HU220515B1

HU220515B1 - Vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés és eljárás annak előállítására

Info

Publication number: HU220515B1
Application number: HU9601201A
Authority: HU
Inventors: Myoung Jin Kim; Yong Ki Min
Original assignee: Daewoo Electronics Co., Ltd.
Priority date: 1993-11-16
Filing date: 1994-11-15
Publication date: 2002-03-28
Also published as: AU1121595A; IT1271062B; JP3253304B2; DE69423070T2; ITMI942309A0; RU2125347C1; CN1047904C; CZ287202B6; DE69423070D1; JPH09505157A; EP0653657B1; CZ141396A3; EP0653657A1; HUT75801A; PL314420A1; TW266328B; WO1995014351A1; BR9408054A; AU693139B2; CA2176347A1

Abstract

A találmány vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés (50) M×Ntükörelemmel (51), amely tükörelem-- elrendezésnek (50) alapréteget(59), M×N darab tranzisztorból álló elrendezést és M×N darabcsatlakozókapocsból (61) álló elrendezést tartalmazó aktív mátrixavan, és van továbbá M×N darab vékonyréteges működtetőszerkezetből állóelrendezése, amely működtetőszerkezetek tartalmaznak felső és alsófelülettel és első és második véggel rendelkező, azonosan kialakítottelső és második működtetőrészeket (62a, 62b), ahol a működtetőrészek(62a, 62b) tartalmaznak legalább egy elmozdulást létrehozó anyagú,felső és alsó felülettel rendelkező vékonyréteget (67) és azelmozdulást létrehozó vékonyréteg (67) felső és alsó felületén lévőelső és második elektródát (70, 71), és ahol a működtetőrészek (62a,62b) első és második elektródái (70, 71) közötti elmozdulást létrehozóvékonyrétegre (67) kapcsolt villamos feszültség az elmozdulástlétrehozó vékonyréteg (67) és ezzel a működtetőrész (62a, 62b)deformációját okozza, és amely tükörelem-elrendezésnek (50) vantovábbá a működtetőszerkezetek rögzítésére és aműködtetőszerkezeteknek az aktív mátrixszal való villamosösszekapcsolására szolgáló, felső és alsó felületekkel rendelkező M×Ndarab tartóelemből (56) álló elrendezése, valamint fénynyalábokatvisszaverő tükröt (75) és tartóréteget (76) tartalmazó, aműködtetőszerkezet első működtetőrészének (62a) tetejére erősítettelső oldallal, a mű- ködtetőszerkezet második működtetőrészének (62b)tetejére erősített második, szemben fekvő oldallal és közöttük lévő, aműködtetőszerkezetekben lévő első és második működtetőrészek (62a,62b) villamos jel hatására történő deformációjakor megbillenve síkalakú maradó, és így a fénynyalábokat teljes felületével visszaverőközépső résszel rendelkező M×N darab tükörrétegből álló elrendezése. Atalálmány továbbá a fenti tükörelem-elrendezés (50), azzal akülönbséggel, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (67) alsófelülete és a második elektróda (71) között rugalmas réteg van. Atalálmány ezenkívül eljárás a fenti tükörelem-elrendezés (50)előállítására, amelynek során az aktív mátrix felső felületén elsőtartóréteget alakítanak ki, az első tartórétegre első elektróda-vékonyréteget visznek fel, az első elektróda-vékonyrétegre elmozdulástlétrehozó vékonyréteget helyeznek, az elmozdulást létrehozóvékonyrétegen második elektróda-vékonyréteget alakítanak ki, az elsőelektróda-vékonyréteget, az elmozdulást létrehozó vékonyréteget és amásodik elektróda-vékonyréteget mintázat kialakításával M×N darabműködtető- szerkezetté formálják, arra második tartóréteget helyeznek,a második tartórétegre fényvisszaverő réteget helyeznek, majd afényvisszaverő réteget és a második tartóréteget mintázatkialakításával M×N darab tükörrétegből álló elrendezéssé f

Description

A leírás terjedelme 26 oldal (ezen belül 15 lap ábra)

HU 220 515 Bl mozdulást létrehozó vékonyréteg (67) és ezzel a működtetőrész (62a, 62b) deformációját okozza, és amely tükörelem-elrendezésnek (50) van továbbá a működtetőszerkezetek rögzítésére és a működtetőszerkezeteknek az aktív mátrixszal való villamos összekapcsolására szolgáló, felső és alsó felületekkel rendelkező MxN darab tartóelemből (56) álló elrendezése, valamint fénynyalábokat visszaverő tükröt (75) és tartóréteget (76) tartalmazó, a működtetőszerkezet első működtetőrészének (62a) tetejére erősített első oldallal, a működtetőszerkezet második működtetőrészének (62b) tetejére erősített második, szemben fekvő oldallal és közöttük lévő, a működtetőszerkezetekben lévő első és második működtetőrészek (62a, 62b) villamos jel hatására történő deformációjakor megbillenve sík alakú maradó, és így a fénynyalábokat teljes felületével visszaverő középső résszel rendelkező MxN darab tükörrétegből álló elrendezése. A találmány továbbá a fenti tükörelem-elrendezés (50), azzal a különbséggel, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (67) alsó felülete és a második elektróda (71) között rugalmas réteg van. A találmány ezenkívül eljárás a fenti tükörelem-elrendezés (50) előállítására, amelynek során az aktív mátrix felső felületén első tartóréteget alakítanak ki, az első tartórétegre első elektróda-vékonyréteget visznek fel, az első elektróda-vékonyrétegre elmozdulást létrehozó vékonyréteget helyeznek, az elmozdulást létrehozó vékonyrétegen második elektróda-vékonyréteget alakítanak ki, az első elektróda-vékonyréteget, az elmozdulást létrehozó vékonyréteget és a második elektróda-vékonyréteget mintázat kialakításával MxN darab működtetőszerkezetté formálják, arra második tartóréteget helyeznek, a második tartórétegre fényvisszaverő réteget helyeznek, majd a fényvisszaverő réteget és a második tartóréteget mintázat kialakításával MxN darab tükörrétegből álló elrendezéssé formálják. A találmány továbbá a fenti eljárás, azzal a különbséggel, hogy az első elektróda-vékonyrétegen dielektromos réteget vagy rugalmas réteget alakítanak ki.

MŰSZAKI TERÜLET

A találmány optikai vetítőrendszerhez való, vékonyréteggel működtetett MxN tükörelemből álló elrendezésre, valamint annak előállítására szolgáló eljárásra vonatkozik.

A KORÁBBI TECHNIKA

A technika állása szerinti különböző videomegjelenítő rendszerek között az optikai vetítőrendszerek köztudottan alkalmasak nagyméretű, jó minőségű képmegjelenítésre. Az ilyen optikai vetítőrendszerekben egy lámpából jövő fény egyenletesen világít meg egy, például MxN darab működtetett tükörelemből álló elrendezést, oly módon, hogy minden egyes tükörelem egy működtetőhöz kapcsolódik. A működtetők készülhetnek elektromosság hatására alakját változtató anyagból, például piezoelektromos vagy elektrosztrikciós anyagból, amely anyag a reá ható villamos feszültség hatására deformálódik.

A tükörelemek által visszavert fénynyalábok egy ernyő nyílására esnek. A működtetőkre villamos feszültséget kapcsolva a tükörelemeknek a beeső fénynyalábhoz viszonyított helyzete megváltozik, és ezáltal a tükörelemekről visszavert fénynyalábok optikai útja elhajlik. Ahogy a visszavert fénynyalábok optikai útja változik, megváltozik a tükörelemekről visszavert ama fénymennyiség, amely áthalad a nyíláson, és ez modulálja a fénynyaláb intenzitását. A modulált fénynyalábok a nyíláson és egy megfelelő optikai eszközön, például vetítőlencsén keresztül egy vetítőemyőre esnek és azon képet jelenítenek meg.

Az 1. ábrán egy optikai vetítőrendszerben alkalmazott MxN tükörelemből álló, elektromosság hatására alakváltozóan működtetett 10 tükörelem-elrendezés keresztmetszete látható, amelyet az US 5 735 026 számú, „Elektromosság hatására alakváltozóan működtetett tükörelem-elrendezés” című szabadalmi bejelentésben ismertetnek. A 10 tükörelem-elrendezés tartalmaz 11 aktív mátrixot, amely 11 aktív mátrix tartalmaz 12 alapréteget és azon MxN darab tranzisztorból álló elrendezést. A 10 tükörelem-elrendezés tartalmaz továbbá MxN darab, elektromosság hatására alakját változtató 30 működtetőből álló 13 elrendezést, amely elektromosság hatására alakjukat változtató 30 működtetők mindegyike tartalmaz egy pár 14, 15 működtetőtagot, egy pár előfeszítő 16, 17 elektródát, és egy 18 közösjel elektródát. A 10 tükörelem-elrendezés ezenkívül tartalmaz MxN darab 31 mozgatóelemből álló 19 elrendezést, amely 31 mozgatóelemek az elektromosság hatására alakjukat változtató 30 működtetőkbe vannak beépítve, Μ χ N darab 22 csatlakozókapocsból álló 20 elrendezést, amely 22 csatlakozókapcsok a 18 elektródáknak a 11 aktív mátrixszal való villamos összekötésére szolgálnak, valamint MxN darab 23 tükörből álló 21 elrendezést, amely 23 tükrök az MxN darab 31 mozgatóelem tetején vannak elhelyezve.

A fent leírt, elektromosság hatására alakváltozóan működtetett tükörelem-elrendezésnek több hátránya van. Először is mivel a működtetőtagok elektromosság hatására alakját változtató anyaga tömbi formában van jelen, tartósabb használat után nagy valószínűséggel fárad, ami negatív hatással van az elrendezésben lévő működtetett tükörelemek teljesítményére. Ezenkívül, mivel a működtetett tükörelemek nincsenek egymástól villamosán vagy fizikailag elválasztva, a működtetett tükörelemek működését a szomszédos tükörelemek befolyásolják.

A fent említett szabadalmi bejelentés eljárást is ismertet ilyen, elektromosság hatására alakváltozóan működtetett MxN darab tükörelemből álló elrendezés előállítására, amely eljárásban 30-50 pm vastagságú kerámialapkát alkalmaznak.

A fent leírt, MxN elemből álló, elektromosság hatására alakváltozóan működtetett elrendezés előállítására

HU 220 515 Bl szolgáló eljárásnak több hátránya van. Mindenekelőtt nehéz olyan kerámialapkát előállítani, amelynek vastagsága 30-50 pm, továbbá ha a kerámialapka vastagsága 30-50 pm-es tartományba esik, annak mechanikai tulajdonságai rosszabbodnak, ami nehézkessé teszi a gyártási folyamat végrehajtását

Ezenkívül az előállítási eljárás több időigényes és nehezen ellenőrizhető műveletet tartalmaz, ami megnehezíti a kívánt reprodukálhatóság, megbízhatóság és kihozatal elérését, valamint korlátozza a lekicsinyíthetőséget.

A TALÁLMÁNY ISMERTETÉSE

A találmány elsődleges célja olyan eljárás szolgáltatása MxN elemből álló, működtetett tükörelem-elrendezés előállítására, amelynél nem szükséges vékony, elektromosság hatására alakját változtató kerámialapka használata.

A találmány másik célkitűzése olyan javított és új eljárás szolgáltatása MxN elemből álló működtetett tükörelem-elrendezés előállítására, amely nagyobb reprodukálhatósággal, megbízhatósággal és kihozatallal jár.

A találmány további célkitűzése új struktúrával rendelkező MxN elemből álló működtetett tükörelem-elrendezés létrehozása, amely tartósabb használat után is teljes teljesítménnyel működik.

A találmány további célkitűzése megnövelt optikai hatékonyságú MxN elemből álló működtetett tükörelem-elrendezés létrehozása.

A találmány egyrészt vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés MxN tükörelemmel, amely tükörelem-elrendezésnek alapréteget, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést és MxN darab csatlakozókapocsból álló elrendezést tartalmazó aktív mátrixa van, és van továbbá MxN darab vékonyréteges működtetőszerkezetből álló elrendezése, amely működtetőszerkezetek tartalmaznak felső és alsó felülettel és első és második véggel rendelkező, azonosan kialakított első és második működtetőrészeket, ahol a működtetőrészek tartalmaznak legalább egy elmozdulást létrehozó anyagú, felső és alsó felülettel rendelkező vékonyréteget és az elmozdulást létrehozó vékonyréteg felső és alsó felületén lévő első és második elektródát, és ahol a működtetőrészek első és második elektródái közötti elmozdulást létrehozó vékonyrétegre kapcsolt villamos feszültség az elmozdulást létrehozó vékonyréteg és ezzel a működtetőrész deformációját okozza, és amely tükörelem-elrendezésnek van továbbá a működtetőszerkezetek rögzítésére és a működtetőszerkezeteknek az aktív mátrixszal való villamos összekapcsolására szolgáló, felső és alsó felületekkel rendelkező MxN darab tartóelemből álló elrendezése, valamint fénynyalábokat visszaverő tükröt és tartóréteget tartalmazó, a működtetőszerkezet első működtetőrészének tetejére erősített első oldallal, a működtetőszerkezet második működtetőrészének tetejére erősített második, szemben fekvő oldallal és közöttük lévő, a működtetőszerkezetekben lévő első és második működtetőrészek villamos jel hatására történő deformációjakor megbillenve sík alakú maradó, és így a fénynyalábokat teljes felületével visszaverő középső résszel rendelkező MxN darab tükörrétegből álló elrendezése.

A találmány másrészt vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés MxN tükörelemmel, amely tükörelem-elrendezésnek alapréteget, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést és MxN darab csatlakozókapocsból álló elrendezést tartalmazó aktív mátrixa van, és van továbbá MxN darab vékonyréteges működtetőszerkezetből álló elrendezése, amely működtetőszerkezetek tartalmaznak felső és alsó felülettel és első és második véggel rendelkező, azonosan kialakított első és második működtetőrészeket, ahol a működtetőrészek tartalmaznak legalább egy elmozdulást létrehozó anyagú, felső és alsó felülettel rendelkező vékonyréteget, az elmozdulást létrehozó vékonyréteg alsó felületén lévő, alsó felülettel rendelkező rugalmas réteget, az elmozdulást létrehozó vékonyréteg felső felületén lévő első elektródát és a rugalmas réteg alsó felületén lévő második elektródát, és ahol az első és második elektródák közötti elmozdulást létrehozó vékonyrétegre és rugalmas rétegre kapcsolt villamos feszültség az elmozdulást létrehozó vékonyréteg és ezzel a működtetőrész deformációját okozza, és amely tükörelem-elrendezésnek van továbbá MxN darab, a működtetőszerkezetek rögzítésére és a működtetőszerkezeteknek az aktív mátrixszal való villamos összekapcsolására szolgáló, felső és alsó felületekkel rendelkező tartóelemből álló elrendezése, valamint a működtetőszerkezet első működtetőrészének tetejére erősített első oldallal, a működtetőszerkezet második működtetőrészének tetejére erősített második, szemben fekvő oldallal és közöttük lévő, a működtetőszerkezetekben lévő első és második működtetőrészek villamos jel hatására történő deformációjakor megbillenve sík alakú maradó, és így fénynyalábokat teljes felületével visszaverő középső résszel rendelkező MxN darab tükörrétegből álló elrendezése.

A találmány továbbá eljárás vékonyréteggel működtetett MxN tükörelemet tartalmazó elrendezés előállítására, amely elrendezésnek alapréteget, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést és MxN darab csatlakozókapocsból álló elrendezést tartalmazó, felső és alsó felületekkel rendelkező aktív mátrixa van, ahol M és N egész számok. A találmány szerint az aktív mátrix felső felületén az MxN elemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezésben lévő MxN darab tartóelemből álló elrendezésnek megfelelő MxN darab talapzatból álló elrendezéssel, valamint első eltávolítandó zónával rendelkező első tartóréteget alakítunk ki, az első tartóréteg első eltávolítandó zónáját kezeljük oly módon, hogy az eltávolítható legyen, az első tartórétegre egymás után első elektróda-vékonyréteget, elmozdulást létrehozó vékonyréteget és második elektróda-vékonyréteget viszünk fel, az első elektróda-vékonyréteget, az elmozdulást létrehozó vékonyréteget és a második elektróda-vékonyréteget mintázat kialakításával MxN darab, első és második működtetőrészt tartalmazó működtetőszerkezetből álló elrendezéssé és a működtetőszerkezeteket körülvevő üres területté formáljuk, a működtetőszerkezeteket körülvevő üres területen második eltávolítandó réteget alakítunk ki, a második eltávolítandó réteget kezeljük oly módon, hogy az eltávolítható legyen, a második eltávolítandó réteget mintá3

HU 220 515 BI zat kialakításával MxN darab eltávolítandó taggá formáljuk, az MxN darab működtetőszerkezetből álló elrendezés és az előző lépésben megmintázott második eltávolítandó réteg tetejére második tartóréteget helyezünk, a második tartórétegre fényvisszaverő réteget helyezünk, a fényvisszaverő réteget és a második tartóréteget mintázat kialakításával MxN darab tükörrétegből álló elrendezéssé formáljuk, valamint az első eltávolítandó zónát és az MxN darab eltávolítandó tagot a vékonyréteggel működtetett, MxN tükörelemet tartalmazó elrendezés kialakítására eltávolítjuk.

A találmány ezen túlmenően eljárás vékonyréteggel működtetett MxN tükörelemet tartalmazó elrendezés előállítására, ahol M és N egész számok, amelynek során alapréteget, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést és MxN darab csatlakozókapocsból álló elrendezést tartalmazó, felső és alsó felületekkel rendelkező aktív mátrixot állítunk elő, az aktív mátrix felső felületén az MxN elemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezésben lévő MxN darab tartóelemből álló elrendezésnek megfelelő MxN darab talapzatból álló elrendezéssel, valamint eltávolítandó zónával rendelkező tartóréteget alakítunk ki, a tartóréteg eltávolítandó zónáját kezeljük oly módon, hogy az eltávolítható legyen, a tartórétegre első elektróda-vékonyréteget viszünk fel, az első elektróda-vékonyrétegen dielektromos réteget alakítunk ki, a dielektromos rétegre elmozdulást létrehozó vékonyréteget helyezünk, az elmozdulást létrehozó vékonyrétegen második elektródavékonyréteget alakítunk ki, az első elektróda-vékonyréteget, a dielektromos réteget, az elmozdulást létrehozó vékonyréteget és a második elektróda-vékonyréteget mintázat kialakításával MxN darab, első és második működtetőrészt tartalmazó működtetőszerkezetből álló elrendezéssé és a működtetőszerkezeteket körülvevő üres területté formáljuk, a működtetőszerkezeteken és az azokat körülvevő üres területen második tartóréteget alakítunk ki, a tartórétegre fényvisszaverő réteget helyezünk, a fényvisszaverő réteget és a második tartóréteget mintázat kialakításával MxN darab tükörrétegből álló elrendezéssé formáljuk, valamint az eltávolítandó zónát a vékonyréteggel működtetett, Μ xN tükörelemet tartalmazó elrendezés kialakítására eltávolítjuk.

A találmány továbbá eljárás vékonyréteggel működtetett MxN tükörelemet tartalmazó elrendezés előállítására, ahol M és N egész számok, amelynek során alapréteget, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést és MxN darab csatlakozókapocsból álló elrendezést tartalmazó, felső és alsó felületekkel rendelkező aktív mátrixot állítunk elő, az aktív mátrix felső felületén az Μ χ N elemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelemelrendezésben lévő MxN darab tartóelemből álló elrendezésnek megfelelő MxN darab talapzatból álló elrendezéssel, valamint első eltávolítandó zónával rendelkező első tartóréteget alakítunk ki, az első tartóréteg első eltávolítandó zónáját kezeljük oly módon, hogy az eltávolítható legyen, az első tartórétegre első elektróda-vékonyréteget viszünk fel, az első elektróda-vékonyrétegen rugalmas réteget alakítunk ki, a rugalmas rétegre elmozdulást létrehozó vékonyréteget helyezünk, az elmozdulást létrehozó vékonyrétegen második elektródavékonyréteget alakítunk ki, az első elektróda-vékonyréteget, a rugalmas réteget, az elmozdulást létrehozó vékonyréteget és a második elektróda-vékonyréteget mintázat kialakításával MxN darab, első és második működtetőrészt tartalmazó működtetőszerkezetből álló elrendezéssé és a működtetőszerkezeteket körülvevő üres területté formáljuk, a működtetőszerkezeteket körülvevő üres területen második eltávolítandó réteget alakítunk ki, a második eltávolítandó réteget kezeljük oly módon, hogy az eltávolítható legyen, a második eltávolítandó réteget mintázat kialakításával MxN darab eltávolitandó taggá formáljuk, az MxN darab működtetőszerkezetből álló elrendezés és az előző lépésben megmintázott második eltávolítandó réteg tetejére fényvisszaverő réteget helyezünk, a fényvisszaverő réteget mintázat kialakításával MxN darab tükörrétegből álló elrendezéssé formáljuk, valamint az első eltávolítandó zónát és az MxN darab eltávolítandó tagot a vékonyréteggel működtetett, MxN tükörelemet tartalmazó elrendezés kialakítására eltávolítjuk.

A RAJZOK RÖVID LEÍRÁSA A találmány előnyös kiviteli alakjait a következőkben rajzok alapján ismertetjük, ahol az

1. ábra egy ismert MxN elemből álló, elektromosság hatására alakváltozóan működtetett tükörelem-elrendezés keresztmetszeti rajza, a

2. ábra a találmány első előnyös kiviteli alakja szerinti MxN tükörelemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés keresztmetszeti rajza, a

3. ábra a 2. ábrán bemutatott első kiviteli alak egyik vékonyréteggel működtetett tükörelemének részletes keresztmetszeti rajza, a

4. ábra a 2. ábrán bemutatott első kiviteli alak találmány szerinti, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezésének felülnézete, az

5. ábra a 2. ábrán bemutatott első kiviteli alak egyik vékonyréteggel működtetett tükörelemének részletes axonometrikus rajza, a

6. ábra az első kiviteli alak egy másik lehetséges tükörréteg kialakítása, a

7. ábra az első kiviteli alak egyik működtetett tükörelemének keresztmetszeti rajza működtetett állapotban, a

8. ábra egy bimorf szerkezetű második kiviteli alak egyik működtetett tükörelemének keresztmetszeti rajza, a

9. ábra a találmány harmadik előnyös kiviteli alakja szerinti MxN elemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezésének keresztmetszeti rajza, a

10. ábra a 9. ábrán látható harmadik kiviteli alak egyik találmány szerinti, vékonyréteggel működtetett tükörelemének részletes keresztmetszeti rajza, a

11. ábra a 9. ábrán látható harmadik kiviteli alak egyik találmány szerinti, vékonyréteggel működtetett tükörelemének axonometrikus rajza, és a

HU 220 515 Bl

12A-12J. ábrák a találmány szerinti első kiviteli alak előállítási műveleteit szemléltető vázlatos keresztmetszeti rajzok.

A TALÁLMÁNY MEGVALÓSÍTÁSI MÓDJAI A 2-12. ábrákon a találmány előnyös kiviteli alakjai szerinti, optikai vetítőrendszerhez használható MxN darab vékonyréteggel működtetett 51 tükörelemből álló 50 berendezés, valamint az elrendezés előállítási eljárása lépéseiben kialakított szerkezetek vázlatos keresztmetszeti rajzai láthatók, ahol M és N egész számok. A 2-12. ábrákon az azonos részek azonos hivatkozási számmal vannak jelölve.

A 2. ábrán MxN darab, vékonyréteggel működtetett 51 tükörelemből álló 50 elrendezés első kiviteli alakjának keresztmetszeti rajza látható, amely tartalmaz 52 aktív mátrixot, MxN darab vékonyréteges 54 működtetőszerkezetből álló 53 elrendezést, MxN darab 56 tartóelemből álló 55 elrendezést és MxN darab 58 tükörrétegből álló 57 elrendezést.

A 3. ábrán a 2. ábrán bemutatott, vékonyréteggel működtetett 51 tükörelem részletes keresztmetszeti rajza látható. Az 52 aktív mátrix tartalmaz 59 alapréteget, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést (az ábrán nem látható) és MxN darab 61 csatlakozókapocsból álló 60 elrendezést. Az 54 működtetőszerkezetnek van azonosan kialakított első 62a működtetőrésze és második 62b működtetőrésze, ahol a 62a, 62b működtetőrészeknek van felső 63 felületük és alsó 64 felületük, első 65 végük és második 66 végük. A 62a, 62b működtetőrészek rendelkeznek továbbá legalább egy elmozdulást létrehozó, például piezoelektromos, elektrosztrikciós vagy magnetosztrikciós anyagú 67 vékonyréteggel, amely 67 vékonyrétegnek van felső 68 felülete és alsó 69 felülete, valamint első 70 elektródával és második 71 elektródával, amely első 70 elektróda a 67 vékonyréteg felső 68 felületén van elhelyezve, a második elektróda pedig a 67 vékonyréteg alsó 69 felületén. Amennyiben a 67 vékonyréteg piezoelektromos, például ólom cirkónium-titanát- (PZT) anyagú, úgy azt polarizálni kell. Az első és második 70,71 elektródák fémből, például aranyból (Au) vagy ezüstből (Ag) vannak.

Az MxN darab 56 tartóelem, amelynek van felső felülete és alsó 73 felülete, az 54 működtetőszerkezetek első és második 62a, 62b működtetőrészeinek rögzítésére szolgál, valamint arra, hogy az 54 működtetőszerkezetekben lévő első és második 62a, 62b működtetőrészekben a második 71 elektródákat villamosán összekösse az 52 aktív mátrixon lévő megfelelő 61 csatlakozókapcsokkal azáltal, hogy az 56 tartóelemek el vannak látva egy villamosán vezető anyagú, például fémből lévő 99 vezetékkel. Ebben a találmány szerinti MxN elemből álló, vékonyréteggel működtetett 51 tükörelem- 50 elrendezésben az 54 működtetőszerkezetekben lévő első és második 62a, 62b működtetőrészek konzolosan kinyúlnak az 56 tartóelemekről azáltal, hogy az 56 tartóelemek felső 72 felületére az 54 működtetőszerkezetekben lévő első és második 62a, 62b működtetőrészek alsó 64 felülete azoknak az első 65 végén van felerősítve, és az 56 tartóelemek alsó 73 felülete az 52 aktív mátrix felső felületén van elhelyezve.

Ezenkívül az 58 tükörrétegek, amelyek tartalmaznak 75 tükröt a fénynyalábok visszaverésére és 76 tartóréteget felső 77 felülettel, el vannak látva első 78 oldallal, második szemben fekvő 79 oldallal és közöttük lévő középső 80 résszel, amint azt a 4. ábra mutatja. Az 58 tükörrétegek első 78 oldala és második szemben fekvő 79 oldala az 54 működtetőszerkezetek első és második 62a, 62b működtetőrészeinek tetejére van helyezve.

Amikor az 54 működtetőszerkezetekben lévő első és második 62a, 62b működtetőrészek első és második 70, 71 elektródái között lévő 67 vékonyrétegre villamos feszültséget kapcsolunk, a 67 vékonyréteg deformálódik, ami a megfelelő 58 tükörréteg első 78 oldalának és második szemben fekvő 79 oldalának deformációját okozza. Ebben a helyzetben a megfelelő 58 tükörréteg középső 80 része az első 78 oldallal és a második szemben fekvő 79 oldallal ellentétben nem deformálódik, vagyis sík alakú marad, ami megnöveli az optikai hatékonyságot. Az 5. ábrán a vékonyréteggel működtetett 51 tükörelem első kiviteli alakjának axonometrikus rajza, a 6. ábrán pedig egy másik lehetséges tükörrétegkialakítás axonometrikus rajza látható.

Az 58 tükörrétegekben lévő 76 tartóréteg szintén lehet fényvisszaverő anyagú, például alumínium (Al), amely lehetővé teszi, hogy a vékonyréteggel működtetett 51 tükörelemekben a 76 tartóréteg felső 77 felülete 75 tükörként is működjön.

A találmány szerinti vékonyréteggel működtetett 51 tükörelem- 50 elrendezés egyformán jól működhet akkor is, ha az 54 működtetőszerkezetekben lévő 67 vékonyréteg felső 68 és alsó 69 felületeit teljesen beborítja az első 70 és második 71 elektróda, illetve akkor is, ha az 54 működtetőszerkezetekben lévő 67 vékonyréteg felső 68 és alsó 69 felületeinek egyikét az első vagy második 71 elektróda csak részlegesen borítja.

Az első kiviteli alakra példákat mutatnak a 3., 5. és

7. ábrák, amelyeken egy vékonyréteggel működtetett 51 tükörelem látható, amely tartalma piezoelektromos anyagból, például PZT-ből lévő 54 működtetőszerkezetet. Az 54 működtetőszerkezetbeli első és második 62a, 62b működtetőrészekben lévő első és második 70, elektródák közötti piezoelektromos 67 vékonyrétegre villamos feszültséget kapcsolunk. A villamos feszültség a piezoelektromos anyag összehúzódását vagy kitágulását eredményezi attól függően, hogy a villamos feszültség polaritása hogy viszonyul a piezoelektromos anyag polarizáltsági irányához. Amennyiben a villamos feszültség polaritása megfelel a piezoelektromos anyag polaritásának, a piezoelektromos anyag összehúzódik. Ha a villamos feszültség polaritása ellentétes a piezoelektromos anyag polaritásával, a piezoelektromos anyag kitágul.

A 7. ábrán a piezoelektromos anyag polaritása megfelel a kapcsolt villamos feszültség polaritásának, ami által a piezoelektromos anyag összehúzódik. Ebben az esetben az 54 működtetőszerkezetek első és második 62a, 62b működtetőrészei lefelé hajlanak, amint azt a 7. ábra mutatja, ami az 58 tükörréteg első 78 oldalát és második szemben fekvő 79 oldalát meghatározott szögben lefelé dönti. Az 58 tükörréteg középső 80 része sík

HU 220 515 Bl alakú marad, aminek eredményeként az 58 tükörréteg hatásos hossza az 58 tükörréteg középső 80 részének teljes hossza lesz. Összehasonlításképpen, ha az 58 tükörréteg közvetlenül az 54 működtetőszerkezetre van erősítve, az 58 tükörrétegnek az 56 tartóelemre erősített része nem deformálódik a villamos feszültség hatására, hanem rögzítve a helyén marad. Ennek eredményeképp az 58 tükörréteg hatásos hossza ekkor a teljes hossz mínusz az 54 működtetőszerkezet 56 tartóelemre erősített részének hossza. Ezért a 3. ábrán lévő kiviteli alakban az első 78 oldal és a második szemben fekvő 79 oldal, valamint az azokra csatlakoztatott első és második 62a, 62b működtetőrész alkalmazása megnöveli az 58 tükörréteg 57 elrendezés kitöltési tényezőjét és hatékonyságát. Látható, hogy a 7. ábrán lévő működtetett 51 tükörelem 58 tükörrétegéről visszaverődő fény nagyobb szögben térül el, mint a 3. ábrán lévő, nem működtetett 51 tükörelemről visszaverődő fény.

Adott esetben fordított polaritású villamos feszültséget is kapcsolhatunk a piezoelektromos 67 vékonyrétegre, ami által a piezoelektromos kerámia kitágul. Ekkor az 54 működtetőszerkezet felfelé hajlik (nincs ábrázolva). A felfelé működtetett 51 tükörelem 58 tükörrétegéről visszaverődő fény kisebb szögben térül el, mint a

3. ábrán lévő nem működtetett 51 tükörelemről visszaverődő fény.

A 8. ábrán egy MxN darab, vékonyréteggel működtetett 101 tükörelemből álló 100 elrendezés második kiviteli alakjának keresztmetszeti rajza látható, ahol a második kiviteli alak abban különbözik az elsőtől, hogy az 54 működtetőszerkezetekben lévő első és második 62a, 62b működtetőrészek bimorf szerkezetűek, amelyek tartalmaznak első 70 elektródát, második 71 elektródát, közbenső 87 fémréteget, felső elmozdulást létrehozó 89 vékonyréteget felső 90 és alsó 91 felülettel, és alsó elmozdulást létrehozó 92 vékonyréteget felső 93 és alsó 94 felülettel. Az első és második 62a, 62b működtetőrészekben a felső 89 vékonyréteg és az alsó 92 vékonyréteg el van választva a közbenső 87 fémréteggel, az első 70 elektróda a felső 89 vékonyréteg felső 90 felületén van elhelyezve, és a második 71 elektróda az alsó 92 vékonyréteg alsó 94 felületén.

Ugyanúgy, mint az első kiviteli alak esetében, az 54 működtetőszerkezetekben lévő felső 89 vékonyréteg és alsó 92 vékonyréteg piezoelektromos anyagból, elektrosztrikciós kerámiából vagy magnetosztrikciós kerámiából van. Abban az esetben ha a felső 89 vékonyréteg és az alsó 92 vékonyréteg piezoelektromos anyagból, például piezoelektromos kerámiából vagy piezoelektromos polimerből van, a felső 89 vékonyréteget és az alsó 92 vékonyréteget úgy kell polarizálni, hogy a felső 89 vékonyrétegben lévő piezoelektromos anyag polarizációja ellentétes legyen az alsó 92 vékonyrétegével.

A második kiviteli alak példaképpeni működéséhez feltételezzük, hogy a 8. ábrán lévő, vékonyréteggel működtetett 101 tükörelem- 100 elrendezésben lévő felső 89 vékonyréteg és alsó 92 vékonyréteg piezoelektromos anyagból, például PZT-ből van. Amikor az 54 működtetőszerkezetekre villamos feszültséget kapcsolunk, az 54 működtetőszerkezetek felső 89 vékonyrétegei és alsó 92 vékonyrétegei felfelé vagy lefelé hajlanak a piezoelektromos anyag polarizáltsági irányától és a villamos feszültség polaritásától függően. Például, ha a polaritás a felső piezoelektromos 89 vékonyréteg összehúzódását és az alsó piezoelektromos 92 vékonyréteg kitágulását okozza, az 54 működtetőszerkezetekben lévő első és második 62a, 62b működtetőrészek felfelé hajlanak. Ebben a helyzetben a működtetett 51 tükörelemről visszaverődő fény kisebb szögben térül el, mint a nem működtetett 51 tükörelemről visszaverődő fény. Ha azonban a piezoelektromos anyag és a villamos feszültség polaritása a felső piezoelektromos 89 vékonyréteg kitágulását és az alsó piezoelektromos 92 vékonyréteg összehúzódását okozza, akkor az 54 működtetőszerkezet lefelé hajlik. Ebben a helyzetben a működtetett 51 tükörelemről visszaverődő fény nagyobb szögben térül el, mint a nem működtetett 51 tükörelemről visszaverődő fény.

A 9. és 11. ábrákon egy Μ χ N elemből álló, vékonyréteggel működtetett 201 tükörelem- 200 elrendezés harmadik kiviteli alakjának vázlatos keresztmetszeti rajza látható. A harmadik kiviteli alak abban különbözik az elsőtől, hogy az 54 működtetőszerkezetek első és második 62a, 62b működtetőrészeinek 58 tükörrétegében nincs 76 tartóréteg. Ehelyett azok a 67 vékonyréteg alsó 69 felületén el vannak látva rugalmas 202 réteggel, amint azt a 10. ábra mutatja. Amennyiben egy működtetett tükörelemben rugalmas réteg van, az elmozdulást létrehozó és a rugalmas rétegek általában drága, villamosán vezető anyagú, például platina- (Pt) réteggel vannak egymástól elválasztva a közöttük lévő tapadás javítására.

Ha a rugalmas réteg és az elmozdulást létrehozó réteg anyagainak hőtágulási együtthatói lényegesen különböznek egymástól, és a rugalmas réteg és a villamosán vezető réteg vagy az elmozdulást létrehozó réteg és a villamosán vezető réteg közötti kapcsolódás gyenge, a villamosán vezető réteg leválik, és ezáltal csökken a működtetett tükörelem teljesítménye. A probléma egyik lehetséges megoldása, hogy a rugalmas és az elmozdulást létrehozó rétegeket ugyanolyan szerkezetű anyagból, például perovszkitból alakítjuk ki. Mivel a rugalmas és az elmozdulást létrehozó rétegek anyagai hasonló szerkezetűek, jobb lesz a tapadás közöttük, és így nem szükséges villamosán vezető fémréteg kialakítása, valamint lehetővé válik a közöttük lévő feszültség korlátozása. A hasonló szerkezetű anyagok egyik lehetséges kombinációja a PZT-anyagú elmozdulást létrehozó réteg és ólom-titanát- (PbTiO₃) anyagú rugalmas réteg. Ebben az esetben a rugalmas réteg anyagát nagy dielektromos állandó (ε) és kis piezoelektromos állandó (d) jellemzi.

Amennyiben az első 70 elektróda fényvisszaverő anyagú, például alumínium (Al), az 58 tükörréteg is elhagyható. Ebben az esetben az első 70 elektróda 58 tükörrétegként is funkcionál.

A 12A-12J. ábrákon a találmány első kiviteli alakjának előállítási műveletei során kialakított szerkezetek láthatók. Az első kiviteli alak, vagyis az MxN darab, vékonyréteggel működtetett 51 tükörelemből álló 50 el6

HU 220 515 Β1 rendezés előállításának folyamata, ahol M és N egész számok, az 52 aktív mátrix elkészítésével kezdődik, amelynek van felső 102 és alsó 103 felülete, és amely tartalmazza az 59 alapréteget, az MxN darab tranzisztorból álló elrendezést (nincs ábrázolva) és az MxN darab 61 csatlakozókapocsból álló 60 elrendezést, amint azt a 12A. ábra mutatja.

A következő lépésben az 52 aktív mátrix felső 102 felületén első 106 tartóréteget alakítunk ki, amely tartalmaz az MxN darab 56 tartóelemből álló 55 elrendezésnek megfelelő MxN darab 108 talapzatból álló 107 elrendezést, valamint első 109 eltávolítandó zónát, ahol az első 106 tartóréteget úgy alakítjuk ki, hogy első eltávolítandó réteget (nincs ábrázolva) helyezünk el az 52 aktív mátrix teljes felső 102 felületén, kialakítunk egy MxN darab üres résből álló elrendezést (nincs ábrázolva), ami által kialakul az első 109 eltávolítandó zóna, ahol az üres rések az Μ χ N darab 61 csatlakozókapocs körül helyezkednek el, és az üres résekbe 108 talapzatokat helyezünk, amint az a 12B. ábrán látható. Az első eltávolítandó réteget vákuumpárologtatással alakítjuk ki, az üres rés elrendezést maratási eljárással, a 108 talapzatokat pedig vákuumpárologtatással vagy kémiai gőzöléses bevonással (CVD, Chemical vapour deposition), majd az azt következő maratási eljárással. Az első 106 tartóréteg 109 eltávolítandó zónáját ezután úgy kezeljük, hogy később eltávolítható legyen maratási eljárással vagy kémiai anyagok alkalmazásával.

A 108 talapzatokban a 61 csatlakozókapcsokat a második 71 elektródákkal összekötő, villamosán vezető, például volfrám- (W) anyagú 99 vezetéket alakítunk ki úgy, hogy először maratással üreget hozunk létre a 108 talapzatok tetejétől a megfelelő 61 csatlakozókapocs tetejéig, majd azt megtöltjük villamosán vezető anyaggal, amint azt a 12C. ábra mutatja.

A következő, 12D. ábrán látható műveletben egy első elektróda-111 vékonyréteget viszünk fel a 106 tartórétegre, amely elektróda-111 vékonyréteg villamosán vezető anyagból, például aranyból (Au) van. Ezután az első elektróda- 111 vékonyrétegen elmozdulást létrehozó, például PZT-anyagú 112 vékonyréteget, valamint második elektróda-113 vékonyréteget alakítunk ki.

Ezután az első elektróda- 111 vékonyréteget, a 112 vékonyréteget és a második elektróda- 113 vékonyréteget mintázat kialakításával MxN darab 54 működtetőszerkezetből álló 53 elrendezéssé, valamint az 54 működtetőszerkezeteket körülvevő üres területté (az ábrán nem látható) formáljuk, ahol az 54 működtetőszerkezetek tartalmazzák az első és második 62a, 62b működtetőrészeket, amint azt a 12E. ábra mutatja.

Ezután az 54 működtetőszerkezeteket körülvevő üres területen második 114 eltávolítandó réteget alakítunk ki, amint azt a 12F. ábra mutatja. A második 114 eltávolítandó réteget ezután úgy kezeljük, hogy az később eltávolítható legyen.

Amint az a 12G. ábrán látható, a második 114 eltávolítandó réteget ezután úgy mintázzuk, hogy M xN darab 116 eltávolítandó tagból álló 115 elrendezést kapjunk. A következő lépésben második 117 tartóréteget és fényvisszaverő 119 réteget tartalmazó 58 tükörréteget helyezünk az MxN darab 54 működtetőszerkezetből álló 53 elrendezésre és az előzőleg megmintázott második 114 eltávolítandó rétegre, amint azt a

12H. ábra mutatja.

A fényvisszaverő 119 réteget és a második 117 tartóréteget ezután MxN darab 58 tükörrétegből álló 57 elrendezéssé mintázzuk, amint azt a 121. ábra mutatja.

A villamosán vezető, az elmozdulást létrehozó és a fényvisszaverő anyagok vékony vékonyrétegeit önmagában ismert vékonyréteg-technikákkal, például vákuumpárologtatással, kolloid gélezéssel, gőzöléssel, maratással és mikromegmunkálással vihetjük fel és mintázhatjuk meg.

Az első 109 eltávolítandó zónát és az MxN darab 116 eltávolítandó tagból álló 115 elrendezést ezután eltávolítjuk vagy kémiailag leoldjuk, és ezáltal kialakítjuk az Μ χ N elemből álló, vékonyréteggel működtetett 51 tükörelem- 50 elrendezést, amint azt a 12J. ábra mutatja.

A második kiviteli alakot az első kiviteli alakhoz hasonlóan állítjuk elő azzal a különbséggel, hogy a második kiviteli alak két járulékos lépést igényel, mégpedig egy újabb elmozdulást létrehozó réteg és egy közbenső fémréteg kialakítását.

A harmadik kiviteli alak esetében az 54 működtetőszerkezetekben lévő első és második 62a, 62b működtetőrészek el vannak látva rugalmas 202 réteggel a 67 vékonyréteg alsó felületén, és a kiviteli alakban nincs 76 tartóréteg. Ezért a harmadik kiviteli alak előállításának lépései lényegében megegyeznek az első kiviteli alakéval a sorrend kismértékű megváltoztatásával. Ezenkívül, ha a második elektróda- 113 vékonyréteg fényvisszaverő, például alumínium- (Al) anyagú, az előállítási lépésekből elhagyható a fényvisszaverő 119 réteg kialakításának lépése.

Claims

SZABADALMI IGÉNYPONTOK

1. Vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés MxN tükörelemmel, amely tükörelem-elrendezésnek alapréteget, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést és MxN darab csatlakozókapocsból álló elrendezést tartalmazó aktív mátrixa van, azzal jellemezve, hogy van MxN darab vékonyréteges működtetőszerkezetból (54) álló elrendezése (53), amely működtetőszerkezetek (54) tartalmaznak felső és alsó felülettel (63, 64) és első és második véggel (65, 66) rendelkező, azonosan kialakított első és második működtetőrészeket (62a, 62b), ahol a működtetőrészek (62a, 62b) tartalmaznak legalább egy elmozdulást létrehozó anyagú, felső és alsó felülettel (68,69) rendelkező vékonyréteget (67) és az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (67) felső és alsó felületén (68, 69) lévő első és második elektródát (70, 71), és ahol a működtetőrészek (62a, 62b) első és második elektródái (70, 71) közötti elmozdulást létrehozó vékonyrétegre (67) kapcsolt villamos feszültség az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (67) és ezzel a működtetőrész (62a, 62b) deformációját okozza, és amely tükörelem-elrendezésnek (50) van továbbá a működtetőszerkezetek (54) rögzítésére és a

HU 220 515 Bl működtetőszerkezeteknek (54) az aktív mátrixszal (52) való villamos összekapcsolására szolgáló, felső és alsó felületekkel (72, 73) rendelkező MxN darab tartóelemből (56) álló elrendezése (55), valamint fénynyalábokat visszaverő tükröt (75) és tartóréteget (76) tartalmazó, a működtetőszerkezet (54) első működtetőrészének (62a) tetejére erősített első oldallal (78), a működtetőszerkezet (54) második működtetőrészének (62b) tetejére erősített második, szemben fekvő oldallal (79) és közöttük lévő, a működtetőszerkezetekben (54) lévő első és második működtetőrészek (62a, 62b) villamos jel hatására történő deformációjakor megbillenve sík alakú maradó, és így a fénynyalábokat teljes felületével visszaverő középső résszel (80) rendelkező MxN darab tükörrétegből (58) álló elrendezése (57).
2. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a működtetőszerkezeteknek (54) a tartóelemekről (56) konzolosan kinyúló első és második működtetőrészeinek (62a, 62b) alsó felülete (64) a tartóelemek (56) felső felületére (72) az első és második működtetőrészek (62a, 62b) első végén (65) van felerősítve.
3. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a tartóelemek (56) alsó felülete (73) az aktív mátrix (52) felső felületén (102) van elhelyezve.
4. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a működtetőszerkezetekben (54) lévő bimorf szerkezetű első és második működtetőrészek (62a, 62b) tartalmaznak egymástól közbenső fémréteggel (87) elválasztott felső elmozdulást létrehozó vékonyréteget (89) felső és alsó felülettel (90, 91), alsó elmozdulást létrehozó vékonyréteget (92) felső és alsó felülettel (93, 94), a felső elmozdulást létrehozó vékonyréteg (89) felső felületén (90) lévő első elektródát (70) és az alsó elmozdulást létrehozó vékonyréteg (92) alsó felületén (94) lévő második elektródát (71).
5. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (67) piezoelektromos kerámia- vagy piezoelektromos polimer anyagú.
6. Az 5. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (67) polarizált.
7. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (67) elektrosztrikciós anyagú.
8. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (67) magnetosztrikciós anyagú.
9. A 4. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a felső és az alsó elmozdulást létrehozó vékonyrétegek (89, 92) piezoelektromos anyagúak.
10. A 9. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a felső elmozdulást létrehozó vékonyréteg (89) piezoelektromos anyaga és az alsó elmozdulást létrehozó vékonyréteg (92) piezoelektromos anyaga ellentétes irányba van polarizálva.
11. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a tartóelemek (56) el vannak látva a működtetőszerkezetek (54) első és második működtetőrészeiben (62a, 62b) lévő második elektródákat (71) és az aktív mátrixon (52) lévő megfelelő csatlakozókapcsokat (61) villamosán összekapcsoló vezetékkel (99).
12. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (67) felső és alsó felületeit (68, 69) teljesen lefedő első és második elektródái (70, 71) vannak.
13. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (67) felső vagy alsó felületét (68, 69) részlegesen lefedő első vagy a második elektródája (70, 71) van.
14. Az 1. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a tartóréteg (76) fényvisszaverő, a vékonyréteggel működtetett tükörelemekben (51) a tartóréteg (76) tükörként (75) való működését lehetővé tevő anyagból van.
15. Vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés MxN tükörelemmel, amely tükörelem-elrendezésnek alapréteget, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést és MxN darab csatlakozókapocsból álló elrendezést tartalmazó aktív mátrixa van, azzal jellemezve, hogy van MxN darab vékonyréteges működtetőszerkezetből (54) álló elrendezése (53), amely működtetőszerkezetek (54) tartalmaznak felső és alsó felülettel (63, 64) és első és második véggel (65, 66) rendelkező, azonosan kialakított első és második működtetőrészeket (62a, 62b), ahol a működtetőrészek (62a, 62b) tartalmaznak legalább egy elmozdulást létrehozó anyagú, felső és alsó felülettel (68, 69) rendelkező vékonyréteget (67), az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (67) alsó felületén (69) lévő, alsó felülettel rendelkező rugalmas réteget (202), az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (67) felső felületén (68) lévő első elektródát (70) és a rugalmas réteg (202) alsó felületén lévő második elektródát (71), és ahol az első és második elektródák (70, 71) közötti elmozdulást létrehozó vékonyrétegre (67) és rugalmas rétegre (202) kapcsolt villamos feszültség az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (67) és ezzel a működtetőrész (62a, 62b) deformációját okozza, és amely tükörelem-elrendezésnek (50) van továbbá MxN darab, a működtetőszerkezetek (54) rögzítésére és a működtetőszerkezeteknek (54) az aktív mátrixszal (52) való villamos összekapcsolására szolgáló, felső és alsó felületekkel (72, 73) rendelkező tartóelemből (56) álló elrendezése (55), valamint a működtetőszerkezet (54) első működtetőrészének (62a) tetejére erősített első oldallal (78), a működtetőszerkezet (54) második működtetőrészének (62b) tetejére erősített második, szemben fekvő oldallal (79) és közöttük lévő, a működtetőszerkezetekben (54) lévő első és második működtetőrészek (62a, 62b) villamos jel hatására történő deformációjakor megbillenve sík alakú maradó, és így fénynyalábokat teljes felületével visszaverő középső résszel (80) rendelkező MxN darab tükörrétegből (58) álló elrendezése (57).
16. A 15. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (67) és a rugalmas réteg (202) hasonló szerkezetű anyagból van.

HU 220 515 Bl
17. A 15. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteg (67) és a rugalmas réteg (202) perovszkitanyagú.
18. A 16. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy a perovszkitból lévő rugalmas réteg (202) nagy dielektromos állandóval (e) és kis piezoelektromos állandóval (d) rendelkezik.
19. A 15. igénypont szerinti tükörelem-elrendezés, azzal jellemezve, hogy az első elektróda (70) fényvisszaverő, az első elektróda (70) tükörrétegként (58) való működését lehetővé tevő anyagból van.
20. Eljárás vékonyréteggel működtetett MxN tükörelemet tartalmazó elrendezés előállítására, amely elrendezésnek alapréteget, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést és Μ χ N darab csatlakozókapocsból álló elrendezést tartalmazó, felső és alsó felületekkel rendelkező aktív mátrixa van, ahol M és N egész számok, azzal jellemezve, hogy az aktív mátrix (52) felső felületén (102) az MxN elemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezésben (50) lévő MxN darab tartóelemből (56) álló elrendezésnek (55) megfelelő MxN darab talapzatból (108) álló elrendezéssel (107), valamint első eltávolítandó zónával (109) rendelkező első tartóréteget (106) alakítunk ki, az első tartóréteg (106) első eltávolítandó zónáját (109) kezeljük oly módon, hogy az eltávolítható legyen, az első tartórétegre (106) egymás után első elektróda-vékonyréteget (111), elmozdulást létrehozó vékonyréteget (67) és második elektróda-vékonyréteget (113) viszünk fel, az első elektróda-vékonyréteget (111), az elmozdulást létrehozó vékonyréteget (67) és a második elektróda-vékonyréteget (113) mintázat kialakításával MxN darab, első és második működtetőrészt (62a, 62b) tartalmazó működtetőszerkezetből (54) álló elrendezéssé (53) és a működtetőszerkezeteket (54) körülvevő üres területté formáljuk, a működtetőszerkezeteket (54) körülvevő üres területen második eltávolítandó réteget alakítunk ki, a második eltávolítandó réteget (114) kezeljük oly módon, hogy az eltávolítható legyen, a második eltávolítandó réteget (114) mintázat kialakításával MxN darab eltávolítandó taggá (116) formáljuk, az M xN darab működtetőszerkezetből (54) álló elrendezés (53) és az előző lépésben megmintázott második eltávolítandó réteg (114) tetejére második tartóréteget (117) helyezünk, a második tartórétegre (117) fényvisszaverő réteget helyezünk, a fényvisszaverő réteget és a második tartóréteget (117) mintázat kialakításával MxN darab tükörrétegből (58) álló elrendezéssé (57) formáljuk, valamint az első eltávolítandó zónát (109) és az MxN darab eltávolítandó tagot (116) a vékonyréteggel működtetett, MxN tükörelemet (51) tartalmazó elrendezés (50) kialakítására eltávolítjuk.
21. A 20. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az első és második elektróda-vékonyrétegeket (111, 113) vákuumpárologtatásos eljárással alakítjuk ki.
22. A 20. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteget (67) vákuumpárologtatásos eljárással alakítjuk ki.
23. A 20. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteget (67) kémiai gőzöléses bevonási eljárással alakítjuk ki.
24. A 20. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az elmozdulást létrehozó vékonyréteget (67) kolloid gélezéses eljárással alakítjuk ki.
25. A 20. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a tükörréteget (58) vákuumpárologtatásos eljárással alakítjuk ki.
26. A 20. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az első tartóréteg (106) kialakítására az aktív mátrix (52) felső felületére (102) első eltávolítandó réteget viszünk fel, az eltávolítandó rétegen az Μ χ N darab csatlakozókapocs körül elhelyezkedő MxN darab első üres résből álló elrendezést alakítunk ki, valamint az első üres résekben talapzatokat (108) alakítunk ki.
27. A 26. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az első eltávolítandó réteget vákuumpárologtatásos eljárással alakítjuk ki.
28. A 26. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az MxN darab első üres résből álló elrendezést maratási eljárással alakítjuk ki.
29. A 26. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a talapzatokat (108) vákuumpárologtatásos eljárással és az azt követő maratási eljárással alakítjuk ki.
30. A 26. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a talapzatokat (108) kémiai gőzöléses bevonási eljárással és az azt követő maratási eljárással alakítjuk ki.
31. A 20. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a második eltávolítandó réteget (114) és a második tartóréteget (117) vákuumpárologtatásos eljárással alakítjuk ki.
32. Eljárás vékonyréteggel működtetett MxN tükörelemet tartalmazó elrendezés előállítására, ahol M és N egész számok, amelynek során alapréteget, Μ xN darab tranzisztorból álló elrendezést és MxN darab csatlakozókapocsból álló elrendezést tartalmazó, felső és alsó felületekkel rendelkező aktív mátrixot állítunk elő, azzal jellemezve, hogy az aktív mátrix (52) felső felületén az MxN elemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem- (51) elrendezésben (50) lévő MxN darab tartóelemből (56) álló elrendezésnek (55) megfelelő MxN darab talapzatból (108) álló elrendezéssel (107), valamint eltávolítandó zónával rendelkező tartóréteget alakítunk ki, a tartóréteg eltávolítandó zónáját kezeljük oly módon, hogy az eltávolítható legyen, a tartórétegre első elektróda-vékonyréteget (111) viszünk fel, az első elektróda-vékonyrétegen (111) dielektromos réteget alakítunk ki, a dielektromos rétegre elmozdulást létrehozó vékonyréteget helyezünk, az elmozdulást létrehozó vékonyrétegen (67) második elektróda-vékonyréteget (113) alakítunk ki, az első elektróda-vékonyréteget (111), a dielektromos réteget, az elmozdulást létrehozó vékonyréteget (67) és a második elektróda-vékonyréteget (113) mintázat kialakításával MxN darab, első és második működtetőrészt (62a, 62b) tartalmazó működtetőszerkezetből (54) álló elrendezéssé (53) és a működtetőszerkezeteket (54) körülvevő üres területté formáljuk, a működtetőszerkezeteken (54) és az azokat körülvevő üres területen második tartóréteget (117) alakítunk ki, a második tartórétegre (117) fényvisszaverő réteget helyezünk, a fényvisszaverő réteget és a máso9

HU 220 515 Bl dik tartóréteget (117) mintázat kialakításával MxN darab tükörrétegből (58) álló elrendezéssé (57) formáljuk, valamint az eltávolítandó zónát a vékonyréteggel működtetett, MxN tükörelemet (51) tartalmazó elrendezés (50) kialakítására eltávolítjuk.
33. Eljárás vékonyréteggel működtetett MxN tükörelemet tartalmazó elrendezés előállítására, ahol M és N egész számok, amelynek során alapréteget, MxN darab tranzisztorból álló elrendezést és Μ xNdarab csatlakozókapocsból álló elrendezést tartalmazó, felső és alsó felületekkel rendelkező aktív mátrixot állítunk elő, azzal jellemezve, hogy az aktív mátrix (52) felső felületén az MxN elemből álló, vékonyréteggel működtetett tükörelem- (51) elrendezésben (50) lévő MxN darab tartóelemből (56) álló elrendezésnek (55) megfelelő Μ χ N darab talapzatból (108) álló elrendezéssel (107), valamint első eltávolítandó zónával (109) rendelkező első tartóréteget (106) alakítunk ki, az első tartóréteg (106) első eltávolítandó zónáját (109) kezeljük oly módon, hogy az eltávolítható legyen, az első tartórétegre (106) első elektróda-vékonyréteget (111) viszünk fel, az első elektródavékonyrétegen (111) rugalmas réteget alakítunk ki, a rugalmas rétegre (202) elmozdulást létrehozó vékonyréteget (67) helyezünk, az elmozdulást létrehozó vékonyrétegen (67) második elektróda-vékonyréteget (113) alakítunk ki, az első elektróda-vékonyréteget (111), a rugalmas réteget (202), az elmozdulást létrehozó vékonyréteget (67) és a második elektróda-vékonyréteget (113) mintázat kialakításával MxN darab, első és második működtetőrészt (62a, 62b) tartalmazó működtetőszerkezetből (54) álló elrendezéssé (53) és a működtetőszerkezeteket (54) körülvevő üres területté formáljuk, a működtetőszerkezeteket (54) körülvevő üres területen második eltávolítandó réteget alakítunk ki, a második eltávolítandó réteget (114) kezeljük oly módon, hogy az eltávolítható legyen, a második eltávolítandó réteget (114) mintázat kialakításával MxN darab eltávolítandó taggá formáljuk, az MxN darab működtetőszerkezetből (54) álló elrendezés (53) és az előző lépésben megmintázott második eltávolítandó réteg (114) tetejére fényvisszaverő réteget helyezünk, a fényvisszaverő réteget mintázat kialakításával M xN darab tükörrétegből (58) álló elrendezéssé (57) formáljuk, valamint az első eltávolítandó zónát és az M xN darab eltávolítandó tagot a vékonyréteggel működtetett, MxN tükörelemet (51) tartalmazó elrendezés (50) kialakítására eltávolítjuk.