JP2019015576A - 光学測定装置および光学測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
したがって、装置メーカは、ターンテーブルの有無に応じて個別に設計した少なくとも2つのモデルを準備し、それぞれの製造および販売を行うことになる。
そこで、この発明の一つの目的は、ユーザの様々なニーズに対応可能な光学測定装置および光学測定方法を提供することである。
この発明の一実施形態では、前記本体ベースに支持され、試料を保持するための試料ホルダが配置される試料ステージをさらに含み、前記内部測定対象位置が、前記試料ホルダに保持される試料の位置に対応している。
この発明の一実施形態では、前記光学測定装置は、前記試料ホルダに保持される試料を前記内部測定対象位置に配置する測定ステージ位置と、前記測定光学系による前記外部測定対象位置での測定を阻害しない退避ステージ位置との間で、前記試料ステージを前記本体ベースに対して相対移動させる試料ステージ移動機構をさらに含む。
この発明の一実施形態では、前記試料ホルダが、複数の試料を前記第2方向に沿って前記試料ステージ上で保持(たとえば複数の試料セルを保持)するように構成されており、前記ステージ移動機構が、前記内部測定対象位置に前記複数の試料のうちの任意の一つを配置(たとえば複数の試料セルのうちの任意の一つを配置)するように前記試料ステージを移動させる。
この発明の一実施形態では、前記外部試料ホルダが、試料を収容するビーカもしくは試験管、または流体状の試料が流通する配管部材を保持するように構成されている。
この発明の一実施形態では、前述のような特徴を有する光学測定装置を用いて、試料に対する光学測定を行う方法が提供される。光学測定は、動的光散乱法による粒子径の測定であってもよい。
図1は、この発明の第1の実施形態に係る光学測定装置の構成を示す図解的な平面図である。光学測定装置1は、散乱光検出装置2と、これに接続された処理装置3とを含む。処理装置3は、コンピュータの形態を有していてもよく、散乱光検出装置2を制御する制御装置としての機能と、散乱光検出装置2の出力に基づいて測定対象の性質を解析する解析装置としての機能とを有していてもよい。処理装置3は、処理装置本体4と、表示装置5と、操作装置6とを含む。操作装置6は、キーボード、ポインティングデバイス等の入力装置を含む。散乱光検出装置2と処理装置3とは、通信ケーブル7によって接続されている。
投光レンズ33の焦点位置33aおよびその近傍は、測定光学系30による測定対象位置30aである。この測定対象位置30aに試料Sが配置されていれば、その試料Sによって照射光L1が散乱されて、散乱光L2が生じる。
光学ベース11は、X方向に沿って、内部測定位置11Aと外部測定位置11Bとの間で移動可能である。
試料ステージ12は、当該試料ステージ12に対して試料ホルダHを着脱するための着脱機構16を備えている。着脱機構16は、試料ステージ12上の所定位置に試料ホルダHを位置決めして保持し、かつその保持状態を必要に応じて解除できるように構成されている。試料ホルダHは、試料セルCを保持するように構成されている。試料セルCは、試料Sを保持する。試料セルCは、光源ユニット31が発生する波長の光を透過させることができる材料、たとえば、ガラスまたは透明樹脂で構成されている。試料セルCは、平面視矩形の四角筒状容器であってもよい。試料Sの典型例は液体である。とくに液中に微小粒子が分散した液体試料Sが試料セルCに保持されてもよい。
単一セルホルダHsに保持される試料セルCと複数セルホルダHmに保持される試料セルCとは、形態が異なっていてもよい。具体的には、単一セルホルダHsは比較的大きなサイズの試料セルCを保持するように設計され、複数セルホルダHmは比較的小さなサイズの試料セルCを保持するように設計されていてもよい。小サイズの試料セルCには、少量の試料Sを準備すれば測定できる利点がある。
試料ステージ12は、試料Sが内部測定対象位置30Aを通る経路に沿ってY方向に移動可能に本体ベース10に支持されている。試料ステージ移動機構22は、測定ステージ位置12Aと、退避ステージ位置12Bとの間で、試料ステージ12をY方向に沿って移動させる。
散乱光検出装置2のハウジング13は平面視において矩形である。その矩形の一辺に相当する外面(この実施形態では側面)は、外部測定ベースを必要に応じて本体ベース10に結合(直接的または間接的に結合)するための外部測定ベース結合面13aを提供する。外部測定ベース結合面13aは、X方向と交差(この実施形態では直交)する面である。外部測定ベース結合面13aは、概して平坦な鉛直面を有していることが好ましく、とくに、少なくとも外部測定ベースとの結合部分は、平面視において実質的に凹凸のない直線を形成する平坦面を形成していることが好ましい。内部測定対象位置30Aと外部測定対象位置30Bとは、外部測定ベース結合面13aを挟んで、ハウジング13の内方と外方とに分かれて位置している。つまり、光学ベース11のX方向移動によって、測定光学系30の測定対象位置30aは、外部測定ベース結合面13aを超えて、ハウジング13の内外間で移動する。
図3は、外部測定ベース結合面13aにオートサンプラ40を結合した構成例を示す。オートサンプラ40は、外部測定ベース結合面13aに固定される外部測定ベース41と、外部測定ベース41に回転可能に支持された回転テーブル42とを含む。回転テーブル42は、回転駆動機構43によって、鉛直方向に沿う回転軸線44まわりに回転させられる。回転駆動機構43は、外部試料移動機構の一例である。回転テーブル42は、複数の試料セルCを回転軸線44まわりの円周に沿って環状に配列して保持する試料ホルダ部45を備えており、外部試料ホルダの一例である。その円周は、オートサンプラ40が外部測定ベース結合面13aに結合された状態において、外部測定対象位置30Bを通る。したがって、回転テーブル42が回転することによって、複数の試料セルCを外部測定対象位置30Bに順次配置し、その内部の試料Sを外部測定対象位置30Bに提示することができる。外部測定対象位置30Bは、試料セルCの内面よりも内方に位置してもよいし、試料セルCの内面と試料Sとの界面に位置してもよい。回転テーブル42は、さらに、試料ホルダ部に保持された試料セルCを温度調節(加熱および/または冷却)するための温度調節ユニット46を備えていてもよい。
散乱光検出装置2は、コントローラ90を含む。コントローラ90は、CPU(中央処理装置)91およびメモリ92を含む。メモリ92は、CPU91が実行するプログラムを記憶している。メモリ92は、さらに、CPU91の演算処理のためのワークエリアを提供する。メモリ92は、さらに、散乱光検出装置2が備える検出器37によって検出された信号その他のデータを一時記憶したり、処理装置3から送られてくる命令およびデータを一時記憶したりするために用いられる。
光学ベース移動機構21は、コントローラ90によって制御されるアクチュエータとして、電動モータ(以下「X軸モータ」という。)21Mを備えていてもよい。試料ステージ移動機構22は、コントローラ90によって制御されるアクチュエータとして、電動モータ(以下「Y軸モータ」という。)22Mを備えていてもよい。
図7の構成例では、内部信号線95は、コネクタ96を介して、オートサンプラ40の内部信号線48に接続されている。したがって、散乱光検出装置2のコントローラ90は、オートサンプラ40に備えられたセンサ類の出力信号を取得でき、かつオートサンプラ40に備えられたアクチュエータを制御することができる。
このような構成により、処理装置3からの指令に応じて、散乱光検出装置2およびオートサンプラ40の各部を作動させ、散乱光検出装置2の出力信号を処理装置3において取得することができる。
ユーザは、処理装置3に備えられた操作装置6を操作して、表示装置5に表示される測定メニューから、「単一セルモード」、「複数セルモード」および「オートサンプラモード」のいずれかを選択する(ステップS0)。単一セルモードとは、単一セルホルダHsを用いた測定モードであり、単一セルホルダHsに保持された一つの試料セルCに対する測定を実行する場合に選択される(図1参照)。複数セルモードとは、複数セルホルダHmを用いた測定モードであり、複数セルホルダHmに保持された1つまたは複数(この実施形態では最大5個)の試料セルCに対する測定を実行する場合に選択される(図2参照)。オートサンプラモードとは、オートサンプラ40を用いた測定モードであり、オートサンプラ40の回転テーブル42に保持された1つまたは複数(たとえば最大50個)の試料セルCに対する測定を実行する場合に選択される(図3参照)。
複数セルモードが選択されると(ステップS0)、複数セルモード選択指令が、処理装置3からコントローラ90に与えられる。コントローラ90は、Y軸モータ22Mを制御して、試料ステージ12を測定ステージ位置12Aに配置する。このとき、複数セルホルダHmに保持された複数の試料セルCのうちの一つのY方向位置が内部測定対象位置30Aに整合させられる(ステップS11)。処理装置3は、いずれかの試料セルCを選択するための試料セル指定信号をコントローラ90に与えてもよい。この場合、コントローラ90は、その選択された試料セルCが内部測定対象位置30Aに配置されるように試料ステージ12のY方向位置を制御する。さらに、コントローラ90は、X軸モータ21Mを制御して、光学ベース11を内部測定位置11Aに配置する(ステップS12)。それにより、測定光学系30の測定対象位置30aが内部測定対象位置30Aに配置される。
こうして必要な調整が行われると、検出器37の出力信号の取得が開始され、その取得された信号を表す光量データがコントローラ90から処理装置3へと送られる(ステップS15:散乱光測定)。こうして、散乱光L2の光量測定が行われる。処理装置3は、受信した光量データに基づいた検出結果を表示装置5に表示する(ステップS16)。
オートサンプラモードは、オートサンプラ40が散乱光検出装置2に接続されているときに有効になる測定モードである。オートサンプラモードが選択されると(ステップS0)、オートサンプラモード選択指令が処理装置3からコントローラ90に与えられる。コントローラ90は、Y軸モータ22Mを制御して、試料ステージ12を退避ステージ位置12Bへと退避させ(ステップS20)、X軸モータ21Mを制御して光学ベース11を外部測定位置11Bに配置する(ステップS21)。それにより、測定光学系30の測定対象位置30aが外部測定対象位置30Bに配置される。さらに、コントローラ90は、θ軸モータ43Mを制御して回転テーブル42を回転させ、回転テーブル42に保持された複数の試料セルCの一つを外部測定対象位置30Bに整合させる(ステップS22)。処理装置3は、試料セルCを選択するための試料セル指定信号をコントローラ90に与えてもよい。この場合、コントローラ90は、その選択された試料セルCが外部測定対象位置30Bに配置されるように回転テーブル42の回転位置を制御する。
こうして必要な調整が行われると、コントローラ90は、検出器37の出力信号を取得し、その取得された信号に対して、測定のための演算処理を実行する(ステップS25:散乱光測定)。コントローラ90は、演算処理結果を処理装置3に送信する。処理装置3は、受信した演算処理結果を、散乱光検出装置2の検出結果として、表示装置5に表示する(ステップS26)。処理装置3は、さらに、受信した演算処理結果を解析し、その解析によって得られた情報を表示装置5に併せて表示してもよい。
このような動作が、回転テーブル42に保持された全ての試料セルC、または処理装置3が測定対象として指定する全ての試料セルCに対する測定を終えるまで繰り返される(ステップS27:NO)。
懸濁液(もしくは乳濁液)または溶液中の微粒子(ナノ粒子)はブラウン運動しており、その速さは微粒子の大きさに依存する。つまり、大きな粒子ほど遅く、小さな粒子ほど速く運動している。動的光散乱法では、レーザ光を懸濁液または溶液に入射し、微粒子からの散乱光を検出する。ブラウン運動によってランダムに移動している微粒子からの散乱光強度は時間的に変動してゆらぎを生じる。この変動(散乱光強度のゆらぎ)は、ブラウン運動の速さに依存する。すなわち、大きな粒子の運動に起因する散乱光強度の変動は穏やかであり、小さな粒子の運動に起因する散乱光強度は激しく変動する。このゆらぎの自己相関関数または周波数スペクトルを解析することで、微粒子の拡散係数Dを求めることができ、下記式(1)に示すStokes-Einsteinの式から流体力学的径(粒子径d)を算出することができる。
検出器37が出力するある時間内の散乱光強度信号から、コントローラ90で、自己相関関数または周波数スペクトルが算出される。コントローラ90は、算出した自己相関関数または周波数スペクトルを処理装置3に送信する。処理装置3は、その自己相関関数または周波数スペクトルから粒子のゆらぎの程度を表す拡散係数Dを求め、上記式(1)に代入することにより、粒子径dを求める。この場合、処理装置3は、粒子径解析装置として機能することになる。
以上のように、この実施形態の光学測定装置1は、本体ベース10と、本体ベース10に移動可能に結合された光学ベース11と、光学ベース11に固定された測定光学系30と、内部測定位置11Aと外部測定位置11Bとの間で光学ベース11を移動させる光学ベース移動機構21とを含む。測定光学系30は、測定対象位置30aに対して照射光L1を照射し、測定対象位置30aで散乱される散乱光L2を検出する。
また、この実施形態では、試料ホルダHが試料ステージ12に対して着脱自在であり、一つの試料S(具体的には一つの試料セルC)を保持する単一試料ホルダHsと、複数の試料S(具体的には複数の試料セルC)を保持する複数試料ホルダHmとのいずれかを選択して試料ステージ12に装着でき、必要に応じて、それらを交換することができる。したがって、本体ベース10上の構成により、単一の試料セルCに対する光学測定だけでなく、複数の試料セルCに対する連続光学測定も行える。それにより、外部測定ベース41,51,61,71を結合しない基本構成だけでも、使い勝手のよい光学測定機能を提供できる。
この実施形態では、試料ステージ12の測定ステージ位置12Aが、光学ベース11の外部測定位置11Bへの移動を阻害しないように配置されている。すなわち、測定ステージ位置12Aは、光学ベース11の内部測定位置11Aと外部測定位置11Bとの間の光学ベース11の移動経路外に設定されている。したがって、試料ステージ12は、内部測定モードでも外部測定モードでも測定ステージ位置12Aに配置されていればよく、測定ステージ位置12Aから退避する必要がない。
この実施形態においても、試料ステージ12が測定ステージ位置12Aに配置されたままで、測定光学系30の測定対象位置30aを内部測定対象位置30Aと外部測定対象位置30Bとの間で移動させることができる。この実施形態では、測定ステージ位置12Aは、第1の実施形態の場合と同様な位置である。
光学ベース11は、X方向に平行移動可能であり、かつ鉛直方向に沿う回転軸線17まわりに回転可能な状態で、本体ベース10に支持されている。詳細な図示は省略するが、光学ベース移動機構21は、リニア駆動機構および回転駆動機構を含む。光学ベース移動機構21の具体的な構成は、前述の第2の実施形態の場合と同様であってもよい。
このような構成により、試料ステージ12において保持された試料Sに対する測定を行う内部測定モードであるか、外部測定ベース結合面13aに結合された外部測定ベース41(51,61,71)上で保持された試料Sに対する測定を行う外部測定モードであるかに拘わらず、試料ステージ12の退避が不要になる。それにより、試料ステージ12のための駆動機構の構造を簡素化できる。
2 :散乱光検出装置
3 :処理装置
10 :本体ベース
11 :光学ベース
11A :内部測定位置
11B :外部測定位置
12 :試料ステージ
12A :測定ステージ位置
12B :退避ステージ位置
13 :ハウジング
13a :外部測定ベース結合面
14 :温度調節ユニット
15 :窓
16 :着脱機構
21 :光学ベース移動機構
21M :X軸モータ
22 :試料ステージ移動機構
22M :Y軸モータ
30 :測定光学系
30A :内部測定対象位置
30B :外部測定対象位置
30a :測定対象位置
31 :光源ユニット
32 :ミラー
33 :投光レンズ
34 :検出レンズ
34a :焦点位置
35 :オプティカルファイバ
36 :ファイバ固定部材
37 :検出器
40 :オートサンプラ
41 :外部測定ベース
42 :回転テーブル
43 :回転駆動機構
43M :θ軸モータ
45 :試料ホルダ部
46 :温度調節ユニット
47 :回転位置センサ
48 :内部信号線
50 :ビーカホルダ
51 :外部測定ベース
51a :載置面
52 :位置決め部材
53 :ビーカ
60 :試験管ホルダ
61 :外部測定ベース
62 :位置決め部材
63 :試験管
70 :配管ホルダ
71 :外部測定ベース
72 :配管固定部材
73 :配管
73P :試料提示部
73A :試料流入部
73B :試料流出部
75A :流入側開閉弁
75B :流出側開閉弁
90 :コントローラ
95 :内部信号線
96 :コネクタ
C :試料セル
H :試料ホルダ
Hm :複数セルホルダ
Hs :単一セルホルダ
L1 :照射光
L2 :散乱光
S :試料
Claims (13)
- 本体ベースと、
前記本体ベースに移動可能に結合された光学ベースと、
前記光学ベースに固定された測定光学系と、
前記測定光学系による測定対象位置が前記本体ベース内に設定した内部測定対象位置となる内部測定位置と、前記測定光学系による測定対象位置が前記本体ベース外に設定した外部測定対象位置となる外部測定位置との間で移動するように、前記光学ベースを前記本体ベースに対して相対移動させる光学ベース移動機構と、
を含む、光学測定装置。 - 前記本体ベースに支持され、試料を保持するための試料ホルダが配置される試料ステージをさらに含み、
前記内部測定対象位置が、前記試料ホルダに保持される試料の位置に対応している、請求項1に記載の光学測定装置。 - 前記試料ホルダに保持される試料を前記内部測定対象位置に配置する測定ステージ位置と、前記測定光学系による前記外部測定対象位置での測定を阻害しない退避ステージ位置との間で、前記試料ステージを前記本体ベースに対して相対移動させる試料ステージ移動機構をさらに含む、請求項2に記載の光学測定装置。
- 前記光学ベース移動機構が、前記光学ベースが前記試料ホルダに保持される試料に対して接離する第1方向に沿って、前記光学ベースを前記内部測定位置と前記外部測定位置との間で移動するように構成されており、
前記試料ステージ移動機構が、前記第1方向に交差する第2方向に沿って、前記試料ステージを前記測定ステージ位置と前記退避ステージ位置との間で移動するように構成されている、請求項2または3に記載の光学測定装置。 - 前記試料ホルダが、複数の試料を前記第2方向に沿って前記試料ステージ上で保持するように構成されており、
前記ステージ移動機構が、前記内部測定対象位置に前記複数の試料のうちの任意の一つを配置するように前記試料ステージを移動させる、請求項4に記載の光学測定装置。 - 前記本体ベースに結合可能に構成された外部測定ベースと、
前記外部測定ベースに支持され、前記外部測定ベースが前記本体ベースに取り付けられたときに、前記外部測定対象位置に試料を提示するように当該試料を保持する外部試料ホルダと、をさらに含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載の光学測定装置。 - 前記外部試料ホルダが、複数の試料を保持するように構成されており、
前記外部試料ホルダを前記外部測定ベース上で動かして、前記複数の試料のうちの任意の一つを前記外部測定位置に提示する外部試料移動機構をさらに含む、請求項6に記載の光学測定装置。 - 前記外部試料ホルダが、試料を収容するビーカもしくは試験管、または流体状の試料が流通する配管部材を保持するように構成されている、請求項6に記載の光学測定装置。
- 前記測定光学系が、測定対象位置に照射する光を発生する光源ユニットと、前記光源ユニットの光を測定対象位置に集光する投光レンズと、前記測定対象位置から散乱される散乱光が入射する検出レンズとを含む、請求項1〜8のいずれか一項に記載の光学測定装置。
- 前記測定光学系が、測定対象位置に光を照射し、前記測定対象位置から散乱される散乱光を検出して、当該検出した散乱光に対応する検出信号を出力するように構成されており、
前記測定光学系が出力する検出信号に基づいて、前記試料中に含まれる粒子の粒子径を解析する粒子径解析装置をさらに含む、請求項1〜9のいずれか一項に記載の光学測定装置。 - 本体ベースと、本体ベースに移動可能に結合された光学ベースと、前記光学ベースに固定された測定光学系とを含む光学測定装置を用いた光学測定方法であって、
前記本体ベースに対して前記光学ベースを相対移動させることによって、前記測定光学系の測定対象位置を、前記本体ベース外に設定した外部測定対象位置に配置するステップと、
前記外部測定対象位置に試料を配置するステップと、
前記測定光学系の測定対象位置が前記外部測定対象位置に配置され、かつ前記外部測定対象位置に試料が配置された状態で、前記測定光学系による検出信号を取得するステップと、
を含む、光学測定方法。 - 前記本体ベースに対して前記光学ベースを相対移動させることによって、前記測定光学系の測定対象位置を、前記本体ベース内に設定した内部測定対象位置と、前記外部測定対象位置との間で移動可能であり、
前記光学測定装置が、前記本体ベースに支持され、試料を保持するための試料ホルダが配置される試料ステージを含み、
前記光学測定方法が、前記試料を前記内部測定対象位置に提示する測定ステージ位置から前記試料ステージを退避させるステップをさらに含む、請求項11に記載の光学測定方法。 - 前記測定光学系が、測定対象位置に光を照射し、前記測定対象位置から散乱される散乱光を検出して、当該検出した散乱光に対応する検出信号を出力するように構成されており、
前記光学測定方法が、前記測定光学系の出力信号に基づいて、前記試料中に含まれる粒子の粒子径を解析するステップをさらに含む、請求項11または12に記載の光学測定方法。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61129154U (ja) * | 1985-01-30 | 1986-08-13 | ||
US4657390A (en) * | 1985-02-21 | 1987-04-14 | Laser Precision Corporation | Universal spectrometer system having modular sampling chamber |
US6232608B1 (en) * | 1998-08-18 | 2001-05-15 | Molecular Devices Corporation | Optimization systems in a scanning fluorometer |
JP2009526239A (ja) * | 2006-02-08 | 2009-07-16 | ベックマン コールター, インコーポレイテッド | モジュール方式の蛍光測定および光度測定読取装置 |
JP2014126529A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Horiba Ltd | 分光分析方法及び分光分析装置 |
US20160077015A1 (en) * | 2011-09-25 | 2016-03-17 | Theranos, Inc. | Systems and methods for multi-analysis |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH542716A (de) | 1972-01-29 | 1973-10-15 | Krauss Maffei Ag | Vorrichtung zum Pressen von länglichen Gegenständen, insbesondere von Skiern |
JPH0678978B2 (ja) | 1990-05-25 | 1994-10-05 | スズキ株式会社 | 凝集パターン検出装置 |
JP3533502B2 (ja) | 1994-10-14 | 2004-05-31 | 株式会社日立製作所 | 自動化学分析装置 |
JP3744650B2 (ja) * | 1997-05-28 | 2006-02-15 | 石川島播磨重工業株式会社 | カラーフィルタ検査装置の基板保持機構 |
CA2310625A1 (en) * | 1997-11-19 | 1999-05-27 | Otsuka Electronics Co., Ltd. | Apparatus for measuring characteristics of optical angle |
US20020176801A1 (en) * | 1999-03-23 | 2002-11-28 | Giebeler Robert H. | Fluid delivery and analysis systems |
JP3689278B2 (ja) | 1999-05-19 | 2005-08-31 | 株式会社堀場製作所 | 粒子径分布測定装置および粒子径分布測定方法 |
JP2004206760A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 光ヘッド装置 |
JP2007315976A (ja) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Japan Aerospace Exploration Agency | 微小液滴・気泡・粒子の位置・粒径・速度測定の方法と装置 |
JP5182913B2 (ja) * | 2006-09-13 | 2013-04-17 | 大日本スクリーン製造株式会社 | パターン描画装置およびパターン描画方法 |
US20080151204A1 (en) * | 2006-12-21 | 2008-06-26 | Asml Netherlands B.V. | Method for positioning a target portion of a substrate with respect to a focal plane of a projection system |
JP2009293987A (ja) | 2008-06-03 | 2009-12-17 | Arkray Inc | 分析装置 |
DE102008064665B4 (de) * | 2008-09-15 | 2016-06-09 | Fritsch Gmbh | Partikelgrößenmessgerät |
GB2475458B (en) * | 2008-09-26 | 2012-05-23 | Horiba Ltd | Particle characterization instrument |
JP2016038360A (ja) * | 2014-08-11 | 2016-03-22 | シャープ株式会社 | 微小粒子検出装置 |
-
2017
- 2017-07-05 JP JP2017132206A patent/JP6961406B2/ja active Active
-
2018
- 2018-06-21 KR KR1020180071280A patent/KR102488587B1/ko active IP Right Grant
- 2018-06-22 US US16/015,349 patent/US10788412B2/en active Active
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61129154U (ja) * | 1985-01-30 | 1986-08-13 | ||
US4657390A (en) * | 1985-02-21 | 1987-04-14 | Laser Precision Corporation | Universal spectrometer system having modular sampling chamber |
US6232608B1 (en) * | 1998-08-18 | 2001-05-15 | Molecular Devices Corporation | Optimization systems in a scanning fluorometer |
JP2009526239A (ja) * | 2006-02-08 | 2009-07-16 | ベックマン コールター, インコーポレイテッド | モジュール方式の蛍光測定および光度測定読取装置 |
US20160077015A1 (en) * | 2011-09-25 | 2016-03-17 | Theranos, Inc. | Systems and methods for multi-analysis |
JP2014126529A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Horiba Ltd | 分光分析方法及び分光分析装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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