JP2014109579A - 中性子またはx線ビーム源から放射されるビームによって試料を検査する方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料の検査開始前に、ビーム源、ビーム形成ユニット、試料ホルダ、検出器および検出器に前置された1次ビーム捕捉器のコンポーネントのうちの少なくとも1つのコンポーネントを、別の複数のコンポーネントのうちの少なくとも1つに対して相対的に、あらかじめ定めた固定点を基準にして、および/または、ビーム路を基準にして、制御ユニットにより、調整駆動部を介して配向し、および/またはその空間的な位置を基準にして調整し、制御ユニットによって、各コンポーネントに割り当てられている調整駆動部の制御ループに出力される調整量を設定するために、あらかじめ設定検出器領域において検出器によって測定したビーム強度および/またはこのビーム強度から導出した値を使用する。
【選択図】図2
Description
Claims (11)
- 中性子またはX線ビーム源(0)から放射されるビーム(8)によって試料を検査する方法であって、
前記ビーム(8)は、有利にはビーム形成光学系(1)および/またはビーム制限光学系(2)のような少なくとも1つのビーム形成ユニットを介して、試料ホルダ(7)によって支持される試料(3)に案内され、検出器(5)によって検出され、評価ユニット(30)によって評価される、方法において、
前記試料の検査開始前に、
ビーム源(0)、および/または
ビーム形成ユニット(1,2)、および/または
試料ホルダ(7)、および/または
検出器(5)、および/または
場合によっては前記検出器(5)に前置された1次ビーム捕捉器(4)のコンポーネントのうちの少なくとも1つのコンポーネントを、有利には複数のコンポーネントを、殊にすべてのコンポーネントを、別の複数のコンポーネント(0,1,2,4,5,7)のうちの少なくとも1つに対して相対的に、および/または、あらかじめ定めた固定点を基準にして、および/または、前記ビーム路(9)を基準にして、制御ユニット(6)により、調整駆動部(11)を介して配向し、および/またはその空間的な位置を基準にして調整し、
前記制御ユニット(6)によって、前記各コンポーネント(0,1,2,4,5,7)に割り当てられている調整駆動部(11)の制御ループに出力される調整量を設定するため、殊に少なくとも1つのあらかじめ設定した検出器領域において前記検出器(5)によって測定したビーム強度および/または当該ビーム強度から導出した値を使用する、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記個々のコンポーネント(0,1,2,4,5,7)は、場合によっては互いに依存せずに、測定を実行する前にあらかじめ設定された出発位置に調整されるか、または所定の出発位置にあり、
前記コンポーネントの位置および/または配向に相応する、前記出発調整の前記値を前記調整に対する出発値として使用する、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1または2に記載の方法において、
前記検出器(5)において求めたビーム強度および/または当該ビーム強度から導出した値と、記憶された目標値とを比較し、当該比較に依存して前記調整駆動部(11)によって前記個々のコンポーネント(0,1,2,4,5,7)を位置調整ないしは調整する、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1から3までのいずれか1項に記載の方法において、
前記個別のコンポーネント(0,1,2,4,5,7)の前記調整中に、少なくともあらかじめ設定した検出器領域において測定した前記ビーム強度を、殊に最大値であるあらかじめ設定した値に近似させ、および/または、
前記測定ビーム強度から導出される値として、
前記検出器(5)において積分した2次元画像における信号対雑音比および/または絶対強度、および/または、
前記散乱画像における個々の強度極大値の前記強度、および/または
殊に測定される角度領域にわたって運動する1次元検出器(5)を使用する場合には、局所的な強度極大値を求めるかないしは使用する、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1から4までのいずれか1項に記載の方法において、
前記コンポーネント(0,1,2,4,5,7)を空間位置について調整するため、前記ビーム路(9)の方向におよび/または当該ビーム路(9)の方向に対して垂直な面において位置調整し、および/または、前記ビーム路(9)の軸を基準にして配向を位置調整し、殊に前記ビーム路(9)の軸の周りに回転し、および/または前記軸を基準にして傾ける、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1から5までのいずれか1項に記載の方法において、
相異なる複数の検出器領域における前記調整量を求めるために前記検出器(5)に入射するX線ビームを測定し、
場合によっては、あらかじめ設定した検出器領域にわたって前記ビーム強度の経過を積分する、
ことを特徴とする方法。 - 試料をX線撮影で検査するための装置であって、
当該装置には、
中性子またはX線ビーム源(0)、
有利には少なくとも1つのビーム形成光学系(1)および/またはビーム制限光学系(2)である少なくとも1つのビーム形成ユニット、および
前記ビーム源(0)と検出器(5)との間に配置される試料ホルダ(7)が含まれており、該検出器(5)には場合によって1次ビーム捕捉器(4)が前置されている、
装置において、
ビーム源(0)、および/または、
ビーム形成ユニット(1)および/またはビーム制限ユニット(2)、および/または、
試料ホルダ(7)、および/または、
検出器(5)、および/または、
場合によっては該検出器(5)に前置接続される1次ビーム捕捉器(4)の複数のコンポーネントを配向および/または位置設定するため、前記少なくとも1つのコンポーネントは、有利には所定の個数の前記コンポーネントまたは前記各コンポーネントは、それぞれ少なくとも1つの調整駆動部(11)に、殊にそれぞれ少なくとも1つの固有の調整駆動部(11)に接続されており、かつ、位置調整可能であり、
前記調整駆動部には、制御ユニット(6)によって調整信号を供給することができ、前記制御ユニット(6)は、少なくとも1つのあらかじめ設定された前記検出器(5)の検出器領域において求めた前記ビーム強度の測定値用および/または当該測定値から導出される値用の入力部を有しており、かつ、当該測定値に依存して前記調整信号を形成する、
ことを特徴とする装置。 - 請求項7に記載の装置において、
前記制御ユニット(6)は、前記コンポーネント(0,1,2,4,5,7)のそれぞれの配向および/または位置に相応する調整の実際値用の入力部を有しており、
前記実際値は、記憶装置に記憶されているかまたは前記制御ユニット(6)に接続されている測定ユニットによって求めることができ、または、前記調整駆動部(11)によって供給されるか、ないしは当該調整駆動部から取り出すことができる、
ことを特徴とする装置。 - 請求項7または8に記載の装置において、
前記制御ユニット(6)には比較器が含まれており、
該比較器により、前記あらかじめ設定した検出器領域において求めた前記ビーム強度の測定値と、前記個々のコンポーネント(0,1,2,4,5,7)に対して記憶しおよび/または求めた調整の実際値とが比較可能である、
ことを特徴とする装置。 - 請求項7から9までのいずれか1項に記載の方法において、
前記ビーム形成光学系(1)および/または前記ビーム制限光学系(2)および前記ビーム源(0)は、これらの各調整駆動部(11)により、
3つの空間次元において互いに相対的にスライド可能であり、および/または、
前記光軸ないしは前記ビーム路(9)の周りに回転可能であり、および/または、
傾けて支承可能および駆動制御されて位置調整可能である、
ことを特徴とする方法。 - 請求項7から10までのいずれか1項に記載の装置において、
前記ビーム形成光学系(1)および/または前記ビーム成形光学系(2)を調整するため、当該光学系(1,2)は、前記ビーム路(9)においてスライド可能および/または傾け可能ないしはギャップ幅が調整可能な絞りの形態で構成されており、および/または、
前記試料ホルダ(7)および/または試料(3)および/または前記1次ビーム捕捉器(4)は、
前記ビーム路(9)に対して垂直な面から、当該ビーム路(9)にスライド可能であり、および/または、
前記ビーム路に傾けることが可能な支持ユニットに支持されており、および/または、
前記ビーム源(0)と前記試料ホルダ(7)および/または前記検出器(5)との間の相互の間隔、および/または、前記試料ホルダ(7)と前記検出器(5)との間の間隔は、当該コンポーネントに割り当てられている駆動制御部(11)により、前記ビーム強度の前記測定値および/または当該測定値から導出した値に依存して設定可能である、
ことを特徴とする装置。
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