JP2016191647A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】受光部で受光される光の光量の変動を小さくさせることができる検査装置を提供すること。【解決手段】検査装置は、光源部７１、主軸モータ、ステッピングモータ、ホルダ６１、測定用光センサ７２を備えている。光源部７１は、発光ダイオード７３、アパーチャ７１５が形成されたアパーチャ板７１４と、レンズ７１６を備え、ホルダ６１は、ホルダ側アパーチャ６９４が形成されたアパーチャ板６９を備える。測定用光センサ７２の受光光量は、制御用光センサ７２１の受光光量よりも大きい。従って、制御用受光回路の増幅回路の増幅率が測定用受光回路の増幅回路の増幅率よりも大きくなる。その結果、制御用受光回路の受光光量の変動に対する感度は、測定用受光回路の受光光量の変動に対する感度よりも高くなる。従って、発光部から発光される光の光量の変動を低下させることができる。【選択図】図７

Description

本発明は、検査対象物の検査を行うための検査チップを支持するホルダが回転され、遠心力によって液体が送液される検査装置に関する。

従来、マイクロチップ又は検査チップと呼ばれる検査対象受体を遠心処理して、生体物質および化学物質等を検査する検査装置が知られている。例えば、特許文献１に開示の検査装置においては、検査対象受体を保持した受体ホルダが公転されることで、検査対象受体に遠心力が付与される。検査対象受体に注入された検体及び試薬は、遠心力により検査対象受体上の流路を経由して貯留部に流入して攪拌される。その後、発光部から発光され検査対象受体上の流路の延設方向と直交する方向に延びる光が検査対象受体の貯留部を透過する。この貯留部を透過した光が受光部で受光されることで、検査結果が得られる。

特許文献２に開示の分析装置は、試料である血漿あるいは血清中の総コレステロール成分の濃度を測定する場合に、酵素法にて反応し呈色した測定対象物における光源から測定対象物への入射光量に対する出射光量の割合の対数、いわゆる吸光度から総コレステロール成分の濃度を換算する。入射光は、光源と分析用媒体の間に配置されたハーフミラーで分割され、一方は参照用検出器にて受光される。この参照用検出器にて受光された光は、Ｉ−Ｖ増幅器、Ａ／Ｄコンバータなどで構成された信号処理手段により処理され、入射光量に相当する電圧値が求められる。もう一方の光は、分析媒体中の測定対象物を照射し、測定対象物を通過した光は検出器にて受光される。検出器にて受光された光は、信号処理手段により処理されて出射光量に相当する電圧値として求められる。この入射光量の電圧値と出射光量の電圧値により吸光度が求められる。

特開２０１３−７９８１１号公報 特開２００７−１７３１０号公報

特許文献１に開示の検査装置では、測定精度を上げるため、発光部から発光される光の光量の変動を小さくして、受光部で受光される光量の変動を小さくするのが望ましい。
また、特許文献２に記載された参照用検出器にて受光された光に基づき、発光部から発光される光の光量が調節されるのが望ましい。特許文献１に開示の検査装置に特許文献２に開示のハーフミラー及び参照用検出器を適用した場合には、ハーフミラーの反射率が透過率よりも大きい、またはハーフミラーと受光部との間にアパーチャが設けられると、受光部に入射する光量より、参照用検出器に入射する光量が大きくなる。このため、受光部が受光した光から得られる検出値と、参照用検出器が受光した光から得られる検出値を同じ程度にして測定精度を上げる為に、参照用検出器側の増幅回路の増幅度を、受光部側の増幅回路の増幅度よりも小さくすることが考えられる。その結果、参照用検出器側の信号処理手段の光量の変動に対する感度は、受光部側の信号処理手段の光量の変動に対する感度よりも鈍くなる。これにより、参照用検出器側の信号処理手段の光量が変動していないにもかかわらず、受光部側の信号処理手段の光量が大きく変動する可能性がある。従って、受光部で受光される光の光量の変動を小さくさせることができないという問題点があった。

本発明の目的は、受光部で受光される光の光量の変動を小さくさせることができる検査装置を提供することである。

本発明に係る検査装置は、試料液が注入された検査チップを支持可能なホルダが第一軸線を中心に公転されることで前記試料液に遠心力が付与される検査装置であって、公転される前記ホルダの公転軌道外に配置され、光を発光する発光部と、前記ホルダに設けられ、前記発光部から発光された光の内の一部の光を通過させるホルダ側アパーチャを有するホルダ側アパーチャ板と、前記ホルダ側アパーチャを通過した光を受光する測定用受光部と、前記第一軸線を中心に前記ホルダを公転させ、前記発光部と前記測定用受光部との間であって、前記光の光軸が前記ホルダ側アパーチャを通過する位置に前記ホルダを停止する公転機構と、前記発光部と、前記ホルダ側アパーチャ板が前記光軸と直交する位置に前記公転機構により配置される前記ホルダとの間、かつ前記公転軌道外に設けられ、前記発光部からの光の一部を反射し、一部を透過するスプリッタと、前記スプリッタからの光を受光する制御用受光部と、前記制御用受光部の出力を増幅する制御用増幅回路と、前記測定用受光部の出力を増幅する測定用増幅回路と、前記制御用増幅回路の出力に基づいて前記発光部の発光光量を制御する発光制御部とを備え、前記スプリッタ、前記制御用受光部、前記測定用受光部、前記ホルダ側アパーチャは、前記測定用受光部の受光光量が前記制御用受光部の受光光量よりも大きくなるように構成され、前記制御用増幅回路の増幅率が前記測定用増幅回路の増幅率以上であることを特徴とする。

制御用増幅回路の増幅率が測定用増幅回路の増幅率以上であるので、制御用増幅回路からの出力値が一定であれば、測定用増幅回路からの出力値も一定になるので、出力値の変動幅が小さくなり、測定結果が安定する。さらに、前記測定用受光部の受光光量が前記制御用受光部の受光光量よりも大きいので、測定用受光部の受光光量が小さくなることによる測定精度の低下を低減できる。

前記検査装置において、前記スプリッタの透過率Ｔが、前記スプリッタの反射率Ｒよりも大きいものが用いられてもよい。この場合には、透過率Ｔが反射率Ｒよりも大きいスプリッタが使用されることにより、測定用受光部の受光光量が制御用受光部の受光光量よりも大きくなる。簡単な構成で測定用受光部の受光光量が制御用受光部の受光光量よりも大きくできる。

前記検査装置において、前記測定用受光部の受光光量から電流への変換効率ｂが、前記制御用受光部の受光光量から電流への変換効率ａよりも大きくてもよい。測定用受光部の変換効率ｂが制御用受光部の変換効率ａよりも高いものが採用されることにより、制御用増幅回路の増幅率を測定用増幅回路の増幅率以上に設定できる。

前記検査装置において、前記制御用受光部の受光面積Ａ_ＦＰＤが、前記ホルダ側アパーチャの開口面積Ａ_ＡＰより小さくてもよい。この場合には、制御用受光部の受光面積Ａ_ＦＰＤがホルダ側アパーチャの開口面積Ａ_ＡＰより小さくなることで、測定用受光部の受光光量Ｐ_ＰＤを制御用受光部の受光光量Ｐ_ＦＰＤよりも大きくできる。

前記検査装置において、前記制御用受光部と前記スプリッタとの間に、開口面積が前記ホルダ側アパーチャの開口面積よりも小さい制御部側アパーチャを有する制御部側アパーチャ板を備えてもよい。この場合には、制御用受光部の受光面積がホルダ側アパーチャの開口面積より大きい受光素子しかない場合に有効である。

前記検査装置において、前記測定用増幅回路から出力される電圧値の変動量に基づいて、前記制御用増幅回路の増幅率を変更する増幅率制御部を備え、前記増幅率制御部は、記憶部に予め記憶された前記測定用受光部で検出される電圧値の変動量の目標値を読み出し、前記変動量と比較する比較手段と、前記比較手段により、前記変動量が前記目標値の範囲内から外れる場合には、前記制御用増幅回路の増幅率を変更するようにしてもよい。この場合には、測定用受光部で検出される電圧値の変動量に基づいて、制御用増幅回路の増幅率を変更することができるので、制御用増幅回路の増幅率が自動調整される。従って、発光部から発光される光の光量の変動を自動で低下できる。

前記検査装置において、前記制御用増幅回路は、オペアンプの非反転増幅回路から構成され、前記非反転増幅回路の反転入力端子（−）に接続された接地抵抗（Ｒ１）と、
前記非反転増幅回路の非反転入力端子（＋）と出力端子間に接続されるフィードバック抵抗（Ｒ２）とを備え、前記増幅率制御部は、前記フィードバック抵抗（Ｒ２）の抵抗値を増加させることにより、前記制御用増幅回路の増幅率を増加させるようにしてもよい。この場合には、増幅率制御部は、フィードバック抵抗（Ｒ２）の抵抗値を増加させることで、容易に制御用増幅回路の増幅率を増加させることができる。従って、簡単な回路で、制御用増幅回路の増幅率を増加させることがでる。従って、発光部から発光される光の光量の変動を自動で低下できる。

ホルダ６１が第一自転角度にある場合における検査システム３の構成を示す正面図である。 ホルダ６１が第二自転角度にある場合における検査システム３の構成を示す正面図である。 検査装置１の平面図と制御装置９０の構成を示す図である。 検査チップ２の正面図である。 検査チップ２を支持したホルダ６１の正面図である。 検査チップ２を支持したホルダ６１の背面図である。 図３に示す切断線でＸ１−Ｘ１方向に切断した光源部７１、ホルダ６１及び測定用光センサ７２の横断面である。 測定用受光回路１０１及び制御用受光回路１０２に各々内蔵されるＩ−Ｖ変換回路１２０及び増幅回路１３０の回路図である。 光源部７１、ホルダ６１及び測定用光センサ７２の変形例の横断面である。 増幅回路の増幅率調整処理フローチャートである。 フィードバック制御のフローチャートである。 測定処理の前半のフローチャートである。 測定処理の後半のフローチャートである。

本発明を具体化した実施形態について、図面を参照して説明する。尚、図３は、検査システム３を構成する検査装置１の平面図及び制御装置９０の内部の機能ブロックを示している。

＜１．検査システム３の概略構造＞
図１〜図３を参照して、検査システム３の概略構造について説明する。本実施形態の検査システム３は、液体である検体及び試薬を収容可能な検査チップ２と、検査チップ２を用いて検査を行う検査装置１とを含む。検査チップ２は、検査装置１のホルダ６１に支持される。検査装置１がホルダ６１と検査チップ２とから離間した垂直方向の第一軸線Ａ１を中心としてホルダ６１及び検査チップ２を回転させると、遠心力がホルダ６１及び検査チップ２に作用する。検査装置１が第一軸線Ａ１に直交する水平方向の第二軸線Ａ２を中心にホルダ６１及び検査チップ２を回転させると、ホルダ６１及び検査チップ２に作用する遠心力の方向である遠心方向が検査チップ２に対して切り替えられる。

＜２．検査装置１の構造＞
図１〜図３を参照して、検査装置１の構造について説明する。以下の説明では、図１及び図２の上方、下方、右方、左方、紙面手前側、及び紙面奥側を、夫々、検査装置１の上方、下方、右方、左方、前方、及び後方とする。本実施形態では、第一軸線Ａ１の方向は検査装置１の上下方向であり、第二軸線Ａ２の方向は、ホルダ６１及び検査チップ２が第一軸線Ａ１を中心として回転される際の速度の方向である。なお、図３は検査装置１の上部筐体３０の天板が取り除かれた状態を示す。

図１及び図２に示すように、検査装置１は、上部筐体３０、下部筐体３１、上板３２、ターンテーブル３３、角度変更機構３４、ホルダ６１、及び制御装置９０を備える。ターンテーブル３３は、後述する上板３２の上側に回転可能に設けられた円盤である。検査チップ２は、ターンテーブル３３の上方に配置されたホルダ６１に支持される。角度変更機構３４は、ターンテーブル３３に設けられた駆動機構である。この角度変更機構３４は、第二軸線Ａ２を中心にホルダ６１を回転させることで検査チップ２を回転させる。上部筐体３０は、後述する上板３２に固定されており、検査チップ２に対して光学測定を行う図３に示す測定部７が内部に設けられている。制御装置９０は、検査装置１の各種処理を制御するコントローラである。

下部筐体３１の概略構造を説明する。図１及び図２に示すように、下部筐体３１は、枠部材を組み合わせた箱状のフレーム構造を有する。下部筐体３１の上面には、長方形の板材である上板３２が設けられている。下部筐体３１の内部には、第一軸線Ａ１を中心にターンテーブル３３を回転させる駆動機構が、次のように設けられている。

下部筐体３１内の左方寄りに、ターンテーブル３３を回転させるための駆動力を供給する主軸モータ３５が設置されている。主軸モータ３５の軸３６は、上方に突出しており、プーリ３７が固定されている。下部筐体３１の中央部には、下部筐体３１の内部から上方に延びる垂直な主軸５７が設けられている。主軸５７は、上板３２を貫通して、下部筐体３１の上側に突出している。主軸５７の上端部は、ターンテーブル３３の中央部に接続されている。

主軸５７は、上板３２の直下に設けられた支持部材５３により、回転自在に保持されている。支持部材５３の下側では、主軸５７にプーリ３８が固定されている。プーリ３７とプーリ３８とに亘って、ベルト３９が掛け渡されている。主軸モータ３５が軸３６を回転させると、プーリ３７、ベルト３９、及びプーリ３８を介して駆動力が主軸５７に伝達される。このとき、主軸５７の回転に連動して、ターンテーブル３３が主軸５７を中心に回転する。

下部筐体３１内の右方寄りに、下部筐体３１の内部において上下方向に延びるガイドレール５６が設けられている。Ｔ型プレート４８は、ガイドレール５６に沿って下部筐体３１内において上下方向に移動可能である。

先述の主軸５７は、内部が中空の筒状体である。内軸４０は、主軸５７の内部において上下方向に移動可能な軸である。図３に示すように、内軸４０は、上方から見て四角形である。図１及び図２に示すように、内軸４０の上端部は、主軸５７内を貫通してターンテーブル３３の上方に延び、後述する一対のラックギア４３に接続されている。Ｔ型プレート４８の左端部には、軸受４１が設けられている。軸受４１の内部では、内軸４０の下端部が回転自在に保持される。

Ｔ型プレート４８の前方には、Ｔ型プレート４８を上下動させるためのステッピングモータ５１が固定されている。ステッピングモータ５１の軸５８は後方に向けて突出している。軸５８の先端には、円盤状のカム板５９が固定されている。カム板５９の後側の面には、円柱状の突起７０が設けられている。突起７０の先端部は、溝部８３に挿入されている。突起７０は、溝部８３内を摺動可能である。ステッピングモータ５１が軸５８を回転させると、カム板５９の回転に連動して突起７０が上下動する。このとき、溝部８３に挿入されている突起７０に連動して、Ｔ型プレート４８がガイドレール５６に沿って上下動する。

角度変更機構３４の詳細構造を説明する。角度変更機構３４は、一対のラックギア４３を備えている。一対のラックギア４３は、金属製の板状部材である。図３に示すように、一対のラックギア４３は、夫々、内軸４０における互いに対向する面の上端に固定される。一方のラックギア４３は、上側から見て内軸４０から一方向側に延び、他方のラックギア４３は、一方向側とは反対側に延びる。図１に示すように、一対のラックギア４３における内軸４０側とは反対側の端部には、ギア４３１が上下方向に形成されている。ラックギア４３は、内軸４０の上下動に伴って上下動する。

図３に示すように、上側から見て各ラックギア４３の時計回り方向側には、夫々、支持部４７が設けられている。支持部４７は、ホルダ６１を回転可能に支持する。より詳細には、図１及び図２に示すように、支持部４７は、２つの円柱部４７１、延伸部４７２、及び支軸４７３を備えている。２つの円柱部４７１は、ラックギア４３に沿って並べて配置され、上下方向に延びる。延伸部４７２は、円柱部４７１の上端から、ラックギア４３に沿って内軸４０から離れる方向に延び、その先端が支軸４７３を固定する。支軸４７３は、上側から見て時計回り方向側に延び、その先端が、ホルダ６１に形成された後述するギア部７６の内側に配置されている。支軸４７３とギア部７６との間には、図６に示す軸受４７９が配置されている。ギア部７６は、ラックギア４３のギア４３１と噛み合っている。ラックギア４３の上下動に伴ってギア部７６が支軸４７３を中心に回転することで、ホルダ６１が回転する。故に、ホルダ６１に保持された検査チップ２が支軸４７３を中心に回転する。

本実施形態では、主軸モータ３５がターンテーブル３３を回転駆動するのに伴って、ホルダ６１及び検査チップ２が垂直軸である内軸４０を中心に回転して、ホルダ６１及び検査チップ２に遠心力が作用する。即ち、主軸モータ３５は、第一軸線Ａ１を中心にホルダ６１及び検査チップ２を回転させ、遠心力を作用させる。ホルダ６１及び検査チップ２の第一軸線Ａ１を中心とした回転を、公転と呼ぶ。一方、ステッピングモータ５１が内軸４０を上下動させるのに伴って、ホルダ６１及び検査チップ２が水平軸である支軸４７３を中心に回転して、ホルダ６１及び検査チップ２に作用する遠心力の遠心方向が相対変化する。即ち、ステッピングモータ５１は、第二軸線Ａ２を中心にホルダ６１及び検査チップ２を回転させる。ホルダ６１及び検査チップ２の第二軸線Ａ２を中心とした回転を、自転と呼ぶ。

図１に示すように、Ｔ型プレート４８が可動範囲の最上端まで上昇した状態では、ラックギア４３も可動範囲の最上端まで上昇する。このとき、ホルダ６１及び検査チップ２は、自転角度が０度の定常状態になる。また、図２に示すように、Ｔ型プレート４８が可動範囲の最下端まで下降した状態では、ラックギア４３も可動範囲の最下端まで下降する。このとき、ホルダ６１及び検査チップ２は、定常状態から第二軸線Ａ２を中心に反時計回りに９０度回転した状態になる。つまり、本実施形態ではホルダ６１及び検査チップ２が自転可能な角度幅は、自転角度０度〜９０度である。以下の説明では、自転角度０度を第一自転角度という場合があり、自転角度９０度を第二自転角度という場合がある。

上部筐体３０の詳細構造を説明する。図３に示すように、上部筐体３０は、枠部材を組み合わせた箱状のフレーム構造を有し、上板３２の左部上側に設置されている。より詳細には、上部筐体３０は、ターンテーブル３３の回転中心にある主軸５７からみて、ホルダ６１及び検査チップ２が回転される範囲の外側に設けられている。

上部筐体３０の内部に設けられた測定部７は、測定光を発光する光源部７１と、光源部７１に対向し、光源部７１から発せられた測定光を検出する測定用光センサ７２とを有する。光源部７１及び測定用光センサ７２は、検査チップ２の回転軌道の外側において、ターンテーブル３３の前後両側に配置されている。本実施形態では、検査チップ２の公転可能範囲のうちで主軸５７の左側位置が、検査チップ２に測定光が照射される測定位置である。検査チップ２が測定位置にある場合、光源部７１と測定用光センサ７２とを結ぶ測定光が、検査チップ２の前面及び後面に対して略垂直に交差する。

＜３．制御装置９０の電気的構成＞
図３を参照して、制御装置９０の電気的構成について説明する。制御装置９０は、検査装置１の主制御を司るＣＰＵ９１と、各種データを一時的に記憶するＲＡＭ９２と、制御プログラムを記憶したＲＯＭ９３とを有する。ＣＰＵ９１には、ユーザが制御装置９０に対する指示を入力するための操作部９４と、各種データ、及びプログラムを記憶するハードディスク装置９５と、各種情報を表示するディスプレイ９６とが接続されている。制御装置９０としては、パーソナルコンピュータを用いてもよいし、専用の制御装置を用いてもよい。また、制御装置９０が検査装置１の筐体内に内蔵されていてもよい。

さらに、ＣＰＵ９１には、公転コントローラ９７、自転コントローラ９８、及び測定コントローラ９９が接続されている。公転コントローラ９７は、主軸モータ３５を回転駆動させる制御信号を主軸モータ３５に送信することによって、ホルダ６１及び検査チップ２の公転を制御する。自転コントローラ９８は、ステッピングモータ５１を回転駆動させる制御信号をステッピングモータ５１に送信することによって、ホルダ６１及び検査チップ２の自転を制御する。測定コントローラ９９は、測定部７を駆動することによって、検査チップ２の光学測定を実行する。尚、ＣＰＵ９１が公転コントローラ９７、自転コントローラ９８及び測定コントローラ９９を制御する。

測定コントローラ９９には、Ａ／Ｄ変換回路（Analog-to-digital converter）１０３及びＡ／Ｄ変換回路１０４が接続されている。Ａ／Ｄ変換回路１０３には、測定用受光回路１０１が接続されている。また、Ａ／Ｄ変換回路１０４には、制御用受光回路１０２が接続されている。また、測定コントローラ９９には、ＬＥＤ制御回路１０５が接続されている。ＬＥＤ制御回路１０５は発光ダイオード７３の発光量を制御する。測定用受光回路１０１は、後述する測定用光センサ７２からの検出電流を処理する。制御用受光回路１０２は、後述する制御用光センサ７２１からの検出電流を処理する。測定用受光回路１０１及び制御用受光回路１０２には、図８に示す、Ｉ−Ｖ変換回路１２０及び増幅回路１３０が各々組み込まれている。Ｉ−Ｖ変換回路１２０及び増幅回路１３０の詳細は後述する。測定用受光回路１０１からの検出電圧値は、Ａ／Ｄ変換回路１０３によりデジタル値に変換されて、測定コントローラ９９を介して、ＣＰＵ９１に送られる。制御用受光回路１０２からの検出電圧値は、Ａ／Ｄ変換回路１０４によりデジタル値に変換されて、測定コントローラ９９を介して、ＣＰＵ９１に送られる。

＜４．検査チップ２の構造＞
図４を参照して、本実施形態に係る検査チップ２の詳細構造を説明する。以下の説明においては、図４の上方、下方、左方、右方、紙面手前側、及び紙面奥側を、それぞれ、検査チップ２の上方、下方、左方、右方、前方、及び後方とする。

図４に示すように、検査チップ２は一例として前方から見た場合に正方形状であり、所定の厚みを有する透明な合成樹脂の板材２０を主体とする。板材２０の前面は、透明の合成樹脂の薄板から構成されたシート２９１によって封止されている。板材２０とシート２９１との間には、検査チップ２に封入された液体が流動可能な液体流路２５が形成されている。液体流路２５は、板材２０の前面側に所定深さに形成された凹部であり、板材２０の厚み方向である前後方向と直交する方向に延びる。シート２９１は、板材２０の流路形成面を封止する。シート２９１は、図４以外の図においては図示を省略している。液体流路２５は板材２０の後面に形成されてもよいし、前面と後面の両方に形成されてもよい。

液体流路２５は、検体定量流路１１、試薬定量流路１３，１５、及び測定部８０等を含む。検体定量流路１１は、検査チップ２の左上部に設けられている。試薬定量流路１３は、検体定量流路１１の右側に設けられている。試薬定量流路１５は、試薬定量流路１３の右側、且つ検査チップ２の右上部に設けられている。測定部８０は、検査チップ２の右下部に設けられている。

図４においては、検体定量流路１１及び試薬定量流路１３，１５に共通する構成の符号は検体定量流路１１のみに記載し、試薬定量流路１３，１５における符号は省略する。検体定量流路１１及び試薬定量流路１３，１５は、それぞれ、保持部１１１、供給部１１２、定量部１１４、第一案内部１１５、第二案内部１１７、及び余剰部１１６を含む。保持部１１１は、上方に開口する凹部である。保持部１１１は、検体１７、第一試薬１８、又は第二試薬１９が注入及び貯留される部位である。検体１７は、例えば、血液、血漿、血球、骨髄、尿、膣組織、上皮組織、腫瘍、精液、唾液、又は食料品などの成分を含む液体である。以下の説明においては、検体１７、第一試薬１８、及び第二試薬１９を総称する場合、又はいずれかを特定しない場合、液体１６という。

供給部１１２は、保持部１１１の右上部分から下方向に延びる流路である。供給部１１２の下方には、定量部１１４が設けられている。定量部１１４は、液体１６が定量される部位であり、左下方に凹む凹部である。以下の説明においては、検体定量流路１１、試薬定量流路１３、及び試薬定量流路１５に設けられた定量部１１４を、夫々、定量部１１４Ａ，１１４Ｂ，１１４Ｃという場合がある。

定量部１１４の上部から、第一案内部１１５が右方向に延び、第二案内部１１７が左方向に延びる。第一案内部１１５は、定量部１１４の左下方に設けられた余剰部１１６に接続されている。余剰部１１６は、第二案内部１１７を移動した液体１６が収容される部位であり、第二案内部１１７の下端部から右方向に設けられた凹部である。

第一案内部１１５は、定量部１１４において定量された液体１６が移動する流路である。第一案内部１１５は、右方向に延びた後、下方に延びる。第一案内部１１５の下端は、検査チップ２の右下部に設けられた測定部８０に繋がっている。測定部８０は、下方に凹む凹部である。後述する光学測定が行われる際には、測定部８０に測定光が透過される。

＜５．検査チップ２のその他構造＞
ホルダ６１の支軸４７３を中心とする自転に伴って、検査チップ２が支軸４７３を中心に自転する。検査チップ２は図４に示す定常状態である場合、上辺部２１及び下辺部２４が重力Ｇの方向と直交し、右辺部２２及び左辺部２３が重力Ｇの方向と平行、且つ、左辺部２３が右辺部２２よりも主軸５７側に配置される。定常状態の検査チップ２が測定位置に配置されている状態において、光源部７１と測定用光センサ７２とを結ぶ測定光を測定部８０に通過させることで、検査装置１は光学測定による検査を行う。

＜６．ホルダ６１の構造＞
図５及び図６を参照して、ホルダ６１について説明する。以下の説明においては、図５の左側、右側、上側、下側、紙面手前側、紙面奥側を、夫々、ホルダ６１の左側、右側、上側、下側、前側、後側とする。また、図１に示す第一軸線Ａ１は、ホルダ６１の左側に位置する。図５に示すように、ホルダ６１は、ホルダ部６０、開閉部７９、及び図６に示す錘部９００を備えている。ホルダ部６０は、ホルダ筐体６２とアパーチャ板６９とを備えている。アパーチャ板６９は、ホルダ筐体６２の前側に設けられている。ホルダ筐体６２とアパーチャ板６９とによって、装着部７４と、ホルダ開口部７５とが形成される。装着部７４は、検査チップ２を着脱可能な部位である。ホルダ開口部７５は、検査チップ２が装着部７４に着脱される開口部である。

図５に示すように、アパーチャ板６９は、ホルダ筐体６２の前面に装着される板状部材である。アパーチャ板６９の上端７０１は左右方向に延びる。アパーチャ板６９の左右の端は、ホルダ筐体６２の外周に沿っている。アパーチャ板６９の下端７０２は、後述する下壁部６４の前側を左右方向に延びる。アパーチャ板６９の右下部には、ホルダ側アパーチャ６９４が設けられている。ホルダ側アパーチャ６９４は、第二軸線Ａ２より第一軸線Ａ１から遠い側である右側に設けられている。ホルダ側アパーチャ６９４は、図１に示す光源部７１から測定用光センサ７２に向けて発光された測定光を検査チップ２の測定部８０に透過させる。

図５に示すように、アパーチャ板６９の上右部には、前方に突出する壁部６９１が設けられている。壁部６９１は、一対の延伸壁部６９２と、係合壁部６９３とを備えている。一対の延伸壁部６９２は、互いに左右方向に離間し、上下方向に延びる。係合壁部６９３は、左右方向に延び、一対の延伸壁部６９２の上端に接続される。係合壁部６９３は、後述する開閉部７９に設けられた爪部８０２と係合する。係合壁部６９３の下側には、前側から見て左右方向に長く、前後方向にアパーチャ板６９を貫通する開口部６９５が設けられている。

図５に示すように、ホルダ筐体６２は、後壁部６３、下壁部６４、左壁部６５、右壁部６６、及び図５及び図６に示す一対の保持部６７を備えている。後壁部６３は、ホルダ筐体６２の後部を形成する。図６に示すように、後壁部６３は、前側から見て中央部に円形の孔部６３１を備えている。孔部６３１は、後壁部６３を前後方向に貫通する。孔部６３１の内側には、軸受４７９を介して図１及び図５に示す支軸４７３が配置されている。前側から見た場合の支軸４７３の中心が、第二軸線Ａ２である。後壁部６３の左下面と右下面とは、第二軸線Ａ２を中心とした円弧状に形成された円弧面６３２，６３３である。後壁部６３の上面６３４と下面６３５とは、左右方向に延び、左面６３６と右面６３７とは、上下方向に延びる。上面６３４の中央やや右側には、上方に突出する突出部６３８が設けられている。図６に示すように、突出部６３８は、後述する開閉部７９に当接する。図６に示すように、後壁部６３の後部において孔部６３１の周囲には、ギア部７６が設けられている。

図６に示すように、後壁部６３の右下部には、後壁部６３を前後方向に貫通する孔部６３９が設けられている。孔部６３９は、ホルダ側アパーチャ６９４と検査チップ２の測定部８０とを透過した光が通過する部位である。

下壁部６４、左壁部６５及び右壁部６６は、夫々、後壁部６３の下部、左部、及び右部から前方に突出している。下壁部６４は、前側から見て上面が下方に凹んだ凹状である。下壁部６４の上端６４１は、後述する装着部７４の下端を規定する。右壁部６６は、上下方向に延びる。右壁部６６は、上部に突出部（図示せず）を備え、下部に突出部（図示せず）を備えている。各突出部は、左方に突出している。各突出部は、後述する装着部７４の右端を規定する。

図５に示すように、アパーチャ板６９の左部及び右部には、アパーチャ板６９を前後方向に貫通する図示しない孔部が設けられている。アパーチャ板６９がホルダ筐体６２に装着される際には、螺子８５１及び螺子８５２の軸部が、夫々、アパーチャ板６９の孔部を介して、図示しない螺子穴に締結される。

図５に示すように、ホルダ筐体６２とアパーチャ板６９とによって囲まれる直方体状の領域は、検査チップ２を着脱可能な装着部７４である。より詳細には、アパーチャ板６９の後面が装着部７４の前面である。後壁部６３の前面が装着部７４の後面である。また、図５及び図６に示すように、アパーチャ板６９の上端７０１と後壁部６３とは、装着部７４に検査チップ２を挿入可能なホルダ開口部７５を形成する。図５及び図６に示すように、検査チップ２がホルダ６１に保持された場合、検査チップ２が装着部７４に配置され、検査チップ２の上部が装着部７４より上方に露出する。

図５及び図６に示すように、一対の保持部６７は、ホルダ筐体６２の右上部から上方に延びる。一対の保持部６７は、互いに前後方向に離間している。一対の保持部６７の上端の間には、軸７９７が架け渡されている。一対の保持部６７は、軸７９７を介して開閉部７９を回転可能に支持する。

軸７９７は、第二軸線Ａ２に沿う前後方向に延びる。このため、図５及び図６に示すように、開閉部７９は、第二軸線Ａ２に沿う第三軸線Ａ３を中心にして、図５に実線で示す閉鎖位置と、図５に二点鎖線で示す開放位置との間で回転可能である。第三軸線Ａ３は、第二軸線Ａ２より第一軸線Ａ１から遠い側である右側に設けられている。開閉部７９は、閉鎖位置から開放位置に回転する場合に、第二軸線Ａ２から離れる方向に回転する。

図５に二点鎖線で示すように、開閉部７９が開放位置にある場合、ホルダ開口部７５の上方に、開閉部７９が位置しない。この開放位置において、検査チップ２はホルダ開口部７５を介して装着部７４に着脱される。図５に示すように、開閉部７９が閉鎖位置にある場合、ホルダ開口部７５の右部の上方に、開閉部７９が位置する。故に、開閉部７９は、閉鎖位置にあるとき、検査チップ２を装着部７４から抜き取り不能にホルダ開口部７５の一部を閉鎖している。

開閉部７９は、図示しない一対の回転軸部、アーム部７９５、係合板部７９６、及び当接部８００を備えている。開閉部７９は、図５に示す軸７９７に一対の回転軸部（図示せず）により回転可能に支持され、軸７９７を中心に開閉部７９が回動する。回転軸部には、上方に突出する板部８０５が設けられている。

軸７９７の周囲には、図示しないバネが巻き付けられている。バネの一端は板部８０５に固定され、他端はホルダ部６０に固定されている。バネ８０６は、開閉部７９を閉鎖位置から開放位置に向かう方向に付勢する。

アーム部７９５は、開閉部７９が閉鎖位置にある場合において、図示しない回転軸部から左方に延びる板状部材である。図５に示すように、開閉部７９が閉鎖位置にある場合におけるアーム部７９５の下面には、下方に突出して検査チップ２に当接する当接部８００が設けられている。当接部８００は、図５に示す下壁部６４の上端６４１との間において検査チップ２を位置決めする。アーム部７９５は、平面視矩形状に上下方向に貫通する図示しないアーム開口部を備えている。開閉部７９が閉鎖位置にあるとき、検査チップ２の取手部２７は、アーム開口部の内側に配置される。

図５に示すように、係合板部７９６の後面の下部には、後方に突出する爪部８０２が設けられている。開閉部７９が閉鎖位置にあるとき、爪部８０２は、係合壁部６９３の下面に係合する。

図６に示すように、後壁部６３の後面における左下部には、錘部９００が装着されている。錘部９００は、第二軸線Ａ２に対して開閉部７９の反対側に位置する。錘部９００は、ホルダ部６０において開閉部７９より第一軸線Ａ１に近い部位に装着されている。また、開閉部７９は、第二軸線Ａ２より第一軸線Ａ１から遠い側である右側に設けられ、錘部９００は、第二軸線Ａ２より第一軸線Ａ１に近い側である左側に設けられている。

＜７．測定部７の構造の詳細＞
次に、図３、図７を参照して、測定部７の構造を説明する。図７に示すように、測定部７は、ホルダ６１の公転軌道５０外に配置され、ホルダ６１を挟んで対向する光源部７１と、測定用光センサ７２とから構成されている。測定用光センサ７２は基板７４０に固定されている。光源部７１から発光された光７３１は、光源部７１側のアパーチャ板７１４のアパーチャ７１５を通過して、レンズ７１６により平行光７３２となる。
平行光７３２の一部は後述するビームスプリッタ７１７を透過して透過光７３３となる。透過光７３３は、ホルダ６１側のアパーチャ板６９のホルダ側アパーチャ６９４、および検査チップ２の図４に示す測定部８０の領域８２を通過して、測定光７３５となる。尚、図７において、検査チップ２は図示されていない。図７においては、検査チップ２は、ホルダ６１の装着部７４に保持される。測定光７３５は測定用光センサ７２により受光され、検査チップ２の測定部８０に溜まった液体の測定が行われる。尚、図７に示すホルダ６１の停止位置が、既定の測定位置である。この既定の測定位置において、ホルダ６１のアパーチャ板６９は、発光ダイオード７３から発光されて測定用光センサ７２に向かう光軸７３３Ａに直交する。従って、光軸７３３Ａがホルダ側アパーチャ６９４を通過する。以下、測定部７の構造について詳細説明する。

図７に示すように、光源部７１は、フランジが形成された円筒形の光源カバー７１１と、基板７１２と、発光ダイオード７３と、アパーチャ板７１４と、レンズ７１６と、ビームスプリッタ７１７と、基板７２０と、制御用光センサ７２１と、から構成される。制御用光センサ７２１の出力は、図３に示す測定コントローラ９９に入力され、ＣＰＵ９１が取得する。基板７１２には、発光ダイオード７３が固定され、発光ダイオード７３を覆うように光源カバー７１１が基板７１２に固定されている。発光ダイオード７３は、測定用光センサ７２に向けて発光する。光源カバー７１１は、円筒部７１３と、フランジ７１１Ａ、アパーチャ板７１４と、レンズ７１６から構成されている。アパーチャ板７１４は、開口部であるアパーチャ７１５が中央に形成された円板である。アパーチャ板７１４は、円筒部７１３と一体でもよいし、別部材でもよい。アパーチャ板７１４は、円筒部７１３の前側の開口部を封止している。フランジ７１１Ａは円筒部７１３のアパーチャ板７１４と反対側の外周に設けられ、円筒部７１３を基板７１２に固定する。アパーチャ板７１４の発光ダイオード７３に対向する面及び円筒部７１３の内側の面は、黒色、または表面に微細な凹凸が多数形成された散乱面になっており、反射光の光強度は大きく減衰する。

レンズ７１６は、凸面が測定用光センサ７２を向く平凸レンズである。レンズ７１６は、アパーチャ板７１４の発光ダイオード７３と対向する面と反対側の面に固定されている。発光ダイオード７３の発光面７３Ａは、レンズ７１６の光軸上かつ焦点距離ｆの位置に設けられている。レンズ７１６の光軸はアパーチャ７１５の中心を通る。平行光７３２の光軸が光軸７３３Ａである。光軸７３３Ａは、図１及び図７に示す第一軸線Ａ１と交差する前後方向に延びる。レンズ７１６と測定用光センサ７２との間には、ビームスプリッタ７１７が光軸７３３Ａに対して４５度に傾斜して設けられている。ビームスプリッタ７１７により反射された反射光７３４は、基板７２０に設けられた制御用光センサ７２１に受光される。

図８を参照して、測定用受光回路１０１及び制御用受光回路１０２に各々内蔵されるＩ−Ｖ変換回路１２０及び増幅回路１３０の説明をする。測定用受光回路１０１のＩ−Ｖ変換回路１２０に測定用光センサ７２が接続されている。制御用受光回路１０２のＩ−Ｖ変換回路１２０に制御用光センサ７２１が接続されている。測定用光センサ７２及び制御用光センサ７２１としては、例えば、フォトダイオードが使用される。フォトダイオードには、受光した光の強さに応じて電流が流れる。Ｉ−Ｖ変換回路１２０は、電流値を電圧値に変換する変換回路である。Ｉ−Ｖ変換回路１２０は、オペアンプ１２１及びフィードバック抵抗１２３から構成される。測定用受光回路１０１の場合には、オペアンプ１２１の反転入力端子１２１Ｂには、測定用光センサ７２を構成するフォトダイオードのカソードが接続され、アノードは接地されている。反転入力端子１２１Ｂと出力端子１２４の間には、フィードバック抵抗１２３が接続されている。オペアンプ１２１の非反転入力端子１２１Ａは接地されている。このＩ−Ｖ変換回路１２０により、測定用光センサ７２に光が当たり、測定用光センサ７２に流れる電流値Ｉｐｄが電圧値Ｖ１に変換され、オペアンプ１２１の出力端子１２４から出力される。フィードバック抵抗１２３の値をＲｆとすると、電圧値Ｖ１は、以下の式により求められる。
Ｖ１＝Ｒｆ×Ｉｐｄ
尚、制御用受光回路１０２の場合には、オペアンプ１２１の反転入力端子１２１Ｂには、制御用光センサ７２１を構成するフォトダイオードのカソードが接続され、アノードは接地されている。

増幅回路１３０は、オペアンプ１２１による非反転増幅回路であり、オペアンプ１２１、接地抵抗１３２及びフィードバック抵抗１３３により構成される。Ｉ−Ｖ変換回路１２０の出力端子１２４は、オペアンプ１３１の非反転入力端子１３１Ａに接続されている。接地抵抗１３２は、オペアンプ１３１の反転入力端子１３１Ｂに接続されている。反転入力端子１３１Ｂと出力端子１３４の間には、フィードバック抵抗１３３が接続されている。出力端子１３４には、増幅された電圧値Ｖｏｕｔが出力される。接地抵抗１３２の値をＲ１、フィードバック抵抗１３３の値をＲ２とした場合には、増幅された電圧値Ｖｏｕｔは、以下の式により求められる。
Ｖｏｕｔ＝（１＋Ｒ２／Ｒ１）×Ｖ１
尚、フィードバック抵抗１３３及び接地抵抗１３２は、デジタルポテンションメータであり、ＣＰＵ９１の制御により値が変更される。

＜ビームスプリッタ７１７の透過率Ｔ＞反射率Ｒの場合＞
次に、図７を参照して、測定用光センサ７２の受光光量ＰＰＤ及び制御用光センサ７２１の受光光量ＰＦＰＤの値について説明する。レンズ７１６を通過した平行光７３２の光量がＰ_０であり、平行光７３２のホルダ側のアパーチャ板６９への照射面積がＡ_ＢＥＡＭである。ビームスプリッタ７１７の透過率がＴであり、反射率がＲである。また、ホルダ側アパーチャ６９４の開口面積がＡ_ＡＰであり、制御用受光部としての制御用光センサ７２１の受光面積がＡ_ＦＰＤである。測定用受光部としての測定用光センサ７２の受光光量がＰ_ＰＤであり、制御用受光部としての制御用光センサ７２１の受光光量がＰ_ＦＰＤである。尚、測定用光センサ７２と制御用光センサ７２１の受光光量の電流値への変換効率は同じであるものとする。
Ｐ_ＰＤ及びＰ_ＦＰＤは、以下の式により求められる。
Ｐ_ＰＤ＝Ｐ_０×Ｔ×Ａ_ＡＰ／Ａ_ＢＥＡＭ （式１）
Ｐ_ＦＰＤ＝Ｐ_０×Ｒ×Ａ_ＦＰＤ／Ａ_ＢＥＡＭ （式２）
Ｔ＞Ｒの場合に、Ｐ_ＰＤ＞Ｐ_ＦＰＤとなるように、Ａ_ＡＰ及びＡ_ＦＰＤの面積が決められている。
例えば、ホルダ側アパーチャ６９４の開口径がＤ_ＡＰの場合には、ホルダ側アパーチャ６９４の開口面積Ａ_ＡＰ＝π（Ｄ_ＡＰ／２）^２ である。
また、例えば、制御用光センサ７２１の受光面の径がＤ_ＦＰＤの場合には、制御用光センサ７２１の受光面積Ａ_ＦＰＤ＝π（Ｄ_ＦＰＤ／２）^２ である。
平行光７３２の径がＤ_ＢＥＡＭの場合には、ホルダ側のアパーチャ板６９への照射面積がＡ_ＢＥＡＭ＝π（Ｄ_ＢＥＡＭ／２）^２ である。

例えば、Ｔ＝７５％＝３／４、Ｒ＝２５％＝１／４、Ｄ_ＡＰ＝１ｍｍ、Ｄ_ＢＥＡＭ＝６ｍｍ、Ｄ_ＦＰＤ＝１ｍｍの場合には、
Ａ_ＡＰ＝π（１／２）^２ ＝π／４
Ａ_ＦＰＤ＝π（１／２）^２ ＝π／４
Ａ_ＢＥＡＭ＝π（６／２）^２ ＝９π
（式１）により、
Ｐ_ＰＤ＝Ｐ_０×（３／４）×（π／４）／（９π）＝Ｐ_０／４８
（式２）により、
Ｐ_ＦＰＤ＝Ｐ_０×（１／４）×（π／４）／（９π）＝ Ｐ_０／１４４
従って、Ｐ_０／４８＞Ｐ_０／１４４ であるので、
Ｐ_ＰＤ＞Ｐ_ＦＰＤ である。

ホルダ側アパーチャ６９４の径を調整することにより、測定用光センサ７２の受光光量Ｐ_ＰＤを制御用光センサ７２１の受光光量Ｐ_ＦＰＤよりも大きくできるが、ホルダ側アパーチャ６９４の径を変えると、ホルダ６１内部に保持される検査チップ２の測定流路の位置を変更する必要が出てくるなどの他の構成への影響が発生する。一方、Ｔ＞Ｒとすれば、検査チップ２の流路位置を変更するなどの他の構成への影響が発生することなく、測定用光センサ７２の受光光量Ｐ_ＰＤを制御用光センサ７２１の受光光量Ｐ_ＦＰＤよりも大きくできる。

従って、測定用光センサ７２が受光光量Ｐ_ＰＤから得られる検出電圧値と、制御用光センサ７２１光から得られる検出電圧値を同じ程度にする為には、制御用受光回路１０２の増幅回路１３０（図８参照）の増幅率が、測定用受光回路１０１の増幅回路１３０（図８参照）の増幅率よりも大きくする必要がある。その結果、制御用受光回路１０２の受光光量Ｐ_ＦＰＤの変動に対する感度は、測定用受光回路１０１の受光光量Ｐ_ＰＤの変動に対する感度よりも高くなる。従って、発光部から発光される光の光量の変動を小さくすることができる。

図７を参照して、制御用光センサ７２１の受光光量の電流値への変換効率がａ（Ａ／Ｗ）、測定用光センサ７２の受光光量の電流値への変換効率がｂ（Ａ／Ｗ）である場合の、測定用光センサ７２の電流値Ｉ_ｐｄ及び制御用光センサ７２１の電流値Ｉ_ｆｐｄについて説明する。測定用光センサ７２の電流値Ｉ_ｐｄ及び制御用光センサ７２１の電流値Ｉ_ｆｐｄは、以下の式により求められる。
Ｉ_ｐｄ＝ｂ×Ｐ_０×Ｔ×Ａ_ＡＰ／Ａ_ＢＥＡＭ （式３）
Ｉ_ｆｐｄ＝ａ×Ｐ_０×Ｒ×Ａ_ＦＰＤ／Ａ_ＢＥＡＭ （式４）
（式４）により、
ａ＝Ｉ_ｆｐｄ／（Ｐ_０×Ｒ×Ａ_ＦＰＤ／Ａ_ＢＥＡＭ）
（式３）により、
ｂ＝Ｉ_ｐｄ／（Ｐ_０×Ｔ×Ａ_ＡＰ／Ａ_ＢＥＡＭ）
Ｉ_ｆｐｄ＝Ｉ_ｐｄの場合には、
ａ／ｂ＝（Ｐ_０×Ｔ×Ａ_ＡＰ／Ａ_ＢＥＡＭ）／（Ｐ_０×Ｒ×Ａ_ＦＰＤ／Ａ_ＢＥＡＭ）
＝（Ｔ×Ａ_ＡＰ）／（Ｒ×Ａ_ＦＰＤ）
＝Ｔ／Ｒ×Ａ_ＡＰ／Ａ_ＦＰＤ
従って、
ａ／ｂ＜Ｔ／Ｒ×Ａ_ＡＰ／Ａ_ＦＰＤ
となるように、ビームスプリッタ７１７の透過率Ｔ及び反射率Ｒを設定し、また、ホルダ側アパーチャ６９４の開口面積Ａ_ＡＰ、制御用光センサ７２１の受光面積Ａ_ＦＰＤを設定すればよい。
一般には、０．３＜ａ，ｂ＜０．６ であえるので ０．５＜ａ／ｂ＜２
になる。
従って、制御用光センサ７２１の変換効率ａ及び測定用光センサ７２の変換効率ｂを調整することにより、制御用受光回路１０２の増幅回路１３０（図８参照）の増幅率を、測定用受光回路１０１の増幅回路１３０（図８参照）の増幅率よりも大きくすることができる。その結果、制御用受光回路１０２の受光光量Ｐ_ＦＰＤの変動に対する感度は、測定用受光回路１０１の受光光量Ｐ_ＰＤの変動に対する感度よりも高くなる。従って、発光部から発光される光の光量の変動を低下させることができる。

尚、制御用光センサ７２１の受光面積Ａ_ＦＰＤをホルダ側アパーチャ６９４の開口面積Ａ_ＡＰよりも小さくすることで、制御用光センサ７２１の受光光量を測定用光センサ７２の受光光量よりも少なくするようにしてもよい。受光面積Ａ_ＦＰＤの狭い制御用光センサ７２１を選ぶだけで容易に実現できる。

また、図９に示すように、制御用光センサ７２１とビームスプリッタ７１７との間に、開口面積がホルダ側アパーチャ６９４のＡ_ＡＰよりも小さい制御部側アパーチャ７２３Ａを有する制御部側アパーチャ板７２３を設けても良い。受光面積Ａ_ＦＰＤの大きな制御用光センサ７２１しか手に入らない場合にも制御用光センサ７２１の受光光量を測定用光センサ７２の受光光量よりも少なくすることができる。
＜８．検査方法の一例＞
検査装置１及び検査チップ２を用いた検査方法について説明する。図４に示すように、検体定量流路１１の保持部１１１に検体１７が配置される。試薬定量流路１３の保持部１１１に第一試薬１８が配置される。試薬定量流路１５の保持部１１１に第二試薬１９が配置される。

ユーザは、第一自転角度であり、開閉部７９が開放位置にあるホルダ６１の上側から、ホルダ開口部７５を介して装着部７４に検査チップ２を配置する。これによって、図５及び図６に示すように、検査チップ２がホルダ６１によって支持される。ユーザは、開閉部７９を図５に示す二点鎖線の開放位置から図５に示す実線の閉鎖位置に回転させる。

＜増幅回路１３０の増幅率調整処理＞
はじめに、図１０のフローチャートを参照して、増幅回路１３０の増幅率調整処理について説明する。増幅回路１３０の増幅率調整処理は、検査装置１及び検査チップ２を用いた検査の開始時に行われる増幅回路１３０の増幅率を調整する処理である。図１０に示す増幅率調整処理のプログラムは、ＲＯＭ９３に記憶されている。ユーザが操作部９４から検査の開始のコマンドを入力すると、ＣＰＵ９１は、ＲＯＭ９３に記憶されている増幅回路１３０の増幅率調整処理のプログラムに基づいて、処理を実行する。この増幅率調整処理は、図１２及び図１３に示す測定処理に先だって実行される。以下の説明では、制御用光センサ７２１の検出電圧の目標値であるＦｅｅｄｂａｃｋ Ｐｈｏｔｏ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ目標値を「Ｆ−ＰＤ目標値」という。また、制御用光センサ７２１を「Ｆ−ＰＤ」とも言う。測定用光センサ７２を「ＰＤ」とも言う。

以下、Ｆ−ＰＤ目標値について説明する。測定用光センサ７２が安定的に光を測定できる光の強さの範囲が決まっている。この光の強さの範囲における測定用光センサ７２の検出電圧になった際の発光ダイオード７３の駆動電流が決まっている。この駆動電流が発光ダイオード７３に流れた際に制御用光センサ７２１で検出される検出電圧値がＦ−ＰＤ目標値である。即ち、ＣＰＵ９１は、制御用光センサ７２１で検出される検出電圧値がＦ−ＰＤ目標値となるように発光ダイオード７３の駆動電流を調整すれば、測定用光センサ７２が安定的に発光ダイオード７３からの光の強さを測定できる。

はじめにＣＰＵ９１は、制御用光センサ７２１の検出電圧値であるＦ−ＰＤ電圧値を図３に示す測定コントローラ９９を介して読み込む（Ｓ３１）。具体的には、制御用光センサ７２１の電流値Ｉｐｄは、図８に示すＩ−Ｖ変換回路１２０により電圧値に変換され、増幅回路１３０により電圧値が（１＋Ｒ２／Ｒ１）倍に増幅される。増幅された電圧値は、図３に示すＡ／Ｄ変換回路１０４によりデジタル値のＦ−ＰＤ電圧値に変換される（Ｓ３１）。

次いで、ＣＰＵ９１は、Ｆ−ＰＤ電圧値がＦ−ＰＤ目標値の所定の範囲内か否かを判断する（Ｓ３２）。Ｆ−ＰＤ目標値は、ＲＯＭ９３に記憶されており、ＣＰＵ９１が読み出す（Ｓ３２）。所定の範囲は、例えば、Ｆ−ＰＤ目標値のプラス・マイナス０．０５％である。Ｆ−ＰＤ目標値は、例えば、発光ダイオード７３、ビームスプリッタ７１７、制御用光センサ７２１、測定用光センサ７２の各特性及びホルダ６１のホルダ側アパーチャ６９４の開口面積等により決まっている。Ｆ−ＰＤ電圧値がＦ−ＰＤ目標値の所定の範囲内の場合には（Ｓ３２：ＹＥＳ）、ＣＰＵ９１は、発光ダイオード７３の駆動電流であるＬＥＤ電流の値を変えずに発光ダイオード７３を発光し、測定用光センサ７２の検出電圧値であるＰＤ電圧値を読み込む（Ｓ３４）。具体的には、ＣＰＵ９１は、測定用光センサ７２の検出電圧値であるＰＤ電圧値を図３に示す測定コントローラ９９を介して読み込む（Ｓ３４）。具体的には、測定用光センサ７２の電流値Ｉｐｄは、図８に示すＩ−Ｖ変換回路１２０により電圧値に変換され、増幅回路１３０により電圧値が（１＋Ｒ２／Ｒ１）倍に増幅される。増幅された電圧値は、図３に示すＡ／Ｄ変換回路１０３によりデジタル値のＰＤ電圧値に変換される（Ｓ３４）。このＰＤ電圧値は、ＲＡＭ９２に記憶される。

また、ＣＰＵ９１は、制御用光センサ７２１の検出電圧値であるＦ−ＰＤ電圧値がＦ−ＰＤ目標値以内でないと判断した場合には（Ｓ３２：ＮＯ）、周知のＰＩＤ制御（Proportional-Integral-Derivative Controller）を行う（Ｓ３３）。ＰＩＤ制御は、制御工学におけるフィードバック制御の一種であり、入力値の制御を出力値と目標値との偏差、その積分、および微分の３つの要素によって行う方法である。ＣＰＵ９１は、ＰＩＤ制御（Ｓ３３）を行った後に制御をＳ３２に戻す。Ｆ−ＰＤ電圧値がＦ−ＰＤ目標値の所定の範囲内になった場合には（Ｓ３２：ＹＥＳ）、ＣＰＵ９１は、発光ダイオード７３の駆動電流であるＬＥＤ電流の値を変えずに発光ダイオード７３を発光し、測定用光センサ７２であるＰＤの電圧値を読み込む（Ｓ３４）。

次に、ＣＰＵ９１は、ＰＤ電圧値をＮ回測定した否か判断する（Ｓ３５）。Ｎ回の一例としては、２０回〜３０回の範囲の任意の回数である。Ｎ回の具体的値は、ＲＯＭ９３に記憶されている。ＣＰＵ９１は、Ｎ回測定していないと判断した場合には（Ｓ３５：ＮＯ）、処理をＳ３２に戻す。

ＣＰＵ９１は、ＰＤ電圧値をＮ回測定したと判断した場合には（Ｓ３５：ＹＥＳ）、ＰＤ電圧値の変動量を計算する（Ｓ３６）。以下、ＰＤ電圧値の変動量を計算の一例を説明する。ＰＤ電圧値は、一般的には初期値（Ｎ＝１回目）から測定する度に徐々にズレていく挙動を示す。従って、Ｎ回目に測定したＰＤ電圧値とＲＯＭ９３に記憶されているＰＤ電圧値の目標値との差を求める（Ｓ３６）。この差がＰＤ電圧値の変動量である。次に、ＣＰＵ９１は、処理Ｓ３６で計算した変動量が目標値内か否かを判断する（Ｓ３７）。変動量の目標値は、ＲＯＭ９３に記憶されており、ＣＰＵ９１が読み出す（Ｓ３７）。変動量が目標値内か否かは、例えば、変動量が、一例として、±４５ｍＶ以内か否かが判断されればよい。変動量が±４５ｍＶ以内であれば、ＣＰＵ９１は、変動量が目標値内であると判断する（Ｓ３７：ＹＥＳ）。増幅回路１３０の増幅率が適切でない場合には、測定Ｎ回目のＰＤ電圧値が基準となる目標値の±１００ｍＶ程度変動する。ＣＰＵ９１は、変動量が目標値内と判断できる場合には（Ｓ３７：ＹＥＳ）、増幅回路１３０の増幅率の調整をせずに処理を終了する。また、ＣＰＵ９１は、変動量が目標値内にないと判断できる場合には（Ｓ３７：ＮＯ）、増幅回路１３０の増幅率変更を行う（Ｓ３８）。増幅回路１３０の増幅率変更は、デジタルポテンションメータであるフィードバック抵抗１３３及び接地抵抗１３２の値を、ＣＰＵ９１が変更する。図８に示す増幅回路１３０は、電圧値Ｖ１を（１＋Ｒ２／Ｒ１）倍に増幅するので、ＣＰＵ９１が、フィードバック抵抗１３３の抵抗値Ｒ２を大きくするか、または、接地抵抗１３２の抵抗値Ｒ１を小さくすることで、増幅回路１３０の増幅率が増加する（Ｓ３８）。また、接地抵抗１３２の抵抗値Ｒ１及びフィードバック抵抗１３３の抵抗値Ｒ２の両方が変更される場合には、Ｒ２／Ｒ１の値が大きくなるようにＣＰＵ９１が制御することで、増幅回路１３０の増幅率が増加する（Ｓ３８）。

次いで、ＣＰＵ９１は、処理をＳ３７に戻す。ＣＰＵ９１は、変動量が目標値内と判断できる場合には（Ｓ３７：ＹＥＳ）、処理を終了する。

＜フィードバック制御＞
図１１のフローチャートを参照して、フィードバック制御について説明する。フィードバック制御においては、ＣＰＵ９１は、制御用光センサ７２１の検出電圧値に基づいて、発光ダイオード７３の発光状態を一定範囲に制御する。図１１に示すフィードバック制御のプログラムは、ＲＯＭ９３に記憶されている。ユーザが操作部９４から処理開始のコマンドを入力すると、ＣＰＵ９１は、ＲＯＭ９３に記憶されているフィードバック制御のプログラムに基づいて、フィードバック制御を実行する。このフィードバック制御は、図１０に示す増幅回路の増幅率の調整処理が行われた後、図１２及び図１３に示す測定処理が終了するまで常時実行される。以下の説明の「Ｆ−ＰＤ目標値」は、増幅回路１３０の増幅率調整処理の「Ｆ−ＰＤ目標値」と同じである。

はじめにＣＰＵ９１は、Ｆ−ＰＤ目標値をＲＯＭ９３から読み込む（Ｓ１）。ＣＰＵ９１は、制御用光センサ７２１で検出される検出電圧値がＦ−ＰＤ目標値となるように発光ダイオード７３の駆動電流を調整すれば、測定用光センサ７２が安定的に発光ダイオード７３からの光の強さを測定できる。次いで、ＣＰＵ９１は、測定コントローラ９９を制御して、発光ダイオード７３の駆動電流を調整する（Ｓ２）。例えば、ＣＰＵ９１は、最初、駆動電流をＲＯＭ９３に記憶されている基準の電流値に設定する。次いで、ＣＰＵ９１は、制御用光センサ７２１の検出電圧であるＦ−ＰＤ電圧値がＦ−ＰＤ目標値の所定の範囲内か否かを判断する（Ｓ３）。所定の範囲は、例えば、Ｆ−ＰＤ目標値のプラス・マイナス０．０５％である。Ｆ−ＰＤ目標値は、例えば、発光ダイオード７３、制御用光センサ７２１、測定用光センサ７２、及びビームスプリッタ７１７の各特性と、発光ダイオード７３と測定用光センサ７２との距離、制御用光センサ７２１とビームスプリッタ７１７との距離等により決まっていてもよい。Ｆ−ＰＤ電圧値がＦ−ＰＤ目標値の所定の範囲内の場合には（Ｓ３：ＹＥＳ）、ＣＰＵ９１は、発光ダイオード７３の駆動電流であるＬＥＤ電流の値を変えずに発光ダイオード７３を発光し（Ｓ４）、処理をＳ３の判断処理に移行する。Ｆ−ＰＤ電圧値がＦ−ＰＤ目標値の所定の範囲内でない場合には（Ｓ３：ＮＯ）、ＣＰＵ９１は、測定コントローラ９９を制御して、発光ダイオード７３の駆動電流を調整する（Ｓ２）。具体的には、Ｆ−ＰＤ電圧値がＦ−ＰＤ目標値より高い場合には、ＣＰＵ９１は、測定コントローラ９９を制御して、発光ダイオード７３の駆動電流を所定量だけ減少する（Ｓ２）。Ｆ−ＰＤ電圧値がＦ−ＰＤ目標値より低い場合には、ＣＰＵ９１は、測定コントローラ９９を制御して、発光ダイオード７３の駆動電流を所定量だけ増やす（Ｓ２）。次いで、ＣＰＵ９１は、処理をＳ３の判断処理に移行する。図１２及び図１３に示す測定処理が終了すると、フィードバック制御は終了する。上記Ｓ１〜Ｓ４のフィードバック制御により、制御用光センサ７２１で検出される検出電圧値がＦ−ＰＤ目標値となるように発光ダイオード７３の駆動電流を調整されるので、測定用光センサ７２が安定的に光の強さを測定できる。

＜測定処理＞
次に、図１２及び図１３に示すフローチャートを参照して測定処理について説明する。図１２及び図１３に示す測定処理のプログラムは、ＲＯＭ９３に記憶されている。ユーザが操作部９４から測定処理開始のコマンドを入力すると、ＣＰＵ９１は、ＲＯＭ９３に記憶されている測定処理のプログラムに基づいて、測定処理を実行する。はじめに、ＣＰＵ９１は、制御用光センサ７２１の検出電圧であるＦ−ＰＤ電圧値がＦ−ＰＤ目標値の所定の範囲内か否かを判断する（Ｓ１１）。Ｆ−ＰＤ目標値は、ＲＯＭ９３に記憶されており、ＣＰＵ９１が読み出す（Ｓ１１）。所定の範囲は、例えば、Ｆ−ＰＤ目標値のプラス・マイナス０．０５％である。例えば、Ｆ−ＰＤ電圧値がＦ−ＰＤ目標値の所定の範囲内の場合には、ＣＰＵ９１は、Ｆ−ＰＤ電圧値がＦ−ＰＤ目標値の所定の範囲内であると判断する（Ｓ１１：ＹＥＳ）。ＣＰＵ９１は、Ｆ−ＰＤ電圧値がＦ−ＰＤ目標値の所定の範囲内であると判断しない場合には（Ｓ１１：ＮＯ）、再度、Ｓ１１の判断処理を行う。ＣＰＵ９１は、Ｆ−ＰＤ電圧値がＦ−ＰＤ目標値の所定の範囲内であると判断した場合には（Ｓ１１：ＹＥＳ）、ＣＰＵ９１は、公転コントローラ９７及び自転コントローラ９８を制御して、ホルダ６１を光学測定位置に移動する（Ｓ１２）。尚、この光学測定位置の移動は、図示しないエンコーダからの信号に基づき、実行される。ＣＰＵ９１は、測定コントローラ９９を制御して、測定用光センサ７２の検出電圧がＲＯＭ９３に記憶されている測定物閾値以内か否かを判断する（Ｓ１３）。この判断は、検査チップ２が正しくホルダ６１に装着され、測定部８０に検査対象の液体が有るか否かを判断するものである。ＣＰＵ９１は、測定用光センサ７２の検出電圧が測定物閾値以内であると判断した場合には（Ｓ１３：ＹＥＳ）、ＣＰＵ９１は、制御用光センサ７２１の検出電圧であるＦ−ＰＤ電圧値がＦ−ＰＤ目標値の所定の範囲内であるか否かを判断する（Ｓ１４）。例えば、Ｆ−ＰＤ電圧値がＦ−ＰＤ目標値のプラス・マイナス０．０５％内の値に到達した場合には、ＣＰＵ９１は、Ｆ−ＰＤ電圧値がＦ−ＰＤ目標値の所定の範囲内であると判断する（Ｓ１４：ＹＥＳ）。ＣＰＵ９１は、制御用光センサ７２１の検出電圧であるＦ−ＰＤ電圧値がＦ−ＰＤ目標値の所定の範囲内であると判断しない場合には（Ｓ１４：ＮＯ）、Ｓ１４の処理を繰り返す。ＣＰＵ９１は、Ｆ−ＰＤ電圧値がＦ−ＰＤ目標値の所定の範囲内であると判断した場合には（Ｓ１４：ＹＥＳ）、発光ダイオード７３の発光状態が安定しているので、測定用光センサ７２の出力電圧値であるＰｈｏｔｏ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ値（以下、「ＰＤ値」という）を取得する（Ｓ１５）。

次いで、図１３に示すように、ＣＰＵ９１は、遠心処理を行う（Ｓ２１）。具体的には、ＣＰＵ９１は、ＨＤＤ９５に予め記憶されているモータの駆動情報を読み込み、公転コントローラ９７に主軸モータ３５の駆動情報をセットし、自転コントローラ９８にステッピングモータ５１の駆動情報をセットする。次いで、ＣＰＵ９１が公転コントローラ９７を制御し、主軸モータ３５の駆動を開始する。また、ＣＰＵ９１は自転コントローラ９８を制御し、ステッピングモータ５１を駆動する（Ｓ２１）。この遠心処理により、検体定量流路１１の保持部１１１に配置された検体１７が所定量計量され、試薬定量流路１３の保持部１１１配置された第一試薬１８も所定量計量され、混合されて測定部８０に溜まる。

次いで、ＣＰＵ９１は、公転コントローラ９７を制御して、主軸モータ３５の軸３６を回転させ、ホルダ６１を光学測定位置に移動する（Ｓ２２）。また、ＣＰＵ９１は、自転コントローラ９８を制御して、ステッピングモータ５１の軸５８を原点位置に移動する（Ｓ２２）。従って、ホルダ６１を測定位置に移動する。

次いで、ＣＰＵ９１は、サンプリング処理を行う（Ｓ２３）。このサンプリング処理は、測定用光センサ７２により検出されたデータを取得する処理である。具体的には、測定用光センサ７２の検出値の時間変化が測定結果として使用されるので、所定の期間において、測定用光センサ７２により検出されたデータを取得し、所定の期間過ぎたら、次のステップに進むという処理である。次いで、ＣＰＵ９１は、公転コントローラ９７を制御し、主軸モータ３５を原点位置に移動する（Ｓ２４）。次いで、ＣＰＵ９１は、処理を終了する。

また、ＣＰＵ９１は、Ｓ１３の判断処理で、測定部閾値以内では無いと判断した場合には（Ｓ１３：ＮＯ）、測定用光センサ７２の検出値が測定物閾値より大か否かを判断する（Ｓ１６）。ＣＰＵ９１は、測定用光センサ７２の検出値が測定物閾値より大と判断した場合には（Ｓ１６：ＹＥＳ）、ホルダ６１には検査チップ２が無いと判断されるので、ＣＰＵ９１は、ディスプレイ９６に「測定物なし」と表示して通知する（Ｓ１７）。また、ＣＰＵ９１は、測定用光センサ７２の検出値が測定物閾値より大と判断できない場合には（Ｓ１６：ＮＯ）、ホルダ６１には検査チップ２が正しく挿入されていないと考えられるので、ディスプレイ９６に「測定物異常」と表示して通知する（Ｓ１８）。その後、ＣＰＵ９１は、処理をＳ２４に移行する。ＣＰＵ９１は、公転コントローラ９７を制御し、主軸モータ３５の原点位置に移動する（Ｓ２４）。次いで、ＣＰＵ９１は、処理を終了する。

＜９．本実施形態の主たる作用・効果＞
以上のように本実施形態における検査装置１による検査が行われる。本実施形態においては、ビームスプリッタ７１７、制御用光センサ７２１、測定用光センサ７２、ホルダ側アパーチャ６９４は、測定用光センサ７２の受光光量が制御用光センサ７２１の受光光量よりも大きくなるように構成されている。従って、制御用受光回路１０２の増幅回路１３０の増幅率が測定用受光回路１０１の増幅回路１３０の増幅率より大きくできる。その結果、制御用受光回路１０２の光量の変動に対する感度を制御用受光回路１０２の感度よりも高めて出力値の変動幅を小さくできる。よって、測定用光センサ７２の測定結果が安定する。

また、透過率Ｔが反射率Ｒよりも大きいビームスプリッタ７１７が使用されることにより、測定用光センサ７２の受光光量が制御用光センサ７２１の受光光量よりも大きくなる。よって、簡単な構成で測定用光センサ７２の受光光量を制御用光センサ７２１の受光光量よりも大きくできる。

測定用光センサ７２の変換効率ｂが制御用光センサ７２１の変換効率ａよりも高いものが採用されることにより、制御用受光回路１０２の増幅回路１３０の増幅率が測定用受光回路１０１の増幅回路１３０の増幅率より大きくできる。

制御用光センサ７２１の受光面積Ａ_ＦＰＤがホルダ側アパーチャ６９４の開口面積Ａ_ＡＰより小さくなることで、測定用光センサ７２の受光光量ＰＰＤを制御用光センサ７２１の受光光量Ｐ_ＦＰＤよりも大きくできる。

制御用光センサ７２１とビームスプリッタ７１７との間に、開口面積がホルダ側アパーチャ６９４の開口面積Ａ_ＡＰよりも小さい制御部側アパーチャ７２３Ａを有する制御部側アパーチャ板７２３を備えたので、制御用光センサ７２１の受光面積がホルダ側アパーチャ６９４の開口面積より大きい受光素子しかない場合でも、制御用光センサ７２１の受光光量Ｐ_ＦＰＤを測定用光センサ７２の受光光量Ｐ_ＰＤより小さくできる。

制御用光センサ７２１で検出される電圧値の変動量に基づいて、制御用受光回路１０２の増幅回路１３０の増幅率を変更することができるので、制御用受光回路１０２の増幅率が自動調整される。従って、発光ダイオードから発光される光の光量の変動を自動で低下できる。

ＣＰＵ９１は、フィードバック抵抗１３３の抵抗値Ｒ２を増加させることで、容易に
制御用受光回路１０２の増幅回路１３０の増幅率を増加させることができる。従って、簡単な回路で、制御用受光回路１０２の増幅回路１３０の増幅率を増加させることができる。従って、発光部から発光される光の光量の変動を自動で低下できる。

また、本実施形態においては、ビームスプリッタ７１７を備えているので、制御用光センサ７２１により発光ダイオード７３からの光の一部を受光して、発光ダイオード７３からの光の強度を検出できるので、発光ダイオード７３からからの光の強度を安定させるように精密に制御することができる。

また、本実施形態においては、発光ダイオード７３と測定用光センサ７２との間に検査チップ２が存在しても、制御用光センサ７２１は、発光ダイオード７３からの光を検査チップ２を透過せずに受光できる。制御装置９０が制御用光センサ７２１により受光された光の強度に基づいて、発光ダイオード７３の発光量が常に一定になるように制御するので、発光ダイオード７３が発光する光の強度を安定させることができる。従って、測定用光センサ７２の測定結果が安定し、測定精度を向上できる。

また、本実施形態においては、ＲＯＭ９３に目標電圧値を記憶しておくことにより、制御装置９０が発光ダイオード７３の発光量が一定になるように制御するので、発光ダイオード７３が発光する光の強度を安定させることができる。従って、測定結果が安定し、測定精度を向上できる。

上記実施形態において、ホルダ６１は本発明の「ホルダ」の一例である。発光ダイオード７３は本発明の「発光部」の一例である。測定用光センサ７２は本発明の「測定用受光部」の一例である。制御用光センサは本発明の「制御用受光部」の一例である。制御用受光回路１０２の増幅回路１３０が、本発明の「制御用増幅回路」の一例である。測定用受光回路１０１の増幅回路１３０が、本発明の「測定用増幅回路」の一例である。ホルダ側アパーチャ６９４は本発明の「ホルダ側アパーチャ」の一例である。アパーチャ板６９は本発明の「ホルダ側アパーチャ板」の一例である。制御部側アパーチャ７２３Ａは本発明の「発光部側アパーチャ」の一例である。制御部側アパーチャ板７２３は本発明の「発光部側アパーチャ板」の一例である。ＲＯＭ９３が本発明の「目標電圧値を記憶する記憶部」の一例である。ＣＰＵ９１が、本発明の「制御部」の一例である。ビームスプリッタ７１７が、本発明の「スプリッタ」の一例である。Ｓ３７の処理を実行するＣＰＵ９１が、本発明の「比較手段」の一例である。

なお、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更が可能である。例えば、検査装置１が第一軸線Ａ１に直交する水平方向の第二軸線Ａ２を中心にホルダ６１及び検査チップ２を回転させるようにしているが、本発明は、検査装置１が第一軸線Ａ１と平行な軸線を中心にホルダ６１及び検査チップ２を回転させる検査装置にも適用できる。本実施の形態では、ホルダ６１は、２個設けられていたが、４個、６個等設けられていてもよい。

また、ビームスプリッタ７１７を透過した光を制御用光センサ７２１、反射した光を測定用光センサ７２に入射させてもよい。また、増幅回路１３０の増幅率変更は、増幅率の増加だけでなく低下でも良い。

１ 検査装置
２ 検査チップ
３ 検査システム
６１ ホルダ
６９ アパーチャ板
７１ 光源部
７２ 測定用光センサ
７３ 発光ダイオード
９０ 制御装置
９１ ＣＰＵ
９３ ＲＯＭ
１０１ 測定用受光回路
１０２ 補正用受光回路
１２０ Ｉ−Ｖ変換回路
１２１ オペアンプ
１３０ 増幅回路
１３１ オペアンプ
６９４ ホルダ側アパーチャ
７１４ アパーチャ板
７１５ アパーチャ
７１６ レンズ
７１７ ビームスプリッタ
７２１ 制御用光センサ
７２３ 制御部側アパーチャ板
７２３Ａ 制御部側アパーチャ

Claims (7)

1. 検査チップを支持可能なホルダを第一軸線を中心に公転させる検査装置であって、
   公転される前記ホルダの公転軌道外に配置され、光を発光する発光部と、
   前記ホルダに設けられ、前記発光部から発光された光の内の一部の光を通過させるホルダ側アパーチャを有するホルダ側アパーチャ板と、
   前記ホルダ側アパーチャを通過した光を受光する測定用受光部と、
   前記第一軸線を中心に前記ホルダを公転させ、前記発光部と前記測定用受光部との間であって、前記光の光軸が前記ホルダ側アパーチャを通過する位置に前記ホルダを停止する公転機構と、
   前記発光部と、前記ホルダ側アパーチャ板が前記光軸と直交する位置に前記公転機構により配置される前記ホルダとの間、かつ前記公転軌道外に設けられ、前記発光部からの光の一部を反射し、一部を透過するスプリッタと、
   前記スプリッタからの光を受光する制御用受光部と、
   前記制御用受光部の出力を増幅する制御用増幅回路と、
   前記測定用受光部の出力を増幅する測定用増幅回路と、
   前記制御用増幅回路の出力に基づいて前記発光部の発光光量を制御する発光制御部と
   を備え、
   前記スプリッタ、前記制御用受光部、前記測定用受光部、前記ホルダ側アパーチャは、前記測定用受光部の受光光量が前記制御用受光部の受光光量よりも大きくなるように構成され、
   前記制御用増幅回路の増幅率が前記測定用増幅回路の増幅率以上であることを特徴とする検査装置。
2. 前記スプリッタの透過率Ｔが、前記スプリッタの反射率Ｒよりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 前記測定用受光部の受光光量から電流への変換効率ｂが、前記制御用受光部の受光光量から電流への変換効率ａよりも大きいことを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置。
4. 前記制御用受光部の受光面積Ａ_ＦＰＤが、前記ホルダ側アパーチャの開口面積Ａ_ＡＰより小さいことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の検査装置。
5. 前記制御用受光部と前記スプリッタとの間に、開口面積が前記ホルダ側アパーチャの開口面積よりも小さい制御部側アパーチャを有する制御部側アパーチャ板を備えたことを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の検査装置。
6. 前記測定用増幅回路から出力される電圧値の変動量に基づいて、前記制御用増幅回路の増幅率を変更する増幅率制御部を備え、
   前記増幅率制御部は、記憶部に予め記憶された前記測定用受光部で検出される電圧値の変動量の目標値を読み出し、前記変動量と比較する比較手段と、
   前記比較手段により、前記変動量が前記目標値の範囲内から外れる場合には、前記制御用増幅回路の増幅率を変更することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
7. 前記制御用増幅回路は、オペアンプの非反転増幅回路から構成され、
   前記非反転増幅回路の反転入力端子に接続された接地抵抗と、
   前記非反転増幅回路の非反転入力端子と出力端子間に接続されるフィードバック抵抗とを備え、
   前記増幅率制御部は、前記フィードバック抵抗の抵抗値を増加させることにより、前記制御用増幅回路の増幅率を増加させることを特徴とする請求項６に記載の検査装置。
   
   
   
   
   

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