JP2018506071A - 画像の解像度を向上させるための光学機器 - Google Patents
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Abstract
Description
− 前記光ビームを屈折し他の板部材に沿って延長するように構成されたさらに別の透明板部材と、
− 前記さらに別の透明板部材が堅く取り付けられたさらに別のキャリアであって、第3の位置と第4の位置との間で第2の軸の周りに前後に傾斜されるように構成され、それにより、さらに別の板部材が第3の位置と第4の位置との間で第2の軸の周りに傾斜され、それにより、前記投影された画像が第2の方向に沿って1ピクセルの一部分だけ(具体的には、1ピクセルの半分だけ)シフトする、さらに別のキャリアと、
− さらに別のキャリア及びそれと共にさらに別の板部材を、第3の位置と第4の位置との間で第2の軸の周りに傾斜させるように構成されたさらに別のアクチュエータ手段であって、磁気抵抗力をさらに別のキャリアに及ぼして、さらに別のキャリア及びそれと共にさらに別の板部材を第3の位置と第4の位置との間で第2の軸の周りに傾斜させるように設計されたさらに別の磁気抵抗アクチュエータ手段として形成されたさらに別のアクチュエータ手段と、
を備えることができ、
− ここで、具体的には、さらに別のキャリアは、支持体の上に積み重ねられたさらに別の支持体の上に取り付けられ、それにより、さらに別のキャリアは第2の軸の周りに傾けることができる。
Claims (50)
- 画像の解像度を向上させるための光学機器(1)であって、
− 透明板部材(10)であって、前記板部材(10)を透過する光ビーム(20)を屈折するように構成され、前記光ビーム(20)はピクセル(40)の行及び列からなる画像を投影する、透明板部材(10)と、
− 前記透明板部材(10)が堅く取り付けられるキャリア(50、50a)であって、前記キャリア(50、50a)は、第1の軸(A)の周りで少なくとも第1の位置と第2の位置との間で傾斜されるように構成され、それにより、前記板部材(10)が前記第1の軸(A)の周りで前記第1の位置と前記第2の位置との間で傾斜され、それにより前記投影された画像(30)が1ピクセルの一部分(ΔP)だけ、具体的には1ピクセルの半分だけ、第1の方向(x)に沿ってシフトする、キャリア(50、50a)と、
− 前記キャリア(50、50a)及びそれと共に前記板部材(10)を、前記第1の軸(A)の周りの前記第1の位置と前記第2の位置との間で傾斜させるように構成されるアクチュエータ手段(60)と、
を備える光学機器(1)。 - 前記アクチュエータ手段(60)は、磁気抵抗力を前記キャリア(50、50a)に及ぼして、前記キャリア(50、50a)及びそれと共に前記板部材(10)を前記第1の軸(A)の周りで前記第1の位置と前記第2の位置との間で傾斜させるように設計された磁気抵抗アクチュエータ手段として形成される、ことを特徴とする請求項1に記載の光学機器。
- 前記光学機器(1)は、前記キャリア(50、50a)が取り付けられるか、又は前記キャリア(50a)が前記第1の軸(A)の周りに傾斜させることができるように一体的に接続される、支持体(70)を備える、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学機器。
- 前記磁気抵抗アクチュエータ手段(60)は、前記支持体(70)に接続された第1の磁束帰還構造体(91)の上に取り付けられた第1の導電コイル(81)と、前記キャリア(50、50a)に接続された又は前記キャリア(50a)によって形成された第1の磁束誘導構造体(101)とを備え、前記第1の磁束誘導構造体(101)は、前記第1の磁気帰還構造体(91)から、第1の隙間(G、G1)によって分離され、ここで具体的には、前記磁気抵抗アクチュエータ手段(60)は、前記支持体(70)に接続された第2の磁束帰還構造体(92)の上に取り付けられた第2の導電コイル(82)と、前記キャリア(50、50a)に接続された又は前記キャリア(50a)によって形成された第2の磁束誘導構造体(102)とを備え、ここで前記第2の磁束誘導構造体(102)は、前記第2の磁束帰還構造体(92)から、第2の隙間(G’、G2)によって分離される、ことを特徴とする請求項2又は3に記載の光学機器。
- 前記第1の磁束帰還構造体(91)は前記支持体(70)の第1の領域(71)に配置され、ここで具体的には、前記第2の磁束帰還構造体(92)は前記支持体(70)の第2の領域(72)に配置され、ここで具体的には、前記2つの領域(71、72)は互いに向き合い、ここで具体的には前記キャリア(50、50a)は、前記2つの帰還構造体(91、92)の間に配置される、ことを特徴とする請求項4に記載の光学機器。
- 前記キャリア(50、50a)は、前記キャリア(50、50a)が前記第1の位置又は第2の位置に傾斜されるときに生成される復元力であって、前記キャリア(50、50a)を旋回させて初期の静止位置に戻そうとする復元力が生成されるように、前記支持体(70)に弾性的に結合される、ことを特徴とする請求項4又は5に記載の光学機器。
- 前記光学機器(1)は、前記キャリア(50、50a)を前記第1の位置に停止させるように構成された第1の停止手段(111)並びに前記キャリア(50、50a)を前記第2の位置に停止させるように構成された第2の停止手段(112)を備える、ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の光学機器。
- 前記第1の停止手段(111)は、前記キャリア(50)が前記第1の位置に達したときに前記第1の磁束誘導手段(101)のための止め具をもたらし、ここで具体的には、前記第2の停止手段(112)は、前記キャリア(50)が前記第2の位置に達したときに前記第2の磁束誘導手段(102)のための止め具をもたらし、具体的には前記第1の停止手段(111)は、前記第1の磁束帰還構造体(91)の又は前記支持体(70)の表面範囲(91a、71a)を備え、具体的には前記第2の停止手段(112)は、前記第2の磁束帰還構造体(92)の又は前記支持体(70)の表面範囲(92a、72a)を備え、ここで具体的には、前記第1及び第2の停止手段(111、112)は各々、それぞれの前記表面範囲(91a、92a、71a、72a)に対するそれぞれの前記磁束誘導構造体(101、102)の衝撃を弱めるための、それぞれの前記表面範囲(91a、92a)の上に配置された減衰部材(121、122)を備える、ことを特徴とする請求項7に記載の光学機器。
- 前記第1の隙間(G、G1)は、少なくとも、前記第1の磁束帰還構造体(91)の面側(91b)と、関連する前記第1の磁束誘導構造体(101)の面側(101b)とによって範囲を定められ、ここで具体的には前記第2の隙間(G’、G2)は、少なくとも、前記第2の磁束帰還構造体(92)の面側(92b)と、関連する前記第2の磁束誘導構造体(102)の面側(102b)とによって範囲を定められ、ここで具体的には、前記第1の隙間(G)は前記第1の磁束帰還構造体(91)の前記表面範囲(91a)によってさらに範囲を定められ、ここで具体的には前記第2の隙間(G’)は前記第2の磁束帰還構造体(92)の前記表面範囲(92a)によってさらに範囲を定められる、ことを特徴とする請求項4、又は請求項4を参照するときに請求項5〜8のいずれか1項に記載の光学機器。
- 前記光学機器(1)は、前記キャリア(50)に接続されたバネ部材(130)と、湾曲したロールオフ表面(130a)とを備え、前記バネ部材(130)は、前記キャリア(50)が前記第1又は前記第2の位置に傾斜されるとき、前記ロールオフ表面(130a)の上をロールオフするように構成される、ことを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の光学機器。
- 前記光学機器(1)は、電気エネルギー源(2)と、前記電気エネルギー源(2)に対して、導電コイル(81、82、83、84)のうちの少なくとも1つに電流を加えさせるように構成された制御ユニット(3)とを備えること、を特徴とする請求項4、又は請求項4を参照するときに請求項5〜10のいずれか1項に記載の光学機器。
- 前記制御ユニット(3)は、第1の電流を前記第1のコイル(81)に加えるように構成され、前記第1の電流が前記第1のコイル(81)に加えられるとき、前記第1のコイル(81)によって生成される磁束が前記第1の磁束帰還構造体(91)と、前記第1の隙間(G、G1)を介して前記第1の磁束誘導構造体(101)とにより誘導され、前記第1の隙間(G、G1)を減らすように前記キャリア(50、50a)を前記第1の位置に傾斜させる磁気抵抗力を生じ、ここで前記制御ユニット(3)は、第2の電流を前記第2のコイル(82)に加えるように構成され、前記第2の電流が前記第2のコイル(82)に加えられるとき、前記第2のコイル(82)によって生成される磁束が前記第2の磁束帰還構造体(92)と、前記第2の隙間(G’、G2)を介して前記第2の磁束誘導構造体(102)とにより誘導され、前記第2の隙間(G’、G2)を減らすように前記キャリア(50、50a)を前記第2の位置に傾斜させる磁気抵抗力を生じ、ここで具体的には前記制御ユニット(3)は、前記キャリア(50、50a)が前記第1の位置と前記第2の位置との間で所定のパターンに従って前後に傾斜するように、前記電気エネルギー源(2)に対して前記第1の電流及び前記第2の電流を加えさせるように構成される、ことを特徴とする請求項11に記載の光学機器。
- 前記制御ユニット(3)は、前記キャリア(50、50a)が前記第1の位置に近づくときに前記キャリア(50、50a)を減速させるように、前記電気エネルギー源(2)に対して電流を前記第2のコイル(82)加えさせるように構成され、及び/又は、前記制御ユニット(3)は、前記キャリア(50、50a)が前記第2の位置に近づくときに前記キャリア(50、50a)を減速させるように、前記電気エネルギー源(2)に対して電流を前記第1のコイル(81)に加えさせるようにさらに構成される、ことを特徴とする請求項11又は12に記載の光学機器。
- 前記制御ユニット(3)は、前記キャリア(50、50a)をその第1の位置に所定の時間保持するように、前記電気エネルギー源(2)対して電流を前記第1のコイル(81)に加えさせるように構成され、及び具体的には前記制御ユニット(3)は、前記キャリア(50、50a)をその第2の位置に所定の時間保持するように、前記電気エネルギー源(2)に対して電流を前記第2のコイル(82)に加えさせるように構成される、ことを特徴とする請求項11〜13のいずれか1項に記載の光学機器。
- 前記キャリア(50、50a)は、前記透明板部材(10)が接続される第1の外周フレーム部材(501、50a)を備えるか又は第1の外周フレーム部材(501、50a)として形成され、前記第1のフレーム部材(501、50a)は、少なくとも第1の棒(511、511a)、具体的には2つの第1の棒(511、511a)を介して前記支持体(70)に弾性的に結合される、ことを特徴とする請求項1〜14のいずれか1項に記載の光学機器。
- 前記キャリア(50)は、前記第1及び第2の磁束誘導構造体(101、102)が接続される第1のキャリア部材(52)を備え、ここで具体的には前記第1の磁束誘導構造体(101)は前記第1のキャリア部材(52)の第1の区域に接続され、前記第1の区域は前記第1のキャリア部材(52)の第2の区域と向き合い、前記第2の区域に前記第2の磁束誘導構造体(102)が接続され、ここで具体的には前記第1のキャリア部材(52)は、前記支持体(70)によって支持された棒(513)によって第2のキャリア部材(53)に接続され、ここで前記第1のキャリア部材(52)は、前記支持体(70)によって形成される開口(700)の中に配置され、前記板部材(10)が接続される前記第2のキャリア部材(53)は前記開口700の外部に配置され、それにより、前記支持体(70)の脚(74)が前記第1及び前記第2のキャリア部材(52、53)の間を延びる、ことを特徴とする請求項1〜15のいずれか1項に記載の光学機器。
- 前記磁気抵抗アクチュエータ手段(60)は、前記支持体(70)に接続された第3の磁束帰還構造体(93)の上に取り付けられる第3の導電コイル(83)と、前記キャリア(50)に接続された第3の磁束誘導構造体(103)と、をさらに備え、ここで前記第3の磁束誘導構造体(103)は、前記第3の磁束帰還構造体(93)から、第3の隙間(G”)によって分離され、ここで前記磁気抵抗アクチュエータ手段は、前記支持体(70)に接続された第4の磁束帰還構造体(94)の上に取り付けられる第4の導電コイル(84)と、前記キャリア(50)に接続された第4の磁束誘導構造体(104)と、を備え、前記第4の磁束誘導構造体(104)は、前記第4の磁束帰還構造体(94)から、第4の隙間(G”’)によって分離される、ことを特徴とする請求項1〜16のいずれか1項に記載の光学機器。
- 前記第3の磁束帰還構造体(93)は前記支持体の前記第1の領域(71)の上、前記第1の磁束帰還構造体(91)の横に配置され、前記第4の磁束帰還構造体(94)は前記支持体(70)の前記第2の領域(72)の上、前記第2の磁束帰還構造体(92)の横に配置される、ことを特徴とする請求項5又は17に記載の光学機器。
- 前記第1及び第2の磁束帰還構造体(91、92)は前記支持体(70)に対して第1の高さ(z1)に配置され、前記第3及び第4の磁束帰還構造体(93、94)は前記支持体(70)に対して異なる第2の高さ(z2)に配置され、ここで具体的には前記制御ユニット(3)は、前記電気エネルギー源(2)に対して、第1の電流を前記第1のコイル(81)に及び第4の電流を前記第4のコイル(84)加えさせ、それにより、前記第1及び第4の隙間(G、G”’)を同時に減らし、かつ前記キャリア(50)をその第1の位置に傾斜させる2つの磁気抵抗力が生成されるように構成され、ここで前記制御ユニット(3)は、前記電気エネルギー源(2)に対して、第2の電流を前記第2のコイル(82)に及び第3の電流を前記第3のコイル(83)に加えさせ、それにより、第2及び第3の隙間(G’、G”)を同時に減らし、かつ前記キャリア(50)をその第2の位置に傾斜させる2つの磁気抵抗力が生成されるように構成される、ことを特徴とする請求項17又は18に記載の光学機器。
- 前記光学機器(1)は、
− 前記光ビーム(20)を反射するように構成された、他の板部材(10)に沿って延びるさらに別の透明板部材(10f)と、
− 前記さらに別の透明板部材(10f)が堅く取り付けられるさらに別のキャリア(50f、50c)であって、第3の位置と第4の位置との間で第2の軸(A’)の周りで傾斜されるように構成され、それにより、前記さらに別の板部材(10f)が前記第3の位置と前記第4の位置との間で前記第2の軸(A’)の周りで傾斜され、それにより前記投影された画像が第2の方向に沿って1ピクセルの一部分だけシフトする、さらに別のキャリア(50f、50c)と、
− 前記さらに別のキャリア(50f、50c)及びそれと共に前記さらに別の板部材(10f)を、前記第3の位置と前記第4の位置との間で前記第2の軸(A’)の周りで傾斜させるように構成されたさらに別のアクチュエータ手段(60f)であって、磁気抵抗力を前記さらに別のキャリア(50f、50c)に及ぼして、前記さらに別のキャリア(50f、50c)及びそれと共に前記さらに別の板部材(10f)を、前記第3の位置と前記第4の位置との間で前記第2の軸(A’)の周りで傾斜させるように設計されたさらに別の磁気抵抗アクチュエータ手段として形成された、さらに別のアクチュエータ手段(60f)と、
を備え、
− 具体的には、前記さらに別のキャリア(50f)は前記支持体(70)に接続されたさらに別の支持体(70f)に取り付けられ、それにより、前記さらに別のキャリア(50f)は前記第2の軸(A’)の周りで傾斜させることができる、又は、前記さらに別のキャリア(50f)は前記支持体(70)に取り付けられ、具体的には前記支持体(70)に一体的に取り付けられ、それにより、第2の軸(A’)の周りに傾斜させることができる、
ことを特徴とする請求項1〜15のいずれか1項に記載の光学機器。 - 前記第3の磁束帰還構造体(93)は、前記支持体(70)の第3の領域(73)に配置され、前記第4の磁束帰還構造体(94)は、前記支持体(70)の第4の領域(74)に配置され、ここで前記2つの領域(73、74)は互いに向き合い、前記キャリア(50)は前記2つの帰還構造体(93、94)の間に配置され、並びに、前記第3及び第4の領域(73、74)は、各々前記第1及び前記第2の領域を互いに結合させ、それにより、前記支持体(70)は外周支持フレームとして形成される、ことを特徴とする請求項17に記載の光学機器。
- 前記第1の磁束帰還構造体(91)は前記支持体(70)に対して第1の高さ(z1)に配置され、前記第2の磁束帰還構造体(92)は前記支持体(70)に対して異なる第2の高さ(z2)に配置され、前記第3の磁束帰還構造体(93)は前記第1の高さ(z1)に配置され、前記第4の磁束帰還構造体(94)は前記第2の高さ(z2)に配置され、ここで具体的には前記制御ユニット(3)は、前記電気エネルギー源(2)に対して第1の電流を前記第1のコイル(81)に及び同時に第2の電流を前記第2のコイル(82)に加えさせ、それにより2つの磁気抵抗力が生成され、これらが前記第1及び前記第2の隙間(G、G’)を同時に減らし、前記キャリア(50)を前記第1の軸(A)の周りで前記第1の静止位置からそれの第2の位置まで傾斜させるように構成され、さらに前記制御ユニット(3)は、前記電気エネルギー源(2)に対して第3の電流を前記第3のコイル(83)に及び同時に第4の電流を前記第4のコイル(84)に加えさせ、それにより、2つの磁気抵抗力が生成され、これらが前記第3及び前記第4の隙間(G”、G”’)を同時に減らし、前記キャリア(50)を第2の軸(A’)の周りで第3の静止位置から第4の位置まで傾斜させるように構成される、ことを特徴とする請求項21に記載の光学機器。
- 前記キャリア(50)は第2の外周フレーム部材(550)を備え、前記第2の外周フレーム部材(550)は前記第1のフレーム部材(501)に、具体的には2つの第2の棒(561)を介して、弾性的に結合され、それにより前記第2のフレーム部材(550)を、第2の軸(A’)の周りで第3の位置と第4の位置との間で、前記第1のフレーム部材(501)に対して傾斜させることができ、ここで前記第1のフレーム部材(501)は、具体的には前記2つの第1の棒(511)を介して、前記支持体(70)に弾性的に結合され、それにより、前記第1のフレーム部材(501)を前記第2のフレーム部材(550)と共に、前記第1の軸(A)の周りで前記第1の位置と前記第2の位置との間で傾斜させることができ、ここで前記第3の磁束誘導構造体(103)が前記第2のフレーム部材(550)の第1の区域(551)に接続され、前記第1の区域(551)は、前記第2のフレーム部材(550)の第2の区域(552)と向き合い、前記第2の区域(552)に前記第4の磁束誘導構造体(104(94))が接続され、ここで具体的には、前記第1の磁束誘導構造体(101)が前記第2のフレーム部材(550)の第3の区域(553)に接続され、前記第3の区域(553)は前記第2のフレーム部材(550)の第4の区域(554)と向き合い、前記第4の区域(554)に前記第4の磁束誘導構造体(104)が接続される、ことを特徴とする請求項21に記載の光学機器。
- 前記さらに別のキャリア(50c)は、前記さらに別の透明板部材(10f)が接続される第2の外周フレーム部材(50c)として形成され、前記第2のフレーム部材(50c)は、少なくとも第2の棒(511b)、具体的には2つの第2の棒(511b)を介して、前記支持体(70)に弾性的に結合される、ことを特徴とする請求項3又は20に記載の光学機器。
- 前記光学機器(1)は、前記アクチュエータ手段(60、60f)によって生成された磁束を、前記棒(511a、511b)を介して誘導するように構成される、ことを特徴とする請求項15又は24に記載の光学機器。
- 前記さらに別の磁気抵抗アクチュエータ手段(60f)は、前記支持体(70)に接続された第3の磁束帰還構造体(93)の上に取り付けられた第3の導電コイル(83)と、前記第2のフレーム部材(50c)によって形成される第3の磁束誘導構造体(103)とを備え、前記第3の磁束誘導構造体(103)は、前記第3の磁束帰還構造体(93)から第3の隙間(G3)によって分離され、前記さらに別の磁気抵抗アクチュエータ手段(60f)は、前記支持体(70)に接続された第4の磁束帰還構造体(94)の上に取り付けられた第4の導電コイル(84)と、前記第2のフレーム部材(50c)によって形成される第4の磁束誘導構造体(104)とを備え、前記第4の磁束誘導構造体(104)は、前記第4の磁束帰還構造体(94)から第4の隙間(G4)によって分離される、ことを特徴とする請求項24又は25に記載の光学機器。
- 前記支持体(70)、前記第1のフレーム部材(50a)、及び前記第2のフレーム部材(50c)は、互いの上に配置される少なくとも最上層(70a)及び最下層(70c)によって形成される、ことを特徴とする請求項15又は請求項24〜26のいずれか1項に記載の光学機器。
- 前記最下層(70c)は前記最上層(70a)の形状と同一の形状を備え、しかし前記最下層(70c)は、前記最上層に対して、前記最下層(70c)の延長面内にある軸の周りに180°だけ回転して前記最上層に取り付けられる、ことを特徴とする請求項27に記載の光学機器。
- 前記最上層(70a)は、前記第1のフレーム部材(50a)に前記第1の棒(511a)を介して一体的に接続された外側フレーム部材(700a)を備え、前記外側フレーム部材(700a)は前記第1のフレーム部材(50a)を囲み、及び/又は、前記最下層(70c)は、前記第2のフレーム部材(50c)に前記第2の棒(511b)を介して一体的に接続された外側フレーム部材(700c)を備え、前記外側フレーム部材(700c)は前記第2のフレーム部材(50c)を囲む、ことを特徴とする請求項15又は24又は請求項27又は28のいずれか1項に記載の光学機器。
- 前記最上層(70a)の前記外側フレーム部材(700a)は磁束を遮断するための不連続部(75a、76a)を備え、及び/又は、前記最下層(70c)の前記外側フレーム部材(700c)は磁束を遮断するための不連続部(75c、76c)を備える、ことを特徴とする請求項27〜29のいずれか1項に記載の光学機器。
- 前記最上層及び前記最下層(70a、70c)は、磁束を前記最上層(70a)から前記最下層(70c)へ又はその逆に誘導するように設計された第1の締結手段(S1)によって接続される、ことを特徴とする請求項27〜30のいずれか1項に記載の光学機器。
- 前記最上層及び前記最下層(70a、70c)は、前記最上層(70a)から前記最下層(70c)へ又はその逆の磁束の通過を遮断又は抑制するように設計された第2の締結手段(S2)によって接続される、ことを特徴とする請求項27〜31のいずれか1項に記載の光学機器。
- 前記最上層(70a)は、前記最上層(70a)の前記外側フレーム部材(700a)から内向きに突き出る2つの部分(94、93)を備え、前記部分は前記第3及び第4の磁束帰還構造体(93、94)を形成し、及び/又は、前記最下層(70c)は、前記最下層(70c)の前記外側フレーム部材(700c)から内向きに突き出る2つの部分(91、92)を備え、前記部分は前記第1及び第2の磁束帰還構造体(91、92)を形成する、ことを特徴とする請求項4又は26又は請求項27〜32のいずれか1項に記載の光学機器。
- 前記支持体(70)は、さらに別の外周層(70b)を備え、前記さらに別の外周層(70b)は具体的には前記最上層(70a)と前記最下層(70c)との間に配置される、ことを特徴とする請求項27〜33のいずれか1項に記載の光学機器。
- 前記さらに別の外周層(70b)は、前記最上層(70a)から前記最下層(70c)への又はその逆の磁束の通過を遮断するか又は抑制するように構成される、ことを特徴とする請求項34に記載の光学機器。
- 前記さらに別の外周層(70b)は外周フレーム部材(700b)及び前記外周フレーム部材(700b)から内向きに突き出る部分を備え、前記部分は、前記第1及び前記第2のフレーム部材(50a、50c)に対する止め具(111、112、111a、112a)を形成する、ことを特徴とする請求項34又は35に記載の光学機器。
- 前記最上層及び前記最下層(70a、70c)は、前記最上層(70a)と前記最下層(70c)との間の中間層なしに互いの上に配置され、ここで、前記第1及び/又は第2のフレーム部材(50a、50c)の1つ又はいくつかの領域(R)がエッチング又は除去され、それにより、前記第1及び前記第2のフレーム部材(50a、50c)の間に間隙がもたらされ、これが、前記フレーム部材(50a、50c)がそれぞれの軸(A、A’)の周りで傾斜することを可能にし、及び/又は、磁束が前記最上層(70a)から前記最下層(70c)へ又は逆に通過するのを妨げる、ことを特徴とする請求項27〜36のいずれか1項に記載の光学機器。
- 前記キャリア(50)は、内側及び外側フレーム部材(502、501)を備え、前記板部材(10)は前記内側フレーム部材(502)に堅く取り付けられ、前記外側フレーム部材(501)は、第1の棒(511a)を介して外周支持フレーム(70)に弾性的に結合され、それにより、前記キャリア(50)を前記第1の軸(A)の周りで前記第1の位置と前記第2の位置との間で傾斜させることができ、及び前記内側フレーム部材(502)は前記外側フレーム部材(501)に第2の棒(511b)を介して弾性的に結合され、それにより、これは前記板部材(10)と一緒に、第2の軸(A’)の周りで、第3の位置と第4の位置との間で、前記外側フレーム部材(501)に対して傾斜させることができる、ことを特徴とする請求項1に記載の光学機器。
- アクチュエータ手段(61)は、ローレンツの力を前記内側及び/又は外側フレーム部材(502、501)に及ぼして前記板部材(10)を前記第1及び/又は第2の軸(A、A’)の周りで傾斜させるように設計される電磁アクチュエータ(61)である、ことを特徴とする請求項38に記載の光学機器。
- 前記アクチュエータ手段(61)は、前記外側フレーム部材(501)を前記第1の軸(A)の周りで傾斜させるための磁界(B)並びに電流(I)を生成するように構成され、それにより、前記外側フレーム部材(501)の延長面に垂直な方向(M)に関して前記電流(I)の垂直上方に位置する前記磁界(B)が、前記外側フレーム部材(501)の前記延長面に平行に伸び、及び/又は、前記アクチュエータ手段は(61)は、前記内側フレーム部材(502)を前記第2の軸(A’)の周りで傾斜させるための磁界(B)並びに電流(I)を生成するように構成され、それにより、前記内側フレーム部材(502)の延長面に垂直な方向に関して前記電流(I)の垂直上方に位置する前記磁界(B)が、前記内側フレーム部材(502)の前記延長面に平行に伸びる、ことを特徴とする請求項38又は39に記載の光学機器。
- 前記アクチュエータ手段(61)は、前記電流(I)を生成するための、前記支持フレーム(70)に接続された内側及び外側コイル(82、81)を備え、前記コイル(82、81)は、前記内側及び外側フレーム部材(502、501)に沿って外周方向に延び、前記アクチュエータ手段(61)の第1及び対向する第2の磁石(801、802)は前記外側フレーム部材(501)の上に配置され、それにより、それらは前記外側コイル(81)の上に配置され、前記アクチュエータ手段(61)の第3の磁石及び対向する第4の磁石(803、804)は前記内側フレーム部材(502)の上に配置され、それにより、それらは前記内側コイル(82)の上に配置される、ことを特徴とする請求項39又は40に記載の光学機器。
- 各々の磁石(801、802、803、804)は、L型断面を有する磁束帰還構造体(901、902、903、904)に隣接して配置される、ことを特徴とする請求項41に記載の光学機器。
- 各々の磁石(801、802、803、804)とその磁束帰還構造体(901、902、903、904)との間に、具体的には前記支持体(70)の延長面に平行な方向に、空隙が設けられる、ことを特徴とする請求項42に記載の光学機器。
- 前記電流(I)を生成するために、前記光学機器は、前記支持フレーム(70)に接続された第1及び対向する第2のコイル(81、82)と、同じく前記支持フレーム(70)に接続された第3及び対向する第4のコイル(83、84)とを備え、前記光学機器はさらに、前記第1のコイル(81)に関連付けられて、前記外側フレーム部材(501)の上に配置される第1の磁石(801)と、前記第2のコイル(82)に関連付けられて、前記外側フレーム部材(501)の上に配置される、対向する第2の磁石(802)とを備え、前記光学機器はさらに、前記第3のコイル(83)に関連付けられて、前記内側フレーム部材(502)の上に配置される第3の磁石(803)と、前記第4のコイル(84)に関連付けられて、前記内側フレーム部材(502)の上に配置される対向する第4の磁石(804)とを備え、ここで各々の磁石(801、802、803、804)は、その関連付けられるコイル(81、82、83、84)の2つの平行な区域の上に中心がくるように配置される、ことを特徴とする請求項40に記載の光学機器。
- 各々の磁石(801、802、803、804)は、U型断面を有する磁束帰還構造体(901、902、903、904)の中に埋め込まれることを特徴とする、請求項44に記載の光学機器。
- 空隙が、それぞれの磁石(801、802、803、804)とその磁束帰還構造体(901、902、903、904)との間で各々の前記磁石(801、802、803、804)の両側に設けられる、ことを特徴とする請求項45に記載の光学機器。
- 前記光学機器(1)は、電気エネルギー源(2)と、前記電気エネルギー源(2)に対して電流を少なくとも1つの前記導電コイル(81、82、83(82)、84)に加えさせるように構成された制御ユニット(3)とを備える、ことを特徴とする請求項1〜46のいずれか1項に記載の光学機器。
- 前記光学機器(1)は、前記フレーム部材(50a、50c、501、502)又は前記板部材(10)の位置を、具体的には前記コイル又は付加的なコイルのうちの少なくとも1つを用いる誘導位置計測、容量位置計測、ホール・センサのうちの1つを用いて計測するように構成される、ことを特徴とする請求項1〜47のいずれか1項に記載の光学機器。
- 前記制御ユニットは、前記計測された位置に応じて前記エネルギー源を制御するように構成される、ことを特徴とする請求項47又は48に記載の光学機器。
- 特に超解像画像化又は超解像投影のための光学システムであって、画像を画像センサ又はスクリーンの上に投影するように構成され、前記画像を投影する光ビームをシフトさせるための請求項1〜49のいずれか1項に記載の光学機器を備える、光学システム。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021009220A (ja) * | 2019-07-01 | 2021-01-28 | パイオニア株式会社 | 駆動装置 |
JP2021056351A (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、プロジェクター、及び光学デバイスの制御方法 |
KR102722418B1 (ko) * | 2019-03-12 | 2024-10-25 | 엘지이노텍 주식회사 | 필터 액추에이터 및 이를 포함하는 카메라 모듈 |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106921856B (zh) * | 2015-12-25 | 2019-07-12 | 北京三星通信技术研究有限公司 | 立体图像的处理方法、检测分割方法及相关装置和设备 |
DE102016221038A1 (de) * | 2016-10-26 | 2018-04-26 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Schutzwafers mit schräggestellten optischen Fenstern und Vorrichtung |
DE102017202182A1 (de) | 2017-02-10 | 2018-08-16 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Reluktanz-Aktor |
CN108693686B (zh) * | 2017-04-06 | 2020-11-03 | 中强光电股份有限公司 | 投影装置 |
CN109856898B (zh) * | 2017-11-30 | 2021-12-31 | 中强光电股份有限公司 | 投影机、光机模块、影像分辨率增强装置及其驱动方法 |
TWI744445B (zh) * | 2017-12-22 | 2021-11-01 | 揚明光學股份有限公司 | 光路調整機構及其製造方法 |
CN110007458A (zh) * | 2018-01-05 | 2019-07-12 | 扬明光学股份有限公司 | 光路调整机构及其制造方法 |
US11573396B2 (en) * | 2018-01-23 | 2023-02-07 | Texas Instruments Incorporated | Multi-axis gimbal extended pixel resolution actuator |
CN110554550B (zh) | 2018-05-31 | 2021-08-17 | 中强光电股份有限公司 | 投影装置 |
KR102523762B1 (ko) * | 2018-06-20 | 2023-04-20 | 엘지이노텍 주식회사 | 이미지 센서 및 이를 이용하는 카메라 모듈 |
CN110658665B (zh) * | 2018-06-29 | 2021-10-01 | 中强光电股份有限公司 | 投影装置及其成像模块 |
TWI699556B (zh) * | 2018-07-24 | 2020-07-21 | 銘異科技股份有限公司 | 單軸光學致動器之懸吊系統 |
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JP7196552B2 (ja) | 2018-11-15 | 2022-12-27 | セイコーエプソン株式会社 | 光路シフトデバイスおよび画像表示装置 |
KR102184925B1 (ko) * | 2018-11-15 | 2020-12-01 | 자화전자(주) | 광학계 구동장치, 광학계 위치제어장치 및 위치제어방법 |
CN210428058U (zh) | 2018-11-29 | 2020-04-28 | 中强光电股份有限公司 | 光学模块以及投影机 |
JP7155967B2 (ja) | 2018-12-04 | 2022-10-19 | セイコーエプソン株式会社 | 光路シフトデバイスおよび画像表示装置 |
CN111624763A (zh) * | 2019-02-28 | 2020-09-04 | 中强光电股份有限公司 | 振动光学模块及投影机 |
TWI798391B (zh) | 2019-03-20 | 2023-04-11 | 揚明光學股份有限公司 | 光路調整機構及其製造方法 |
TWI765235B (zh) | 2020-02-27 | 2022-05-21 | 揚明光學股份有限公司 | 光路調整機構及其製造方法 |
US11906728B2 (en) * | 2021-04-16 | 2024-02-20 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Pixel shifting device |
CN115236850B (zh) * | 2021-04-23 | 2024-03-15 | 成都极米科技股份有限公司 | 一种控制振镜实现2倍和4倍像素点提升的方法及投影仪 |
CN116699780A (zh) | 2022-03-04 | 2023-09-05 | 奥普托图尼瑞士股份公司 | 用于光学元件的载体设备 |
CN115657295B (zh) * | 2022-10-20 | 2023-09-19 | 东莞市维斗科技股份有限公司 | 一种可双轴向直线线性运动的振镜装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08130670A (ja) * | 1994-10-31 | 1996-05-21 | Canon Inc | 撮像装置 |
JPH0951483A (ja) * | 1995-05-30 | 1997-02-18 | Sharp Corp | イメージシフト機構および撮像装置 |
JP2000032317A (ja) * | 1998-07-10 | 2000-01-28 | Canon Electron Inc | 光学装置 |
US20060007057A1 (en) * | 2004-06-01 | 2006-01-12 | Lg Electronics Inc. | Display device |
US20060158046A1 (en) * | 2005-01-18 | 2006-07-20 | Barnes Ted W | Light direction assembly shorted turn |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4385373A (en) | 1980-11-10 | 1983-05-24 | Eastman Kodak Company | Device for focus and alignment control in optical recording and/or playback apparatus |
GB8709916D0 (en) | 1987-04-27 | 1987-10-21 | Gec Avionics | Imaging systems |
US5402184A (en) | 1993-03-02 | 1995-03-28 | North American Philips Corporation | Projection system having image oscillation |
PL175809B1 (pl) | 1993-11-16 | 1999-02-26 | Daewoo Electronics Co Ltd | Układ zwierciadeł cienkowarstwowych ruchomych i sposób wytwarzania układu zwierciadeł cienkowarstwowych ruchomych |
US5877806A (en) * | 1994-10-31 | 1999-03-02 | Ohtsuka Patent Office | Image sensing apparatus for obtaining high resolution computer video signals by performing pixel displacement using optical path deflection |
US7170665B2 (en) * | 2002-07-24 | 2007-01-30 | Olympus Corporation | Optical unit provided with an actuator |
AU2001286745A1 (en) * | 2000-08-27 | 2002-03-13 | Corning Intellisense Corporation | Magnetically actuated micro-electro-mechanical apparatus and method of manufacture |
US6798942B2 (en) | 2002-04-05 | 2004-09-28 | Finisar Corporation | Zero static power optical switch |
US6758571B2 (en) * | 2002-09-30 | 2004-07-06 | Texas Instruments Incorporated | Scanning MEMS mirror with reluctance force motor |
-
2015
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08130670A (ja) * | 1994-10-31 | 1996-05-21 | Canon Inc | 撮像装置 |
JPH0951483A (ja) * | 1995-05-30 | 1997-02-18 | Sharp Corp | イメージシフト機構および撮像装置 |
JP2000032317A (ja) * | 1998-07-10 | 2000-01-28 | Canon Electron Inc | 光学装置 |
US20060007057A1 (en) * | 2004-06-01 | 2006-01-12 | Lg Electronics Inc. | Display device |
US20060158046A1 (en) * | 2005-01-18 | 2006-07-20 | Barnes Ted W | Light direction assembly shorted turn |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102722418B1 (ko) * | 2019-03-12 | 2024-10-25 | 엘지이노텍 주식회사 | 필터 액추에이터 및 이를 포함하는 카메라 모듈 |
JP2021009220A (ja) * | 2019-07-01 | 2021-01-28 | パイオニア株式会社 | 駆動装置 |
JP7507948B2 (ja) | 2019-07-01 | 2024-06-28 | パイオニア株式会社 | 駆動装置 |
JP2021056351A (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、プロジェクター、及び光学デバイスの制御方法 |
JP7052784B2 (ja) | 2019-09-30 | 2022-04-12 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、プロジェクター、及び光学デバイスの制御方法 |
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