JP2018202748A - メタルマスク、メタルメッシュ、ボール配列用メタルマスク及びそれらの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
この発明によるメタルマスクの製造方法は、例えばスルファミン酸ニッケル150〜600g/l、クエン酸塩5〜60g/l、塩化ニッケル5〜100g/l、光沢剤としてNTS(1.3.6−ナフタリントリスルフォン酸ナトリウム)0.5〜10g/lからなる基礎となるメッキ浴組成に、更にスルファミン酸コバルト5〜18g/l、芳香族炭化水素系光沢剤を適量添加してなる新規なメッキ浴組成を用いることにより、高硬度で伸びの少ないメタルマスクを得るものである。なお、ここでは、芳香族炭化水素系光沢剤としては、下記のものから選ばれる少なくとも1種の光沢剤を使用する。
− ホルムアルデヒド等の有機アルデヒド化合物類、
− 抱水クロラール(chloral hydrate)等の塩素−又は臭素−置換されたアルデヒド類、
− クマリン等の1,2−ベンゾピロン類、
− オルト−ヒドロキシケイ皮酸及びマレイン酸ジエチル等の不飽和カルボン酸類及びそのエステル類、
− 2−ブチン−1,4−ジオール等のアセチレン型化合物類、
− エチレンシアノヒドリン等のニトリル類、
− N−メチルキノリンアイオダイド(N−methylquinoline iodide)等のキノリン、キナルジン及びピリジン化合物類、
− トリフェニルメタン染料類等のアミノポリアリールメタン化合物類、
− メチレンブルー等のアジン、チアジン及びオキサジン染料類、
− テトラエチレンペンタミン等のアルキレンアミン類及びポリアミン類、
− p−アミノ−アゾベンゼン等のアゾ染料類、
− 不飽和結合を有するスルホン化されたヘテロ環化合物類、
− スルホン化されたアリールアルデヒド類、例えばオルト−スルホ−ベンズアルデヒド、
− スルホン化されたアリル及びビニル化合物類、例えばアリルスルホン酸、
− スルホン化されたアセチレン化合物類、例えば2−ブチン−1,4−ジスルホン酸及びβ−シアノエチルチオエーテル、
− チオ尿素及びその誘導体、例えばアリルチオ尿素及びオルト−フェニレンチオ尿素(2−メルカプトベンゾイミダゾール)。
図1はこの発明の実施例1におけるメタルマスク、従来品としての比較例1のメタルマスク及び比較例2のメタルマスクの硬度と、炭素、硫黄及びコバルトの含有割合をそれぞれ示す表である。ここで、この発明の実施例1におけるメタルマスクは、硬度650Hv以上であり、炭素0.04以上、硫黄0.035%以上をそれぞれ含有していることが判る。
従来品の比較例1としては、例えばスルファミン酸ニッケル150〜600g/l、クエン酸塩5〜60g/l、塩化ニッケル5〜100g/l、光沢剤としてNTS(1.3.6−ナフタリントリスルフォン酸ナトリウム)0.5〜10g/lからなるメタルマスクが挙げられる。この比較例1のメタルマスクは、硬度450Hv程度であり、炭素0.0033%以下、硫黄0.0134%以下をそれぞれ含有するニッケル又はニッケル合金からなるメタルマスクである。
従来品の比較例2としては、例えば硫酸ニッケル100〜400g/l、塩化ニッケル30〜60g/l、ホウ酸30〜45g/l、光沢剤としてNTS(1.3.6−ナフタリントリスルフォン酸ナトリウム)0.5〜4g/lからなるメタルマスクが挙げられる。この比較例2のメタルマスクは、硬度450Hv程度であり、炭素0.016%以下、硫黄0.037%以下をそれぞれ含有するニッケル又はニッケル合金からなるメタルマスクである。
この測定結果によれば、この発明の実施例1におけるメタルマスクの伸びが最も少なく、最小値が22μm、最大値が35μm、平均値が27μmであった。これに対し、従来品としての比較例1のメタルマスクは、最小値が171μm、最大値が240μm、平均値が190.17μmであった。また、比較例2のメタルマスクは、最小値が96μm、最大値が138μm、平均値が109.83μmであった。この測定結果から明らかなように、この発明の実施例1におけるメタルマスクの伸びが最も少なく、従来品よりも大幅に改善されていることが判る。
この発明の実施例1におけるメタルマスクの配向性の3回の測定結果は、(111)面がそれぞれ0.821、0.814、0.79、(200)面がそれぞれ0.179、0.186、0.21、(220)面がそれぞれ0、0、0であった。
上記実施例1では、メタルマスク及びその製造方法について説明したが、この実施例2においては、硬度650Hv以上で、少なくとも炭素0.04%以上、硫黄0.035%以上をそれぞれ含有するニッケル又はニッケル合金からなり、断面形状が矩形状、逆キノコ型形状、逆蒲鉾型形状のいずれかであるメタルメッシュを得るものである。
Claims (9)
- 硬度650Hv以上で、少なくとも炭素0.04%以上、硫黄0.035%以上をそれぞれ含有するニッケル又はニッケル合金からなることを特徴とするメタルマスク。
- 硬度650〜750Hvで、少なくとも炭素0.04〜0.08%、硫黄0.035〜0.075%をそれぞれ含有するニッケル又はニッケル合金からなることを特徴とする請求項1記載のメタルマスク。
- スルファミン酸ニッケル、塩化ニッケル、クエン酸塩に光沢剤を添加した基礎となるメッキ浴組成に、スルファミン酸コバルト及び芳香族炭化水素系光沢剤を適量添加した新規なメッキ浴組成を用いて作製したことを特徴とする請求項1又は請求項2記載のメタルマスクの製造方法。
- 硬度650Hv以上で、少なくとも炭素0.04%以上、硫黄0.035%以上をそれぞれ含有するニッケル又はニッケル合金からなり、断面形状が矩形状、逆キノコ型形状、逆蒲鉾型形状のいずれかであることを特徴とするメタルメッシュ。
- 硬度600〜750Hvで、少なくとも炭素0.04〜0.08%、硫黄0.035〜0.075%をそれぞれ含有するニッケル又はニッケル合金からなり、断面形状が矩形状、逆キノコ型形状、逆蒲鉾型形状のいずれかであることを特徴とする請求項4記載のメタルメッシュ。
- スルファミン酸ニッケル、塩化ニッケル、クエン酸塩に光沢剤を添加した基礎となるメッキ浴組成に、スルファミン酸コバルト及び芳香族炭化水素系光沢剤を適量添加した新規なメッキ浴組成を用いて作製したことを特徴とする請求項4又は請求項5記載のメタルメッシュの製造方法。
- メッキにより形成され、振り込まれた導電性ボールが挿通する複数の開口部が形成されたボール配列用メタルマスクであって、
硬度650Hv以上で、少なくとも炭素0.04%以上、硫黄0.035%以上をそれぞれ含有するニッケル又はニッケル合金からなることを特徴とするボール配列用メタルマスク。 - 硬度650〜750Hvで、炭素0.04〜0.08%、硫黄0.035〜0.075%をそれぞれ含有するニッケル又はニッケル合金からなることを特徴とする請求項7記載のボール配列用メタルマスク。
- スルファミン酸ニッケル、塩化ニッケル、クエン酸塩に光沢剤を添加した基礎となるメッキ浴組成に、スルファミン酸コバルト及び芳香族炭化水素系光沢剤を適量添加した新規なメッキ浴組成を用いて作製したことを特徴とする請求項7又は請求項8記載のボール配列用メタルマスクの製造方法。
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