ、
を含むウェーハ洗浄装備の温度制御方法。
前記測定値を生成するステップは、
前記内槽に純水を給水し、設定時間の経過後に前記第1温度センサーによって純水の温度を測定するステップを含む、
付記9に記載のウェーハ洗浄装備の温度制御方法。
前記第1温度センサーの感知異常を判断するステップは、
前記第1温度センサーの測定値誤差が設定温度未満であると、前記第1温度センサーを正常と判断するステップ、および、
前記第1温度センサーの測定値の誤差が設定温度以上であると、前記第1温度センサーを感知異常と判断するステップを含む、
付記9に記載のウェーハ洗浄装備の温度制御方法。
Claims (11)
- カセットに収納されたウェーハを洗浄するための洗浄液が収容される内槽と、前記内槽からあふれる前記洗浄液が収容される外槽とを含む洗浄槽、
前記内槽の内側に備えられ、前記洗浄液の温度を測定して第1測定値を生成する第1温度センサー、
前記外槽から前記内槽に前記洗浄液を循環させる循環流路、
前記循環流路上に備えられ、前記第1温度センサーの前記第1測定値に基づいて洗浄液を加熱するヒーター、
前記カセットを把持した状態で前記内槽の内側にウェーハを出入させるトランスファーロボット、
前記トランスファーロボットに備えられ、前記洗浄液の温度を測定して第2測定値を生成する第2温度センサー、および、
前記第1温度センサーの前記第1測定値と前記第2温度センサーの前記第2測定値と比較して、前記第1温度センサーの感知異常を判断する制御部、
を含むウェーハ洗浄装備の温度制御装置。 - 前記トランスファーロボットは、
前記カセットの前/後面を把持することができる一対のロボットアームを含み、
前記第2温度センサーは、
前記ロボットアームが前記内槽に投入された場合、前記第1温度センサーと近接するように前記ロボットアームの少なくとも一つのロボットアームに設けられる、
請求項1に記載のウェーハ洗浄装備の温度制御装置。 - 前記第2温度センサーは、
テフロン系のコーティング層が備えられた白金温度計である、
請求項2に記載のウェーハ洗浄装備の温度制御装置。 - 前記制御部は、
前記第1測定値と前記第2測定値との間の差が設定温度以上の場合、前記第1温度センサーが誤動作したと判断する、
請求項1に記載のウェーハ洗浄装備の温度制御装置。 - 前記制御部は、
前記第1測定値と前記第2測定値との間の差が設定温度未満の場合、前記第1温度センサーが正常に動作していると判断する、
請求項1に記載のウェーハ洗浄装備の温度制御装置。 - 前記洗浄槽と前記第1温度センサーは複数備えられ、
前記制御部は、
複数の前記洗浄槽のそれぞれの前記内槽から前記洗浄液を排水させ、設定温度の純水を給水した状態で複数の前記洗浄槽のそれぞれの前記第1温度センサーで測定された測定値を互いに比較して、前記第1温度センサーの感知異常を判断する、
請求項1に記載のウェーハ洗浄装備の温度制御装置。 - カセットに収納されたウェーハをトランスファーロボットが把持して、洗浄液が収容された内槽の内側にウェーハを投入し、前記ウェーハを洗浄するステップ、
前記洗浄中に前記内槽の内側に備えられた第1温度センサーと前記トランスファーロボットに備えられた第2温度センサーとで前記洗浄液の温度を測定して第1および第2測定値を生成するステップ、
前記第1測定値と前記第2測定値とを比較して前記第1温度センサーの感知異常を判断するステップ、および、
前記判断結果に基づいて前記第1温度センサーの感知異常を知らせるステップ、
を含むウェーハ洗浄装備の温度制御方法。 - 前記第1および第2測定値を生成するステップは、
前記第2温度センサーが前記第1温度センサーと近接した位置で前記洗浄液の温度を測定するステップを含む、
請求項7に記載のウェーハ洗浄装備の温度制御方法。 - ウェーハを複数の洗浄槽のそれぞれの内槽に収容された洗浄液によって洗浄するステップ、
前記洗浄の完了後、前記複数の洗浄槽のそれぞれの前記内槽から洗浄液を排水させ、設定温度の純水を給水した状態で前記複数の洗浄槽のそれぞれの前記内槽の内側にそれぞれ備えられた第1温度センサーで純水の温度を測定して測定値を生成するステップ、
前記第1温度センサーの測定値を互いに比較して、前記第1温度センサーの感知異常を判断するステップ、および、
前記判断結果に基づいて前記第1温度センサーの感知異常を知らせるステップ、
を含むウェーハ洗浄装備の温度制御方法。 - 前記測定値を生成するステップは、
前記内槽に純水を給水し、設定時間の経過後に前記第1温度センサーによって純水の温度を測定するステップを含む、
請求項9に記載のウェーハ洗浄装備の温度制御方法。 - 前記第1温度センサーの感知異常を判断するステップは、
前記第1温度センサーの測定値誤差が設定温度未満であると、前記第1温度センサーを正常と判断するステップ、および、
前記第1温度センサーの測定値の誤差が設定温度以上であると、前記第1温度センサーを感知異常と判断するステップを含む、
請求項9に記載のウェーハ洗浄装備の温度制御方法。
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