JP2018527612A - リソグラフィ装置のための抑制フィルタ、放射コレクタ及び放射源、並びに抑制フィルタの少なくとも2つの反射面レベル間の分離距離を決定する方法 - Google Patents
リソグラフィ装置のための抑制フィルタ、放射コレクタ及び放射源、並びに抑制フィルタの少なくとも2つの反射面レベル間の分離距離を決定する方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
[0001] 本出願は、2015年8月25日に出願された欧州特許出願第15182402.6号の優先権を主張し、参照によりその全体が組み込まれる。
パターン印刷の限界の理論的な推定値は式(1)に示すようなレイリーの解像基準によって得られる。
−放射ビームB(例えば、EUV放射)を条件付けるように構成された、照明システム(又はイルミネータ)IL、
−パターニングデバイス(例えば、マスク又はレチクル)MAを支持するように構築され、パターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第1のポジショナPMに接続された、支持構造(例えば、マスクテーブル)MT、
−基板(例えば、レジストコートウェーハ)Wを保持するように構築され、基板を正確に位置決めするように構成された第2のポジショナPWに接続された、基板テーブル(例えば、ウェーハテーブル)WT、及び、
−パターニングデバイスMAによって放射ビームBに付与されたパターンを、基板Wのターゲット部分C(例えば、1つ以上のダイを含む)上に投影するように構成された、投影システム(例えば、反射型投影システム)PS、
を備える。
1.ステップモードでは、支持構造(例えばマスクテーブル)MT及び基板テーブルWTは、基本的に静止状態に維持される一方、放射ビームに付与されたパターン全体が1回でターゲット部分Cに投影される(すなわち単一静的露光)。次に、別のターゲット部分Cを露光できるように、基板テーブルWTがX方向及び/又はY方向に移動される。
2.スキャンモードでは、支持構造(例えばマスクテーブル)MT及び基板テーブルWTは同期的にスキャンされる一方、放射ビームに付与されるパターンがターゲット部分Cに投影される(すなわち単一動的露光)。支持構造(例えばマスクテーブル)MTに対する基板テーブルWTの速度及び方向は、投影システムPSの拡大(縮小)及び像反転特性によって求めることができる。
3.別のモードでは、支持構造(例えばマスクテーブル)MTはプログラマブルパターニングデバイスを保持して基本的に静止状態に維持され、基板テーブルWTを移動又はスキャンさせながら、放射ビームに与えられたパターンをターゲット部分Cに投影する。このモードでは、一般にパルス状放射源を使用して、基板テーブルWTを移動させる毎に、又はスキャン中に連続する放射パルスの間で、プログラマブルパターニングデバイスを必要に応じて更新する。この動作モードは、以上で言及したようなタイプのプログラマブルミラーアレイなどのプログラマブルパターニングデバイスを使用するマスクレスリソグラフィに容易に利用できる。
Claims (35)
- それぞれがある分離距離だけ分離された少なくとも2つの反射面レベルを規定する断面を有する反射抑制フィルタであって、前記分離距離は、前記反射抑制フィルタが前記反射抑制フィルタに入射する第1の波長λ1及び第2の波長λ2の放射の鏡面反射を実質的に防止するように動作可能となる距離である反射抑制フィルタ。
- 前記分離距離は、前記第1の波長及び前記第2の波長の放射の1%未満を鏡面反射するような距離である、請求項1に記載の反射抑制フィルタ。
- 前記分離距離は、前記第1の波長及び前記第2の波長の放射の0.5%未満を鏡面反射するような距離である、請求項1に記載の反射抑制フィルタ。
- 前記分離距離は、前記第1の波長及び前記第2の波長の放射の0.1%未満を鏡面反射するような距離である、請求項1に記載の反射抑制フィルタ。
- 前記分離距離は、前記第1の波長と第1の近似整数n1に依存する第1の係数の第1の積、及び前記第2の波長と第2の近似整数n2に依存する第2の係数の第2の積にほぼ等しい、前記請求項のいずれかに記載の反射抑制フィルタ。
- 前記近似整数n1及び前記近似整数n2は、
- 前記分離距離は、前記抑制フィルタの1つ以上の寸法に沿って変化し、放射源に対する前記抑制フィルタの前記1つ以上の寸法に沿った位置に依存し、前記第1の係数及び前記第2の係数はそれぞれ、前記抑制フィルタに入射する放射の入射角に依存する、請求項5又は6に記載の反射抑制フィルタ。
- 前記分離距離は、Hを前記分離距離とし、Kを前記反射抑制フィルタに入射する前記放射の入射角に依存する係数とするとき、
4H/Kλ1の実績値と、4H/Kλ1を最も近い奇整数に丸めた値の差、及び
4H/Kλ2の実績値と、4H/Kλ2を最も近い奇整数に丸めた値の差の両方がそれぞれ0.1未満に等しくなるような距離である、請求項5、6又は7に記載の反射抑制フィルタ。 - 前記分離距離は、Hを前記分離距離とし、Kを前記反射抑制フィルタに入射する前記放射の入射角に依存する係数とするとき、
4H/Kλ1の実績値と、4H/Kλ1を最も近い奇整数に丸めた値の差、及び
4H/Kλ2の実績値と、4H/Kλ2を最も近い奇整数に丸めた値の差の両方が、それぞれ0.05未満に等しくなるような距離である、請求項5、6又は7に記載の反射抑制フィルタ。 - 前記分離距離は、Hを前記分離距離とし、Kを前記反射抑制フィルタに入射する前記放射の入射角に依存する係数とするとき、
4H/Kλ1の実績値と、4H/Kλ1を最も近い奇整数に丸めた値の差、及び
4H/Kλ2の実績値と、4H/Kλ2を最も近い奇整数に丸めた値の差の両方が、それぞれ0.02未満に等しくなるような距離である、請求項5、6又は7に記載の反射抑制フィルタ。 - 前記第1の波長及び第2の波長は、共に750nm〜11μmである、請求項5〜10のいずれかに記載の反射抑制フィルタ。
- 前記第1の波長は10.3μm〜10.8μmであり、前記第2の波長は9.0μm〜9.6μmであり、前記分離距離は、Kを前記反射抑制フィルタに入射する前記放射の入射角に依存する係数とするとき、K*39.75μm〜K*39.95μmである、請求項5〜11のいずれかに記載の反射抑制フィルタ。
- 前記第1の波長は10.5μm〜10.7μmであり、前記第2の波長は9.3μm〜9.5μmである、請求項12に記載の反射抑制フィルタ。
- n1は7〜7.03であり、n2は7.97〜8である、請求項13に記載の反射抑制フィルタ。
- 前記少なくとも2つの反射面レベルのそれぞれの表面積は全てほぼ等しい、前記請求項のいずれかに記載の反射抑制フィルタ。
- 前記分離距離だけ分離された2つの反射面レベルが存在し、前記反射抑制フィルタは、前記第1の反射面レベルと前記第2の反射面レベルを交互に繰り返す断面を有する、前記請求項のいずれかに記載の反射抑制フィルタ。
- それぞれ前記分離距離だけ分離された2つを上回る複数の反射面を備え、前記反射抑制フィルタは階段状の断面を規定する、請求項1〜15のいずれかに記載の反射抑制フィルタ。
- 前記反射抑制フィルタは、入射する前記第1の波長及び前記第2の波長のゼロ次放射を抑制するよう動作可能である、前記請求項のいずれかに記載の反射抑制フィルタ。
- 前記請求項のいずれかに記載の反射抑制フィルタを備える放射コレクタ。
- 前記反射抑制フィルタは前記放射コレクタと一体である、請求項19に記載の放射コレクタ。
- 前記反射面レベルの1つ以上は、それぞれ部分楕円断面を規定する、請求項19又は20に記載の放射コレクタ。
- 請求項19〜21のいずれかに記載の放射コレクタを備える放射源。
- プラズマ発生部位に燃料の小滴を供給するための小滴ジェネレータと、
前記プラズマ発生部位で前記小滴を励起するために出力放射を放出するように動作可能なレーザと、を更に備え、
前記レーザは、前記第1の波長及び前記第2の波長の前記出力放射を放出するように動作可能である、請求項22に記載の放射源。 - 請求項22又は23に記載の放射源を備え、リソグラフィプロセスにおいて前記放射源が発生した放射を使用し、基板のターゲット部分に構造を形成するように動作可能なリソグラフィ装置。
- 反射抑制フィルタの少なくとも2つの反射面レベル間の分離距離を、前記反射抑制フィルタが、前記反射抑制フィルタに入射する第1の波長λ1及び第2の波長λ2の放射の鏡面反射を実質的に防止するように動作可能となる距離に決定する方法であって、前記方法は、
前記第1の波長と第1の近似整数n1に依存する第1の係数の積である第1の積と、前記第2の波長と第2の近似整数n2に依存する第2の係数の積である第2の積の差を最小化することと、
前記分離距離を前記最小化に対応するものとして決定することとを含む方法。 - 前記分離距離は、前記反射抑制フィルタの1つ以上の寸法に沿って変化し、放射源に対する前記反射抑制フィルタの前記1つ以上の寸法に沿った位置に依存し、前記第1の係数及び前記第2の係数はそれぞれ、前記反射抑制フィルタへの放射の入射角に依存する、請求項25に記載の方法。
-
- Kを前記反射抑制フィルタに入射する前記放射の入射角に依存する補正係数とするとき、
- 前記近似整数n1及び前記近似整数n2は、
Hを前記分離距離とし、Kを前記反射抑制フィルタに入射する前記放射の入射角に依存する係数とするとき、
4H/Kλ1の実績値と、4H/Kλ1を最も近い奇整数に丸めた値の差、及び
4H/Kλ2の実績値と、4H/Kλ2を最も近い奇整数に丸めた値の差の両方がそれぞれ0.1未満に等しくなるように選択される、請求項25〜28のいずれかに記載の方法。 - 前記近似整数n1及び前記近似整数n2は、
Hを前記分離距離とし、Kを前記反射抑制フィルタに入射する前記放射の入射角に依存する係数とするとき、
4H/Kλ1の実績値と、4H/Kλ1を最も近い奇整数に丸めた値の差、及び
4H/Kλ2の実績値と、4H/Kλ2を最も近い奇整数に丸めた値の差の両方がそれぞれ0.05未満に等しくなるように選択される、請求項25〜28のいずれかに記載の方法。 - 前記近似整数n1及び前記近似整数n2は、
Hを前記分離距離とし、Kを前記反射抑制フィルタに入射する前記放射の入射角に依存する係数とするとき、
4H/Kλ1の実績値と、4H/Kλ1を最も近い奇整数に丸めた値の差、及び
4H/Kλ2の実績値と、4H/Kλ2を最も近い奇整数に丸めた値の差の両方がそれぞれ0.02未満に等しくなるように選択される、請求項25〜28のいずれかに記載の方法。 -
- 前記第1の波長は10.3μm〜10.8μmであり、前記第2の波長は9.0μm〜9.6μmであり、n1は7±.04であり、n2は8±.04である、請求項25〜32のいずれかに記載の方法。
- 前記第1の波長は10.5μm〜10.7μmであり、前記第2の波長は9.3μm〜9.5μmである、請求項33に記載の方法。
- n1は7〜7.03であり、n2は7.97〜8である、請求項34に記載の方法。
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