JP2018518055A - 透明な静電キャリア - Google Patents
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Abstract
Description
機械的なクランプおよび/または接着などの他の基板ハンドリング技法と比較して静電キャリアの使用は、処理中に歩留り損失がより低く維持されるという点で好都合である。機械的クランプは、処理中に望ましくない粒子を導入する可能性があり、接着は、資源を消費し、環境に有害であり、キャリアから取り外すときに基板に残留物および/または機械的ストレスをもたらす可能性がある。加えて、機械的クランプおよび接着は、共に処理中に歩留り損失の一因となることがある。
さらに、既存の静電キャリアは、処理が完了した後、すぐに基板を解放することができず、結果としてスループットの低下をもたらす。加えて、既存の静電キャリアは、高温の半導体プロセス(摂氏約450度よりも高い温度)で使用されるようには設計されておらず、費用効率がよくない。そのため、改善された静電キャリアが必要である。
別の実施形態では、基板を移送するための静電キャリアが開示される。静電キャリアは、透明な本体を有することができる。透明な本体は、基板を処理チャンバ内外に輸送するようにサイズ設定された第1の表面を有することができる。また、静電キャリアは、透明な本体に結合された1つまたは複数の静電チャック電極を有することができる。1つまたは複数の静電チャック電極は、透明な導電性酸化物材料を含んでもよい。
本開示の上記の特徴を詳細に理解することができるように、一部が添付図面に示される実施形態を参照することによって上で要約された本開示のより具体的な説明を行うことができる。しかしながら、添付図面は、本開示の例示的な実施形態のみを示し、したがって、その範囲を限定していると考えられるべきではなく、その理由は本開示が他の等しく効果的な実施形態に適用することができるためである。
本明細書に記載された実施形態は、基板を移送するための静電キャリアを提供する。静電キャリアは、透明な本体を有することができる。透明な本体は、基板を処理チャンバの内外へ輸送するようにサイズ設定された第1の表面を有することができる。また、静電キャリアは、透明な本体に結合された1つまたは複数の静電チャック電極を有することができる。1つまたは複数の静電チャック電極は、透明であってもよい。例えば、静電チャック電極は、透明な導電性酸化物材料などの透明な導電性材料から製造されてもよい。ある特定の実施形態では、透明な導電性酸化物材料は、インジウムスズ酸化物材料であってもよい。静電キャリアの構成要素の1つまたは複数が透明なことによって、光増強導電性、熱増強導電性、および熱電子放出などの放射線支援解放技法が静電キャリアからの基板のチャッキング解除を容易にすることができる。
第1の分布電極108の各電極フィンガ120間には、空間133が画成され、第2の分布電極110の電極フィンガ122を受け入れる。空間133は、空隙であってもよく、誘電体スペーサ材料で充填されていてもよく、または本体104もしくはカバー102の少なくとも1つで充填されていてもよい。
図1に示す分布電極108、110の構成は、もっぱら説明のためであることが企図されている。分布電極108、110は、分布電極108が、本体104の第1の表面107全面にわたって極性を交互させながら分布するように、任意の所望の構成で配置されてもよい。異なる2組の電極が異なる極性で充電されるという概念は、任意の所望の構成で配置された電極に等しくよく適合させることができる。
一実施形態において、カバー102および本体104は、共に放射線に透明であってもよい。別の実施形態では、カバー102および本体104は、誘電体材料から製造されてもよい。さらに、一実施形態では、カバー102および本体104は、同じ材料から製造されてもよい。誘電体材料は、改善された強度および耐久性ならびに伝熱特性を提供することができる。そのため、カバー102は、単なる例として、ガラス材料などの誘電体材料から製造されてもよい。一例において、カバー102は、ガラスプレートであってもよい。カバー102の誘電体材料は、アルミノシリケートガラス材料、ホウケイ酸ガラス材料、または他の適切なガラス材料であってもよい。一例において、カバー102は、透明な低熱膨張ホウケイ酸ガラス、アルミノシリケートガラス、または透明な焼き入れされたソーダ石灰ガラスから作られてもよい。別の実施形態では、カバー102および本体104は、セラミック材料またはセラミックと金属材料の複合材料から製造されてもよい。上述した誘電体材料およびガラス材料などの、カバー102および本体104を製造するために選択される材料は、電極アセンブリ106と実質的に一致するまたは同様の熱膨張係数を有し、熱膨張ミスマッチを低減させることができる。加えて、誘電体材料は、電極アセンブリ106のインターリーブする分布電極108、110の熱膨張係数よりも大きな熱膨張係数を有することができる。
Claims (15)
- 基板を移送するための静電キャリアであって、
前記基板を処理チャンバの内外に輸送するようにサイズ設定された第1の表面を有する透明な本体と、
前記透明な本体に結合された1つまたは複数の静電チャック電極と、
前記透明な本体上に配置された透明なカバーとを備え、前記透明な本体、前記1つまたは複数の静電チャック電極、および前記透明なカバーが、半導体スリットバルブドアを通って前記基板を移送するようにサイズ設定された一体型の構造を形成する、静電キャリア。 - 前記1つまたは複数の静電チャック電極が透明な導電性酸化物材料または透明なワイヤメッシュ材料を含む、請求項1に記載の静電キャリア。
- 前記透明な導電性酸化物材料がインジウムスズ酸化物材料、アルミニウムドープされた酸化亜鉛材料、またはインジウムドープされた酸化カドミウム材料のうちの少なくとも1つを含む、請求項2に記載の静電キャリア。
- 前記透明な本体および前記透明なカバーが共に誘電体材料から形成されている、請求項1に記載の静電キャリア。
- 前記誘電体材料がアルミノシリケートガラス材料、ホウケイ酸ガラス材料、または焼き入れされたソーダ石灰ガラス材料である、請求項4に記載の静電キャリア。
- 前記1つまたは複数の静電チャック電極がインターリーブしている、請求項1に記載の静電キャリア。
- 前記1つまたは複数の静電チャック電極が前記透明な本体に配置されている、請求項1に記載の静電キャリア。
- 前記1つまたは複数の静電チャック電極が前記透明な本体の外側表面上に配置されている、請求項1に記載の静電キャリア。
- 前記1つまたは複数の静電チャック電極が前記透明なカバーと前記透明な本体との間に配置されている、請求項1に記載の静電キャリア。
- 基板を移送するための静電キャリアであって、
前記基板を処理チャンバの内外に輸送するようにサイズ設定された第1の表面を有する透明な本体と、
前記透明な本体に結合された、透明な導電性酸化物材料を含む1つまたは複数の静電チャック電極と、
を備える静電キャリア。 - 前記透明な導電性酸化物材料がインジウムスズ酸化物材料、アルミニウムドープされた酸化亜鉛材料、またはインジウムドープされた酸化カドミウム材料のうちの少なくとも1つを含む、請求項10に記載の静電キャリア。
- 前記1つまたは複数の静電チャック電極がインターリーブしている、請求項10に記載の静電キャリア。
- 前記透明な本体上に配置された透明なカバーをさらに備え、前記透明な本体および前記透明なカバーが誘電体材料から形成され、前記1つまたは複数の静電チャック電極が前記透明なカバーと前記透明な本体との間に配置されている、請求項10に記載の静電キャリア。
- 前記透明な本体、前記1つまたは複数の静電チャック電極、および前記透明なカバーが、半導体スリットバルブドアを通って前記基板を移送するようにサイズ設定された一体型の構造を形成する、請求項13に記載の静電キャリア。
- 基板を静電キャリアに静電的にチャックするステップと、
前記静電キャリアに静電的にチャックされている間に前記基板を処理するステップと、
前記静電キャリアの静電チャック電極を前記静電チャック電極によって生成された静電荷を中和するのに十分な電磁放射線にさらすことによって、前記基板をチャッキング解除するステップと、
前記静電キャリアから前記基板を除去するステップと、
を含む、基板をチャッキング解除するための方法。
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