JP2019001692A - ステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物 - Google Patents
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Abstract
Description
真空封着には真空炉を使用する必要がある。しかし真空炉における伝熱は輻射のみであり、一般的に温度の炉内ばらつきが大きくなる傾向にある。
また封着処理の前に脱ガス処理として300〜320℃の温度にて約90分間保持する必要がある。しかし、この際ガラス中に結晶の核が発生し、封着処理の際に前記核を中心として結晶析出が促進される傾向にあり、結晶析出が促進されるとフロー性が悪化する。結晶析出促進の傾向は、脱ガス温度が高く、脱ガス時間が長いほど顕著となるので、脱ガス中の温度の炉内ばらつきにより、結晶析出の度合い、ひいてはフロー性にばらつきが生じる。
また封着処理中の温度、時間も結晶析出の度合い、フロー性に影響する。そして封着処理中の温度ばらつきも封着性能に大きく影響を及ぼす。よって封着性能のばらつきを抑制するには、ガラスを結晶析出し難くすると共に、低融化させることなどが必要となる。
従来から、例えばSUS304を使用したステンレス鋼製真空二重容器の真空封着には、ステンレス鋼の鋭敏化を防ぐため、低温にて封着可能な鉛ガラスが用いられている。
しかしながら、鉛ガラスは鉛成分を主成分とするため、人体、環境、その他の点において悪影響を持つので、鉛成分を含まないガラスが望まれている。
このような経緯から、近年、鉛ガラスの代替として、ビスマス系ガラスを適用させようとする試みがなされている。
しかしながら特許文献1に開示されているガラス組成物は、選択した組成によって非結晶性のガラスであったり、結晶性のガラスとなったりするため、安定性に欠け、ガラスのフロー性に課題が生じ得る。
特許文献2には、500℃まで結晶化ピークが発生しないビスマス系無鉛ガラス組成物が開示されている。また特許文献3には、金属製真空二重容器の真空封着用に適したビスマス系の封着用無鉛ガラス組成物が開示されている。
しかしながら特許文献2、3で開示されているガラス組成物は、TeO2を含んでいないため、Bi2O3量を多くして低融化をした場合、結晶化に改善すべき問題がある。
特許文献4には、TeO2−WO3−ZnO系ガラスが開示されている。
しかしながら、この特許文献4のガラスにはアルカリ金属、酸化ビスマスが含まれておらず、低融化に改善すべき問題がある。
特許文献5には、やはりTeO2系ガラスが開示されている。
しかしながら、この特許文献5のガラスには、WO3が含まれておらず、結晶化及び低融化に改善すべき問題がある。
本発明のステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物はステンレス鋼製の内外容器間を排気孔により真空排気し、内外容器間の真空を保持する目的で排気孔を真空封着するのに用いることができる。
また本発明のステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物は、上記第1の特徴に加えて、質量%表示で、TeO2:45〜60%、Bi2O3:4〜20%、WO3:4〜20%、ZnO:2〜20%、MgO、CaO、SrO、BaOの内の少なくとも1種以上を合計で0〜10%、を含有し、且つPbO、V2O5を含有しないことを第2の特徴としている。
また本発明のステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物は、上記第2の特徴に加えて、質量%表示で、TeO2:48〜55%、Bi2O3:10〜18%、WO3:8〜18%、ZnO:2〜15%、MgO、CaO、SrO、BaOの内の少なくとも1種以上を合計で2〜5%、を含有し、且つPbO、V2O5を含有しないことを第3の特徴としている。
また本発明のステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物は、上記第1〜第3の何れかの特徴に加えて、質量%表示で、Li2O、Na2O、K2Oの内の少なくとも1種以上を合計で7%以下含有することを第4の特徴としている。
また本発明のステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物は、上記第1〜第4の何れかの特徴に加えて、質量%表示で、B2O3、Al2O3の内の少なくとも1種以上を合計で10%以下含有することを第5の特徴としている。
また本発明のステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物は、上記第1〜第5の何れかの特徴に加えて、質量%表示で、CuO、CoOの内の少なくとも1種以上を合計で10%以下含有することを第6の特徴としている。
また請求項2に記載のステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物によれば、上記請求項1の構成による作用効果に加えて、含有量を更に限定した範囲にすることにより、更に結晶析出し難いステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物を提供できる。
また請求項3に記載のステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物によれば、上記請求項2の構成による作用効果に加えて、含有量をより一層限定した範囲にすることにより、より一層結晶析出し難いステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物を提供できる。
また請求項5に記載のステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物によれば、上記請求項1〜4の何れかの構成による作用効果に加えて、質量%表示で、B2O3、Al2O3の内の少なくとも1種以上を合計で10%以下含有することにより、焼成時により低温で結晶析出し難く、フロー性に優れ、550℃以下での低温で容易、確実に封着することができるステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物を現に提供することができる。
また請求項6に記載のステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物によれば、上記請求項1〜5の何れかの構成による作用効果に加えて、質量%表示で、CuO、CoOの内の少なくとも1種以上を合計で10%以下含有することにより、より一層、焼成時に低温で結晶析出し難く、フロー性に優れ、550℃以下での低温で容易、確実に封着することができるステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物を現に提供することができる。
以下、本実施形態に係るステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物について、各成分含有量の限定理由等について説明する。なお、以下は全て質量%表示とする。
TeO2が40%未満の場合、ガラスが得られないおそれがあり、また得られたとしてもガラスの成形性が悪いおそれがある。
またTeO2が60%を超える場合、ガラスは得られるが、封着が不安定になるおそれがあり、好ましくない。
TeO2の含有量は、ガラスの成形性、軟化温度等を考慮すると、45〜60%であることが好ましく、48〜55%であることが更に好ましく、50〜52%であることが最も好ましい。
Bi2O3が4%未満では、ガラスの軟化点が高くなり、フロー性が悪化する。
またBi2O3が25%を超えると、ガラスが不安定となり、焼成時に結晶が析出し易くなり、フロー性が悪化し、封着不良が発生する。
Bi2O3の含有量は、ガラスの成形性、軟化点等を考慮すると、4〜20%であることが好ましく、10〜18%であることが更に好ましく、14〜16%であることが最も好ましい。
WO3が4%未満では、WO3添加による効果が不十分となり、結晶が析出し易くなる。
またWO3が25%を越えると、軟化点が高くなり、フロー性が悪化する。
WO3の含有量は、ガラスの成形性、軟化点等を考慮すると、4〜20%であることが好ましく、8〜18%であることが更に好ましく、10〜15%であることが最も好ましい。
ZnOが2%未満では、結晶が析出し易くなる。
またZnOが25%を超えると、ガラスが不安定となり、焼成時に結晶が析出し易くなる。
ZnOの含有量は、ガラスの成形性等を考慮すると、2〜20%であることが好ましく、2〜15%であることが更に好ましく、5〜15%であることが最も好ましい。
勿論、含有させなくても良いが、含有させる場合は20%、好ましくは10%まで含有させることができる。
MgO、CaO、SrO、BaOが合計で20%を超える場合は、ガラスが得られない、或いはガラスが得られたとしても結晶が析出し易くなる。
ガラスの安定化の効果を良好に得るには、MgO、CaO、SrO、BaOの内の少なくとも1種以上を合計で2〜5%含有させるのがより好ましい。
Li2O、Na2O、K2Oを合計で7%を超えて含有させた場合、ガラスが得られない、或いは得られたとしても結晶が析出し易くなる。
封止温度をより低温にするためには、Li2O、Na2O、K2Oの内の少なくとも1種以上を合計で2〜5%含有させることが好ましい。
B2O3、Al2O3を合計で10%を超えて含有させた場合、ガラスは得られるが、ガラスの軟化点が高くなり、目標となる温度でフローしない。
ガラスをより安定化させるためには、B2O3、Al2O3の内の少なくとも1種以上を合計で2〜6%含有させることが好ましい。
CuO、CoOを合計で10%を超えて含有させた場合、ガラスが得られない、或いは得られたとしても結晶が析出し易くなる。
ステンレス鋼との密着性を向上させる観点から、CuO、CoOの内の少なくとも1種以上を合計で3〜9%含有させることが好ましい。
ここで「含有させない」との表現について、本明細書においては酸化鉛(PbO)と酸化バナジウム(V2O5)を有効成分とする原料は使用しないとの意味であり、ガラスを構成する各成分の原料、その他に由来する微量分が混入したものを排除するものではない。言い換えれば、不純物として含有しているものまで本発明の範囲に入らないと言う意味ではない。
本発明の封着用ガラスは、例えば球、半球、おはじき状、或いは前記に類似した形状で使用することができる。
原料としては、酸化テルル、酸化ビスマス、酸化タングステン、酸化亜鉛、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸ストロンチウム、炭酸バリウム、炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、酸化ケイ素、ホウ酸、水酸化アルミニウム、酸化銅、酸化コバルト等を用いた。
表1〜表6に示すように、実施例1〜40及び比較例1〜2に示すガラス組成となるように原料を調合、混合した。
そして、その混合物を白金るつぼに入れ、850〜950℃の温度で1時間溶融した後、双ロール法で急冷してガラスフレークを得ると共に、予め加熱しておいたカーボン板に流し出してブロックを作製した。
その後、ブロックは予想されるガラス転移点Tgより約50℃高い温度に設定した電気炉に入れ、徐冷を行った。
作製したガラスフレークを900〜1000℃の温度範囲で再溶融し、適当な粘度となるまで温度を下げて滴下し、直径約5mm、高さ約2mm、重量約180mgの半球状の成形体を成形した。
実施例1〜40、比較例1〜2について、下記の方法によりガラス粉末の結晶化温度、ガラスブロックの熱膨張係数αを測定すると共に、ガラスのフロー性を判定した。
結果を表1〜表6に示す。
ガラスフレークを乳鉢で粉砕し、ガラス粉末を得た。そのガラス粉末約60〜80mgを白金セルに充填し、DTA測定装置(リガク社製Thermo Plus TG8120)を用いて、室温から20℃/分で昇温させて、ガラス転移点(℃)、軟化点(℃)、結晶化温度(℃)が検出されるかを測定した。
結晶化については、DTA測定装置で検出された結晶化温度が、焼成温度上限550℃未満のものを△、550℃以上のものを○、検出されなかったものを◎として判定した。
得られたガラスブロックを約5×5×15mmに切り出し、研磨して測定用のサンプルとした。TMA測定装置を用いて、室温から10℃/分で昇温したときに得られる熱膨張曲線から、50℃と300℃の2点に基づく熱膨張係数(×10−7/℃)を求めた。
得られた半球状の成形体をSUS製板の上に置き、焼成温度480℃、保持時間20分で焼成し、そのフローした直径を測定し、5.5mm以下のものを×、5.5mm超〜7mm以下のものを△、7mm超〜10mm以下のものを○、10mm超のものを◎と判定した。
原料としては、酸化テルル、酸化ビスマス、酸化タングステン、酸化亜鉛を用い、所定の割合になるよう調合、混合し、該混合物を白金るつぼに入れ、950℃の温度で1時間溶融した後、双ロール法で急冷してガラスフレークを得ると共に、予め加熱しておいたカーボン板に流し出してブロックを作製した。その後、ブロックは予想されるガラス転移点より約50℃高い温度に設定した電気炉に入れ、徐冷を行った。
できたガラスフレークを乳鉢で粉砕し、ガラス粉末を得、約80mgを白金セルに充填し、DTA測定装置を用いて、室温から20℃/分で昇温させて、ガラス転移点、軟化点、結晶化温度を測定したところ、それぞれ355℃、412℃、558℃であった。またガラスブロックから切り出したサンプルの50℃と300℃の2点に基づく熱膨張係数αを求めたところ、146×10−7/℃であった。
作製したガラスフレークを1000℃で再溶融し、適当な粘度となるまで温度を下げて滴下して得た半球状の成形体を480℃で20分焼成し、フロー径を測定したところ8.3mmで、判定は○であった。
実施例2〜40も同様にして測定、評価した。
原料としては、酸化ビスマス、酸化亜鉛、炭酸カルシウム、炭酸バリウム、ホウ酸、水酸化アルミニウム、酸化銅、酸化コバルトを用い、所定の割合になるよう調合、混合し、該混合物を白金るつぼに入れ、950℃の温度で1時間溶融した後、双ロール法で急冷してガラスフレークを得ると共に、予め加熱しておいたカーボン板に流し出してブロックを作製した。その後、ブロックは予想されるガラス転移点より約50℃高い温度に設定した電気炉に入れ、徐冷を行った。
できたガラスフレークを乳鉢で粉砕し、ガラス粉末を得、約80mgを白金セルに充填し、DTA測定装置を用いて、室温から20℃/分で昇温させて、ガラス転移点、軟化点、結晶化温度を測定したところ、それぞれ353℃、423℃、518℃であった。
またガラスブロックから切り出したサンプルの50℃と300℃の2点に基づく熱膨張係数αを求めたところ、110×10−7/℃であった。
作製したガラスフレークを1000℃で再溶融し、適当な粘度となるまで温度を下げて滴下して得た半球状の成形体を480℃で20分焼成し、フロー径を測定したところ5.5mmで、評価は×であった。
原料としては、酸化ビスマス、酸化亜鉛、炭酸バリウム、炭酸ナトリウム、ホウ酸、酸化ケイ素、水酸化アルミニウムを用い、所定の割合になるよう調合、混合し、該混合物を白金るつぼに入れ、950℃の温度で1時間溶融した後、双ロール法で急冷してガラスフレークを得ると共に、予め加熱しておいたカーボン板に流し出してブロックを作製した。その後、ブロックは予想されるガラス転移点より約50℃高い温度に設定した電気炉に入れ、徐冷を行った。
できたガラスフレークを乳鉢で粉砕し、ガラス粉末を得、約80mgを白金セルに充填し、DTA測定装置を用いて、室温から20℃/分で昇温させて、ガラス転移点、軟化点を測定したところ、それぞれ372℃、439℃であった。なお、結晶化温度は検出されなかった。
またガラスブロックから切り出したサンプルの50℃と300℃の2点に基づく熱膨張係数αを求めたところ、101×10−7/℃であった。
作製したガラスフレークを1000℃で再溶融し、適当な粘度となるまで温度を下げて滴下して得た半球状の成形体を480℃で20分焼成し、フロー径を測定したところ5.2mmで、評価は×であった。
Claims (6)
- 質量%表示で、
TeO2 :40〜60%、
Bi2O3 :4〜25%、
WO3 :4〜25%、
ZnO :2〜25%、
MgO、CaO、SrO、BaOの内の少なくとも1種以上を合計で0〜20%、
を含有し、且つPbO、V2O5を含有しないことを特徴とするステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物。 - 質量%表示で、
TeO2 :45〜60%、
Bi2O3 :4〜20%、
WO3 :4〜20%、
ZnO :2〜20%、
MgO、CaO、SrO、BaOの内の少なくとも1種以上を合計で0〜10%、
を含有し、且つPbO、V2O5を含有しないことを特徴とする請求項1に記載のステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物。 - 質量%表示で、
TeO2 :48〜55%、
Bi2O3 :10〜18%、
WO3 :8〜18%、
ZnO :2〜15%、
MgO、CaO、SrO、BaOの内の少なくとも1種以上を合計で2〜5%、
を含有し、且つPbO、V2O5を含有しないことを特徴とする請求項2に記載のステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物。 - 質量%表示で、
Li2O、Na2O、K2Oの内の少なくとも1種以上を合計で7%以下含有することを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物。 - 質量%表示で、
B2O3、Al2O3の内の少なくとも1種以上を合計で10%以下含有することを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物。 - 質量%表示で、
CuO、CoOの内の少なくとも1種以上を合計で10%以下含有することを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載のステンレス鋼製真空二重容器封着用無鉛ガラス組成物。
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