JP2018207061A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1を参照して、本実施の形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。図1は、主として本実施の形態に係る半導体装置の製造方法における素子分離部およびその周辺の形成方法について示した図である。本実施の形態では、素子分離部の形成方法の一例としてDTI法を用いた形態を例示して説明するが、これに限られずSTI法を用いた形態としてもよい。本実施の形態に係る半導体装置の製造方法では、素子分離部の開口部の内壁を酸化した後に該素子分離部の底面を開口させ、P型にドープされたポリシリコンを成膜する。
図2を参照して、本実施の形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。本実施の形態は、上記実施の形態において、開口部の内壁を酸化した後に開口部の底部を開口させ、インプラ保護膜を形成した後に、ボロンのイオン注入を行う形態である。従って、上記実施の形態と同様の構成には同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
12 埋め込み層
14 エピタキシャル層
16 開口部
18 酸化膜
20 積層膜
22 酸化膜
24 SiN膜
26 酸化膜
28 ポリシリコン
30 積層膜
32 フィールド領域
34 保護膜
40、42 素子分離部(DTI部)
50 基板
52 埋め込み層
54 エピタキシャル層
56 開口部
58 犠牲酸化膜
60 積層膜
62 酸化膜
64 SiN膜
66 酸化膜
68 ポリシリコン
70 積層膜
72 フィールド領域
74 酸化膜
76 N+層
78、80 ボロン層
82 DTI部
B1 底部
CS1、CS2 チャネルストッパ
Ir 漏れ電流
Claims (6)
- 1つの半導体に形成される素子間を素子分離部によって分離する半導体装置の製造方法であって、
基板の前記素子分離部となる領域に開口部を形成する工程と、
前記開口部の内壁を酸化させて酸化膜を形成する工程と、
前記酸化膜のうち前記開口部の底部に形成された酸化膜を除去する工程と、
前記底部から前記基板に不純物を導入しチャネルストップ領域を形成する工程と、
を含む半導体装置の製造方法。 - 前記チャネルストップ領域を形成する工程は、
前記不純物がドープされたポリシリコンを前記開口部に充填する工程と、
前記基板をアニールして前記不純物を前記基板に拡散する工程と、を含む
請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記ポリシリコンを前記開口部の開口端まで平坦化する工程と、
前記素子を形成する際に前記開口端を含む領域の前記ポリシリコンの上部に絶縁領域を形成する工程と、をさらに含む
請求項2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記チャネルストップ領域を形成する工程は、
前記底部に保護膜を形成する工程と、
前記保護膜を介して前記不純物をイオン注入する工程を含む
請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - ノンドープのポリシリコンで前記開口部を充填する工程と、
前記ポリシリコンを前記開口部の開口端まで平坦化する工程と、
前記素子を形成する際に前記開口端を含む領域の前記ポリシリコンの上部に絶縁領域を形成する工程と、をさらに含む
請求項4に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記素子分離部がDTI法によって形成される
請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
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JP2017114133A JP2018207061A (ja) | 2017-06-09 | 2017-06-09 | 半導体装置の製造方法 |
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63175440A (ja) * | 1986-12-22 | 1988-07-19 | テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド | 電気的能動トレンチを用いたバイポーラ及びcmosの組み合わせ技術 |
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-
2017
- 2017-06-09 JP JP2017114133A patent/JP2018207061A/ja active Pending
Patent Citations (6)
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