JPH09229881A - Ｘ線回折装置 - Google Patents
Ｘ線回折装置Info
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- JPH09229881A JPH09229881A JP8041716A JP4171696A JPH09229881A JP H09229881 A JPH09229881 A JP H09229881A JP 8041716 A JP8041716 A JP 8041716A JP 4171696 A JP4171696 A JP 4171696A JP H09229881 A JPH09229881 A JP H09229881A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】湾曲結晶を用いたＸ線回折装置用モノクロメー
タの調整箇所を少なくして調整を容易にする。 【解決手段】検出スリット８を通った試料からの回折Ｘ
線Ｐは広がりを持って分光結晶９に入射し、この分光結
晶９によってＫα線のみが反射され、分光結晶９に接近
して配置された検出器１０によって検出される。このモ
ノクロメータの調整箇所は、検出スリットと分光結晶の
間の距離と、分光結晶の回転位置のみである。結晶回転
台１３に取り付けられた分光結晶９の回転位置は検出Ｘ
線強度が最大になるように結晶回転つまみ１４を操作す
ることで調整される。
タの調整箇所を少なくして調整を容易にする。 【解決手段】検出スリット８を通った試料からの回折Ｘ
線Ｐは広がりを持って分光結晶９に入射し、この分光結
晶９によってＫα線のみが反射され、分光結晶９に接近
して配置された検出器１０によって検出される。このモ
ノクロメータの調整箇所は、検出スリットと分光結晶の
間の距離と、分光結晶の回転位置のみである。結晶回転
台１３に取り付けられた分光結晶９の回転位置は検出Ｘ
線強度が最大になるように結晶回転つまみ１４を操作す
ることで調整される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、管球で発生したＸ
線を粉末試料などに照射し、この試料から放射される回
折Ｘ線を測定して試料に含まれる物質の成分の種類や量
を分析するＸ線回折装置に関し、特に、回折Ｘ線の中か
ら特定の波長のＸ線のみを取り出すために使われるモノ
クロメータを備えたＸ線回折装置に関する。
線を粉末試料などに照射し、この試料から放射される回
折Ｘ線を測定して試料に含まれる物質の成分の種類や量
を分析するＸ線回折装置に関し、特に、回折Ｘ線の中か
ら特定の波長のＸ線のみを取り出すために使われるモノ
クロメータを備えたＸ線回折装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線回折装置は、Ｘ線管で発生した特性
Ｘ線を粉末試料などに照射し、この試料によって回折さ
れた特性Ｘ線が放射される角度とその強度をゴニオメー
タに載置された検出器を用いて測定する。Ｘ線管で発生
する特性Ｘ線の波長は分かっているので、回折された特
性Ｘ線の放射される角度から試料に含まれる成分の結晶
面間隔を計算することができ、この角度と検出強度デー
タを使って試料に含まれる物質成分の種類や含まれてい
る量を分析することができる。
Ｘ線を粉末試料などに照射し、この試料によって回折さ
れた特性Ｘ線が放射される角度とその強度をゴニオメー
タに載置された検出器を用いて測定する。Ｘ線管で発生
する特性Ｘ線の波長は分かっているので、回折された特
性Ｘ線の放射される角度から試料に含まれる成分の結晶
面間隔を計算することができ、この角度と検出強度デー
タを使って試料に含まれる物質成分の種類や含まれてい
る量を分析することができる。
【０００３】ところで、一つのＸ線管で発生して試料に
向かって照射されるＸ線は一つの波長成分だけではな
く、Ｘ線管のターゲットに使われる物質のＫα線とＫβ
線の２種類の特性Ｘ線が含まれており、さらには、さま
ざまな波長成分をもつ連続Ｘ線も含まれている。Ｘ線回
折装置で必要なのは通常Ｋα線のみであり、Ｋβ線や連
続Ｘ線は、回折データの解析を複雑にしたりバックグラ
ウンドとなってＳ／Ｎを悪くしたりするので、なるべく
なら取り除くことが望ましい。
向かって照射されるＸ線は一つの波長成分だけではな
く、Ｘ線管のターゲットに使われる物質のＫα線とＫβ
線の２種類の特性Ｘ線が含まれており、さらには、さま
ざまな波長成分をもつ連続Ｘ線も含まれている。Ｘ線回
折装置で必要なのは通常Ｋα線のみであり、Ｋβ線や連
続Ｘ線は、回折データの解析を複雑にしたりバックグラ
ウンドとなってＳ／Ｎを悪くしたりするので、なるべく
なら取り除くことが望ましい。
【０００４】そのための手法の一つとして、従来から回
折Ｘ線を検出する検出器の直前にモノクロメータを設置
しＫα線のみを分光検出することが行われ、このモノク
ロメータとして、図３に示すようにヨハン型の湾曲結晶
を利用した集中法が用いられている。図３において、モ
ノクロメータやＸ線検出器を載せたカウンタアーム２１
はゴニオメータの２θ軸に取り付けられ、試料の回りを
回動してＸ線回折パターンを測定するものであり、矢印
Ｐの方向から試料からの回折Ｘ線が入射してくる。第１
スリット２２を通り、ある広がりを持って入射してくる
回折Ｘ線は湾曲されたヨハン型の分光結晶２３でＫα線
のみが反射され、反射された回折Ｘ線は再び第２スリッ
ト２４の位置に集中し、その背後に設置された検出器２
５によって検出される。第１スリット２２、分光結晶２
３、第２スリット２４はローランド円２６と呼ばれる仮
想的な円周上に配置され、正しく分光するためには、分
光結晶２３の結晶面の法線がローランド円の中心に向か
い、第１スリット２２と分光結晶２３との間の距離と、
分光結晶２３と第２スリット２４との間の距離がともに
所定の距離と等しくなるように調整する必要がある。
折Ｘ線を検出する検出器の直前にモノクロメータを設置
しＫα線のみを分光検出することが行われ、このモノク
ロメータとして、図３に示すようにヨハン型の湾曲結晶
を利用した集中法が用いられている。図３において、モ
ノクロメータやＸ線検出器を載せたカウンタアーム２１
はゴニオメータの２θ軸に取り付けられ、試料の回りを
回動してＸ線回折パターンを測定するものであり、矢印
Ｐの方向から試料からの回折Ｘ線が入射してくる。第１
スリット２２を通り、ある広がりを持って入射してくる
回折Ｘ線は湾曲されたヨハン型の分光結晶２３でＫα線
のみが反射され、反射された回折Ｘ線は再び第２スリッ
ト２４の位置に集中し、その背後に設置された検出器２
５によって検出される。第１スリット２２、分光結晶２
３、第２スリット２４はローランド円２６と呼ばれる仮
想的な円周上に配置され、正しく分光するためには、分
光結晶２３の結晶面の法線がローランド円の中心に向か
い、第１スリット２２と分光結晶２３との間の距離と、
分光結晶２３と第２スリット２４との間の距離がともに
所定の距離と等しくなるように調整する必要がある。
【０００５】このように正しく分光される配置とするた
めには４か所の調整が必要である。第１の調整箇所は第
１スリット２２と分光結晶２３との間の距離Ｌ１であ
る。第２の調整箇所は分光結晶２３と第２スリット２４
との距離Ｌ２である。第３の調整箇所は第１スリットか
ら見た分光結晶の方向に対する結晶面方向の角度αであ
る。第４の調整箇所は第１スリットから見た分光結晶の
方向に対する分光結晶から見た第２スリットの方向の角
度βである。ローランド円２６の半径をＲとすると、そ
れらの値はそれぞれ Ｌ１＝Ｌ２＝２Ｒｓｉｎα (1) β＝２α (2) となるように調整される必要がある。ここで、分光結晶
２３の格子面間隔をｄ、管球からの特性Ｘ線のＫα線の
波長をλとすると、この波長を持つ特性Ｘ線が分光結晶
２３によって反射される条件は λ＝２ｄｓｉｎα (3) である。波長λと格子面間隔ｄは物理的に分かっている
値であるので、式(3) の関係を用いて回折角度αを計算
することができ、この回折角度αを式(1) および(2) に
代入してＬ１、Ｌ２およびβを求めることができる。こ
のような値になるように上記した第１から第４までの調
整箇所を調整する。なお、ローランド円の半径がＲであ
るからヨハン型の分光結晶２３は半径が２Ｒとなるよう
に湾曲させられている。
めには４か所の調整が必要である。第１の調整箇所は第
１スリット２２と分光結晶２３との間の距離Ｌ１であ
る。第２の調整箇所は分光結晶２３と第２スリット２４
との距離Ｌ２である。第３の調整箇所は第１スリットか
ら見た分光結晶の方向に対する結晶面方向の角度αであ
る。第４の調整箇所は第１スリットから見た分光結晶の
方向に対する分光結晶から見た第２スリットの方向の角
度βである。ローランド円２６の半径をＲとすると、そ
れらの値はそれぞれ Ｌ１＝Ｌ２＝２Ｒｓｉｎα (1) β＝２α (2) となるように調整される必要がある。ここで、分光結晶
２３の格子面間隔をｄ、管球からの特性Ｘ線のＫα線の
波長をλとすると、この波長を持つ特性Ｘ線が分光結晶
２３によって反射される条件は λ＝２ｄｓｉｎα (3) である。波長λと格子面間隔ｄは物理的に分かっている
値であるので、式(3) の関係を用いて回折角度αを計算
することができ、この回折角度αを式(1) および(2) に
代入してＬ１、Ｌ２およびβを求めることができる。こ
のような値になるように上記した第１から第４までの調
整箇所を調整する。なお、ローランド円の半径がＲであ
るからヨハン型の分光結晶２３は半径が２Ｒとなるよう
に湾曲させられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記したように、従来
のＸ線回折装置の湾曲結晶を用いたモノクロメータには
多くの調整箇所があった。実際の調整作業は検出器で検
出されるＸ線強度をモニタしながらＸ線強度がなるべく
強くなるように各調整箇所を動かすのであるが、各調整
箇所は互いに影響を与えるので、繰り返し各調整箇所を
動かしながら検出されるＸ線強度が最大になるようにし
なければならず、従来装置ではその調整が大変面倒であ
り熟練を要していた。
のＸ線回折装置の湾曲結晶を用いたモノクロメータには
多くの調整箇所があった。実際の調整作業は検出器で検
出されるＸ線強度をモニタしながらＸ線強度がなるべく
強くなるように各調整箇所を動かすのであるが、各調整
箇所は互いに影響を与えるので、繰り返し各調整箇所を
動かしながら検出されるＸ線強度が最大になるようにし
なければならず、従来装置ではその調整が大変面倒であ
り熟練を要していた。
【０００７】また、とくに特性Ｘ線波長の長いＸ線管を
使用する場合に、従来装置では分光結晶と第２スリット
との距離（すなわち、図３および式(1) におけるＬ２）
が大きくなるのでＸ線検出部の占めるスペースが大きく
なり、Ｘ線回折装置全体の大きさも大きくなるという不
都合があった。
使用する場合に、従来装置では分光結晶と第２スリット
との距離（すなわち、図３および式(1) におけるＬ２）
が大きくなるのでＸ線検出部の占めるスペースが大きく
なり、Ｘ線回折装置全体の大きさも大きくなるという不
都合があった。
【０００８】本発明は、このような事情に鑑みて成され
たものであって、モノクロメータの調整箇所を少なくし
て調整が容易に行えるようにし、しかも、コンパクトな
モノクロメータを備えたＸ線回折装置を提供することを
目的とする。
たものであって、モノクロメータの調整箇所を少なくし
て調整が容易に行えるようにし、しかも、コンパクトな
モノクロメータを備えたＸ線回折装置を提供することを
目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、湾曲分光結晶を用いたモノクロメータを
備えたＸ線回折装置において、前記モノクロメータはス
リットを湾曲分光結晶のＸ線入射側のみに有し、かつ、
Ｘ線検出器が湾曲分光結晶に接近して配置されたことを
特徴とする。
に、本発明は、湾曲分光結晶を用いたモノクロメータを
備えたＸ線回折装置において、前記モノクロメータはス
リットを湾曲分光結晶のＸ線入射側のみに有し、かつ、
Ｘ線検出器が湾曲分光結晶に接近して配置されたことを
特徴とする。
【００１０】本発明のＸ線回折装置は上記のように構成
されており、スリットが湾曲分光結晶のＸ線入射側にし
かなく、さらに、この湾曲分光結晶に接近してＸ線検出
器が配置されるので、調整箇所はスリットと湾曲分光結
晶の間の距離と湾曲分光結晶の回転角度の２箇所のみと
なり、調整が容易となる。また、検出器を分光結晶に接
近して配置しているため、装置がコンパクトになる。
されており、スリットが湾曲分光結晶のＸ線入射側にし
かなく、さらに、この湾曲分光結晶に接近してＸ線検出
器が配置されるので、調整箇所はスリットと湾曲分光結
晶の間の距離と湾曲分光結晶の回転角度の２箇所のみと
なり、調整が容易となる。また、検出器を分光結晶に接
近して配置しているため、装置がコンパクトになる。
【００１１】従来装置で検出器の前に設置されたスリッ
ト（図３における第２スリット２４）は散乱線が検出器
に入射して測定データのバックグラウンドをあげること
を防ぐ目的で取付けられているものであり、Ｘ線の単色
化のためにはかならずしも必要ではなく、本来なくても
よいものである。本願発明はその点に着目して、モノク
ロメータの調整箇所の減少を図って調整を容易にすると
ともに装置の大きさをコンパクトにしたものである。
ト（図３における第２スリット２４）は散乱線が検出器
に入射して測定データのバックグラウンドをあげること
を防ぐ目的で取付けられているものであり、Ｘ線の単色
化のためにはかならずしも必要ではなく、本来なくても
よいものである。本願発明はその点に着目して、モノク
ロメータの調整箇所の減少を図って調整を容易にすると
ともに装置の大きさをコンパクトにしたものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明を図面を参照しながら説明
する。図１は本発明のＸ線回折装置の一実施の形態を示
す図であり、図２はその要部であるモノクロメータを含
む検出部を示す図である。図１において、本発明のＸ線
回折装置１はゴニオメータ２、Ｘ線管３、検出部１１な
どからなる。Ｘ線管３のターゲットで発生し、発散スリ
ット４によって広がりを制限されたＸ線５は試料６に照
射され、試料６で回折されたＸ線はカウンタアーム７上
の検出スリット８の位置に再び収束する。検出スリット
８を通過したＸ線は分光結晶９によってＸ線のうち特性
Ｘ線のＫα線のみが反射されて検出器１０に到達し、そ
の強度が測定される。Ｘ線回折パターンの測定は例えば
θ−２θ連動のゴニオメータ走査によって行う。すなわ
ち、ゴニオメータ２のθ軸によって試料６を矢印Ａのよ
うにθ回転し、同時にゴニオメータ２の２θ軸によって
カウンタアーム７を矢印Ｂのように２θ回転を行い、検
出器１０によって試料から放射される回折Ｘ線の強度を
測定していく。Ｘ線管３のターゲットで発生し試料６に
照射されるＸ線５は、Ｘ線管ターゲット物質のＫα線と
Ｋβ線さらには連続Ｘ線を含み、回折条件を満たす角度
のときには、試料６からはそれらすべての波長のＸ線が
反射されて検出スリット８に向かうが、検出器１０に達
して検出されるＸ線は、検出スリット８と分光結晶９か
らなる単色化の作用により、Ｘ線管３のターゲット物質
のＫα線のみである。このように本発明のＸ線回折装置
を用いることによって、Ｋβ線によるピークや連続Ｘ線
によるバックグラウンドの含まれない、Ｋα線のみによ
るＸ線回折パターンが得られる。
する。図１は本発明のＸ線回折装置の一実施の形態を示
す図であり、図２はその要部であるモノクロメータを含
む検出部を示す図である。図１において、本発明のＸ線
回折装置１はゴニオメータ２、Ｘ線管３、検出部１１な
どからなる。Ｘ線管３のターゲットで発生し、発散スリ
ット４によって広がりを制限されたＸ線５は試料６に照
射され、試料６で回折されたＸ線はカウンタアーム７上
の検出スリット８の位置に再び収束する。検出スリット
８を通過したＸ線は分光結晶９によってＸ線のうち特性
Ｘ線のＫα線のみが反射されて検出器１０に到達し、そ
の強度が測定される。Ｘ線回折パターンの測定は例えば
θ−２θ連動のゴニオメータ走査によって行う。すなわ
ち、ゴニオメータ２のθ軸によって試料６を矢印Ａのよ
うにθ回転し、同時にゴニオメータ２の２θ軸によって
カウンタアーム７を矢印Ｂのように２θ回転を行い、検
出器１０によって試料から放射される回折Ｘ線の強度を
測定していく。Ｘ線管３のターゲットで発生し試料６に
照射されるＸ線５は、Ｘ線管ターゲット物質のＫα線と
Ｋβ線さらには連続Ｘ線を含み、回折条件を満たす角度
のときには、試料６からはそれらすべての波長のＸ線が
反射されて検出スリット８に向かうが、検出器１０に達
して検出されるＸ線は、検出スリット８と分光結晶９か
らなる単色化の作用により、Ｘ線管３のターゲット物質
のＫα線のみである。このように本発明のＸ線回折装置
を用いることによって、Ｋβ線によるピークや連続Ｘ線
によるバックグラウンドの含まれない、Ｋα線のみによ
るＸ線回折パターンが得られる。
【００１３】次に、本発明の要部であるモノクロメータ
を含む検出部１１の構成例を図２によって説明する。モ
ノクロメータやＸ線検出器を載せたカウンタアーム７は
ゴニオメータの２θ軸に取り付けられ、試料の回りを回
動してＸ線回折パターンを測定するものであり、矢印Ｐ
の方向から試料からの回折Ｘ線が入射してくる。検出ス
リット８を通り、ある広がりを持って入射してくる回折
Ｘ線は湾曲されたヨハン型の分光結晶９でＫα線のみが
反射される。反射されたＸ線は分光結晶に接近して配置
された検出器１０によって検出される。分光結晶９の材
料はグラファイトの単結晶などが使われており、ローラ
ンド円１２の半径をＲとするとヨハン型の分光結晶とな
るよう半径が２Ｒとなるように湾曲している。そして分
光結晶９は結晶回転台１３に載置されており、ローラン
ド円１２に接している結晶表面の中央を軸として回転す
ることができる。また検出器１０としては、シンチレー
タによってＸ線を光に変換しその光を光電子増倍管によ
って電気信号に変換するシンチレーション検出器などが
使われる。シンチレーション検出器はＸ線受光面積が大
きいので本発明にとって好都合な検出器である。
を含む検出部１１の構成例を図２によって説明する。モ
ノクロメータやＸ線検出器を載せたカウンタアーム７は
ゴニオメータの２θ軸に取り付けられ、試料の回りを回
動してＸ線回折パターンを測定するものであり、矢印Ｐ
の方向から試料からの回折Ｘ線が入射してくる。検出ス
リット８を通り、ある広がりを持って入射してくる回折
Ｘ線は湾曲されたヨハン型の分光結晶９でＫα線のみが
反射される。反射されたＸ線は分光結晶に接近して配置
された検出器１０によって検出される。分光結晶９の材
料はグラファイトの単結晶などが使われており、ローラ
ンド円１２の半径をＲとするとヨハン型の分光結晶とな
るよう半径が２Ｒとなるように湾曲している。そして分
光結晶９は結晶回転台１３に載置されており、ローラン
ド円１２に接している結晶表面の中央を軸として回転す
ることができる。また検出器１０としては、シンチレー
タによってＸ線を光に変換しその光を光電子増倍管によ
って電気信号に変換するシンチレーション検出器などが
使われる。シンチレーション検出器はＸ線受光面積が大
きいので本発明にとって好都合な検出器である。
【００１４】図２において、検出スリット８と分光結晶
９はローランド円１２上に配置されるが、検出器１０は
特別にスリットを持たず分光結晶９に接近して配置され
ている。このような構成において、調整箇所は次の２か
所となる。第１の調整箇所は検出スリット８と分光結晶
９との距離であり、第２の調整箇所は検出スリット８か
ら見た分光結晶９の方向に対する結晶面方向の角度α
（分光結晶の回転角度）である。分光結晶９と検出器１
０の間の距離や、検出スリット８から見た分光結晶９の
方向に対する分光結晶９から見た検出器１０方向の角度
β（検出器の配置角度）については特別な調整が必要な
い。なぜならば、検出器１０の前にはスリットが存在せ
ず、比較的大きな面積のＸ線受光面が分光結晶に接近し
て対向しているので、分光結晶９によって反射されたＸ
線はすべてＸ線受光面に当たり検出器１０により検出さ
れる。すなわち、分光結晶９と検出器１０の間の距離は
なるべく接近させるだけでよく、検出器の配置角度βは
設計的に決められた角度となるように組み立てるだけで
十分である。
９はローランド円１２上に配置されるが、検出器１０は
特別にスリットを持たず分光結晶９に接近して配置され
ている。このような構成において、調整箇所は次の２か
所となる。第１の調整箇所は検出スリット８と分光結晶
９との距離であり、第２の調整箇所は検出スリット８か
ら見た分光結晶９の方向に対する結晶面方向の角度α
（分光結晶の回転角度）である。分光結晶９と検出器１
０の間の距離や、検出スリット８から見た分光結晶９の
方向に対する分光結晶９から見た検出器１０方向の角度
β（検出器の配置角度）については特別な調整が必要な
い。なぜならば、検出器１０の前にはスリットが存在せ
ず、比較的大きな面積のＸ線受光面が分光結晶に接近し
て対向しているので、分光結晶９によって反射されたＸ
線はすべてＸ線受光面に当たり検出器１０により検出さ
れる。すなわち、分光結晶９と検出器１０の間の距離は
なるべく接近させるだけでよく、検出器の配置角度βは
設計的に決められた角度となるように組み立てるだけで
十分である。
【００１５】本発明におけるモノクロメータの調整は次
のように行う。まず、分光結晶がない状態すなわち検出
スリット８のすぐ後に検出器１０を設置した状態でゴニ
オメータを回動して試料からのＫα線回折ピークをとら
え、その位置にカウンタアーム７を固定する。次に、検
出スリット８の後に分光結晶９と検出器１０などを図２
のように設置し、検出スリット８と分光結晶９の距離Ｌ
１が設計的に決められた値になるような位置に分光結晶
９を位置決めする。検出器１０の配置角度βも設計的に
決められた値とする。このような準備の後にＸ線を試料
に当て、試料からの回折Ｘ線が検出スリット８に入射す
るようにし、結晶回転台１３に設けられている結晶回転
調整つまみ１４を操作して分光結晶９を回転させ、検出
される強度が最も強くなる結晶回転位置をみつけだし、
その時に得られた最高強度を記録する。次に、検出スリ
ット８と分光結晶９の距離Ｌ１がわずかに変わるように
分光結晶９をＸ線光軸方向に動かして、上記と同様に、
分光結晶９を回転させたときの最高強度を測定記録す
る。これを繰り返して、得られた最高強度のうち最も大
きな値が得られた位置になるようにＬ１を再設定し、そ
の距離の位置で分光結晶９を回転して最も大きな検出強
度が得られる結晶回転位置をみつけだし分光結晶９を固
定する。以上でモノクロメータの調整は完了である。
のように行う。まず、分光結晶がない状態すなわち検出
スリット８のすぐ後に検出器１０を設置した状態でゴニ
オメータを回動して試料からのＫα線回折ピークをとら
え、その位置にカウンタアーム７を固定する。次に、検
出スリット８の後に分光結晶９と検出器１０などを図２
のように設置し、検出スリット８と分光結晶９の距離Ｌ
１が設計的に決められた値になるような位置に分光結晶
９を位置決めする。検出器１０の配置角度βも設計的に
決められた値とする。このような準備の後にＸ線を試料
に当て、試料からの回折Ｘ線が検出スリット８に入射す
るようにし、結晶回転台１３に設けられている結晶回転
調整つまみ１４を操作して分光結晶９を回転させ、検出
される強度が最も強くなる結晶回転位置をみつけだし、
その時に得られた最高強度を記録する。次に、検出スリ
ット８と分光結晶９の距離Ｌ１がわずかに変わるように
分光結晶９をＸ線光軸方向に動かして、上記と同様に、
分光結晶９を回転させたときの最高強度を測定記録す
る。これを繰り返して、得られた最高強度のうち最も大
きな値が得られた位置になるようにＬ１を再設定し、そ
の距離の位置で分光結晶９を回転して最も大きな検出強
度が得られる結晶回転位置をみつけだし分光結晶９を固
定する。以上でモノクロメータの調整は完了である。
【００１６】上記で、検出スリット８と分光結晶９の距
離Ｌ１や分光結晶の回転角度αおよび検出器の配置角度
βは、ローランド円１２の半径をＲとすると、従来技術
の説明の欄で説明したと同じように、それぞれ Ｌ１＝２Ｒｓｉｎα (4) β＝２α (5) となるような値が設計値である。αの値は、分光結晶２
３の格子面間隔をｄ、Ｘ線管からの特性Ｘ線のＫα線の
波長をλとすると、この波長を持つ特性Ｘ線が分光結晶
２３によって反射される条件 λ＝２ｄｓｉｎα (6) から計算される。
離Ｌ１や分光結晶の回転角度αおよび検出器の配置角度
βは、ローランド円１２の半径をＲとすると、従来技術
の説明の欄で説明したと同じように、それぞれ Ｌ１＝２Ｒｓｉｎα (4) β＝２α (5) となるような値が設計値である。αの値は、分光結晶２
３の格子面間隔をｄ、Ｘ線管からの特性Ｘ線のＫα線の
波長をλとすると、この波長を持つ特性Ｘ線が分光結晶
２３によって反射される条件 λ＝２ｄｓｉｎα (6) から計算される。
【００１７】なお、上記した実施の形態では分光結晶の
回転角度の調整などは調整つまみによって手動で調整す
る例を示したが、その駆動をモータなどによって行うよ
うにし、モノクロメータの調整を自動的に行うようにし
たＸ線回折装置も本発明に含まれるものである。また、
分光結晶にはヨハン型の湾曲結晶を用いた例を示した
が、ヨハンソン型やログスパイラル型など他の形式の湾
曲分光結晶を用いてもよいことはもちろんである。
回転角度の調整などは調整つまみによって手動で調整す
る例を示したが、その駆動をモータなどによって行うよ
うにし、モノクロメータの調整を自動的に行うようにし
たＸ線回折装置も本発明に含まれるものである。また、
分光結晶にはヨハン型の湾曲結晶を用いた例を示した
が、ヨハンソン型やログスパイラル型など他の形式の湾
曲分光結晶を用いてもよいことはもちろんである。
【００１８】
【発明の効果】モノクロメータを含むＸ線検出部の設定
変更と調整は、Ｘ線回折装置のＸ線管を別の種類のもの
に交換したときには必ず行わなければならないものであ
るが、本発明のＸ線回折装置のモノクロメータは、スリ
ットが湾曲分光結晶のＸ線入射側のみに設けられてお
り、さらに、この湾曲分光結晶に接近してＸ線検出器が
配置されているので、調整箇所はスリットと湾曲分光結
晶の間の距離と湾曲分光結晶の回転角度の２箇所のみと
なり、モノクロメータ部の調整が容易であって熟練を要
しない。さらに、調整のための駆動部が少ないので装置
が堅牢となる。
変更と調整は、Ｘ線回折装置のＸ線管を別の種類のもの
に交換したときには必ず行わなければならないものであ
るが、本発明のＸ線回折装置のモノクロメータは、スリ
ットが湾曲分光結晶のＸ線入射側のみに設けられてお
り、さらに、この湾曲分光結晶に接近してＸ線検出器が
配置されているので、調整箇所はスリットと湾曲分光結
晶の間の距離と湾曲分光結晶の回転角度の２箇所のみと
なり、モノクロメータ部の調整が容易であって熟練を要
しない。さらに、調整のための駆動部が少ないので装置
が堅牢となる。
【００１９】また、検出器を分光結晶に接近して配置し
ているため、装置がコンパクトになる。とくに特性Ｘ線
波長の長いＸ線管を使用する場合に、従来装置では分光
結晶と検出器との距離を大きくとって配置する必要があ
るが、本発明装置では常に検出器と分光結晶は接近して
おり、特別に大きくなることがない。
ているため、装置がコンパクトになる。とくに特性Ｘ線
波長の長いＸ線管を使用する場合に、従来装置では分光
結晶と検出器との距離を大きくとって配置する必要があ
るが、本発明装置では常に検出器と分光結晶は接近して
おり、特別に大きくなることがない。
【図１】本発明のＸ線回折装置の実施の一形態である。
【図２】本発明の要部であるＸ線検出部の構成例であ
る。
る。
【図３】従来のＸ線回折装置につかわれるモノクロメー
タの一例である。
タの一例である。
１…Ｘ線回折装置 ２…ゴニオメータ ３…Ｘ線管 ４…発散スリット ５…Ｘ線 ６…試料 ７…カウンタアーム ８…検出スリット ９…分光結晶 １０…検出器 １１…検出部 １２…ローランド円 １３…結晶回転台 １４…結晶回転調整つまみ ２１…カウンタアーム ２２…第１スリット ２３…分光結晶 ２４…第２スリット ２５…検出器 ２６…ローランド円
Claims (1)
- 【請求項１】 湾曲分光結晶を用いたモノクロメータを
備えたＸ線回折装置において、前記モノクロメータはス
リットを湾曲分光結晶のＸ線入射側のみに有し、かつ、
Ｘ線検出器が湾曲分光結晶に接近して配置されたことを
特徴とするＸ線回折装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08041716A JP3116805B2 (ja) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | Ｘ線回折装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08041716A JP3116805B2 (ja) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | Ｘ線回折装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09229881A true JPH09229881A (ja) | 1997-09-05 |
| JP3116805B2 JP3116805B2 (ja) | 2000-12-11 |
Family
ID=12616155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08041716A Expired - Fee Related JP3116805B2 (ja) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | Ｘ線回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3116805B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014109579A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Anton Paar Gmbh | 中性子またはｘ線ビーム源から放射されるビームによって試料を検査する方法および装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06102103A (ja) * | 1992-09-17 | 1994-04-15 | Toshiba Corp | Ｘ線応力測定装置 |
-
1996
- 1996-02-28 JP JP08041716A patent/JP3116805B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06102103A (ja) * | 1992-09-17 | 1994-04-15 | Toshiba Corp | Ｘ線応力測定装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014109579A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Anton Paar Gmbh | 中性子またはｘ線ビーム源から放射されるビームによって試料を検査する方法および装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3116805B2 (ja) | 2000-12-11 |
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