JP2018194303A - リニアガイドウェイの予圧変化を計測する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 工作機械
21 モーター
22 フィードユニット
221 ねじ軸
222 ベアリング
223 リニアガイドウェイ
224 テーブル
Claims (8)
- 少なくとも1つのリニアガイドウェイと、少なくとも1つの前記リニアガイドウェイを跨いで設けられたテーブルと、を備え、複数の振動センサーが前記テーブルに取り付けられている工作機械における少なくとも1つの前記リニアガイドウェイの予圧の変化を計測する方法であって、複数の前記振動センサー及び計算モジュールを用いて、
複数の前記振動センサーによって第1の時点での前記テーブルの振動を検出して複数の第1の振動信号を生成するステップと、
前記計算モジュールによって前記テーブルに関する少なくとも1つの理論モード形状と複数の前記第1の振動信号とに基づき、前記テーブルに関する少なくとも1つの第1の固有周波数を算出するステップと、
複数の前記振動センサーによって第2の時点での前記テーブルの振動を検出して複数の第2の振動信号を生成するステップと、
前記計算モジュールによって前記テーブルに関する少なくとも1つの理論モード形状と複数の前記第2の振動信号とに基づき、前記テーブルに関する少なくとも1つの第2の固有周波数を算出するステップと、
前記計算モジュールによって少なくとも1つの前記第1の固有周波数と少なくとも1つの前記第2の固有周波数に基づき、少なくとも1つの前記リニアガイドウェイの予圧の変化を計測するステップと、
を実行することを特徴とする方法。 - 前記第1の固有周波数を算出するステップは、
実稼働モーダル解析法を用いて複数の前記第1の振動信号に基づき、前記テーブルに関する複数の固有周波数と複数の前記固有周波数に対応する実稼働モード形状とを求めるサブステップと、
前記実稼働モード形状のそれぞれと少なくとも1つの前記理論モード形状との類似性に基づいて複数の前記固有周波数から少なくとも1つの前記第1の固有周波数を選定するサブステップと、を有し、
前記第2の固有周波数を算出するステップは、
前記第2の振動信号について前記実稼働モーダル解析法を行って、前記テーブルに関する他の複数の固有周波数と前記他の複数の固有周波数に関する他の複数の実稼働モード形状とを求めるサブステップと、
前記他の複数の実稼働モード形状のそれぞれと少なくとも1つの前記理論モード形状との類似性に基づき、前記他の複数の固有周波数から少なくとも1つの前記第2の固有周波数を選定するサブステップと、を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記第1の固有周波数と前記第2の固有周波数とはその数がそれぞれ1つであり、
前記第1の固有周波数を選定するサブステップでは、前記複数の実稼働モード形状において前記理論モード形状との類似性が最大である1つの実稼働モード形状に対応する前記固有周波数を前記第1の固有周波数として選定し、
前記第2の固有周波数を選定するサブステップでは、前記他の複数の実稼働モード形状において前記理論モード形状との類似性が最大である1つの実稼働モード形状に対応する前記固有周波数を前記第2の固有周波数として選定することを特徴とする請求項2に記載の方法。 - 前記リニアガイドウェイの予圧の変化を計測するステップでは、前記第1の固有周波数が前記第2の固有周波数よりも大きい場合、前記工作機械の少なくとも1つの前記リニアガイドウェイの予圧が減少したと判定することを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 前記リニアガイドウェイの予圧の変化を計測するステップにおいて、前記予圧の減少は、前記第1の固有周波数と前記第2の固有周波数との差の前記第1の固有周波数に対する比率に関するものであることを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記第1の固有周波数を算出するステップでは、前記類似性は、複数の前記実稼働モード形状のそれぞれと少なくとも1つの前記理論モード形状とにおけるモード信頼性評価基準に関するものであり、
前記第2の固有周波数を算出するステップでは、前記類似性は、他の複数の前記実稼働モード形状のそれぞれと少なくとも1つの前記理論モード形状とにおけるモード信頼性評価基準に関するものであることを特徴とする請求項2に記載の方法。 - 前記第1の固有周波数を算出するステップで得られた前記第1の固有周波数と、前記第2の固有周波数を算出するステップで得られた前記第2の固有周波数と、はそれぞれの数が1つであり、
前記リニアガイドウェイの予圧の変化を計測するステップでは、前記第1の固有周波数が前記第2の固有周波数よりも大きい場合、前記工作機械の少なくとも1つの前記リニアガイドウェイの予圧が減少したと判定することを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記リニアガイドウェイの予圧の変化を計測するステップにおいて、前記予圧の減少は、前記第1の固有周波数と前記第2の固有周波数との差の前記第1の固有周波数に対する比率に関するものであることを特徴とする請求項7に記載の方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111383959A (zh) * | 2018-12-27 | 2020-07-07 | 株式会社迪思科 | 具有自诊断功能的加工装置 |
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Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111680368B (zh) * | 2019-02-25 | 2023-07-25 | 中国石油天然气集团有限公司 | 底部框架支撑式塔器结构的获取方法及装置 |
CN109773588B (zh) * | 2019-03-01 | 2021-03-02 | 山东大学 | 一种机床数字孪生模型性能测试方法及装置 |
TWI704307B (zh) | 2019-07-19 | 2020-09-11 | 財團法人工業技術研究院 | 具內嵌式感測器的線性滑軌裝置 |
CN112092014B (zh) * | 2020-08-14 | 2022-02-15 | 华南理工大学 | 基于弹性基座直线运动的柔性臂振动检测装置及控制方法 |
US11435262B2 (en) * | 2020-09-08 | 2022-09-06 | Hiwin Technologies Corp. | Method for assessing preload degradation of ball screw |
KR102419817B1 (ko) * | 2020-09-14 | 2022-07-11 | 하이윈 테크놀로지스 코포레이션 | 볼 스크류의 프리로드 열화 평가 방법 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03177615A (ja) * | 1989-12-04 | 1991-08-01 | Koyo Seiko Co Ltd | 直動形ガイド装置 |
JP2007309785A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Takenaka Komuten Co Ltd | 固有振動モード抽出方法、固有振動モード抽出装置、および固有振動モード抽出用プログラム |
JP2015017969A (ja) * | 2013-07-08 | 2015-01-29 | ザ・ボーイング・カンパニーTheBoeing Company | モーダルインパクト試験アセンブリ、システムおよび方法 |
JP2017138115A (ja) * | 2016-02-01 | 2017-08-10 | 上銀科技股▲分▼有限公司 | リニアスライドに適用する予圧検測方法 |
JP2018028512A (ja) * | 2016-08-19 | 2018-02-22 | オークマ株式会社 | 回転軸を有する機械 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0623769Y2 (ja) * | 1989-08-29 | 1994-06-22 | 日本精工株式会社 | 定圧予圧直動案内軸受装置 |
US5228358A (en) * | 1990-02-21 | 1993-07-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Motion guiding device |
US5704250A (en) * | 1996-04-04 | 1998-01-06 | Western Atlas, Inc. | Ball screw drive with dynamically adjustable preload |
US6681634B2 (en) * | 2001-12-11 | 2004-01-27 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | Bearing defect detection using time synchronous averaging (TSA) of an enveloped accelerometer signal |
US20050171736A1 (en) * | 2004-02-02 | 2005-08-04 | United Technologies Corporation | Health monitoring and diagnostic/prognostic system for an ORC plant |
JP2008546965A (ja) * | 2005-08-23 | 2008-12-25 | コリア インスティチュート オブ マシナリー アンド マテリアルズ | 磁気予圧及び運動誤差補正機能を有する定圧ベアリング移送装置 |
JP5644082B2 (ja) * | 2009-10-06 | 2014-12-24 | 株式会社ジェイテクト | 工作機械の主軸装置 |
GB2478302B (en) * | 2010-03-02 | 2012-02-15 | Cinetic Landis Ltd | A machine axis including a counterbalance and methods of operation thereof |
KR101318211B1 (ko) * | 2011-05-31 | 2013-10-15 | 한국기계연구원 | 5 자유도 운동 오차 보정 기능을 갖는 능동 보정형 스테이지 및 그 운동 오차 보정 방법 |
JP5904025B2 (ja) * | 2012-06-14 | 2016-04-13 | 日本精工株式会社 | ボールねじ装置の異常検出装置及び異常検出方法 |
KR101436984B1 (ko) * | 2012-10-04 | 2014-09-04 | 한국기계연구원 | 공작기계 진동 저감 장치 및 방법 |
US20140229125A1 (en) * | 2013-02-08 | 2014-08-14 | National Chung Cheng University | Method of detecting preload of ball screw |
TWI504478B (zh) * | 2014-06-04 | 2015-10-21 | Hiwin Tech Corp | Monitoring System of Ball Screw Pre - pressure and Its Monitoring Method |
-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03177615A (ja) * | 1989-12-04 | 1991-08-01 | Koyo Seiko Co Ltd | 直動形ガイド装置 |
JP2007309785A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Takenaka Komuten Co Ltd | 固有振動モード抽出方法、固有振動モード抽出装置、および固有振動モード抽出用プログラム |
JP2015017969A (ja) * | 2013-07-08 | 2015-01-29 | ザ・ボーイング・カンパニーTheBoeing Company | モーダルインパクト試験アセンブリ、システムおよび方法 |
JP2017138115A (ja) * | 2016-02-01 | 2017-08-10 | 上銀科技股▲分▼有限公司 | リニアスライドに適用する予圧検測方法 |
JP2018028512A (ja) * | 2016-08-19 | 2018-02-22 | オークマ株式会社 | 回転軸を有する機械 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111383959A (zh) * | 2018-12-27 | 2020-07-07 | 株式会社迪思科 | 具有自诊断功能的加工装置 |
JP2020106375A (ja) * | 2018-12-27 | 2020-07-09 | 株式会社ディスコ | 自己診断機能を備える加工装置 |
JP7246827B2 (ja) | 2018-12-27 | 2023-03-28 | 株式会社ディスコ | 自己診断機能を備える加工装置 |
TWI821491B (zh) * | 2018-12-27 | 2023-11-11 | 日商迪思科股份有限公司 | 具備自我診斷功能的加工裝置 |
JP7014869B1 (ja) | 2020-09-03 | 2022-02-01 | 上銀科技股▲分▼有限公司 | ボールねじの予圧低下の検出方法 |
JP2022042670A (ja) * | 2020-09-03 | 2022-03-15 | 上銀科技股▲分▼有限公司 | ボールねじの予圧低下の検出方法 |
JP7281571B1 (ja) | 2022-03-17 | 2023-05-25 | 上銀科技股▲分▼有限公司 | フィードシステムの動的特性の偏差を検出する方法 |
JP2023136657A (ja) * | 2022-03-17 | 2023-09-29 | 上銀科技股▲分▼有限公司 | フィードシステムの動的特性の偏差を検出する方法 |
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