JP2018202444A - レーザ加工装置の光軸確認方法 - Google Patents
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Abstract
Description
13 金属膜
24 チャックテーブル
35 レーザビーム発生ユニット
38 集光器
42 レーザ発振器
52 集光用対物レンズ
P1〜P9 集光点
C1〜C9 レーザビーム照射座標位置
Q1〜Q9 レーザ加工痕
O1〜O9 レーザ加工痕の中心位置
56a〜56c 撮像画像
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物にレーザビームを照射するレーザビーム照射手段と、を備えたレーザ加工装置の光軸確認方法であって、
表面に金属膜が積層された検査用ウェーハを準備するウェーハ準備ステップと、
ウェーハ準備ステップを実施した後、該チャックテーブルで該検査用ウェーハの裏面側を保持し表面に積層された該金属膜を露出させる保持ステップと、
該保持ステップを実施した後、該レーザビームの集光点位置を第1高さ位置に位置付けた状態で、該検査用ウェーハの第1の座標位置に該レーザビームを照射して、該検査用ウェーハの表面に積層された該金属膜に第1レーザ加工痕を形成する第1レーザ加工痕形成ステップと、
該第1レーザ加工痕形成ステップを実施した後、該レーザビームの集光点位置を該第1高さ位置から上昇または下降させた第2高さ位置に位置付けた状態で、該検査用ウェーハの第2の座標位置に該レーザビームを照射して、該検査用ウェーハの表面に積層された該金属膜に第2レーザ加工痕を形成する第2レーザ加工痕形成ステップと、
該第1の座標位置に対する該第1レーザ加工痕の位置と、該第2の座標位置に対する該第2レーザ加工痕の位置とにずれがない場合には該光軸に傾きがないと判定し、ずれがある場合には該光軸に傾きがあると判定する判定ステップと、
を備えたことを特徴とするレーザ加工装置の光軸確認方法。 - 少なくとも該第1レーザ加工痕形成ステップを実施した後、撮像手段で該検査用ウェーハの表面に積層された該金属膜の該第1の座標位置を撮像して第1撮像画像を形成する第1撮像画像形成ステップと、
少なくとも該第2レーザ加工痕形成ステップを実施した後、該撮像手段で該検査用ウェーハの表面に積層された該金属膜の該第2の座標位置を撮像して第2撮像画像を形成する第2撮像画像形成ステップと、を更に備え、
該第1撮像画像形成ステップと該第2撮像画像形成ステップを実施した後、該第1撮像画像の該第1座標位置と該第2撮像画像の該第2座標位置とが一致するように重ねて、該第1レーザ加工痕と該第2レーザ加工痕の位置にずれがあるか否かによって該光軸に傾きがあるか否かを判定する前記判定ステップを実施する請求項1記載のレーザ加工装置の光軸確認方法。
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