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Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102330373B1 (ko) * 2017-03-14 2021-11-23 엘지이노텍 주식회사 금속판, 증착용 마스크 및 이의 제조방법
CN114899345B (zh) * 2017-09-07 2026-04-24 Lg伊诺特有限公司 用于制造有机发光二极管沉积掩模的方法
KR20190059742A (ko) * 2017-11-23 2019-05-31 엘지이노텍 주식회사 증착용 마스크 및 이의 제조 방법
CN117156932A (zh) * 2018-07-12 2023-12-01 Lg伊诺特有限公司 用于oled像素蒸镀的金属板材料的蒸镀用掩模
KR102661470B1 (ko) * 2018-09-03 2024-04-29 삼성디스플레이 주식회사 증착 마스크 및 그 제조방법
KR102642138B1 (ko) * 2018-09-04 2024-03-04 엘지이노텍 주식회사 증착용 마스크 및 이의 제조 방법
JP7481330B2 (ja) 2018-11-19 2024-05-10 エルジー イノテック カンパニー リミテッド 合金金属板及びこれを含む蒸着用マスク
KR102776431B1 (ko) * 2018-11-19 2025-03-07 엘지이노텍 주식회사 합금 금속판 및 이를 포함하는 증착용 마스크
CN113272880A (zh) 2019-01-11 2021-08-17 Lg伊诺特有限公司 用于显示器的基板
CN114096694B (zh) * 2019-10-04 2025-01-21 凸版印刷株式会社 蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法
KR20220073143A (ko) * 2020-11-26 2022-06-03 엘지이노텍 주식회사 Oled 화소 증착을 위한 증착용 마스크
KR20240030154A (ko) * 2022-08-30 2024-03-07 엘지이노텍 주식회사 Oled 화소 증착을 위한 증착용 마스크
TWI867383B (zh) * 2022-12-07 2024-12-21 達運精密工業股份有限公司 金屬遮罩的製造方法及其金屬遮罩
CN117364235B (zh) * 2023-12-07 2024-03-26 度亘核芯光电技术(苏州)有限公司 选区外延生长方法及其中使用的掩膜结构

Family Cites Families (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07278784A (ja) * 1994-04-08 1995-10-24 Murata Mfg Co Ltd 薄膜形成用マスク
AU724044B2 (en) * 1996-10-04 2000-09-07 Unisearch Limited Reactive ion etching of silica structures
JPH10265940A (ja) * 1997-03-28 1998-10-06 Canon Inc 成膜用メタルマスク及びその製造方法
JP2000017422A (ja) 1998-07-07 2000-01-18 Toray Ind Inc 導電膜パターン化用マスク
JP2004319529A (ja) * 2002-10-29 2004-11-11 Kyocera Corp セラミック多層配線基板の製造方法
JP2004185890A (ja) * 2002-12-02 2004-07-02 Hitachi Metals Ltd メタルマスク
JP4170179B2 (ja) 2003-01-09 2008-10-22 株式会社 日立ディスプレイズ 有機elパネルの製造方法および有機elパネル
FR2857807B1 (fr) * 2003-07-18 2005-12-02 Cit Alcatel Procede de transaction pour un approvisionnement de regles dans un reseau gere a base de regles
JP4608874B2 (ja) * 2003-12-02 2011-01-12 ソニー株式会社 蒸着マスクおよびその製造方法
JP3765314B2 (ja) * 2004-03-31 2006-04-12 セイコーエプソン株式会社 マスク、マスクの製造方法、電気光学装置の製造方法および電子機器
KR100696472B1 (ko) * 2004-07-15 2007-03-19 삼성에스디아이 주식회사 증착 마스크, 이를 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조방법
KR100773249B1 (ko) * 2005-04-18 2007-11-05 엘지전자 주식회사 유기 전계 발광층 형성용 마스크
US7835001B2 (en) * 2006-05-24 2010-11-16 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Method of aligning a substrate, mask to be aligned with the same, and flat panel display apparatus using the same
JP5262226B2 (ja) 2007-08-24 2013-08-14 大日本印刷株式会社 蒸着マスクおよび蒸着マスクの製造方法
KR100959110B1 (ko) * 2008-02-21 2010-05-25 삼성모바일디스플레이주식회사 증착용 마스크 패턴
KR20100026655A (ko) * 2008-09-01 2010-03-10 삼성모바일디스플레이주식회사 박막 증착용 마스크 및 이를 이용한 유기전계발광 소자의 제조방법
JP2010174305A (ja) 2009-01-28 2010-08-12 Sharp Corp 蒸着装置及び有機el表示装置
JP2011034681A (ja) * 2009-07-29 2011-02-17 Hitachi Displays Ltd 金属加工方法、金属マスク製造方法及び有機el表示装置製造方法
CN103205677A (zh) * 2012-01-16 2013-07-17 昆山允升吉光电科技有限公司 蒸镀用沟槽掩模板的制备方法
CN202688416U (zh) * 2012-01-16 2013-01-23 昆山允升吉光电科技有限公司 易于去除辅助图形的掩模板
CN103388121B (zh) * 2012-05-08 2017-07-11 昆山允升吉光电科技有限公司 一种高精度金属掩模板的混合制作工艺
KR101951029B1 (ko) 2012-06-13 2019-04-26 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조방법
JP6044229B2 (ja) * 2012-09-27 2016-12-14 日本電気株式会社 スクリーンマスク及びスクリーンマスクの製造方法
JP5382257B1 (ja) * 2013-01-10 2014-01-08 大日本印刷株式会社 金属板、金属板の製造方法、および金属板を用いて蒸着マスクを製造する方法
JP6086305B2 (ja) 2013-01-11 2017-03-01 大日本印刷株式会社 蒸着マスクの製造方法および蒸着マスク
KR102124040B1 (ko) * 2013-02-01 2020-06-29 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크, 이의 제조 방법, 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
CN203159696U (zh) * 2013-03-01 2013-08-28 昆山允升吉光电科技有限公司 一种具有辅助开口的掩模板
CN203320115U (zh) * 2013-03-19 2013-12-04 昆山允升吉光电科技有限公司 一种用于制造有机发光显示器的掩模板
CN104164647B (zh) * 2013-05-17 2018-02-06 昆山允升吉光电科技有限公司 一种掩模板的制作工艺
JP2015036436A (ja) 2013-08-13 2015-02-23 大日本印刷株式会社 蒸着マスクの製造方法および蒸着マスク
JP5455099B1 (ja) * 2013-09-13 2014-03-26 大日本印刷株式会社 金属板、金属板の製造方法、および金属板を用いてマスクを製造する方法
KR102128968B1 (ko) * 2013-10-15 2020-07-02 삼성디스플레이 주식회사 금속 마스크 및 금속 마스크 제조 방법
JP5641462B1 (ja) * 2014-05-13 2014-12-17 大日本印刷株式会社 金属板、金属板の製造方法、および金属板を用いてマスクを製造する方法

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