JP2019029543A - ウエーハの研削方法 - Google Patents
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Abstract
Description
21 第1のテーブル
23 ウエーハ保持部
24 フレーム保持部
28 吸引路
39 真空吸引源
51 第2のテーブル
91、191 ピンチャックテーブル
92、192 ピン
93、193 リング部
95 連通口
101 切削バイト
121 第3のテーブル
123 (第3のテーブルの)保持面
137 研削砥石
B バンプ
C 密室
F フィルム
P 糊層
R1 液状樹脂
R2 樹脂層
S シート
S1 (シートの)被切削面
W ウエーハ
W1 (ウエーハの)一方の面
W2 (ウエーハの)他方の面
Claims (1)
- 一方の面にバンプを備えたウエーハの他方の面を研削するウエーハの研削方法であって、
ウエーハの外径より大きい径でリング状の糊層を形成したフィルムを、ウエーハを収容可能な開口を有するリングフレームに貼着するフィルム貼着工程と、
ウエーハを保持するウエーハ保持部と、リングフレームを保持するリング状のフレーム保持部と、該フレーム保持部と該ウエーハ保持部との間を真空吸引源へ連通する吸引路とを備える第1のテーブルの該ウエーハ保持部でウエーハの他方の面を保持し、該一方の面を該リングフレームに貼着した該フィルムで覆うと共に、該リングフレームを該フレーム保持部で保持し密室を形成する保持工程と、
該吸引路を真空吸引源に連通させ該保持工程で形成された該密室を減圧し、大気圧で該フィルムを一方の面に押しつけバンプの凸凹形状にならわせ該一方の面に該フィルムを密着させるフィルム密着工程と、
第2のテーブルにシートを敷き、該シートの上に紫外線硬化性の液状樹脂を供給し、該第1のテーブルが保持するウエーハに密着させた該フィルムと該第2のテーブルが保持した該シートとを対面させて相対的に接近させ、該シートの上の該液状樹脂をウエーハの面積以上の広さに広げられた該液状樹脂に紫外線を照射して硬化させ該フィルムと該シートとの間に樹脂層を形成する樹脂層形成工程と、
ウエーハの外周に沿って該シートと該樹脂層と該フィルムとを切断し除去する外周除去工程と、
複数のピンを立設させ該ピンの先端に他方の面を接触させたウエーハの外周全周に接触するリング部を備え、該リング部で塞がれた空間を吸引源に連通する連通口を備えるピンチャックテーブルでウエーハを吸引保持させ、ウエーハの一方の面側の該シートの表面全面を切削バイトで切削して該他方の面に対して平行な被切削面を形成する切削工程と、
該切削工程で切削した被切削面を第3のテーブルの保持面で保持しウエーハの他方の面を研削砥石で研削する研削工程と、を備えるウエーハの研削方法。
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