JP2019021880A - ワーク保持機構及びワーク処理システム - Google Patents
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Abstract
Description
先ず、本実施の形態に係るワーク処理システムの構成について説明する。図1は、ワーク処理システム1の構成の概略を示す平面図である。
次に、上述した処理装置10の構成について説明する。図2及び図3は、処理装置10における真空チャック100の構成の概略を示す縦断面図である。図2及び図3に示すように、処理装置10は、複数のワークWを真空引きして吸着保持する、真空チャック100を有している。
次に、上述した洗浄装置20の構成について説明する。図6は、洗浄装置20の構成の概略を示す側面図である。洗浄装置20は、超音波を用いたバッチ式の洗浄装置である。
次に、上述した乾燥装置30の構成について説明する。図7は、乾燥装置30の構成の概略を示す側面図である。乾燥装置30は、複数の多孔質板110を乾燥させながら収容する。
次に、上述した搬送装置40の構成について説明する。図8は、搬送装置40の構成の概略を示す側面図である。搬送装置40は、ワークWを保持した状態の多孔質板110と、ワークWを保持していない状態の多孔質板110のいずれも搬送する。ここでは、ワークWを保持した多孔質板110を例に説明する。
次に、以上のように構成されたワーク処理システム1を用いて行われるワーク処理方法について説明する。
次に、本発明の他の実施の形態について説明する。
先ず、処理装置10の真空チャック100の他の実施の形態について説明する。
次に、搬送装置40の他の実施の形態について説明する。
次に、洗浄装置20の他の実施の形態について説明する。
次に、乾燥装置30の他の実施の形態について説明する。
10 処理装置
20 洗浄装置
30 乾燥装置
40 搬送装置
50 制御部
100 真空チャック
110 多孔質板
111 載置部
112 被支持部
120 基台
123 段部
130 吸引管
132 シール材
133 磁石
140 吸引管
150 排液管
400 吸着パッド
402 磁石
410 固定板
411 突起部
412 昇降機構
413 固定板
W ワーク
Claims (12)
- ワークを真空引きして吸着保持するワーク保持機構であって、
表面でワークを保持する多孔質板と、
前記多孔質板を支持し、当該多孔質板の裏面側からワークを真空引きするための基台と、を有し、
前記多孔質板は、前記基台に対して着脱自在に構成されていることを特徴とする、ワーク保持機構。 - 前記多孔質板は、
ワークを載置して保持する載置部と、
前記載置部の外周に環状に設けられ、前記基台に支持される被支持部と、を有することを特徴とする、請求項1に記載のワーク保持機構。 - 前記基台には、前記被支持部を真空引きする吸引管が設けられていることを特徴とする、請求項2に記載のワーク保持機構。
- 前記被支持部は多孔質体からなり、
前記被支持部の平均空孔径は前記載置部の平均空孔径より小さいことを特徴とする、請求項3に記載のワーク保持機構。 - 前記基台の支持面には、前記被支持部との間の気密性を保持するためのシール材が設けられていることを特徴とする、請求項3又は4に記載のワーク保持機構。
- 前記被支持部は磁性体からなり、
前記基台には磁石が設けられていることを特徴とする、請求項2に記載のワーク保持機構。 - 請求項1〜6のいずれか一項に記載のワーク保持機構を備えたワーク処理システムであって、
前記ワーク保持機構を備え、当該ワーク保持機構に保持されたワークの処理を行う処理装置と、
前記多孔質板を搬送する搬送装置と、
前記多孔質板を洗浄する洗浄装置と、を有することを特徴とする、ワーク処理システム。 - 前記多孔質板を乾燥させる乾燥装置をさらに有することを特徴とする、請求項7に記載のワーク処理システム。
- 前記搬送装置は、
前記多孔質板の外周を保持する保持部と、
前記多孔質板に載置されたワークを押さえて固定する固定板と、
前記固定板を昇降させる昇降機構と、を有することを特徴とする、請求項7又は8に記載のワーク処理システム。 - 前記固定板の表面には複数の突起部が形成されていることを特徴とする、請求項9に記載のワーク処理システム。
- 前記固定板は多孔質体からなることを特徴とする、請求項9に記載のワーク処理システム。
- 平均空孔径が異なる複数の前記多孔質板を有することを特徴とする、請求項7〜11のいずれか一項に記載のワーク処理システム。
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