JP4381745B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
−半導体装置の構造−
図1は、SOI基板を用いた第1の実施形態に係る半導体装置の構造を示す断面図である。図1に示すように、本実施形態の半導体装置は、単結晶シリコンからなる半導体基板3の主面上に設けられた厚さ900nmの絶縁層2と、絶縁層2上に設けられた厚さ3.5μmの単結晶シリコンからなる半導体層1とを有するSOI基板を用いて形成されている。
図2(a)〜図4(b)は、第1の実施形態の半導体装置の製造工程を示す断面図である。
第1の実施形態においては、トレンチ6を第1伝導型多結晶半導体層9により埋めるに際し、図3(a)に示す工程において、基板上にノンドープの多結晶シリコン膜8を堆積した後に、図3(b)に示す工程において、n型不純物のイオン注入を行なって、ノンドープ多結晶シリコン膜8を第1伝導型多結晶半導体膜9に変えている。
第1の実施形態又は第1の実施形態の変形例における半導体装置の製造方法においては、第2伝導型多結晶半導体層11を形成する際に、イオン注入法を用いて、第1伝導型多結晶半導体層9の一部を第2伝導型多結晶半導体層11に変えているが、第2の実施形態の半導体装置の製造方法においては、in-situ ドープを伴うCVDにより、第2伝導型多結晶半導体層を形成する方法を採用する。
−半導体装置の構造−
図6は、SOI基板を用いた第3の実施形態に係る半導体装置の構造を示す断面図である。図6に示すように、本実施形態の半導体装置は、単結晶シリコンからなる半導体基板3の主面上に設けられた厚さ900nmの絶縁層2と、絶縁層2上に設けられた厚さ3.5μmの単結晶シリコンからなる半導体層1とを有するSOI基板を用いて形成されている。
図7(a)〜(c)は、第3の実施形態における半導体装置の製造工程を示す断面図である。本実施形態においても、図7(a)に示す工程に至るまでに、図2(a)〜(c)に示す第1の実施形態の製造工程を行なって、パッド酸化膜4,窒化膜5,トレンチ6及び側壁絶縁膜7を形成する。ただし、重複を回避するために、図7(a)に示す工程よりも以前の工程の図示は省略する。
2 絶縁層
3 半導体基板
4 パッド酸化膜
5 窒化膜
6 トレンチ
7 側壁絶縁膜
8 ノンドープ多結晶シリコン膜
9,9’ 第2伝導型多結晶半導体層
9x 第2伝導型多結晶半導体膜
10 酸化膜
11 第2伝導型多結晶半導体層
13 パッド酸化膜
14 窒化膜
15 小トレンチ
Claims (3)
- SOI基板の絶縁層の上に設けられた半導体層のうち素子分離領域を形成しようとする部分を貫通して上記絶縁層まで到達するトレンチを形成する工程(a)と、
上記トレンチの両側面を覆う側壁絶縁膜を形成する工程(b)と、
上記トレンチの両側の側壁絶縁膜の間に、上記両側の側壁絶縁膜の各側面を覆う第1伝導型多結晶半導体層と、上記両側の第1伝導型多結晶半導体層間に介在する第2伝導型多結晶半導体層とを形成する工程(c)とを含む半導体装置の製造方法であって、
上記工程(c)は、
上記トレンチを第1伝導型多結晶半導体層によって埋める工程と、
上記第1伝導型多結晶半導体層の両端部を除く領域に、上記絶縁層に到達する小トレンチを形成する工程と、
第2伝導型不純物のin-situ ドープを伴うCVDを用いて、上記小トレンチを第2伝導型多結晶半導体層によって埋める工程と
を含む,半導体装置の製造方法。 - SOI基板の絶縁層の上に設けられた半導体層のうち素子分離領域を形成しようとする部分を貫通して上記絶縁層まで到達するトレンチを形成する工程(a)と、
上記トレンチの両側面を覆う側壁絶縁膜を形成する工程(b)と、
上記トレンチの両側の側壁絶縁膜の間に、上記両側の側壁絶縁膜の各側面を覆う第1伝導型多結晶半導体層と、上記両側の第1伝導型多結晶半導体層間に介在する第2伝導型多結晶半導体層とを形成する工程(c)とを含む半導体装置の製造方法であって、
上記工程(c)は、
上記トレンチを埋める第1伝導型多結晶半導体膜を堆積した後、エッチバックにより、上記トレンチの両側の上記側壁絶縁膜の各側面を覆うサイドウォール型の第1伝導型多結晶半導体層を形成する工程と、
第2伝導型不純物のin-situ ドープを伴うCVDを行なって、上記第1伝導型多結晶半導体層間の空間を埋める第2伝導型多結晶半導体層を形成する工程と
を含む,半導体装置の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法において、
上記工程(a)では、単結晶シリコンからなる半導体層を有するSOI基板を用い、
上記工程(c)では、各々多結晶シリコンからなる第1伝導型多結晶半導体層及び上記第2伝導型多結晶半導体層を形成する,半導体装置の製造方法。
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