JP2016142548A - 検査装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】検査チップのホルダが既定の測定位置からずれて停止しても、測定精度が低下する可能性を低減できる検査装置を提供すること。【解決手段】検査装置は、光源部71、主軸モータ、ステッピングモータ、ホルダ61、測定用光センサ72を備えている。光源部71は、発光ダイオード73、アパーチャ715が形成されたアパーチャ板714と、レンズ716を備え、ホルダ61は、アパーチャ694が形成されたアパーチャ板69備える。発光ダイオード73の発光面73Aの両端から出力されレンズ716の焦点を通る光の幅DSPは、アパーチャ715の開口径DBEAMより小さく、アパーチャ694開口径であるDSMPは、アパーチャ715の開口径DBEAMから光の幅DSPを差し引いた値より小さい。【選択図】図8

Description

本発明は、検査対象物の検査を行うための検査チップを支持するホルダが回転され、遠心力によって液体が送液される検査装置に関する。
従来、マイクロチップ又は検査チップと呼ばれる検査対象受体を遠心処理して、生体物質および化学物質等を検査する検査装置が知られている。例えば、特許文献1に開示の検査装置においては、検査対象受体を保持した受体ホルダが公転されることで、検査対象受体に遠心力が付与される。検査対象受体に注入された検体及び試薬は、遠心力により検査対象受体上の流路を経由して貯留部に流入して攪拌される。その後、発光部から発光され検査対象受体上の流路の延設方向と直交する方向に延びる光が検査対象受体の貯留部を透過する。この貯留部を透過した光が受光部で受光されることで、検査結果が得られる。
特許文献2に開示の分析装置は、光源から出射した光を、凸レンズを介して第1のアパーチャに照射する。第1のアパーチャを通過した光が、試料液がセットされた分析用デバイスに照射される。分析用デバイスを透過した光が第2のアパーチャに照射され、第2のアパーチャを通過した光が検出器にて検出される。光学測定手段を構成する光源、凸レンズ、第1のアパーチャ、第2のアパーチャ及び検出器の各中心が単一の軸上に配置されている。
特開2013−79811号公報 特開2010−19761号公報
特許文献1に開示の検査装置に、特許文献2に開示の光学測定手段を適用した場合には、検査チップに入射する光量を調節するために、受体ホルダに第1のアパーチャを設けることが考えられる。特許文献1に開示の検査装置では、検査チップの公転軌道外に発光部及び受光部が配置されている。従って、発光部から受光部に向かう方向が公転の軸心と垂直になる縦型の検査装置においては、発光部から受光部に向かう方向が公転の軸心と平行になる横型の検査装置よりも、発光部及び受光部間の光路長が長くなる。縦型の検査装置において、公転される受体ホルダが既定の測定位置よりもずれて停止した場合には、第1のアパーチャが既定の測定位置よりも発光部側に接近又は遠ざかることになり、第1のアパーチャを通過する光の量が、光路長が長くなるほど大きく変化する。従って、測定結果が変化し、測定精度が低下するという可能性があった。
本発明の目的は、検査チップのホルダが既定の測定位置からずれて停止しても、測定精度が低下する可能性を低減できる検査装置を提供することである。
本発明に係る検査装置は、試料液が注入された検査チップを支持可能なホルダが第一軸心を中心に公転されることで前記試料液に遠心力が付与される検査装置であって、公転される前記ホルダの公転軌道外に配置され、前記第一軸心と交差する方向に光軸を有する光を発光する発光部と、前記発光部から焦点距離だけ離れ、前記光の光軸が焦点を通過する位置に設けられたレンズと、前記発光部と前記レンズとの間に設けられ、中心が前記光軸を通過する位置に開口し、開口径が第一距離である発光部側アパーチャを有する発光部側アパーチャ板と、前記ホルダに設けられ、前記発光部側アパーチャ、および前記レンズを通過した光の内の一部の光を通過させるホルダ側アパーチャを有するホルダ側アパーチャ板と、前記ホルダ側アパーチャを通過し光を受光する測定用受光部と、前記第一軸心を中心に前記ホルダを公転させ、前記レンズと前記測定用受光部との間であって、前記光軸が前記ホルダ側アパーチャを通過する位置に前記ホルダを停止する公転機構とを備え、前記ホルダ側アパーチャ板が前記光軸と直交する位置において、前記光軸及び前記第一軸心に直交する直交方向における前記発光部の両端から出力され前記レンズの中心を通る光の幅は、前記第一距離より短く、前記ホルダ側アパーチャの開口径である第二距離は、前記第一距離から前記光の幅を差し引いた値より短いことを特徴とする。
ホルダ側アパーチャ板が光軸と直交する検査装置では、発光部と測定用受光部とがホルダの公転軌道外に配置され、発光部から受光部に向かう方向が公転の軸心と平行になる横型の検査装置よりも、発光部及び受光部間の光路長が長くなる。従って、光路長の長さは、発光部の両端から出力されレンズの中心を通る光の幅による均一な光量分布の光を測定対象の検査チップに照射する際の影響を無視できない。上記態様に係る検査装置によれば、ホルダ側アパーチャの開口径である第二距離は、第一距離から光の幅を差し引いた値より短いので、ホルダの停止位置が既定の停止位置からずれて停止しても、光量分布の均一な光の領域内にホルダ側アパーチャが位置する可能性が高くなる。従って、ホルダ側アパーチャには均一な光量分布の光が照射される。この結果、ホルダ側アパーチャを通過する光の量の変化が小さくなる。従って、測定結果が安定し、測定精度が向上する。
前記検査装置において、前記直交方向における前記測定用受光部の両端の距離がDPD、前記ホルダ側アパーチャ板と前記測定用受光部との間隔がL2、前記直交方向における前記発光部の両端の距離がDLED、前記第二距離がDSMPである場合に、
PD>(L2・DLED/f)+DSMP
である関係を満たすようにしてもよい。
この場合には、ホルダ側アパーチャ板と測定用受光部との間隔L2が長くなっても、ホルダ側アパーチャを通過した均一な光量分布の光を全て測定用受光部で受光することができる。従って、測定結果が安定し、測定精度を向上できる。
前記検査装置において、前記レンズと、前記ホルダ側アパーチャ板が前記光軸と直交する位置に配置される前記ホルダとの間、かつ前記公転軌道外に設けられ、前記発光部からの光の一部を反射し、一部を透過するスプリッタと、前記スプリッタにより反射された光を受光する制御用受光部とを備えてもよい。この場合には、制御用受光部により発光部からの光の一部を受光して、発光部からの光の強度を検出できるので、例えば、発光部からの光の強度を安定させるように制御することができる。
前記検査装置において、前記制御用受光部により受光された光の強度に基づいて、前記発光部の発光量が一定になるように制御する制御部を備えてもよい。この場合には、発光部と測定用受光部との間に検査チップが存在しても、制御用受光部は、発光部からの光を検査チップを透過せずに受光できる。制御部が制御用受光部により受光された光の強度に基づいて、発光部の発光量が常に一定になるように制御するので、発光部が発光する光の強度を安定させることができる。従って、測定結果が安定し、測定精度を向上できる。
前記検査装置において、前記測定用受光部で検出される電圧が所定範囲内である際に、制御用受光部で検出される目標電圧値を予め記憶する記憶部を備え、前記制御部は、前記記憶部から前記目標電圧値を読み出し、前記制御用受光部からの出力電圧値と前記目標電圧値とを比較し、両電圧値の差が所定範囲より大きい場合には、前記発光部に流す電流値を変更して、前記差が前記所定範囲内になるように制御するようにしてもよい。この場合には、記憶部に目標電圧値を記憶しておくことにより、制御部が発光部の発光量が一定になるように制御するので、発光部が発光する光の強度を安定させることができる。従って、測定結果が安定し、測定精度を向上できる。
ホルダ61が第一自転角度にある場合における検査システム3の構成を示す正面図である。 ホルダ61が第二自転角度にある場合における検査システム3の構成を示す正面図である。 検査装置1の平面図と制御装置90の構成を示す図である。 検査チップ2の正面図である。 検査チップ2を支持したホルダ61の正面図である。 検査チップ2を支持したホルダ61の背面図である。 図3に示す切断線でX1−X1方向に切断した光源部71、ホルダ61及び測定用光センサ72の横断面である。 アパーチャ715、アパーチャ694の開口形状を説明する断面図である。 アパーチャ694の近傍の光の状態を示す図である。 フードバック制御のフローチャートである。 測定処理の前半のフローチャートである。 測定処理の後半のフローチャートである。 ホルダ61が既定の測定位置に停止した状態を示した光源部71、ホルダ61及び測定用光センサ72の横断面である。 ホルダ61が既定の測定位置よりもずれて停止した状態を示した光源部71、ホルダ61及び測定用光センサ72の横断面である。
本発明を具体化した実施形態について、図面を参照して説明する。尚、図3は、検査システム3を構成する検査装置1の平面図及び制御装置90の内部の機能ブロックを示している。
<1.検査システム3の概略構造>
図1〜図3を参照して、検査システム3の概略構造について説明する。本実施形態の検査システム3は、液体である検体及び試薬を収容可能な検査チップ2と、検査チップ2を用いて検査を行う検査装置1とを含む。検査チップ2は、検査装置1のホルダ61に支持される。検査装置1がホルダ61と検査チップ2とから離間した垂直方向の第一軸心A1を中心としてホルダ61及び検査チップ2を回転させると、遠心力がホルダ61及び検査チップ2に作用する。検査装置1が第一軸心A1に直交する水平方向の第二軸心A2を中心にホルダ61及び検査チップ2を回転させると、ホルダ61及び検査チップ2に作用する遠心力の方向である遠心方向が検査チップ2に対して切り替えられる。
<2.検査装置1の構造>
図1〜図3を参照して、検査装置1の構造について説明する。以下の説明では、図1及び図2の上方、下方、右方、左方、紙面手前側、及び紙面奥側を、夫々、検査装置1の上方、下方、右方、左方、前方、及び後方とする。本実施形態では、第一軸心A1の方向は検査装置1の上下方向であり、第二軸心A2の方向は、ホルダ61及び検査チップ2が第一軸心A1を中心として回転される際の速度の方向である。なお、図3は検査装置1の上部筐体30の天板が取り除かれた状態を示す。
図1及び図2に示すように、検査装置1は、上部筐体30、下部筐体31、上板32、ターンテーブル33、角度変更機構34、ホルダ61、及び制御装置90を備える。ターンテーブル33は、後述する上板32の上側に回転可能に設けられた円盤である。検査チップ2は、ターンテーブル33の上方に配置されたホルダ61に支持される。角度変更機構34は、ターンテーブル33に設けられた駆動機構である。この角度変更機構34は、第二軸心A2を中心にホルダ61を回転させることで検査チップ2を回転させる。上部筐体30は、後述する上板32に固定されており、検査チップ2に対して光学測定を行う図3に示す測定部7が内部に設けられている。制御装置90は、検査装置1の各種処理を制御するコントローラである。
下部筐体31の概略構造を説明する。図1及び図2に示すように、下部筐体31は、枠部材を組み合わせた箱状のフレーム構造を有する。下部筐体31の上面には、長方形の板材である上板32が設けられている。下部筐体31の内部には、第一軸心A1を中心にターンテーブル33を回転させる駆動機構が、次のように設けられている。
下部筐体31内の左方寄りに、ターンテーブル33を回転させるための駆動力を供給する主軸モータ35が設置されている。主軸モータ35の軸36は、上方に突出しており、プーリ37が固定されている。下部筐体31の中央部には、下部筐体31の内部から上方に延びる垂直な主軸57が設けられている。主軸57は、上板32を貫通して、下部筐体31の上側に突出している。主軸57の上端部は、ターンテーブル33の中央部に接続されている。
主軸57は、上板32の直下に設けられた支持部材53により、回転自在に保持されている。支持部材53の下側では、主軸57にプーリ38が固定されている。プーリ37とプーリ38とに亘って、ベルト39が掛け渡されている。主軸モータ35が軸36を回転させると、プーリ37、ベルト39、及びプーリ38を介して駆動力が主軸57に伝達される。このとき、主軸57の回転に連動して、ターンテーブル33が主軸57を中心に回転する。
下部筐体31内の右方寄りに、下部筐体31の内部において上下方向に延びるガイドレール56が設けられている。T型プレート48は、ガイドレール56に沿って下部筐体31内において上下方向に移動可能である。
先述の主軸57は、内部が中空の筒状体である。内軸40は、主軸57の内部において上下方向に移動可能な軸である。図3に示すように、内軸40は、上方から見て四角形である。図1及び図2に示すように、内軸40の上端部は、主軸57内を貫通してターンテーブル33の上方に延び、後述する一対のラックギア43に接続されている。T型プレート48の左端部には、軸受41が設けられている。軸受41の内部では、内軸40の下端部が回転自在に保持される。
T型プレート48の前方には、T型プレート48を上下動させるためのステッピングモータ51が固定されている。ステッピングモータ51の軸58は後方に向けて突出している。軸58の先端には、円盤状のカム板59が固定されている。カム板59の後側の面には、円柱状の突起70が設けられている。突起70の先端部は、溝部83に挿入されている。突起70は、溝部83内を摺動可能である。ステッピングモータ51が軸58を回転させると、カム板59の回転に連動して突起70が上下動する。このとき、溝部83に挿入されている突起70に連動して、T型プレート48がガイドレール56に沿って上下動する。
角度変更機構34の詳細構造を説明する。角度変更機構34は、一対のラックギア43を備えている。一対のラックギア43は、金属製の板状部材である。図3に示すように、一対のラックギア43は、夫々、内軸40における互いに対向する面の上端に固定される。一方のラックギア43は、上側から見て内軸40から一方向側に延び、他方のラックギア43は、一方向側とは反対側に延びる。図1に示すように、一対のラックギア43における内軸40側とは反対側の端部には、ギア431が上下方向に形成されている。ラックギア43は、内軸40の上下動に伴って上下動する。
図3に示すように、上側から見て各ラックギア43の時計回り方向側には、夫々、支持部47が設けられている。支持部47は、ホルダ61を回転可能に支持する。より詳細には、図1及び図2に示すように、支持部47は、2つの円柱部471、延伸部472、及び支軸473を備えている。2つの円柱部471は、ラックギア43に沿って並べて配置され、上下方向に延びる。延伸部472は、円柱部471の上端から、ラックギア43に沿って内軸40から離れる方向に延び、その先端が支軸473を固定する。支軸473は、上側から見て時計回り方向側に延び、その先端が、ホルダ61に形成された後述するギア部76の内側に配置されている。支軸473とギア部76との間には、図6に示す軸受479が配置されている。ギア部76は、ラックギア43のギア431と噛み合っている。ラックギア43の上下動に伴ってギア部76が支軸473を中心に回転することで、ホルダ61が回転する。故に、ホルダ61に保持された検査チップ2が支軸473を中心に回転する。
本実施形態では、主軸モータ35がターンテーブル33を回転駆動するのに伴って、ホルダ61及び検査チップ2が垂直軸である内軸40を中心に回転して、ホルダ61及び検査チップ2に遠心力が作用する。即ち、主軸モータ35は、第一軸心A1を中心にホルダ61及び検査チップ2を回転させ、遠心力を作用させる。ホルダ61及び検査チップ2の第一軸心A1を中心とした回転を、公転と呼ぶ。一方、ステッピングモータ51が内軸40を上下動させるのに伴って、ホルダ61及び検査チップ2が水平軸である支軸473を中心に回転して、ホルダ61及び検査チップ2に作用する遠心力の遠心方向が相対変化する。即ち、ステッピングモータ51は、第二軸心A2を中心にホルダ61及び検査チップ2を回転させる。ホルダ61及び検査チップ2の第二軸心A2を中心とした回転を、自転と呼ぶ。
図1に示すように、T型プレート48が可動範囲の最上端まで上昇した状態では、ラックギア43も可動範囲の最上端まで上昇する。このとき、ホルダ61及び検査チップ2は、自転角度が0度の定常状態になる。また、図2に示すように、T型プレート48が可動範囲の最下端まで下降した状態では、ラックギア43も可動範囲の最下端まで下降する。このとき、ホルダ61及び検査チップ2は、定常状態から第二軸心A2を中心に反時計回りに90度回転した状態になる。つまり、本実施形態ではホルダ61及び検査チップ2が自転可能な角度幅は、自転角度0度〜90度である。以下の説明では、自転角度0度を第一自転角度という場合があり、自転角度90度を第二自転角度という場合がある。
上部筐体30の詳細構造を説明する。図3に示すように、上部筐体30は、枠部材を組み合わせた箱状のフレーム構造を有し、上板32の左部上側に設置されている。より詳細には、上部筐体30は、ターンテーブル33の回転中心にある主軸57からみて、ホルダ61及び検査チップ2が回転される範囲の外側に設けられている。
上部筐体30の内部に設けられた測定部7は、測定光を発光する光源部71と、光源部71に対向し、光源部71から発せられた測定光を検出する測定用光センサ72とを有する。光源部71及び測定用光センサ72は、検査チップ2の回転軌道の外側において、ターンテーブル33の前後両側に配置されている。本実施形態では、検査チップ2の公転可能範囲のうちで主軸57の左側位置が、検査チップ2に測定光が照射される測定位置である。検査チップ2が測定位置にある場合、光源部71と測定用光センサ72とを結ぶ測定光が、検査チップ2の前面及び後面に対して略垂直に交差する。
<3.制御装置90の電気的構成>
図3を参照して、制御装置90の電気的構成について説明する。制御装置90は、検査装置1の主制御を司るCPU91と、各種データを一時的に記憶するRAM92と、制御プログラムを記憶したROM93とを有する。CPU91には、ユーザが制御装置90に対する指示を入力するための操作部94と、各種データ、及びプログラムを記憶するハードディスク装置95と、各種情報を表示するディスプレイ96とが接続されている。制御装置90としては、パーソナルコンピュータを用いてもよいし、専用の制御装置を用いてもよい。また、制御装置90が検査装置1の筐体内に内蔵されていてもよい。
さらに、CPU91には、公転コントローラ97、自転コントローラ98、及び測定コントローラ99が接続されている。公転コントローラ97は、主軸モータ35を回転駆動させる制御信号を主軸モータ35に送信することによって、ホルダ61及び検査チップ2の公転を制御する。自転コントローラ98は、ステッピングモータ51を回転駆動させる制御信号をステッピングモータ51に送信することによって、ホルダ61及び検査チップ2の自転を制御する。測定コントローラ99は、測定部7を駆動することによって、検査チップ2の光学測定を実行する。詳細には、測定コントローラ99は、光源部71の発光、及び測定用光センサ72の光検出を実行させる制御信号を、光源部71及び測定用光センサ72に送信する。尚、CPU91が公転コントローラ97、自転コントローラ98及び測定コントローラ99を制御する。
<4.検査チップ2の構造>
図4を参照して、本実施形態に係る検査チップ2の詳細構造を説明する。以下の説明においては、図4の上方、下方、左方、右方、紙面手前側、及び紙面奥側を、それぞれ、検査チップ2の上方、下方、左方、右方、前方、及び後方とする。
図4に示すように、検査チップ2は一例として前方から見た場合に正方形状であり、所定の厚みを有する透明な合成樹脂の板材20を主体とする。板材20の前面は、透明の合成樹脂の薄板から構成されたシート291によって封止されている。板材20とシート291との間には、検査チップ2に封入された液体が流動可能な液体流路25が形成されている。液体流路25は、板材20の前面側に所定深さに形成された凹部であり、板材20の厚み方向である前後方向と直交する方向に延びる。シート291は、板材20の流路形成面を封止する。シート291は、図4以外の図においては図示を省略している。液体流路25は板材20の後面に形成されてもよいし、前面と後面の両方に形成されてもよい。
液体流路25は、検体定量流路11、試薬定量流路13,15、及び測定部80等を含む。検体定量流路11は、検査チップ2の左上部に設けられている。試薬定量流路13は、検体定量流路11の右側に設けられている。試薬定量流路15は、試薬定量流路13の右側、且つ検査チップ2の右上部に設けられている。測定部80は、検査チップ2の右下部に設けられている。
図4においては、検体定量流路11及び試薬定量流路13,15に共通する構成の符号は検体定量流路11のみに記載し、試薬定量流路13,15における符号は省略する。検体定量流路11及び試薬定量流路13,15は、それぞれ、保持部111、供給部112、定量部114、第一案内部115、第二案内部117、及び余剰部116を含む。保持部111は、上方に開口する凹部である。保持部111は、検体17、第一試薬18、又は第二試薬19が注入及び貯留される部位である。検体17は、例えば、血液、血漿、血球、骨髄、尿、膣組織、上皮組織、腫瘍、精液、唾液、又は食料品などの成分を含む液体である。以下の説明においては、検体17、第一試薬18、及び第二試薬19を総称する場合、又はいずれかを特定しない場合、液体16という。
供給部112は、保持部111の右上部分から下方向に延びる流路である。供給部112の下方には、定量部114が設けられている。定量部114は、液体16が定量される部位であり、左下方に凹む凹部である。以下の説明においては、検体定量流路11、試薬定量流路13、及び試薬定量流路15に設けられた定量部114を、夫々、定量部114A,114B,114Cという場合がある。
定量部114の上部から、第一案内部115が右方向に延び、第二案内部117が左方向に延びる。第一案内部115は、定量部114の左下方に設けられた余剰部116に接続されている。余剰部116は、第二案内部117を移動した液体16が収容される部位であり、第二案内部117の下端部から右方向に設けられた凹部である。
第一案内部115は、定量部114において定量された液体16が移動する流路である。第一案内部115は、右方向に延びた後、下方に延びる。第一案内部115の下端は、検査チップ2の右下部に設けられた測定部80に繋がっている。測定部80は、下方に凹む凹部である。後述する光学測定が行われる際には、測定部80に測定光が透過される。
<5.検査チップ2のその他構造>
ホルダ61の支軸473を中心とする自転に伴って、検査チップ2が支軸473を中心に自転する。検査チップ2は図4に示す定常状態である場合、上辺部21及び下辺部24が重力Gの方向と直交し、右辺部22及び左辺部23が重力Gの方向と平行、且つ、左辺部23が右辺部22よりも主軸57側に配置される。定常状態の検査チップ2が測定位置に配置されている状態において、光源部71と測定用光センサ72とを結ぶ測定光を測定部80に通過させることで、検査装置1は光学測定による検査を行う。
<6.ホルダ61の構造>
図5及び図6を参照して、ホルダ61について説明する。以下の説明においては、図5の左側、右側、上側、下側、紙面手前側、紙面奥側を、夫々、ホルダ61の左側、右側、上側、下側、前側、後側とする。また、図1に示す第一軸心A1は、ホルダ61の左側に位置する。図5に示すように、ホルダ61は、ホルダ部60、開閉部79、及び図6に示す錘部900を備えている。ホルダ部60は、ホルダ筐体62とアパーチャ板69とを備えている。アパーチャ板69は、ホルダ筐体62の前側に設けられている。ホルダ筐体62とアパーチャ板69とによって、装着部74と、ホルダ開口部75とが形成される。装着部74は、検査チップ2を着脱可能な部位である。ホルダ開口部75は、検査チップ2が装着部74に着脱される開口部である。
図5に示すように、アパーチャ板69は、ホルダ筐体62の前面に装着される板状部材である。アパーチャ板69の上端701は左右方向に延びる。アパーチャ板69の左右の端は、ホルダ筐体62の外周に沿っている。アパーチャ板69の下端702は、後述する下壁部64の前側を左右方向に延びる。アパーチャ板69の右下部には、アパーチャ694が設けられている。アパーチャ694は、第二軸心A2より第一軸心A1から遠い側である右側に設けられている。アパーチャ694は、図1に示す光源部71から測定用光センサ72に向けて発光された測定光を検査チップ2の測定部80に透過させる。
図5に示すように、アパーチャ板69の上右部には、前方に突出する壁部691が設けられている。壁部691は、一対の延伸壁部692と、係合壁部693とを備えている。一対の延伸壁部692は、互いに左右方向に離間し、上下方向に延びる。係合壁部693は、左右方向に延び、一対の延伸壁部692の上端に接続される。係合壁部693は、後述する開閉部79に設けられた爪部802と係合する。係合壁部693の下側には、前側から見て左右方向に長く、前後方向にアパーチャ板69を貫通する開口部695が設けられている。
図5に示すように、ホルダ筐体62は、後壁部63、下壁部64、左壁部65、右壁部66、及び図5及び図6に示す一対の保持部67を備えている。後壁部63は、ホルダ筐体62の後部を形成する。図6に示すように、後壁部63は、前側から見て中央部に円形の孔部631を備えている。孔部631は、後壁部63を前後方向に貫通する。孔部631の内側には、軸受479を介して図1及び図5に示す支軸473が配置されている。前側から見た場合の支軸473の中心が、第二軸心A2である。後壁部63の左下面と右下面とは、第二軸心A2を中心とした円弧状に形成された円弧面632,633である。後壁部63の上面634と下面635とは、左右方向に延び、左面636と右面637とは、上下方向に延びる。上面634の中央やや右側には、上方に突出する突出部638が設けられている。図6に示すように、突出部638は、後述する開閉部79に当接する。図6に示すように、後壁部63の後部において孔部631の周囲には、ギア部76が設けられている。
図6に示すように、後壁部63の右下部には、後壁部63を前後方向に貫通する孔部639が設けられている。孔部639は、アパーチャ694と検査チップ2の測定部80とを透過した光が通過する部位である。
下壁部64、左壁部65及び右壁部66は、夫々、後壁部63の下部、左部、及び右部から前方に突出している。下壁部64は、前側から見て上面が下方に凹んだ凹状である。下壁部64の上端641は、後述する装着部74の下端を規定する。右壁部66は、上下方向に延びる。右壁部66は、上部に突出部(図示せず)を備え、下部に突出部(図示せず)を備えている。各突出部は、左方に突出している。各突出部は、後述する装着部74の右端を規定する。
図5に示すように、アパーチャ板69の左部及び右部には、アパーチャ板69を前後方向に貫通する図示しない孔部が設けられている。アパーチャ板69がホルダ筐体62に装着される際には、螺子851及び螺子852の軸部が、夫々、アパーチャ板69の孔部を介して、図示しない螺子穴に締結される。
図5に示すように、ホルダ筐体62とアパーチャ板69とによって囲まれる直方体状の領域は、検査チップ2を着脱可能な装着部74である。より詳細には、アパーチャ板69の後面が装着部74の前面である。後壁部63の前面が装着部74の後面である。また、図5及び図6に示すように、アパーチャ板69の上端701と後壁部63とは、装着部74に検査チップ2を挿入可能なホルダ開口部75を形成する。図5及び図6に示すように、検査チップ2がホルダ61に保持された場合、検査チップ2が装着部74に配置され、検査チップ2の上部が装着部74より上方に露出する。
図5及び図6に示すように、一対の保持部67は、ホルダ筐体62の右上部から上方に延びる。一対の保持部67は、互いに前後方向に離間している。一対の保持部67の上端の間には、軸797が架け渡されている。一対の保持部67は、軸797を介して開閉部79を回転可能に支持する。
軸797は、第二軸心A2に沿う前後方向に延びる。このため、図5及び図6に示すように、開閉部79は、第二軸心A2に沿う第三軸心A3を中心にして、図5に実線で示す閉鎖位置と、図5に二点鎖線で示す開放位置との間で回転可能である。第三軸心A3は、第二軸心A2より第一軸心A1から遠い側である右側に設けられている。開閉部79は、閉鎖位置から開放位置に回転する場合に、第二軸心A2から離れる方向に回転する。
図5に二点鎖線で示すように、開閉部79が開放位置にある場合、ホルダ開口部75の上方に、開閉部79が位置しない。この開放位置において、検査チップ2はホルダ開口部75を介して装着部74に着脱される。図5に示すように、開閉部79が閉鎖位置にある場合、ホルダ開口部75の右部の上方に、開閉部79が位置する。故に、開閉部79は、閉鎖位置にあるとき、検査チップ2を装着部74から抜き取り不能にホルダ開口部75の一部を閉鎖している。
開閉部79は、図示しない一対の回転軸部、アーム部795、係合板部796、及び当接部800を備えている。開閉部79は、図5に示す軸797に一対の回転軸部(図示せず)により回転可能に支持され、軸797を中心に開閉部79が回動する。回転軸部には、上方に突出する板部805が設けられている。
軸797の周囲には、図示しないバネが巻き付けられている。バネの一端は板部805に固定され、他端はホルダ部60に固定されている。バネ806は、開閉部79を閉鎖位置から開放位置に向かう方向に付勢する。
アーム部795は、開閉部79が閉鎖位置にある場合において、図示しない回転軸部から左方に延びる板状部材である。図5に示すように、開閉部79が閉鎖位置にある場合におけるアーム部795の下面には、下方に突出して検査チップ2に当接する当接部800が設けられている。当接部800は、図5に示す下壁部64の上端641との間において検査チップ2を位置決めする。アーム部795は、平面視矩形状に上下方向に貫通する図示しないアーム開口部を備えている。開閉部79が閉鎖位置にあるとき、検査チップ2の取っ手部27は、アーム開口部の内側に配置される。
図5に示すように、係合板部796の後面の下部には、後方に突出する爪部802が設けられている。開閉部79が閉鎖位置にあるとき、爪部802は、係合壁部693の下面に係合する。
図6に示すように、後壁部63の後面における左下部には、錘部900が装着されている。錘部900は、第二軸心A2に対して開閉部79の反対側に位置する。錘部900は、ホルダ部60において開閉部79より第一軸心A1に近い部位に装着されている。また、開閉部79は、第二軸心A2より第一軸心A1から遠い側である右側に設けられ、錘部900は、第二軸心A2より第一軸心A1に近い側である左側に設けられている。
<7.測定部7の構造の詳細>
次に、図3、図7及び図8を参照して、測定部7の構造を説明する。図8では、制御用光センサ721、およびビームスプリッタ717を省略している。図3に示すように、測定部7は、ホルダ61の公転軌道外に配置され、ホルダ61を挟んで対向する光源部71と、測定用光センサ72とから構成されている。図7に示すように、測定用光センサ72は基板740に固定されている。光源部71から発光された光731は、光源部71側のアパーチャ板714のアパーチャ715を通過して、レンズ716により平行光732となる。平行光732の一部は後述するビームスプリッタ717を透過して透過光733となる。透過光733は、ホルダ61側のアパーチャ板69のアパーチャ694、および検査チップ2の図4に示す測定部80の領域82を通過して、測定光735となる。図7においては、検査チップ2は、ホルダ61の装着部74に保持される。測定光735は測定用光センサ72により受光され、検査チップ2の測定部80に溜まった液体の測定が行われる。
図7に示すように、光源部71は、フランジが形成された円筒形の光源カバー711と、基板712と、発光ダイオード73と、アパーチャ板714と、レンズ716と、ビームスプリッタ717と、基板720と、制御用光センサ721と、から構成される。制御用光センサ721の出力は、図3に示す測定コントローラ99に入力され、CPU91が取得する。基板712には、発光ダイオード73が固定され、基板712上の発光ダイオード73を覆うように光源カバー711が基板712に固定されている。光源部71の発光ダイオード73は、測定用光センサ72に向けて発光する。光源カバー711は、円筒部713と、フランジ711A、アパーチャ板714と、レンズ716から構成されている。アパーチャ板714は、開口部であるアパーチャ715が中央に形成された円板である。アパーチャ板714は、円筒部713と一体でもよいし、別部材でもよい。アパーチャ板714は、円筒部713のホルダ61側の開口部を封止している。フランジ711Aは円筒部713のアパーチャ板714と反対側の外周に設けられ、円筒部713を基板712に固定する。アパーチャ板714の発光ダイオード73に対向する面及び円筒部713の内側の面は、黒色、または表面に微細な凹凸が多数形成された散乱面になっており、反射光の光強度は大きく減衰する。
レンズ716は、凸面が測定用光センサ72を向く凸レンズである。レンズ716は、アパーチャ板714の発光ダイオード73と対向する面と反対側の面に固定されている。図8に示すように、発光ダイオード73の発光面73Aは、レンズ716の光軸上かつ焦点距離fの位置に設けられている。レンズ716の光軸はアパーチャ715の中心を通る。図7に示すように、発光ダイオード73の発光面73Aから発光された光731がアパーチャ板714のアパーチャ715を通過してレンズ716に入り、平行光732となる。平行光732の光軸が光軸733Aである。光軸733Aは、第一軸心A1と交差する前後方向に延びる。レンズ716とホルダ61との間には、ビームスプリッタ717が光軸733Aに対して45度に傾斜して設けられている。また、光源部71は、ビームスプリッタ717により反射された反射光734を受光する制御用光センサ721が設けられている基板720を備える。制御用光センサ721は、一例としてフォトダイオード又はフォトトランジスタであり、反射光734を受光して、発光ダイオード73の発光状態を検出する。
次に、図8を参照して、アパーチャ715及びアパーチャ694の開口形状を決める条件の一例について説明する。以下の例では、アパーチャ715及びアパーチャ694の開口形状は、一例として円形である。発光ダイオード73の両端の距離が、DLEDである。すなわち、光軸733A、および第一軸心A1と直交する左右方向に於ける発光ダイオード73の径がDLEDである。レンズ716の焦点距離がfである。発光ダイオード73の発光面73Aからアパーチャ694までの距離がL1である。アパーチャ694から測定用光センサ72の受光面72Aまでの距離がL2である。アパーチャ715の左右方向に於ける開口径がDBEAMである。アパーチャ694の左右方向に於ける開口径がDSMPである。発光面73Aの右端部から出力された光733Bと発光面73Aの左端部から出力された光733Cとのアパーチャ板69上に於ける幅がDSPである。測定用光センサ72の受光面72Aの両端の距離が、DPDである。すなわち、光軸733A、および第一軸心A1と直交する左右方向に於ける測定用光センサ72の受光面72Aの径がDPDである。また、第一軸心A1から光軸733Aまでの距離がRである。
一例として、DLEDが0.15mmであり、fが12mmであり、L1が73mmであり、L2が75mmである。DBEAMが6mmである。DSMPが1mmであり、DSPが6mmであり、Rが48mmである。
図13に示すホルダ61の停止位置が、既定の測定位置である。この既定の測定位置において、ホルダ61のアパーチャ板69は、発光ダイオード73から発光されて測定用光センサ72に向かう光軸733Aに直交する位置である。また、図14に示すホルダ61の位置が、既定の測定位置よりもずれて停止した位置の一例である。この状態では、ホルダ61のアパーチャ板69が発光ダイオード73から発光されて測定用光センサ72に向かう光軸733Aに直交していない。ホルダ61の公転における停止位置の所定角度の誤差は、DCモータである主軸モータ35の停止精度により生じる。例えば、停止位置の誤差は、0.5度である。また、ホルダ61の公転における停止位置の所定角度の誤差は、主軸モータ35からターンテーブル33までの機構の組み付けの精度に基づき決まる。例えば停止位置の誤差は、1度である。また、ホルダ61の自転中心である第二軸心A2から測定部80の距離が15mmである。
ホルダ61が公転における既定の測定位置からすれた場合でも測定が正しく行えるアパーチャ715及びアパーチャ694の開口形状の条件は、以下の条件(1)及び(2)により決まる。
条件(1):DBEAM>DSP
条件(2):DBEAM−DSP>DSMP
図8及び図9に示すように、この場合には、発光面73Aの右端部から出力された光733Bと発光面73Aの左端部から出力された光733Cとの、既定の測定位置におけるアパーチャ板69上に於ける幅DSPは、アパーチャ715の開口径DBEAMより小さい。従って、図9に示すDBEAMとDSPとの差分の領域DHOMOは、光量分布が均一になる。この結果、図14に示すように、ホルダ61の停止位置が既定の測定位置からずれても、ホルダ61側のアパーチャ694を通過する光の量の変動が少なくなる。DBEAM−DSPがアパーチャ694の開口径DSMPより小さい検査装置においては、ホルダ61の停止位置が既定の測定位置からずれると、光量の変化が大きい図9に示す左右方向の両端のDSP領域をアパーチャ694の開口径DSMPが含まなくなり、アパーチャ694を通過する光の量の変動が、停止位置が既定の測定位置になった場合とずれた場合とで大きくなる可能性が高い。一方、本実施形態においては、図14に示すように、ホルダ61の停止位置が既定の測定位置からずれても、DBEAM−DSPがアパーチャ694の開口径DSMPより大きいので、この光量分布が均一な領域DHOMOにアパーチャ694の開口径DSMPが含まれる可能性がある。従って、DBEAM−DSPがアパーチャ694の開口径DSMPより大きい条件下では、図14に示すように、検査チップ2のホルダ61が既定の測定位置からずれて停止しても、アパーチャ694に照射される光の光量分布が均一になりやすい。よって、ホルダ61のアパーチャ694を通過する光の量の変化が少なくなる。従って、測定結果が安定し、測定精度を向上できる。
また、測定用光センサ72の受光面72Aの光軸733Aと直交する方向に於ける径DPDの大きさは、以下の条件(3)により決まる。
条件(3):DPD>(L2・DLED/f)+DSMP
以下、条件(3)について説明する。図8に示すように、レンズ716とアパーチャ694との間において、光軸733Aと、発光面73Aの左端部から出力され、レンズ716の中心716Aを通過した光733Cとの角度をθとする。また、光軸733Aと、発光面73Aの右端部から出力され、レンズ716の中心716Aを通過した光733Bとの角度も同様にθになる。従って、測定用光センサ72の受光面72Aに投射される測定光735の左右方向に於ける最大径は、2L2・tanθ+DSMPである。
図8に示すように、
tanθ=(DLED/2)/f=DLED/2fであるので、
2L2・tanθ=2L2・DLED/2f=L2・DLED /f
アパーチャ694の開口径がDSMPであるので、測定用光センサ72の受光面72Aに照射される光の光軸733Aと直交する方向に於ける最大径は、
(L2・DLED /f)+DSMPである。
従って、測定用光センサ72の受光面72Aの光軸733Aと直交する方向に於ける径がDPDが(L2・DLED /f)+DSMPより大きければ、ホルダ61側のアパーチャ694を通過した光量分布が均一な光を全て測定用光センサ72の受光面72Aで受光することができる。従って、条件(3)を満たせば、測定用光センサ72の測定結果が安定し、測定精度を向上できる。
<8.検査方法の一例>
検査装置1及び検査チップ2を用いた検査方法について説明する。図4に示すように、検体定量流路11の保持部111に検体17が配置される。試薬定量流路13の保持部111に第一試薬18が配置される。試薬定量流路15の保持部111に第二試薬19が配置される。
ユーザは、第一自転角度であり、開閉部79が開放位置にあるホルダ61の上側から、ホルダ開口部75を介して装着部74に検査チップ2を配置する。これによって、図5及び図6に示すように、検査チップ2がホルダ61によって支持される。ユーザは、開閉部79を図5に示す二点鎖線の開放位置から図5に示す実線の閉鎖位置に回転させる。
はじめに、図10のフローチャートを参照して、フィードバック制御について説明する。フィードバック制御においては、発光ダイオード73から発光される光731の一部をビームスプリッタ717が反射する。ビームスプリッタ717により反射された反射光734が制御用光センサ721に入射する。CPU91は、制御用光センサ721の検出電圧値に基づいて、発光ダイオード73の発光状態を一定範囲に制御する。図10に示すフィードバック制御のプログラムは、ROM93に記憶されている。ユーザが操作部94から処理開始のコマンドを入力すると、CPU91は、ROM93に記憶されているフィードバック制御のプログラムに基づいて、フィードバック制御を実行する。このフィードバック制御は、図11及び図12に示す測定処理が終了するまで常時実行される。以下の説明では、制御用光センサ721の検出電圧の目標値であるFeedback Photo Detector目標値を「F−PD目標値」という。
はじめにCPU91は、F−PD目標値をROM93から読み込む(S1)。以下、F−PD目標値について説明する。測定用光センサ72が安定的に光を測定できる光の強さの範囲が決まっている。この光の強さの範囲における測定用光センサ72の検出電圧になった際の発光ダイオード73の駆動電流が決まっている。この駆動電流が発光ダイオード73に流れた際に制御用光センサ721で検出される検出電圧値がF−PD目標値である。即ち、CPU91は、制御用光センサ721で検出される検出電圧値がF−PD目標値となるように発光ダイオード73の駆動電流を調整すれば、測定用光センサ72が安定的に発光ダイオード73からの光の強さを測定できる。次いで、CPU91は、測定コントローラ99を制御して、発光ダイオード73の駆動電流を調整する(S2)。例えば、CPU91は、最初、駆動電流をROM93に記憶されている基準の電流値に設定する。次いで、CPU91は、制御用光センサ721の検出電圧であるF−PD電圧がF−PD目標値の所定の範囲内か否かを判断する(S3)。所定の範囲は、例えば、F−PD目標値のプラス・マイナス0.05%である。F−PD目標値は、例えば、発光ダイオード73、制御用光センサ721、測定用光センサ72、及びビームスプリッタ717の各特性と、発光ダイオード73と測定用光センサ72との距離、制御用光センサ721とビームスプリッタ717との距離等により決まっていてもよい。F−PD電圧がF−PD目標値の所定の範囲内の場合には(S3:YES)、CPU91は、発光ダイオード73の駆動電流であるLED電流の値を変えずに発光ダイオード73を発光し(S4)、処理をS3の判断処理に移行する。F−PD電圧がF−PD目標値の所定の範囲内でない場合には(S3:NO)、CPU91は、測定コントローラ99を制御して、発光ダイオード73の駆動電流を調整する(S2)。具体的には、F−PD電圧がF−PD目標値より高い場合には、CPU91は、測定コントローラ99を制御して、発光ダイオード73の駆動電流を所定量だけ減少する(S2)。F−PD電圧がF−PD目標値より低い場合には、CPU91は、測定コントローラ99を制御して、発光ダイオード73の駆動電流を所定量だけ増やす(S2)。次いで、CPU91は、処理をS3の判断処理に移行する。図11及び図12に示す測定処理が終了すると、フィードバック制御は終了する。上記S1〜S4のフードバック制御により、制御用光センサ721で検出される検出電圧値がF−PD目標値となるように発光ダイオード73の駆動電流を調整されるので、測定用光センサ72が安定的に光の強さを測定できる。
次に、図11及び図12に示すフローチャートを参照して測定処理について説明する。図11及び図12に示す測定処理のプログラムは、ROM93に記憶されている。ユーザが操作部94から測定処理開始のコマンドを入力すると、CPU91は、ROM93に記憶されている測定処理のプログラムに基づいて、測定処理を実行する。はじめに、CPU91は、制御用光センサ721の検出電圧であるF−PD電圧がF−PD目標値に到達したか否かを判断する(S11)。例えば、F−PD電圧がF−PD目標値のプラス・マイナス0.05%内の値に到達した場合には、CPU91は、F−PD電圧がF−PD目標値に到達したと判断する(S11:YES)。CPU91は、F−PD電圧が目標値に到達したと判断しない場合には(S11:NO)、再度、S11の判断処理を行う。CPU91は、F−PD電圧が目標値に到達したと判断した場合には(S11:YES)、CPU91は、公転コントローラ97及び自転コントローラ98を制御して、ホルダ61を図13に示す光学測定位置に移動する(S12)。尚、この光学測定位置の移動は、図示しないエンコーダからの信号に基づき、実行される。CPU91は、測定コントローラ99を制御して、測定用光センサ72の検出電圧がROM93に記憶されている測定物閾値以内か否かを判断する(S13)。この判断は、検査チップ2が正しくホルダ61に装着され、測定部80に検査対象の液体が有るか否かを判断するものである。CPU91は、測定用光センサ72の検出電圧が測定物閾値以内であると判断した場合には(S13:YES)、CPU91は、制御用光センサ721の検出電圧であるF−PD電圧がF−PD目標値以内か否かを判断する(S14)。例えば、F−PD電圧がF−PD目標値のプラス・マイナス0.05%内の値に到達した場合には、CPU91は、F−PD電圧がF−PD目標値以内と判断する(S14:YES)。CPU91は、制御用光センサ721の検出電圧であるF−PD電圧がF−PD目標値以内でないと判断した場合には(S14:NO)、S14の処理を繰り返す。CPU91は、F−PD電圧がF−PD目標値の例えばプラス・マイナス0.05%内の目標値に到達した場合には(S14:YES)、発光ダイオード73の発光状態が安定しているので、測定用光センサ72の出力電圧値であるPhoto Detector値(以下、「PD値」という)を取得する(S15)。
次いで、図12に示すように、CPU91は、遠心処理を行う(S21)。具体的には、CPU91は、HDD95に予め記憶されているモータの駆動情報を読み込み、公転コントローラ97に主軸モータ35の駆動情報をセットし、自転コントローラ98にステッピングモータ51の駆動情報をセットする。次いで、CPU91が公転コントローラ97を制御し、主軸モータ35の駆動を開始する。また、CPU91は自転コントローラ98を制御し、ステッピングモータ51を駆動する(S21)。この遠心処理により、検体定量流路11の保持部111に配置された検体17が所定量計量され、試薬定量流路13の保持部111配置された第一試薬18も所定量計量され、混合されて測定部80に溜まる。
次いで、CPU91は、公転コントローラ97を制御して、主軸モータ35の軸36を回転させ、ホルダ61を光学測定位置に移動する(S22)。また、CPU91は、自転コントローラ98を制御して、ステッピングモータ51の軸58を原点位置に移動する(S22)。従って、図13に示すように、ホルダ61を測定位置に移動する。図13に示すホルダ61の位置が、既定の測定位置であり、ホルダ61のアパーチャ板69が発光ダイオード73から発光されて測定用光センサ72に向かう透過光733に直交する位置である。また、図14に示すホルダ61の位置が既定の測定位置よりもずれて停止した位置の一例である。この状態では、ホルダ61のアパーチャ板69が発光ダイオード73から発光されて測定用光センサ72に向かう透過光733に直交していない。S22の処理により、ホルダ61は測定位置に移動するが、既定の測定位置に移動する場合もあれば、DCモータである主軸モータ35の停止精度により、規定の測定位置からずれて停止される可能性もある。
次いで、CPU91は、サンプリング処理を行う(S23)。このサンプリング処理は、測定用光センサ72により検出されたデータを取得する処理である。具体的には、測定用光センサ72の検出値の時間変化が測定結果として使用されるので、所定の期間において、測定用光センサ72により検出されたデータを取得し、所定の期間過ぎたら、次のステップに進むという処理である。次いで、CPU91は、公転コントローラ97を制御し、主軸モータ35を原点位置に移動する(S24)。次いで、CPU91は、処理を終了する。
また、CPU91は、S13の判断処理で、測定部閾値以内では無いと判断した場合には(S13:NO)、測定用光センサ72の検出値が測定物閾値より大か否かを判断する(S16)。CPU91は、測定用光センサ72の検出値が測定物閾値より大と判断した場合には(S16:YES)、ホルダ61には検査チップ2が無いと判断されるので、CPU91は、ディスプレイ96に「測定物なし」と表示して通知する(S17)。また、CPU91は、測定用光センサ72の検出値が測定物閾値より大と判断できない場合には(S16:NO)、ホルダ61には検査チップ2が正しく挿入されていないと考えられるので、ディスプレイ96に「測定物異常」と表示して通知する(S18)。その後、CPU91は、処理をS24に移行する。CPU91は、公転コントローラ97を制御し、主軸モータ35の原点位置に移動する(S24)。次いで、CPU91は、処理を終了する。
<9.本実施形態の主たる作用・効果>
以上のように本実施形態における検査装置1による検査が行われる。本実施形態においては、条件(1):DBEAM>DSP及び条件(2):DBEAM−DSP>DSMPを満たすので、図9に示すDBEAMとDSPとの差分の領域DHOMOは、光量分布が均一になる。図14に示すように、ホルダ61の停止位置が既定の測定位置からずれても、光量分布が均一な領域DHOMOにアパーチャ694の開口径DSMPが含まれる可能性が高くなる。従って、DBEAM−DSPがアパーチャ694の開口径DSMPより大きい条件下では、図14に示すように、検査チップ2のホルダ61が既定の測定位置からずれて停止しても、アパーチャ694に照射される光の光量分布が均一になりやすい。よって、ホルダ61のアパーチャ694を通過する光の量の変化が少なくなる。従って、測定結果が安定し、測定精度を向上できる。
また、本実施形態においては、条件(3)を満たすので、ホルダ61側のアパーチャ694を通過した均一な光量分布の光を全て測定用光センサ72の受光面72Aで受光することができる。従って、測定用光センサ72の測定結果が安定し、測定精度を向上できる。
また、本実施形態においては、ビームスプリッタ717を備えているので、制御用光センサ721により発光ダイオード73からの光の一部を受光して、発光ダイオード73からの光の強度を検出できるので、発光ダイオード73からからの光の強度を安定させるように精密に制御することができる。
また、本実施形態においては、発光ダイオード73と測定用光センサ72との間に検査チップ2が存在しても、制御用光センサ721は、発光ダイオード73からの光を検査チップ2を透過せずに受光できる。制御装置90が制御用光センサ721により受光された光の強度に基づいて、発光ダイオード73の発光量が常に一定になるように制御するので、発光ダイオード73が発光する光の強度を安定させることができる。従って、測定用光センサ72の測定結果が安定し、測定精度を向上できる。
また、本実施形態においては、ROM93に目標電圧値を記憶しておくことにより、制御装置90が発光ダイオード73の発光量が一定になるように制御するので、発光ダイオード73が発光する光の強度を安定させることができる。従って、測定結果が安定し、測定精度を向上できる。
上記実施形態において、ホルダ61は本発明の「ホルダ」の一例である。発光ダイオード73は本発明の「発光部」の一例である。測定用光センサ72は本発明の「測定用受光部」の一例である。アパーチャ694は本発明の「ホルダ側アパーチャ」の一例である。アパーチャ板69は本発明の「ホルダ側アパーチャ板」の一例である。アパーチャ板714は本発明の「発光部側アパーチャ板」の一例である。アパーチャ715は本発明の「発光部側アパーチャ」の一例である。ROM93が本発明の「目標電圧値を記憶する記憶部」の一例である。CPU91が、本発明の「制御部」の一例である。ビームスプリッタ717が、本発明の「スプリッタ」の一例である。
なお、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更が可能である。例えば、ビームスプリッタ717は必ずしも設けなくても良い。また、ビームスプリッタ717の光の透過と反射の割合は、50:50でも良いし、それ以外の割合でも良い。ビームスプリッタ717の光の透過と反射の割合に応じて、目標電圧値が設定される。また、アパーチャ715及びアパーチャ694の開口形状は、円形に限られず、楕円等でもよい。主軸モータ35の停止位置の誤差により生じるホルダ61の停止位置のずれである公転誤差を考慮した場合には、アパーチャ715及びアパーチャ694の開口形状は、横長の楕円が望ましい。また、ステッピングモータ51の停止位置の誤差により生じるホルダ61の停止位置のずれである自転誤差を考慮した場合には、アパーチャ715及びアパーチャ694の開口形状は、縦長の楕円が望ましい。本実施の形態では、ホルダ61は、2個設けられていたが、4個、6個等設けられていてもよい。
1 検査装置
2 検査チップ
3 検査システム
61 ホルダ
69 アパーチャ板
71 光源部
72 測定用光センサ
73 発光ダイオード
90 制御装置
93 ROM
694 アパーチャ
714 アパーチャ板
715 アパーチャ
716 レンズ
717 ビームスプリッタ
721 制御用光センサ









Claims (5)

  1. 試料液が注入された検査チップを支持可能なホルダが第一軸心を中心に公転されることで前記試料液に遠心力が付与される検査装置であって、
    公転される前記ホルダの公転軌道外に配置され、前記第一軸心と交差する方向に光軸を有する光を発光する発光部と、
    前記発光部から焦点距離だけ離れ、前記光の光軸が焦点を通過する位置に設けられたレンズと、
    前記発光部と前記レンズとの間に設けられ、中心が前記光軸を通過する位置に開口し、開口径が第一距離である発光部側アパーチャを有する発光部側アパーチャ板と、
    前記ホルダに設けられ、前記発光部側アパーチャ、および前記レンズを通過した光の内の一部の光を通過させるホルダ側アパーチャを有するホルダ側アパーチャ板と、
    前記ホルダ側アパーチャを通過した光を受光する測定用受光部と、
    前記第一軸心を中心に前記ホルダを公転させ、前記レンズと前記測定用受光部との間であって、前記光軸が前記ホルダ側アパーチャを通過する位置に前記ホルダを停止する公転機構とを備え、
    前記ホルダ側アパーチャ板が前記光軸と直交する位置において、前記光軸及び前記第一軸心に直交する直交方向における前記発光部の両端から出力され前記レンズの中心を通る光の幅は、前記第一距離より短く、
    前記ホルダ側アパーチャの開口径である第二距離は、前記第一距離から前記光の幅を差し引いた値より短いことを特徴とする検査装置。
  2. 前記直交方向における前記測定用受光部の両端の距離がDPD、前記ホルダ側アパーチャ板と前記測定用受光部との間隔がL2、前記直交方向における前記発光部の両端の距離がDLED、前記第二距離がDSMPである場合に、
    PD>(L2・DLED/f)+DSMP
    であることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
  3. 前記レンズと、前記ホルダ側アパーチャ板が前記光軸と直交する位置に配置される前記ホルダとの間、かつ前記公転軌道外に設けられ、前記発光部からの光の一部を反射し、一部を透過するスプリッタと、
    前記スプリッタにより反射された光を受光する制御用受光部と
    を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の検査装置。
  4. 前記制御用受光部により受光された光の強度に基づいて、前記発光部の発光量が一定になるように制御する制御部を備えたことを特徴とする請求項3に記載の検査装置。
  5. 前記測定用受光部で検出される電圧が所定範囲内である際に、制御用受光部で検出される目標電圧値を予め記憶する記憶部を備え、
    前記制御部は、前記記憶部から前記目標電圧値を読み出し、前記制御用受光部からの出力電圧値と前記目標電圧値とを比較し、両電圧値の差が所定範囲より大きい場合には、前記発光部に流す電流値を変更して、前記差が前記所定範囲内になるように制御することを特徴とする請求項4に記載の検査装置。
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