JP2018508768A - 基板の電気的特性を測定するための、方法、装置およびシステム - Google Patents
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Abstract
Description
a)主面を有する基板を供給する;
b)基板の主面を、接触領域における接合(joining)により、電気的テスト構造の接触面と密着させて配置する;
c)密着を維持しつつ、電気的テスト構造において信号を伝搬させる;
d)伝搬する信号を測定し、基板の電気的特性を特定する。
・電気的テスト構造は誘電材料でできた支持体に含まれ、電気的構造の接触面は支持体の座面と面一である。
・密着させて配置するステップは、接触領域において基板の主面に支持体を配置し、その後、伝搬ステップc)および測定ステップd)において支持体に制御された保持力を印加するものである。
・連続したステップB〜Dを実行する測定シーケンスが繰り返される。
・測定シーケンスは、基板の主面における別の接触領域に適用される。
・測定ステップd)の後に、方法は、基板から電気的構造を除去するステップe)を備える。
Claims (20)
- 基板の電気的特性を測定するための装置(1)であって、
・誘電材料でできており座面(3)を有する支持体(2)であって、前記支持体は該支持体の前記座面(3)に面一の接触面を有する電気的テスト構造(4)を備え、前記支持体(2)の前記座面(3)および前記電気的構造(4)の前記接触面は前記基板と密着するのに適している支持体(2)と、
・前記支持体(2)における別の表面に形成され前記電気的構造(4)に電気的に接続された少なくとも1つの接続バンプコンタクト(6)と、を備える、装置(1)。 - 前記測定される電気低特性は静的なものであり、前記電気的テスト構造(4)は導電性材料でできたブロックを備える、請求項1に記載の測定装置(1)。
- 前記測定される電気的特性は無線周波数の特性であり、前記電気的テスト構造(4)は少なくとも1つのアクティブまたはパッシブの無線周波数要素を備える、請求項1に記載の測定装置(1)。
- 前記電気的テスト構造(4)は、伝送ライン、インダクタ、クロストーク特性評価要素、スイッチ、アンテナ、共振器から形成されるリストから選択される少なくとも1つの要素を備える、先行する請求項に記載の測定装置(1)。
- 前記支持体(2)はリジッドである、請求項1に記載の測定装置(1)。
- 前記支持体(2)はフレキシブルである、請求項1に記載の測定装置(1)。
- 前記支持体(2)の前記誘電材料は、ガラス、アルミナ、ポリマー、水晶、サファイア、SiCから形成されるリストから選択される、請求項1に記載の測定装置(1)。
- 前記接続バンプコンタクト(6)は、前記支持体(2)における前記座面(3)とは反対側の表面に形成されている、請求項1に記載の測定装置(1)。
- 前記支持体(2)は、前記電気的テスト構造(4)と前記接続バンプコンタクト(6)とを電気的に接続させるための、導電性材料で充填されたビア(7)を備える、先行する請求項に記載の測定装置(1)。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載の測定装置(1)と、前記基板(11)を受けるためのプレート(7)と、を備える、基板の特性を評価するためのシステム。
- 前記プレートは、前記基板に電圧を印加するように構成されている、先行する請求項に記載の特性評価システム(10)。
- 前記測定装置(1)を前記プレート(7)に対して相対的に移動させるための手段をさらに備える、請求項10または11に記載の特性評価システム(10)。
- 前記測定装置(1)は、前記支持体(2)を前記基板と密着させて配置するよう構成された保持部材(8)に固定されている、請求項10〜12のいずれか一項に記載の特性評価システム(10)。
- 前記測定装置(1)の前記接続バンプコンタクト(6)に接続された解析コンピュータ(9)をさらに備える、請求項10〜13のいずれか一項に記載の特性評価システム(10)。
- 前記解析コンピュータ(9)は、電気信号源(9a)と電気信号解析器(9b)とを備える、先行する請求項に記載の特性評価システム(10)。
- 基板(11)の電気的特性を測定するための、以下のステップを備える方法:
a)主面を有する基板(11)を供給する;
b)前記基板(11)の前記主面を、接触領域における接合により、誘電材料でできた支持体(2)に含まれた電気的テスト構造(4)の接触面(5)であって前記支持体(2)の座面(3)と面一である接触面(5)と密着させて配置する;
c)前記密着を維持しつつ、前記電気的構造(4)において信号を伝搬させる;
d)伝搬する前記信号を測定し、前記基板の前記電気的特性を特定する。 - 密着させて配置する前記ステップは、前記接触領域において前記基板(11)の前記主面に前記支持体(2)を配置し、その後、前記伝搬ステップc)において前記支持体(2)に制御された保持力を印加するものである、請求項16に記載の測定方法。
- 連続した前記ステップb)〜d)の測定シーケンスが繰り返される、請求項16〜17のいずれか一項に記載の測定方法。
- 前記測定シーケンスの繰り返しは、前記基板(11)の前記主面における別の接触領域に適用される、先行する請求項に記載の測定方法。
- 前記方法は、前記伝搬ステップc)の後に、前記基板(11)から前記電気的テスト構造(4)を除去するステップe)を備える、請求項16〜19のいずれか一項に記載の測定方法。
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