JP2018514773A - サブディビジョナルエラーを決定する方法 - Google Patents
サブディビジョナルエラーを決定する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018514773A JP2018514773A JP2017556809A JP2017556809A JP2018514773A JP 2018514773 A JP2018514773 A JP 2018514773A JP 2017556809 A JP2017556809 A JP 2017556809A JP 2017556809 A JP2017556809 A JP 2017556809A JP 2018514773 A JP2018514773 A JP 2018514773A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- error
- encoder
- encoder device
- scale
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D18/00—Testing or calibrating apparatus or arrangements provided for in groups G01D1/00 - G01D15/00
- G01D18/001—Calibrating encoders
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
- G01B11/005—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
- G01B11/007—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines feeler heads therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24471—Error correction
- G01D5/2449—Error correction using hard-stored calibration data
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
Description
Claims (25)
- 検査デバイスが装着された装置の相対的に移動可能な部材の位置を測定するように構成されたエンコーダ装置のサブディビジョナルエラーを決定する方法であって、
前記検査デバイスにフィーチャを検査させるステップであって、前記装置の前記相対的に移動可能な部材を相対的に移動させることを含む、ステップと、
前記フィーチャの検査中に取得された測定値を使用して前記エンコーダ装置のサブディビジョナルエラーを決定するステップと
を含むエンコーダ装置のサブディビジョナルエラーを決定する方法。 - 前記エンコーダ装置のサブディビジョナルエラーを補正するための少なくとも1つのエラーマップを決定するステップをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのエラーマップは、ルックアップテーブルまたは関数を含む請求項2に記載の方法。
- 前記エラーマップは、前記サブディビジョナルエラーの形態を説明し、前記説明は、前記エンコーダ装置の測定範囲に沿って変化する請求項2または3に記載の方法。
- 少なくとも1つの所定の空間周波数における前記測定値内の周期的変動の特性に基づいて前記エンコーダ装置のサブディビジョナルエラーを決定するステップを含む請求項1乃至4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記特性は、前記少なくとも1つの所定の空間周波数における前記変動の大きさおよび位相オフセットを含む請求項5に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの所定の空間周波数は、前記エンコーダ装置のスケールまたは信号周期、および任意選択によりその高調波に対応する請求項5または6に記載の方法。
- 前記エンコーダ装置の測定範囲の種々の領域に対して前記サブディビジョナルエラーを決定するステップを含む請求項1乃至7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記装置は、前記検査デバイスをその周りに配向することができる少なくとも1つの回転軸を含み、前記エンコーダ装置は、前記回転軸周りの前記検査デバイスの配向を測定するための回転式エンコーダ装置である請求項1乃至8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記測定値は、前記フィーチャの検査中に前記検査デバイスによって取得された測定値を含む請求項1乃至9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記測定値は、前記フィーチャの前記表面の測定値を含む請求項1乃至10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記検査デバイスは、接触プローブを備える請求項1乃至11のいずれか一項に記載の方法。
- 前記接触プローブは、スタイラス先端部を有するスタイラスを備え、前記測定値は、スタイラス先端部の位置測定値に関する請求項12に記載の方法。
- 前記検査デバイスが装着された前記装置は、座標位置決め機を含む請求項1乃至13のいずれか一項に記載の方法。
- 前記エンコーダ装置は、スケールと、前記スケールを読み取るための読み取りヘッドとを備える請求項1乃至14のいずれか一項に記載の方法。
- コンピュータ実施方法であって、エンコーダ装置が中に組み込まれた装置によって取得された測定値を受け取るステップであって、前記測定値は、前記エンコーダ装置の出力から導出される、ステップと、前記測定値から前記エンコーダ装置のサブディビジョナルエラーを決定するステップとを含むコンピュータ実施方法。
- スケールおよび読み取りヘッドを備えるエンコーダ装置のサブディビジョナルエラーを決定する方法であって、
前記スケールおよび読み取りヘッドを互いに対して移動させ、検査デバイスを使用してフィーチャの表面の測定値を取得するステップと、
少なくとも1つの所定の空間周波数における前記測定値内の周期的変動に基づいて、前記エンコーダ装置のサブディビジョナルエラーを決定するステップと
を含むエンコーダ装置のサブディビジョナルエラーを決定する方法。 - 前記所定の周波数は、前記読み取りヘッド信号周期または前記スケール周期、および任意選択によりその高調波に対応する請求項17に記載の方法。
- 前記決定されたサブディビジョナルエラーを補正するためのエラーマップを生成するステップをさらに含む請求項17または18に記載の方法。
- 装置の制御装置によって実行されたとき、前記装置に請求項1乃至19のいずれか一項に記載の方法を実行させる命令を含むコンピュータプログラムコード。
- 請求項20に記載のコンピュータプログラムコードを有するコンピュータ可読媒体。
- スケールと、前記スケールを検出するための読み取りヘッドとを備えるエンコーダ装置であって、前記エンコーダ装置のサブディビジョナルエラーを説明する少なくとも1つの誤差関数が提供されるエンコーダ装置。
- 前記サブディビジョナルエラーの前記説明が、前記エンコーダ装置の測定範囲に沿って変化する請求項22に記載のエンコーダ装置。
- 請求項22または23に記載のエンコーダ装置を備える装置。
- 装置の相対的に移動可能な部材の位置を測定するように構成されたエンコーダと、検査デバイスとを備える装置であって、前記装置の前記相対的に移動可能な部材を相対的に移動させることを含んで、前記検査デバイスにフィーチャを検査させ、前記フィーチャの検査中に取得された測定値を使用して前記エンコーダ装置のサブディビジョナルエラーを決定するように構成される装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP15275124.4 | 2015-04-29 | ||
EP15275124 | 2015-04-29 | ||
PCT/GB2016/051197 WO2016174433A1 (en) | 2015-04-29 | 2016-04-28 | Method of determining sub-divisional error |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018514773A true JP2018514773A (ja) | 2018-06-07 |
JP7042620B2 JP7042620B2 (ja) | 2022-03-28 |
Family
ID=53180667
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017556809A Active JP7042620B2 (ja) | 2015-04-29 | 2016-04-28 | サブディビジョナルエラーを決定する方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10627259B2 (ja) |
EP (1) | EP3289314B1 (ja) |
JP (1) | JP7042620B2 (ja) |
CN (1) | CN107532930B (ja) |
WO (1) | WO2016174433A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3129750B1 (en) * | 2014-04-08 | 2023-05-31 | Nikon Metrology NV | Measurement probe unit for metrology applications |
JP6993800B2 (ja) * | 2017-07-07 | 2022-01-14 | 株式会社ミツトヨ | 門型移動装置および三次元測定機 |
DE102017222508B4 (de) | 2017-12-12 | 2022-02-17 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur von Messsystemabweichungen |
CN108303130B (zh) * | 2018-02-05 | 2020-09-04 | 中国计量大学 | 基于激光干涉原理的光栅莫尔信号细分误差标定方法 |
DE102018217934A1 (de) * | 2018-10-19 | 2020-04-23 | Dr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mit Beschränkter Haftung | Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Positionsmesseinrichtung |
US10732268B1 (en) * | 2019-05-21 | 2020-08-04 | Pony Ai Inc. | Systems and methods for enclosure alignment |
CN113686365B (zh) * | 2021-09-02 | 2022-06-17 | 北京精雕科技集团有限公司 | 绝对式位置测量装置 |
CN113770810A (zh) * | 2021-09-24 | 2021-12-10 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 一种用于在机测量的测针调姿辅助装置及其使用方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005003672A (ja) * | 2003-05-19 | 2005-01-06 | Yaskawa Electric Corp | エンコーダ位置誤差解析装置 |
US20080177491A1 (en) * | 2005-07-28 | 2008-07-24 | Guenter Grupp | Correction of interpolation errors of a machine, such as a coordinate measuring machine |
JP2009069031A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Canon Inc | 変位検出方法及びモータ制御装置 |
JP2010530532A (ja) * | 2007-06-21 | 2010-09-09 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 走査ヘッドの較正装置および方法 |
JP2014025900A (ja) * | 2012-07-30 | 2014-02-06 | Canon Inc | 補正値導出装置、変位量導出装置、制御装置、および補正値導出方法 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2729697A1 (de) * | 1977-07-01 | 1979-01-04 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren zur interpolation |
DE3036830A1 (de) * | 1980-09-30 | 1982-04-15 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengen- oder winkelmesseinrichtung |
US6188341B1 (en) * | 1996-11-11 | 2001-02-13 | Fanuc Ltd. | Encoder interpolation circuit which corrects an interpolation angle between a received sine-wave encoder signal and a cosine-wave encoder signal |
KR20060015557A (ko) | 2003-04-28 | 2006-02-17 | 스티븐 제임스 크램톤 | 외골격을 구비한 cmm 암 |
GB0508395D0 (en) | 2005-04-26 | 2005-06-01 | Renishaw Plc | Method for scanning the surface of a workpiece |
ATE523761T1 (de) | 2006-04-21 | 2011-09-15 | Renishaw Plc | Verfahren zur fehlerkorrektur |
CN101551260A (zh) * | 2009-05-20 | 2009-10-07 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 光电轴角编码器细分误差的检测装置 |
GB0909724D0 (en) | 2009-06-05 | 2009-07-22 | Renishaw Plc | Position measurement encoder and method of operation |
GB201013938D0 (en) | 2010-08-20 | 2010-10-06 | Renishaw Plc | Method for recalibrating coordinate positioning apparatus |
EP2505959A1 (en) | 2011-03-28 | 2012-10-03 | Renishaw plc | Coordinate positioning machine controller |
CN102270961B (zh) | 2011-07-20 | 2013-06-05 | 深圳市海浦蒙特科技有限公司 | 正余弦编码器的信号细分方法及细分装置、电机控制装置 |
CN103842766B (zh) * | 2011-10-06 | 2017-05-24 | 瑞尼斯豪公司 | 测量方法 |
JP6071196B2 (ja) * | 2011-12-27 | 2017-02-01 | キヤノン株式会社 | エンコーダ |
CN102944258A (zh) * | 2012-11-26 | 2013-02-27 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 高精度编码器光电信号细分误差的检测方法 |
CN104165586B (zh) * | 2013-05-17 | 2016-12-28 | 上海三菱电梯有限公司 | 单台机器人工件坐标系的非接触式高精度标定方法及应用 |
GB201316329D0 (en) * | 2013-09-13 | 2013-10-30 | Renishaw Plc | A Method of Using a scanning probe |
CN104457608A (zh) * | 2013-09-16 | 2015-03-25 | 上海航天精密机械研究所 | 圆柱体尺寸误差检测系统 |
JP7032045B2 (ja) | 2013-10-01 | 2022-03-08 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 測定エンコーダ |
CN104493808B (zh) * | 2014-11-26 | 2017-01-04 | 上海大学 | 运动部件空间位姿精度和轨迹拉线式测量系统和方法 |
-
2016
- 2016-04-28 WO PCT/GB2016/051197 patent/WO2016174433A1/en active Application Filing
- 2016-04-28 JP JP2017556809A patent/JP7042620B2/ja active Active
- 2016-04-28 CN CN201680025244.2A patent/CN107532930B/zh active Active
- 2016-04-28 US US15/565,894 patent/US10627259B2/en active Active
- 2016-04-28 EP EP16722346.0A patent/EP3289314B1/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005003672A (ja) * | 2003-05-19 | 2005-01-06 | Yaskawa Electric Corp | エンコーダ位置誤差解析装置 |
US20080177491A1 (en) * | 2005-07-28 | 2008-07-24 | Guenter Grupp | Correction of interpolation errors of a machine, such as a coordinate measuring machine |
JP2010530532A (ja) * | 2007-06-21 | 2010-09-09 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 走査ヘッドの較正装置および方法 |
JP2009069031A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Canon Inc | 変位検出方法及びモータ制御装置 |
JP2014025900A (ja) * | 2012-07-30 | 2014-02-06 | Canon Inc | 補正値導出装置、変位量導出装置、制御装置、および補正値導出方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107532930A (zh) | 2018-01-02 |
JP7042620B2 (ja) | 2022-03-28 |
WO2016174433A1 (en) | 2016-11-03 |
US20180058884A1 (en) | 2018-03-01 |
EP3289314A1 (en) | 2018-03-07 |
CN107532930B (zh) | 2021-07-30 |
EP3289314B1 (en) | 2019-06-05 |
US10627259B2 (en) | 2020-04-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7042620B2 (ja) | サブディビジョナルエラーを決定する方法 | |
US9341500B2 (en) | Calibration method and angle measuring method for an angle measuring device, and angle measuring device | |
TWI495846B (zh) | 用於量測一零件之方法及裝置 | |
US7286949B2 (en) | Method of error correction | |
JP2960013B2 (ja) | 移動物体の検出用目盛及びこれを用いた移動物体の検出装置 | |
KR101829521B1 (ko) | 로터리 인코더를 자기 교정하기 위한 방법 | |
EP2013571A1 (en) | Method of error correction | |
JP2008129018A (ja) | 位置測定装置 | |
US10578414B2 (en) | Inner-wall measuring instrument and offset-amount calculation method | |
EP2542853B1 (en) | Surface measurement instrument and calibration thereof | |
US20040025357A1 (en) | Device and method for detecting the rotational movement of an element rotatably mounted about an axis | |
JP6875923B2 (ja) | スケール装置および二軸変位検出装置 | |
JP4690276B2 (ja) | 真円度測定装置の較正方法 | |
CN106796095B (zh) | 操作坐标测量设备的方法、坐标测量设备和计算机程序 | |
JP5902891B2 (ja) | エンコーダ及び校正方法 | |
KR101361625B1 (ko) | 위치 측정 장치 및 위치 측정 방법 | |
JP2011145151A (ja) | 回折格子の形状誤差評価方法 | |
TWI577972B (zh) | A Method for Accuracy Correction of High Precision Encoder | |
JP5858673B2 (ja) | 位置計測装置、光学部品の製造方法、及び型の製造方法 | |
Sładek et al. | Analysis of the Accuracy of Coordinate Measuring Systems | |
Baršić et al. | 18RPT01 Probe Trace Traceability for contact probe and stylus instrument measurements | |
JP2010169635A (ja) | 形状測定装置 | |
JP6953772B2 (ja) | 誤差検出方法、誤差検出プログラム、誤差検出装置、エンコーダ装置の製造方法、エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置 | |
JP2022186534A (ja) | プローブユニットの補正方法 | |
Orton et al. | Fiber optic rotary motion sensor for the real-time condition monitoring of rotating machinery |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200324 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200624 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201124 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20210217 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210524 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20210921 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220114 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20220114 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20220124 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20220125 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220308 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220315 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7042620 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |