JP2018513982A - シンチレータ - Google Patents
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Abstract
Description
(i)通常有機金属化合物である第1の前駆体の暴露。
(ii)非反応前駆体とガス状の反応副産物とを除去するための、反応室をパージまたは空にすること。
(iii)プラズマなどの第1の前駆体の反応のために表面を再び活性化するための、第2の前駆体の暴露−または別の処理。
(iv)反応室をパージまたは空にすること。
本発明は、第1の態様において、請求項1によるX線のための改善されたシンチレータに関連する。
基板プレート層と、シンチレータ層と、を提供するステップと、
第1の密封した高密度の防湿層を、原子層蒸着法を使用することによって蒸着させるステップと、
を備える。
図1では、柱状構造のSEM画像が示されている。明らかに見ることができるのは、多くの柱、通常CsI柱の上部である。柱の断面径は、7〜8μmの大きさである。柱の間には、オープン空間が通常存在する。
詳細な説明的文脈で説明したが、本発明は、添付の実施例と図面と共に、最も良く理解され得る。
基板として、FOPが使用された。
a) CsI:Tl厚さ:400μm、水平化層厚さ:通常8μm、
b) CsI:Tl厚さ:600μm、水平化層厚さ:約10μmまたは12μm、
c) より薄いCsI(120μmから150μm)は、約3μmの厚さの水平化層を有することができる。
Claims (15)
- 基板プレート層(1)と、
シンチレータ層(2)と、
第1の防湿層(5)と、
を備え、
前記第1の防湿層が、10nm〜1000nmの厚さを有し、密封されており、高密度を有することと、
前記第1の防湿層が、それぞれが独立して0.5nm〜100nmの厚さを有する2つ以上の層を備え、または2つ以上のハイブリッド層、またはその組み合わせを備え、少なくとも1つの後続の層が、前の層とは異なることと、
を特徴とする、X線のための改善されたシンチレータ。 - 前記プレート層(1)が、アルミニウムプレートと、光ファイバプレートと、炭素プレートと、から選択される、請求項1に記載のシンチレータ。
- 前記シンチレータ物質が、ドープCsIまたは非ドープCsIなどの、結晶CsIとTlIとから選択される、請求項2に記載のシンチレータ。
- 前記発光物質が、柱型構造である、請求項1から3のいずれかに記載のシンチレータ。
- 前記第1の防湿層(5)が、3〜50層を備え、
前記第1の防湿層が、20nm〜500nmの厚さを有する、
請求項1から4のいずれかに記載のシンチレータ。 - 前記シンチレータ層が、接着層(3)で覆われている、請求項1から5のいずれかに記載のシンチレータ。
- 前記シンチレータ層上の水平化層(4)と、第1の保護層(6)と、第2の保護層(9)と、第2の防湿層(8)と、のうちの1つまたは複数、をさらに備え、
前記水平化層が、前記シンチレータ層の厚さの1〜5%の厚さを有する、
請求項1から6のいずれかに記載のシンチレータ。 - 前記第1の防湿層及び前記任意の第2の防湿層(5、8)が、層を備え、各層が、金属と金属酸化物と金属窒化物とから個別に選択された物質を備える、請求項1から7のいずれかに記載のシンチレータ。
- 前記接着層(3)が、飽和した、線形かつ分枝したハイドロシリコン(SinH2n+2)から選択された物質を備える、請求項6から8のいずれかに記載のシンチレータ。
- 前記水平化層(4)が、芳香族ポリマーから選択された物質を備える、請求項7から9のいずれかに記載のシンチレータ。
- 前記第1の保護層及び前記任意の第2の保護層(6、9)が、各々が個別に、芳香族ポリマーから選択された物質を備える、請求項7から10のいずれかに記載のシンチレータ。
- 非破壊アプリケーションと、(パラ)メディカルアプリケーションと、整形外科と、のための、請求項1から11のいずれかに記載のシンチレータの使用。
- 請求項1から11のいずれかに記載のシンチレータと、センサ(10)と、を備える、X線検出器。
- 請求項1から11のいずれかに記載の改善されたシンチレータを製造する方法であって、
基板プレート層(1)と、シンチレータ層(2)と、を提供するステップと、
第1の密封された、高密度の、防湿層(5)を、原子層蒸着法を使用することによって蒸着させるステップと、
を備え、
前記第1の密封されたバリア層が、10nm〜1000nmの厚さを有し、密封されており、高密度を有し、
前記第1の防湿層が、各々が個別に0.5nm〜100nmの厚さを有する2つ以上の層を備え、または2つ以上のハイブリッド層、またはその組み合わせを備え、少なくとも1つの後続の層が、前の層とは異なる、
前記方法。 - 接着層(3)を蒸着させるステップをさらに備える、請求項14に記載の方法。
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