JP2019005866A - 吸着装置 - Google Patents

Abstract

【課題】吸着パッドの内側の空気を迅速に排出することができる吸着装置を提供する。
【解決手段】吸着装置１０は、吸着パッド２２と、弁座５６と、シール栓２６と、ギヤードモータ３０とを備える。吸着パッド２２は、吸盤の基端部４０に軸方向に貫通する貫通路４２が形成された構成である。弁座５６は、貫通路４２と大気空間５４とを連通する連通路４６の開口周縁部に形成されている。シール栓２６は、弁座５６から離れて対向配置されている。ギヤードモータ３０は、シール栓２６と連結されており、シール栓２６を弁座５６に接触させ弁座５６から離す。
【選択図】図２

Description

本発明は、ワークを吸着する吸着パッドを備える吸着装置に関する。

例えば、製造現場では、ワークを搬送したり組み付けたりするために、ワークを吸着パッドで吸着する吸着装置が利用されることがある。このような吸着装置としては、例えば、特許文献１に記載のものがある。

すなわち、特許文献１に記載された吸着装置は、吸着パッドと、吸着パッドと接続された逆止弁とを備える。逆止弁は、弁座とシート弁とを有している。シート弁は、通常、弁座に密着したノーマリクローズとなっている。

この吸着装置では、吸着パッドがワークに押し付けられて弾性変形すると、吸着パッドとワークとの間から押し出された空気が逆止弁に送られて、この逆止弁のシート弁が変形する。そして、シート弁が弁座から離間することで開放し、吸着パッドとワークとの間から押し出された空気が大気空間に放出される。その後、シート弁が弁座に密着して閉止すると、吸着パッドとワークとの間の空間が密閉されて、吸着パッドが引き上げられたときに吸着パッドの内側が負圧になり、吸着パッドがワークを吸着する。

特開２００４−５８２０２号公報

しかしながら、特許文献１に記載の吸着装置では、シート弁がノーマリクローズであるため、シート弁が開放するには、シート弁が弁座に密着した状態から変形して、このシート弁が弁座から離間する必要がある。したがって、吸着パッドとワークとの間から押し出された空気が大気空間に放出されるまでに時間を要するため、吸着パッドの内側の空気を迅速に排出することができないという課題がある。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、吸着パッドの内側の空気を迅速に排出することができる吸着装置を提供することを目的とする。

前記課題を解決するために、請求項１に記載の吸着装置は、吸盤の基端部に軸方向に貫通する貫通路が形成された吸着パッドと、前記貫通路と大気空間とを連通する連通路の開口周縁部に形成された弁座と、前記弁座から離れて対向配置されたシール栓と、前記シール栓と連結され、前記シール栓を前記弁座に接触させ前記弁座から離す電動アクチュエータと、を備える。

この吸着装置によれば、シール栓は、通常、開放状態にあるノーマリオープンであり、弁座から離れて対向配置されている。したがって、吸着パッドがワークに押し付けられて弾性変形した場合には、吸着パッドとワークとの間から押し出された空気を、貫通路及び連通路等を介して大気空間に迅速に放出することができる。これにより、例えば、シール栓がノーマリクローズである場合に比して、吸着パッドの内側の空気を迅速に排出することができる。

請求項２に記載の吸着装置は、請求項１に記載の吸着装置において、前記シール栓を保持する保持部材をさらに備え、前記電動アクチュエータが、前記保持部材に形成されたネジ孔と螺合されたネジ軸と、前記ネジ軸を回転させる本体部とを有するギヤードモータとされたものである。

この吸着装置によれば、シール栓とギヤードモータとの間には、ネジ軸とネジ孔とによって構成されるボールネジ機構が設けられている。したがって、シール栓が弁座に密着して、シール栓が閉止した状態では、ボールネジ機構のセルフロック機能により、シール栓を閉止した状態に維持することができる。これにより、吸着パッドがワークを吸着している状態において、シール栓の開放を抑制することができるので、吸着パッドの内側を負圧に維持することができる。

また、ギヤードモータを逆転させ、シール栓を弁座から離すことで、吸着パッドの内側の負圧状態を解除でき、吸着パッドをワークから離すことができる。

請求項３に記載の吸着装置は、請求項１に記載の吸着装置において、前記電動アクチュエータが、前記シール栓と連結された可動軸と、前記可動軸を進退動させる本体部とを有する電磁ソレノイドとされたものである。

この吸着装置によれば、シール栓を開閉させるための駆動源として、シール栓と連結された可動軸と、可動軸を進退動させる本体部とを有する電磁ソレノイドが用いられている。したがって、シール栓が弁座に密着して、シール栓が閉止した状態では、本体部が通電されて可動軸が本体部から押し出された状態に保持されるロック動作により、シール栓を閉止した状態に維持することができる。これにより、吸着パッドがワークを吸着している状態において、シール栓の開放を抑制することができるので、吸着パッドの内側を負圧に維持することができる。

また、可動軸を本体部に引き戻して、シール栓を弁座から離すことで、吸着パッドの内側の負圧状態を解除でき、吸着パッドをワークから離すことができる。

以上詳述したように、本発明によれば、吸着パッドの内側の空気を迅速に排出することができる。

吸着ハンドの一例を示す正面図である。 本発明の第一実施形態に係る吸着装置の縦断面図であって、この吸着装置のシール栓が開放された通常状態を示す図である。 本発明の第一実施形態に係る吸着装置の縦断面図であって、この吸着装置のシール栓が閉止された吸着状態を示す図である。 本発明の第二実施形態に係る吸着装置の縦断面図であって、この吸着装置のシール栓が開放された通常状態を示す図である。 本発明の第二実施形態に係る吸着装置の縦断面図であって、この吸着装置のシール栓が閉止された吸着状態を示す図である。

［吸着ハンドの一例］
はじめに、吸着ハンドの一例について説明する。

図１に示される吸着ハンドＨは、ワークＷを吸着するためのものであり、一対の吸着装置１０（１１０）と、一対のドライバユニット１２と、アタッチメント１４とを備える。なお、図１に示される符号１０は、以下に説明する本発明の第一実施形態に係る吸着装置を示しており、図１中のカッコ付きの符号１１０は、後述する本発明の第二実施形態に係る吸着装置を示している。吸着ハンドＨには、本発明の第一実施形態に係る吸着装置１０及び本発明の第二実施形態に係る吸着装置１１０のいずれも適用可能である。

一対の吸着装置１０（１１０）は、平行に配置されており、連結板１６によって連結されている。一対のドライバユニット１２は、一対の吸着装置１０（１１０）のそれぞれに対応して設けられている。この一対のドライバユニット１２は、連結板１６に搭載されている。アタッチメント１４は、一対のドライバユニット１２の間において連結板１６に固定されている。このアタッチメント１４は、例えば、ロボットアームＡの先端部に連結される。

［第一実施形態］
次に、本発明の第一実施形態について説明する。

図２に示されるように、本発明の第一実施形態に係る吸着装置１０は、吸着パッド２２と、弁座部材２４と、シール栓２６と、保持部材２８と、ギヤードモータ３０と、第一スイッチ３２と、第二スイッチ３４と、ケース３６とを備える。

吸着パッド２２は、吸盤部３８と基端部４０とを有しており、全体として、先端側が拡開する吸盤状に形成されている。吸着パッド２２の基端部４０（吸盤の基端部）には、この基端部４０の軸方向（吸着パッド２２の軸方向）に貫通する貫通路４２が形成されている。この貫通路４２は、吸着パッド２２の吸盤部３８の内側空間と連通している。

弁座部材２４は、ケース３６の底壁部４４と吸着パッド２２の基端部４０との間に設けられている。この弁座部材２４は、吸着パッド２２と同軸上に配置されている。弁座部材２４には、この弁座部材２４の軸方向に貫通する連通路４６が形成されている。この連通路４６は、上述の貫通路４２と連通すると共に、貫通路４２よりも内径が小さく形成されている。この連通路４６は、ケース３６の底壁部４４に貫通して形成された開口４８と連通している。

ケース３６の側壁部５０には、大気開放穴５２が貫通して形成されており、連通路４６は、開口４８、ケース３６の内側空間、及び、大気開放穴５２を介して大気空間５４と連通している。連通路４６における貫通路４２と反対側の開口周縁部には、弁座５６が形成されている。弁座５６は、吸着パッド２２側に向かうに従って縮径するテーパ状に形成されている。

シール栓２６は、弁座部材２４に対する吸着パッド２２と反対側に配置されており、ケース３６の内側に収容されている。このシール栓２６は、例えば、ゴム製であり、先端部が円錐状の円柱体で形成されている。吸着パッド２２及び弁座部材２４と同軸上に配置されている。このシール栓２６は、通常、開放状態にあるノーマリオープンであり、弁座部材２４の弁座５６から離れて対向配置されている。なお、この場合の通常とは、吸着パッド２２がワークＷを吸着する前の状態（吸着していない状態）に相当する。

保持部材２８は、シール栓２６に対する弁座部材２４と反対側に配置されており、ケース３６の内側に収容されている。この保持部材２８は、平盤状の本体部５８と、この本体部５８からシール栓２６側に延びる複数のアーム部６０を有しており、この複数のアーム部６０でシール栓２６を保持している。

ケース３６には、保持部材２８に対するシール栓２６と反対側に位置する中壁部６２が設けられており、この中壁部６２には、シール栓２６に向けて延びる複数のガイド軸６４が設けられている。この複数のガイド軸６４は、後述するギヤードモータ３０のネジ軸６８の軸方向に沿って延びている。

この複数のガイド軸６４は、保持部材２８の本体部５８を貫通しており、保持部材２８は、複数のガイド軸６４によって、ギヤードモータ３０のネジ軸６８の軸方向に沿って移動可能に支持されている。また、保持部材２８の本体部５８には、複数のガイド軸６４の軸方向に沿って貫通するネジ孔６６が形成されている。

ギヤードモータ３０は、保持部材２８に対するシール栓２６と反対側に配置されており、中壁部６２に固定された状態でケース３６の内側に収容されている。このギヤードモータ３０は、吸着パッド２２、弁座部材２４、及び、シール栓２６と同軸上に配置されている。

このギヤードモータ３０は、「電動アクチュエータ」の一例であり、ネジ軸６８と、ネジ軸６８を回転させる本体部７０とを有する。ネジ軸６８は、本体部７０から保持部材２８側に延びており、ネジ孔６６と螺合されている。このネジ軸６８は、ネジ孔６６とでボールネジ機構を構成するものであり、保持部材２８を介してシール栓２６と連結されている。

第一スイッチ３２は、ケース３６の底壁部４４に固定されている。この第一スイッチ３２の先端部は、ケース３６の底壁部４４からケース３６の内側に突出されており、保持部材２８の本体部５８と対向している。第一スイッチ３２の先端部には、接触部７２が設けられている。

第一スイッチ３２は、シール栓２６が弁座５６に接触して閉止状態にあるときには、接触部７２が保持部材２８の本体部５８に押圧されてスイッチオンになるように配置されている。また、第一スイッチ３２は、シール栓２６が弁座５６から離間して開放状態にあるときには、接触部７２が保持部材２８の本体部５８から離間してスイッチオフになるように配置されている。

第二スイッチ３４は、ケース３６の中壁部６２に固定されている。この第二スイッチ３４の先端部は、ケース３６の中壁部６２からケース３６の内側に突出されており、保持部材２８の本体部５８と対向している。第二スイッチ３４の先端部には、接触部７４が設けられている。

第二スイッチ３４は、シール栓２６が弁座５６から離間して開放状態にあるときには、接触部７４が保持部材２８の本体部５８に押圧されてスイッチオンになるように配置されている。また、第二スイッチ３４は、シール栓２６が弁座５６に接触して閉止状態にあるときには、接触部７４が保持部材２８の本体部５８から離間してスイッチオフになるように配置されている。

上述の第一スイッチ３２及び第二スイッチ３４と、ギヤードモータ３０は、図１に示されるドライバユニット１２に電気的に接続される。ドライバユニット１２は、制御回路等を内蔵しており、第一スイッチ３２及び第二スイッチ３４のスイッチオン・オフに応じて出力される信号に基づいてギヤードモータ３０を制御する機能を有する。

また、吸着パッド２２の一部又は全部は、圧電ゴムで構成されており、吸盤部３８がワークＷに押し付けられて変形すると、ドライバユニット１２へ電気信号を送る。これにより、吸着パッド２２の変形状態が検知される。

次に、本発明の第一実施形態の吸着装置１０の動作について説明する。

先ず、吸着装置１０の吸着動作について説明する。この吸着装置１０では、吸着パッド２２がワークＷに押し付けられて弾性変形すると、図２に示される吸着パッド２２とワークＷとの間から押し出された空気が、貫通路４２、連通路４６、開口４８、ケース３６の内側空間、及び、大気開放穴５２を介して大気空間５４に放出される。また、吸着パッド２２の吸盤部３８がワークＷに押し付けられて変形したことは、圧電ゴムからドライバユニット１２へ電気信号が送られることで検知される。

その後、ドライバユニット１２によってギヤードモータ３０が制御され、ギヤードモータ３０が作動する。ギヤードモータ３０が作動すると、本体部７０によってネジ軸６８が回転され、このネジ軸６８とネジ孔６６とによって構成されるボールネジ機構によりネジ軸６８の回転が保持部材２８の直進運動に変換される。

そして、図３に示されるように、保持部材２８が弁座部材２４側に押し出されて、保持部材２８と共にシール栓２６が弁座５６側に移動し、シール栓２６が弁座５６に接触して密着する。このようにシール栓２６が弁座５６に密着すると、シール栓２６が閉止した状態になり、連通路４６及び貫通路４２が密閉されることで、吸着パッド２２とワークＷとの間の空間が密閉される。また、吸着パッド２２が引き上げられると、吸着パッド２２の内側が負圧になり、吸着パッド２２がワークＷを吸着する。

また、このように、シール栓２６が弁座５６に密着した状態では、第一スイッチ３２の接触部７２が保持部材２８の本体部５８に押圧され、第二スイッチ３４の接触部７４が保持部材２８の本体部５８と離間する。そして、この第一スイッチ３２のスイッチオン及び第二スイッチ３４のスイッチオフに応じた信号がドライバユニット１２（図１参照）に出力されると、ギヤードモータ３０がドライバユニット１２によって停止させられる。これにより、吸着パッド２２がワークＷに吸着された状態に維持される。

続いて、吸着装置１０の吸着解除動作について説明する。この吸着装置１０では、ドライバユニット１２によってギヤードモータ３０が制御され、ギヤードモータ３０が上記とは逆向きに作動すると、ギヤードモータ３０の本体部７０によってネジ軸６８が上記とは逆方向に回転される。

そして、ロボットアームＡ（図１参照）によってワークＷが次の工程へ搬送され載置されると、図２に示されるように、保持部材２８がギヤードモータ３０側に引き寄せられて、保持部材２８と共にシール栓２６が弁座５６と反対側に移動し、シール栓２６が弁座５６から離れる。このようにシール栓２６が弁座５６から離れて、シール栓２６が弁座５６から離れて対向配置された元の位置に戻ると、シール栓２６が開放した状態になる。

これにより、吸着パッド２２とワークＷとの間の空間が、貫通路４２、連通路４６、開口４８、ケース３６の内側空間、及び、大気開放穴５２を介して大気空間５４と連通する。そして、吸着パッド２２とワークＷとの間の空間に大気空間５４からの空気が流入すると共に、吸着パッド２２の形状が復元して、吸着パッド２２とワークＷとの吸着が解除される。

また、このように、シール栓２６が弁座５６から離間した状態では、第一スイッチ３２の接触部７２が保持部材２８の本体部５８と離間し、第二スイッチ３４の接触部７４が保持部材２８の本体部５８に押圧される。そして、この第一スイッチ３２のスイッチオフ及び第二スイッチ３４のスイッチオンに応じた信号がドライバユニット１２（図１参照）に出力されると、ギヤードモータ３０がドライバユニット１２によって停止させられる。

次に、本発明の第一実施形態の作用及び効果について説明する。

以上詳述したように、本発明の第一実施形態に係る吸着装置１０によれば、シール栓２６は、通常、開放状態にあるノーマリオープンであり、弁座部材２４の弁座５６から離れて対向配置されている。したがって、吸着パッド２２がワークＷに押し付けられて弾性変形した場合には、吸着パッド２２とワークＷとの間から押し出された空気を、貫通路４２、連通路４６、開口４８、ケース３６の内側空間、及び、大気開放穴５２を介して大気空間５４に迅速に放出することができる。これにより、例えば、シール栓２６がノーマリクローズである場合に比して、吸着パッド２２の内側の空気を迅速に排出することができる。

また、シール栓２６とギヤードモータ３０との間には、ネジ軸６８とネジ孔６６とによって構成されるボールネジ機構が設けられている。したがって、シール栓２６が弁座５６に密着して、シール栓２６が閉止した状態では、ボールネジ機構のセルフロック機能により、シール栓２６を閉止した状態に維持することができる。これにより、吸着パッド２２がワークＷを吸着している状態において、シール栓２６の開放を抑制することができるので、吸着パッド２２の内側を負圧に維持することができる。

また、ギヤードモータ３０を逆転させ、シール栓２６を弁座５６から離すことで、吸着パッド２２の内側の負圧状態を解除でき、吸着パッド２２をワークＷから離すことができる。

さらに、円柱状のシール栓２６で弁座５６を閉じる構成なので、弁体で弁座５６を閉じる構成に比して、経年劣化しにくい。

［第二実施形態］
次に、本発明の第二実施形態について説明する。

図４に示される本発明の第二実施形態に係る吸着装置１１０は、上述の第一実施形態に係る吸着装置１０（図２参照）に対し、次のように構成が変更されている。

つまり、本発明の第二実施形態に係る吸着装置１１０は、「電動アクチュエータ」の一例として、電磁ソレノイド１３０を備える。電磁ソレノイド１３０は、保持部材２８に対するシール栓２６と反対側に配置されており、ケース３６に固定された状態でケース３６の内側に収容されている。この電磁ソレノイド１３０は、可動軸１３２と、可動軸１３２を進退動させる本体部１３４と、引張バネ１３６とを有する。

可動軸１３２は、保持部材２８を介してシール栓２６と連結されている。引張バネ１３６は、本体部１３４の後端部と可動軸１３２の後端部との間に引張状態で設けられており、可動軸１３２は、通常、引張バネ１３６により本体部１３４側に引き込まれた状態となっている。可動軸１３２が引張バネ１３６により本体部１３４側に引き込まれることにより、シール栓２６は、通常、開放状態にあるノーマリオープンとされ、弁座部材２４の弁座５６から離れて対向配置されている。

ケース３６の底壁部４４には、上述の可動軸１３２の軸方向に沿って延びるガイド軸１３８が設けられている。このガイド軸１３８は、保持部材２８の本体部５８を貫通しており、保持部材２８は、ガイド軸１３８によって、可動軸１３２の軸方向に沿って移動可能に支持されている。

また、吸着装置１１０は、スイッチ１４０を備える。スイッチ１４０は、ケース３６の底壁部４４に固定されている。このスイッチ１４０の先端部は、ケース３６の底壁部４４からケース３６の内側に突出されており、保持部材２８の本体部５８と対向している。スイッチ１４０の先端部には、接触部１４２が設けられている。

スイッチ１４０は、シール栓２６が弁座５６に接触して閉止状態にあるときには、接触部１４２が保持部材２８の本体部５８に押圧されてスイッチオンになるように配置されている。また、スイッチ１４０は、シール栓２６が弁座５６から離間して開放状態にあるときには、接触部１４２が保持部材２８の本体部５８から離間してスイッチオフになるように配置されている。

上述のスイッチ１４０と、電磁ソレノイド１３０は、ドライバユニット１２（図１参照）に電気的に接続される。本発明の第二実施形態に係る吸着装置１１０において、上記以外の構成は、第一実施形態に係る吸着装置１０（図２参照）と同様である。

次に、本発明の第二実施形態の吸着装置１１０の動作について説明する。

先ず、吸着装置１１０の吸着動作について説明する。この吸着装置１１０では、吸着パッド２２がワークＷに押し付けられて弾性変形すると、図４に示される吸着パッド２２とワークＷとの間から押し出された空気が、貫通路４２、連通路４６、開口４８、ケース３６の内側空間、及び、大気開放穴５２を介して大気空間５４に放出される。また、吸着パッド２２の吸盤部３８がワークＷに押し付けられて変形したことは、圧電ゴムからドライバユニット１２へ電気信号が送られることで検知される。

その後、ドライバユニット１２によって電磁ソレノイド１３０が制御され、電磁ソレノイド１３０が作動する。電磁ソレノイド１３０が作動すると、本体部１３４によって可動軸１３２が押し出される。

そして、図５に示されるように、保持部材２８が可動軸１３２によって押し出されて、保持部材２８と共にシール栓２６が弁座５６側に移動し、シール栓２６が弁座５６に接触して密着する。このようにシール栓２６が弁座５６に密着すると、シール栓２６が閉止した状態になり、連通路４６及び貫通路４２が密閉されることで、吸着パッド２２とワークＷとの間の空間が密閉される。また、吸着パッド２２が引き上げられると、吸着パッド２２の内側が負圧になり、吸着パッド２２がワークＷを吸着する。

また、このように、シール栓２６が弁座５６に密着した状態では、スイッチ１４０の接触部１４２が保持部材２８の本体部５８に押圧される。そして、このスイッチ１４０のスイッチオンに応じた信号がドライバユニット１２（図１参照）に出力されると、ドライバユニット１２によって、電磁ソレノイド１３０が作動した状態、すなわち、本体部１３４が通電された状態に保持される。これにより、吸着パッド２２がワークＷに吸着された状態に維持される。

続いて、吸着装置１１０の吸着解除動作について説明する。この吸着装置１１０では、ドライバユニット１２によって電磁ソレノイド１３０が制御され、電磁ソレノイド１３０の作動が停止される。電磁ソレノイド１３０の作動が停止されると、引張バネ１３６によって可動軸１３２が本体部１３４側に引き込まれる。

そして、ロボットアームＡ（図１参照）によってワークＷが次の工程へ搬送され載置されると、図４に示されるように、保持部材２８が電磁ソレノイド１３０側に引き寄せられて、保持部材２８と共にシール栓２６が弁座５６と反対側に移動し、シール栓２６が弁座５６から離れる。このようにシール栓２６が弁座５６から離れて、シール栓２６が弁座５６から離れて対向配置された元の位置に戻ると、シール栓２６が開放した状態になる。

これにより、吸着パッド２２とワークＷとの間の空間が、貫通路４２、連通路４６、開口４８、ケース３６の内側空間、及び、大気開放穴５２を介して大気空間５４と連通する。そして、吸着パッド２２とワークＷとの間の空間に大気空間５４からの空気が流入すると共に、吸着パッド２２の形状が復元して、吸着パッド２２とワークＷとの吸着が解除される。

次に、本発明の第二実施形態の作用及び効果について説明する。

以上詳述したように、本発明の第二実施形態に係る吸着装置１１０においても、シール栓２６は、通常、開放状態にあるノーマリオープンであり、弁座部材２４の弁座５６から離れて対向配置されている。したがって、吸着パッド２２がワークＷに押し付けられて弾性変形した場合には、吸着パッド２２とワークＷとの間から押し出された空気を、貫通路４２、連通路４６、開口４８、ケース３６の内側空間、及び、大気開放穴５２を介して大気空間５４に迅速に放出することができる。これにより、例えば、シール栓２６がノーマリクローズである場合に比して、吸着パッド２２の内側の空気を迅速に排出することができる。

また、シール栓２６を開閉させるための駆動源として、シール栓２６と連結された可動軸１３２と、可動軸１３２を進退動させる本体部１３４とを有する電磁ソレノイド１３０が用いられている。したがって、シール栓２６が弁座５６に密着して、シール栓２６が閉止した状態では、本体部１３４が通電されて可動軸１３２が本体部１３４から押し出された状態に保持されるロック動作により、シール栓２６を閉止した状態に維持することができる。これにより、吸着パッド２２がワークＷを吸着している状態において、シール栓２６の開放を抑制することができるので、吸着パッド２２の内側を負圧に維持することができる。

また、可動軸１３２を本体部１３４に引き戻して、シール栓２６を弁座５６から離すことで、吸着パッド２２の内側の負圧状態を解除でき、吸着パッド２２をワークＷから離すことができる。

以上、本発明の第一及び第二実施形態について説明したが、本発明は、上記に限定されるものでなく、上記以外にも、その主旨を逸脱しない範囲内において種々変形して実施可能であることは勿論である。

Ａ…ロボットアーム、Ｈ…吸着ハンド、Ｗ…ワーク。
１０…吸着装置、１２…ドライバユニット、１４…アタッチメント、１６…連結板、２２…吸着パッド、２４…弁座部材、２６…シール栓、２８…保持部材、３０…ギヤードモータ（電動アクチュエータの一例）、３２…第一スイッチ、３４…第二スイッチ、３６…ケース、３８…吸盤部、４０…基端部、４２…貫通路、４４…ケースの底壁部、４６…連通路、４８…開口、５０…ケースの側壁部、５２…大気開放穴、５４…大気空間、５６…弁座、５８…保持部材の本体部、６０…アーム部、６２…ケースの中壁部、６４…ガイド軸、６６…ネジ孔、６８…ネジ軸、７０…ギヤードモータの本体部、７２…接触部、７４…接触部。
１１０…吸着装置、１３０…電磁ソレノイド（電動アクチュエータの一例）、１３２…可動軸、１３４…電動アクチュエータの本体部、１３６…引張バネ、１３８…ガイド軸、１４０…スイッチ、１４２…接触部。

Claims (3)

1. 吸盤の基端部に軸方向に貫通する貫通路が形成された吸着パッドと、
   前記貫通路と大気空間とを連通する連通路の開口周縁部に形成された弁座と、
   前記弁座から離れて対向配置されたシール栓と、
   前記シール栓と連結され、前記シール栓を前記弁座に接触させ前記弁座から離す電動アクチュエータと、
   を備える吸着装置。
2. 前記シール栓を保持する保持部材をさらに備え、
   前記電動アクチュエータは、前記保持部材に形成されたネジ孔と螺合されたネジ軸と、前記ネジ軸を回転させる本体部とを有するギヤードモータである、
   請求項１に記載の吸着装置。
3. 前記電動アクチュエータは、前記シール栓と連結された可動軸と、前記可動軸を進退動させる本体部とを有する電磁ソレノイドである、
   請求項１に記載の吸着装置。