JP2008546965A - 磁気予圧及び運動誤差補正機能を有する定圧ベアリング移送装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、磁気予圧及び運動誤差補正機能を有する定圧ベアリング移送装置に関するもので、より詳細には、テーブルとガイドの構造が簡単で、磁力によって予圧を発生させ、予圧に発生する磁力を変化させて利用し浮上間隙を調整することのできる、磁気予圧及び運動誤差補正機能を有する定圧ベアリング移送装置を提供するものである。
定圧ベアリングの予圧は、永久磁石の磁力によって発生し、電磁石コイルによって予圧に発生する磁力を変化させて、定圧ベアリングの浮上間隙を維持するように構成するのだが、これは予圧による定圧ベアリングの剛性が間隙に反比例するからである。
〔発明が解決しようとする課題〕
そこで、本発明は、前記のような従来の問題点を解決するために、定圧ベアリングを使用する移送系に磁気予圧装置を適用して、構造の単純化を追求すると同時に、磁力の能動制御を介して運動誤差補正機能を有する定圧ベアリング移送装置を提供することをその目的とする。
前記した目的を達成するために、本発明は、定圧ベアリングを利用する移送系において、テーブルと向い合う一側面にだけガイド面が形成されるガイドと、前記ガイド面と対応するように定圧ベアリングパッドが配置されるテーブルと、前記ガイドとテーブルの間に予圧を発生させる磁気予圧装置と、前記磁気予圧装置を制御する制御器及び前記制御信号によって該当電流を印加させる電力増幅器の具備された運動誤差補償制御手段とを含むことを特徴とする磁気予圧及び運動誤差補正機能を有する定圧ベアリング移送装置を提供する。
以上で説明したように、本発明の定圧ベアリングは、ガイドの一側面にガイド面を形成し、これと対応するテーブルには一つのパッドだけが固定される単面パッド型に構成されていて、テーブル及びガイドの嵩が減るのはもちろん、構造の単純化を図れるだけでなく、より精密な加工を必要とするガイド面を一側面にだけ形成するので、加工が容易で、これら加工による加工費などを節減することができ、磁気予圧装置は、永久磁石の磁力で定圧ベアリングに予圧を発生させると同時に、電磁石コイルを利用した磁力調節を介して定圧ベアリングの浮上間隙を調節するように構成することによって、テーブル移送時に発生する運動誤差を減少させることができ、移送系の精密度向上に大きく寄与することができるという効果がある。
以下、本発明の好ましい実施例を添付の図面を参照してより詳細に説明すると、次のとおりである。
20:ガイド
21、22:ガイド面
30:定圧ベアリングパッド
40:磁気予圧装置
41:永久磁石
42:電磁石コイル
43:磁石コア
50:リニアモーター
60:運動誤差補償制御手段
Claims (2)
- 定圧ベアリングを利用する移送系において、
テーブル10と向い合う一側面にだけガイド面21が形成されるガイド20と、
前記ガイド面21と対応するように定圧ベアリングパッド30が配置されるテーブル10と、
前記ガイド20とテーブル10との間に予圧を発生させる磁気予圧装置40と、
前記磁気予圧装置40を制御する制御器及び前記制御信号によって該当電流を印加させる電力増幅器の具備された運動誤差補償制御手段60とを含むことを特徴とする磁気予圧及び運動誤差補正機能を有する定圧ベアリング移送装置。 - 前記磁気予圧装置40は、永久磁石41と、
前記永久磁石41の磁力線と同一線上に位置するコア43と、
前記コア43に巻線される電磁石コイル42と、
前記永久磁石41がテーブル10に支持されている固定ブラケット45とで構成されていることを特徴とする請求項1に記載の磁気予圧及び運動誤差補正機能を有する定圧ベアリング移送装置。
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