JP2018511058A - マイクロ波解析機器またはマイクロ波測定機器用の較正装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (27)
- 例えば、ベクトル・ネットワークアナライザなどの解析または測定機器の較正のための較正装置(100、100')であって、
解析または測定機器を接続可能にする複数の較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B';20A1;20")を含み、
前記較正装置は、複数の異なる較正標準を含む複数の較正導波管構造(111、112、113、114、115;111'、112'、113'、114'、115'、116')を有するプレート要素(10;10';10")を含み、
前記プレート要素(10;10';10")は、その複数の面において、導電性表面(12;12';12")を備え、
各較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B'、20")および/または前記プレート要素(10")の前記導電性表面は、周期的または準周期的構造(27;27';271'、272";271)を有し、
各較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B'、20";20A1)は、前記プレート要素(10;10';10")と接続可能であり、前記プレート要素との接続により、導波管線路インタフェースが、前記導電性表面(12;12';12")と、前記較正導波管構造(111、112、113、114、115;111'、112'、113'、114'、115'、116')に配置されているときの較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B';20";20A1)の表面とによって形成され、前記プレート要素(10;10';10")と各較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B'、20";20A1)とは、両者の間にギャップ(29;29';29")を形成して、前記プレート要素(10;10';10")と各較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B'、20";20A1)とが相対移動可能にされ、
好ましくは、前記較正装置(100、100')は、前記プレート要素(10;10';10")および/または各較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B'、20";20A1)の相対移動と、各較正器コネクタ要素の前記較正導波管構造(111、112、113、114、115;111'、112'、113'、114'、115'、116')への接続とを制御する制御機能部(14)および駆動手段(13)を更に有するか、または前記制御機能部(14)および前記駆動手段(13)、と通信するように適合されて、それにより導波管(23)を含む各較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B'、20";20A1)に結合される解析または測定機器の導波管(33)と複数の異なる較正標準との相互接続を可能にすることを特徴とする較正装置。 - 請求項1に記載の較正装置(100、100')であって、
前記ギャップ(29;29';29")が、較正/測定対象の導波管信号の波長の1/4または対応する導波管周波数帯域の中心周波数波長の1/4より小さいことを特徴とする較正装置。 - 請求項1または2に記載の較正装置(100、100')であって、
少なくとも2つの較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B'、20")が、前記プレート要素(10;10';10")の反対側に位置するように適合されることを特徴とする較正装置。 - 請求項3に記載の較正装置(100、100')であって、
4つの較正器コネクタ要素を有することを特徴とする較正装置。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の較正装置(100、100')であって、
各較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B'、20";20A1)は、導波管(33)を有する、例えば、VNAポートまたはDUTのような導波管コネクタ要素(30A、30B;30A'、30B')に例えばねじ、ボルトまたは類似物(25)などの結合要素によって着脱自在に結合され、例えば協働する位置合わせピンおよび位置合わせ孔(35)によって位置合わせされるように適合されることを特徴とする較正装置。 - 請求項1から5のいずれか一項に記載の較正装置(100、100')であって、
前記プレート要素(10;10")は、細長いプレート要素を含み、前記較正導波管構造(111、112、113、114、115)は、前記プレート要素(10)の長手方向の延長部に沿って一列に配置され、
前記プレート要素(10)は、前記駆動手段(13)によって移動可能に適合されて直線並行移動を行い、該直線並行移動は、各較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B'、20";20A1)が、前記制御機能部(14)によって制御される任意の決定された順序で前記較正導波管構造(111、112、113、114、115)のそれぞれに配置され得るように行われることを特徴とする較正装置。 - 請求項1から5のいずれか一項に記載の較正装置(100')であって、
前記プレート要素(10')は、円形プレート要素を備え、前記較正導波管構造(111'、112'、113'、114'、115'、116')は、円形の前記プレート要素(10)からある距離に配置され、
前記プレート要素(10')は、前記駆動手段(13)によって移動可能に適合されて回転移動を行い、該回転移動は、各較正器コネクタ要素(20A'、20B';20A1)が、前記制御機能部(14)によって制御される任意の決定された順序で前記較正導波管構造(111'、112'、113'、114'、115'、116')のそれぞれに配置され得るように行われることを特徴とする較正装置。 - 請求項1から7のいずれか一項に記載の較正装置(100、100')であって、
前記周期的または準周期的構造(27;271"、272")は、正方形の断面を有する複数のピンまたは突出要素(26;261"、262")を含むことを特徴とする較正装置。 - 請求項8に記載の較正装置(100、100')であって、
前記複数のピンまたは突出要素(26;261"、262")は、λが対応する導波管の中心周波数の波長であるとき、約0.15λ×0.15λの断面寸法を有し、約0.15〜0.25λの範囲内の高さを有することを特徴とする較正装置。 - 請求項1から7のいずれか一項に記載の較正装置(100、100')であって、
前記周期的または準周期的構造は、円形の断面を有する複数のピンまたは突出要素を含むことを特徴とする較正装置。 - 請求項10に記載の較正装置(100、100')であって、
前記複数のピンまたは突出要素は、λが対応する導波管の中心周波数の波長であるとき、約0.15〜0.25λの高さを有することを特徴とする較正装置。 - 請求項1から7のいずれか一項に記載の較正装置(100、100')であって、
前記周期的または準周期的構造は、前記ギャップ(29;29';29")内を伝搬する任意の波に対するカットオフを提供することができる波形表面または任意の他の周期的または準周期的構造を含むことを特徴とする較正装置。 - 請求項1から7のいずれか一項に記載の較正装置(100、100')であって、
各較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B'、20";20A1)が、周期的または準周期的構造(27;271"、272")を有す表面を含み、前記プレート要素(10;10'")は、滑らかな導電性表面(12、12')を含むことを特徴とする較正装置。 - 請求項1から13のいずれか一項に記載の較正装置であって、
各較正器コネクタ要素(20")が、ピンまたは突出要素(261")の第1の組を含む周期的または準周期的構造(271")を有する表面を含むことを特徴とする較正装置。
前記プレート要素(10")は、ピンまたは突出要素(262")の第2の組を含む周期的または準周期的構造(272")を有する表面を含み、前記ピンまたは突出要素(261")の第1の組の各ピンまたは突出要素(261")は、例えば第2の組の前記ピンまたは突出要素(262")に対向するように配置されることを特徴とする較正装置。 - 請求項14に記載の較正装置であって、
前記ピンまたは突出要素の第1の組および第2の組のピンまたは突出要素(261";262")の長さまたは高さは同じであり、各々のピンまたは突出要素は所望の阻止帯域を形成するのに必要な全長の実質的に半分の長さを有し、
前記ピンまたは突出要素の第1の組および第2の組の、および/または前記ピンまたは突出要素の第1の組および第2の組のそれぞれの内部のピンまたは突出要素の長さまたは高さは異なり、2つの互いに対向するピンまたは突出要素の長さの合計は、所望の阻止帯域を形成するのに必要な全長に一致することを特徴とする較正装置。 - 請求項1から15のいずれか一項に記載の較正装置(100、100')であって、
ピンまたは突出要素(20A、20B;20A'、20B'、20";20A1)の複数の組を備える較正キットを含み、前記複数の組の各々は、特定の周波数帯域に適合した寸法を有する、例えばピン、波形表面または類似構造などの周期的または準周期的構造を有する複数の較正器コネクタ要素を含むことを特徴とする較正装置。 - 請求項1から16のいずれか一項に記載の較正装置(100、100')であって、
ベクトル・ネットワークアナライザ(VNA)の較正と品質検証に使用されるように適合されていることを特徴とする較正装置。 - 請求項17に記載の較正装置(100、100')であって、
前記制御機能部は、較正装置の外部コンピュータまたは前記ベクトル・ネットワークアナライザ(VNA)と通信するベクトル・ネットワークアナライザ(VNA)のコンピュータによって提供されることを特徴とする較正装置。 - 請求項1から16のいずれか一項に記載の較正装置(100、100')であって、
自動的に操作されるべく適合されていることを特徴とする較正装置。 - 較正および測定中の、例えばベクトル・ネットワークアナライザなどの解析または測定機器への接続のための装置であって、
対向する2つの導波管フランジ(30A"、30C")の間に配置される導波管孔(23")を有するディスクまたはプレートの形態の較正器コネクタ要素(20C")を含み、それにより2つの接合導波管フランジの間の非接触接続を可能にし、前記2つの接合導波管フランジの一方は、例えばベクトル・ネットワーク・アナライザ(VNA)などの解析または測定機器のポートであり、他方は、導波管較正標準または試験対象のデバイスのいずれかのポートであり、
較正器コネクタ要素(20C")は、両側の2つの表面を備え、各表面は、第1および第2の周期的または準周期的構造を形成する導波管孔(23")の周囲に周期的または準周期的構造(27A"、27B")を有し、
前記較正器コネクタ要素(20C")は、前記周期的または準周期的構造(27A"、27B")と対応するフランジ(30A"、30C")の滑らかな表面との間にギャップ(29A"、29B")が形成されるように、導波管フランジ(30A"、30C")に接続可能であり、それにより、例えばVNAのような解析または測定機器の導波管(33")と、導波管ポートを含む導波管較正標準(11")または試験対象のデバイスとの非接触接続を可能にすることを特徴とする装置。 - 請求項20に記載の装置であって、
対応する導波管周波数帯域の波長または中心周波数波長の1/4より小さいことを特徴とする装置。 - 請求項20または21に記載の装置であって、
前記周期的または準周期的構造(27")は、正方形、長方形、または円形の断面を有する複数のピン、突出要素、ポスト、または類似物(26")を含むことを特徴とする装置。 - 請求項22に記載の装置であって、
前記複数のピン、突出要素、ポスト、または類似物(26")は、λが対応する導波管の中心周波数の波長であるとき、約0.15λ×0.15λの断面寸法を有し、約0.15〜0.25λの範囲内の高さを有することを特徴とする較正装置。 - 請求項21または22に記載の装置であって、
前記周期的または準周期的構造は、前記周期的または準周期的構造と滑らかな導波管フランジ(30A"、30C")との間のギャップ(29A"、29B")内を伝搬する任意の波に対するカットオフを提供することができる波形表面または任意の他の周期的または準周期的構造を含むことを特徴とする装置。 - 請求項20から24のいずれか一項に記載の装置であって、
既存の導波管較正標準とともに使用されるように適合されていることを特徴とする装置。 - 例えば、ベクトル・ネットワークアナライザなどの解析または測定機器の較正のための方法であって、
前記解析または測定機器は、それに接続可能にするために複数の較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B';20A1)を含み、
任意の順番で実施される以下のステップ、すなわち
複数の異なる較正標準を含む複数の較正導波管構造(111、112、113、114、115;111'、112'、113'、114'、115'、116')を有するプレート要素(10;10')上に配置された、該プレート要素に関連する複数の較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B'、20"、20A1)を提供するステップであって、
前記プレート要素(10;10')は、その複数の面に、導電性表面(12;12')を備え、
各較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B'、20":20A1)は、周期的または準周期的構造(27;271"、27')および/または周期的または準周期的構造(272")を有する前記プレート要素(10")の前記導電性表面(12")を有し、前記導電性表面(12")と周期的構造(27)との間または較正器コネクタ要素の周期的または準周期的構造(271"、272")のそれぞれと前記プレート要素(10")との間にギャップ(29;29';29")が設けられて、導波管線路インタフェースを形成する、
該ステップと、
解析または測定機器の導波管(33)が、各較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B'、20":20A1)の導波管(23)に接続されるように、各較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B'、20":20A1)に、それぞれに対応する導波管コネクタ要素(30A、30B;30A'、30B')を結合要素によって結合するステップとを含み、
前記方法は更に、
駆動手段および制御機能部(13、14)によって制御可能に駆動されることにより、前記プレート要素(10;10';10")および/または複数の前記較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B'、20":20A1)の相互で較正シーケンスを実施するステップであって、前記較正シーケンスは、選択された複数の前記較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B'、20":20A1)が、前記複数の較正導波管構造(111、112、113、114、115;111'、112'、113'、114'、115'、116')のなかの1つから他の1つへと自動的に移動されるように実施され、それにより各較正器コネクタ要素の導波管(23)および解析または測定機器の導波管(33)が、異なる複数の較正導波管構造(111、112、113、114、115;111'、112'、113'、114'、115'、116')との制御可能に相互接続されることが可能となり、もって異なる較正標準に対する較正を含む全ての較正シーケンスがオペレータの介入なしで自動的に行われる、該ステップを更に含むことを特徴とする方法。 - 請求項26に記載の方法であって、
前記プレート要素(10;10')の前記導電性表面(12;12')間のギャップは、測定対象の信号の波長の1/4または対応する導波管周波数帯域の中心周波数波長の1/4よりも小さく、
前記方法は、更に
較正対象の信号の周波数帯域に適合されたピン、波形表面または類似構造の寸法を有する周期的または準周期的構造を有する較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B';20A1)を選択することによって、前記周波数帯域に応じて較正器コネクタ要素(20A、20B;20A'、20B';20A1)を、選択するステップを含むことを特徴とする方法。
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