JP2018189543A - ガスセンサ素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ところが、ガスセンサ素子の製造バラツキにより、拡散多孔質層の寸法が変動し、ガスの拡散距離も変動してガスセンサ素子の出力が変わってしまうという問題がある。そこで、ガスセンサ素子の側面を削り、この側面に延びた拡散多孔質層を部分的に除去することで、ガスの拡散距離及びガスセンサ素子の出力を調整する技術が開発されている(特許文献1参照)。
そこで、本発明は、拡散多孔質層を備えたガスセンサ素子の製造バラツキ等による出力及び応答性の変動を抑制したガスセンサ素子の製造方法の提供を目的とする。
このガスセンサ素子の製造方法によれば、切断工程にて未焼成拡散多孔質層の幅の丁度半分の幅で各未焼成拡散多孔質層が切断され、同一の幅で各ガスセンサ素子片(ガスセンサ素子)を製造できるので、未焼成拡散多孔質層を無駄なく利用できる。
このガスセンサ素子の製造方法によれば、被測定ガスが素子先端側から流れて来る態様のガスセンサ素子において、ガス導入口を測定室の先端に配置可能となるため、被測定ガスへの応答速度の遅延を起こさずに、酸素濃度出力を調整することができる。
図1は本発明の第1の実施形態に係るガスセンサ素子の製造方法によって製造されるガスセンサ(酸素センサ)1の一例の軸線L方向に沿う断面図、図2はガスセンサ素子10の模式分解斜視図、図3はガスセンサ素子10の軸線L方向に沿い、図1に直交する断面図である。
セパレータ60は軸線L方向に貫通する挿入孔62を有し、挿入孔62にガスセンサ素子10の後端部10kが挿入されている。又、挿入孔62には4個の端子部材75,76が互いに離間して配置されており、それぞれガスセンサ素子10のセンサパッド部14、15及び図示しない2個のヒータパッド部16,17(17のみ図示)に電気的に接続されている。
一方、外筒51の後端側には、外筒51の後端開口部を閉塞するグロメット73が嵌合され、4本のリード線78,79がグロメット73の挿通孔を貫通して外部に引き出されている。なお、ガスセンサ素子10の後端部10kと外部の大気とは、図示しない連通路によって連通している。
ガスセンサ素子10は厚さ方向(積層方向)に、図2の上方から順に、第1セラミック層110、第2セラミック層120、第3セラミック層130、及びヒータ層140を積層してなる。各層110〜140は、アルミナ等の絶縁性セラミックからなり、外形寸法(少なくとも幅及び長さ)の等しい矩形板状をなしている。
測定室111は拡散多孔質層113を介して外部と連通しており、拡散多孔質層113は外部と測定室111との間のガス拡散を所定の律速条件下で実現する。又、各拡散多孔質層113はガスセンサ素子10の長手方向(軸線L方向)に沿う両側壁を構成して外部に臨むようになっている。
固体電解質体122,基準ガス側電極123及び被測定ガス側電極125は、被測定ガス中の酸素濃度の検出セルを構成し、被測定ガス側電極部125Eは測定室111に臨み、基準ガス側電極部123Eは後述する大気導入室131に臨んでいる。
そして、基準ガス側電極123及び被測定ガス側電極125の検出信号が、センサパッド部14,15から2本のリード線79を介して外部に出力され、酸素濃度が検出される。
このように、大気導入室131は多孔質層132を介して外部と連通している。
各リード部141Lは、第2層140bに設けられたスルーホールを介してヒータパッド部16,17と電気的に接続されている。そして、2本のリード線78を介してヒータパッド部16,17から発熱体141に通電することで、発熱体141が発熱し、固体電解質体122を活性化する。
まず、図4(a)に示すように、未焼成の拡散多孔質層113を組成とするシート113sを準備し、例えばレーザ500によって個片状の未焼成拡散多孔質層113xを、予め所定寸法になるよう複数個切断する。そして、絶縁性の第1セラミックグリーンシート110x上にシート113sから複数の未焼成拡散多孔質層113xを転写する(転写工程)。
ここで、第1セラミックグリーンシート110xは、焼成後に保護層110aとなるものである。又、第1セラミックグリーンシート110xは、ガスセンサ素子10を複数個取り可能な大きさに構成されている。又、本実施形態では、未焼成拡散多孔質層113xは軸線L方向に長い矩形状である。
次に、図4(b)に示すように、ガスセンサ素子10の幅方向に隣接する未焼成拡散多孔質層113xの間に、焼失性カーボン層111xのペーストを印刷する。焼失性カーボン層111xは、第1セラミックグリーンシート110xの焼成によって焼失し、測定室111となる空間を形成する。
ここで、第2セラミックグリーンシート120xは、焼成されてセル層121(第2セラミック層120)となる。又、第2セラミックグリーンシート120xは、ガスセンサ素子10を複数個取り可能な大きさに構成され、それぞれ未焼成の基準ガス側電極123x及び被測定ガス側電極125xを備える未焼成の固体電解質体122xをガスセンサ素子10の個数に対応して複数組備えている。
又、第2セラミックグリーンシート120xのうち、未焼成の被測定ガス側電極125xが第1セラミックグリーンシート110xの焼失性カーボン層111xの内側に対向するように各グリーンシート110x、120xを積層する。
次に、図6(b)に示すように、セラミック積層体200xを含む最終積層体300xを、所定の切断線Cに沿って切断することで、ガスセンサ素子片10xを複数切りだす(切断工程)。その後、図示しないが、ガスセンサ素子片10xを焼成することで、ガスセンサ素子10を得る(焼成工程)。
このため、転写工程にて、切断線Cを、外部に臨む面(未焼成拡散多孔質層113xの長手方向)に沿った自身の中心線に合わせて跨ぐように未焼成拡散多孔質層113xを転写すると、切断工程にて未焼成拡散多孔質層113xの幅W2の丁度半分の幅W1で各未焼成拡散多孔質層113xが切断され、同一の幅W1で各ガスセンサ素子片10x(ガスセンサ素子10)を製造できるので、未焼成拡散多孔質層113xを無駄なく利用できる。
なお、最終積層体300xの周縁に臨むガスセンサ素子片10xにおいては、切断線Cで切断されるより外周側の部位は適宜廃棄される。
図8は本発明の第2の実施形態に係るガスセンサ素子の製造方法によって製造されるガスセンサ素子19の模式分解斜視図、図9はガスセンサ素子19の幅方向に沿う断面図である。
なお、ガスセンサ素子19が組み付けられるガスセンサの構成は、第1の実施形態に係るガスセンサ1(図1)と同様であるので図示を省略する。
多孔質層182は外部に露出しており、多孔質層182を介してポンプ電極163と外部との間で酸素の汲み出し及び汲み入れが可能となっている。
固体電解質体162,ポンプ電極163及び対向電極165は、後述する測定室171内の被測定ガス中の酸素の汲み出し及び汲み入れを行う酸素ポンプセルを構成し、対向電極165は測定室171に臨み、ポンプ電極163は多孔質層182を介して外部に連通している。
そして、測定室171内の酸素濃度に応じ、ポンプ電極163及び対向電極165の間に流れる電流の方向及び大きさがセンサパッド部13、15を介して2本のリード線から外部装置によって制御され、酸素がポンピングされる。
測定室171は拡散多孔質層173を介して外部と連通しており、拡散多孔質層173は外部と測定室171との間のガス拡散を所定の律速条件下で実現する。
固体電解質体152,基準ガス側電極153及び被測定ガス側電極155は、被測定ガス中の酸素濃度の検出セルを構成し、被測定ガス側電極部155Eは測定室171に臨んでいる。一方、基準ガス側電極部153Eは、リード部153L、スルーホールを介して外部に通気する。
そして、基準ガス側電極153及び被測定ガス側電極155の検出信号が、センサパッド部14,15から2本のリード線79を介して外部に出力され、酸素濃度が検出される。
各リード部146Lは、第2層145bに設けられたスルーホールを介してヒータパッド部16,17と電気的に接続されている。そして、2本のリード線78を介してヒータパッド部16,17から発熱体146に通電することで、発熱体146が発熱し、固体電解質体152,162を活性化する。
まず、図10(a)に示すように、未焼成の拡散多孔質層173を組成とするシート173sを準備し、例えばレーザ500によって個片状の未焼成拡散多孔質層173xを、予め所定寸法になるよう複数個切断する。そして、絶縁性の第1セラミックグリーンシート160x上にシート173sから複数の未焼成拡散多孔質層173xを転写する(転写工程)。
ここで、第1セラミックグリーンシート160xは、焼成後にセル層161(第2セラミック層160)となるものである。又、第1セラミックグリーンシート160xは、ガスセンサ素子19を複数個取り可能な大きさに構成され、図示はしないが、未焼成の固体電解質体162、ポンプ電極163及び対向電極165をガスセンサ素子19の個数に対応して複数組備えている。なお、未焼成拡散多孔質層173xは、第1セラミックグリーンシート160x上の固体電解質体162よりも外側の位置に転写される。
次に、図10(b)に示すように、ガスセンサ素子19の幅方向に隣接する未焼成拡散多孔質層173xの間に、焼失性カーボン層171xのペーストを印刷する。焼失性カーボン層171xは、第1セラミックグリーンシート160xの焼成によって焼失し、測定室171となる空間を形成する。
ここで、第2セラミックグリーンシート150xは、焼成されてセル層151(第4セラミック層150)となる。又、第2セラミックグリーンシート150xは、ガスセンサ素子19を複数個取り可能な大きさに構成され、それぞれ未焼成の基準ガス側電極153x及び被測定ガス側電極155xを備える未焼成の固体電解質体152xをガスセンサ素子19の個数に対応して複数組備えている。
又、第2セラミックグリーンシート150xのうち、未焼成の被測定ガス側電極155xが第1セラミックグリーンシート160x上の焼失性カーボン層171xの内側に対向するように各グリーンシート150x、160xを積層する。
次に、図12(b)に示すように、セラミック積層体250xを含む最終積層体300xを、所定の切断線Cに沿って切断することで、ガスセンサ素子片19xを複数切りだす(切断工程)。その後、図示しないが、ガスセンサ素子片19xを焼成することで、ガスセンサ素子19を得る(焼成工程)。
このため、転写工程にて、切断線Cを、外部に臨む面(未焼成拡散多孔質層173xの長手方向)に沿った自身の中心線に合わせて跨ぐように未焼成拡散多孔質層173xを転写すると、切断工程にて未焼成拡散多孔質層173xの幅W2の丁度半分の幅W1で各未焼成拡散多孔質層173xが切断され、同一の幅W1で各ガスセンサ素子片19x(ガスセンサ素子19)を製造できるので、未焼成拡散多孔質層173xを無駄なく利用できる。
また、拡散多孔質層の形状や寸法も限定されない。
10x、19x ガスセンサ素子片
110x、160x 第1セラミックグリーンシート
111、171 測定室
113,173 拡散多孔質層
113x、173x 未焼成拡散多孔質層
113s、173s 未焼成拡散多孔質層のシート
115、175 セラミック絶縁層
115x、175x 絶縁性ペースト
120x、150x 第2セラミックグリーンシート
122、152 固体電解質体
123、153 基準ガス側電極
125、155 被測定ガス側電極
200x、250x セラミック積層体
L 軸線
C 切断線
Claims (3)
- 軸線方向に延び、固体電解質体と、該固体電解質体の表面に設けられた基準ガス側電極及び被測定ガス側電極と、前記被測定ガス側電極を臨ませる測定室と、前記測定室に配置されて外部に臨む拡散多孔質層と、前記測定室の側壁をなすセラミック絶縁層と、を備えたガスセンサ素子の製造方法であって、
予め所定寸法になるよう切断され、焼成されて前記拡散多孔質層となる個片状の未焼成拡散多孔質層を複数備えたシートを準備し、ガスセンサ素子を複数個取り可能な大きさに構成された絶縁性の第1セラミックグリーンシート上に該シートから複数の前記未焼成拡散多孔質層を転写する転写工程と、
焼成されて前記セラミック絶縁層となる絶縁性ペーストを前記第1セラミックグリーンシート上に塗布する塗布工程と、
前記基準ガス側電極及び前記被測定ガス側電極を備える前記固体電解質体を含む第2セラミックグリーンシートを準備し、前記第1セラミックグリーンシートと前記第2セラミックグリーンシートとを積層してセラミック積層体を形成する積層工程と、
所定の切断線に沿って前記セラミック積層体を切断することで、ガスセンサ素子片を複数切りだす切断工程と、
前記ガスセンサ素子片を焼成することで、前記ガスセンサ素子を得る焼成工程と、を少なくとも有することを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。 - 前記転写工程にて、前記切断線を前記外部に臨む面に沿った自身の中心線に合わせて跨ぐように前記未焼成拡散多孔質層を転写する請求項1に記載のガスセンサ素子の製造方法。
- 前記塗布工程にて、前記測定室の先端と前記未焼成拡散多孔質層との先端を面一に合わせることを特徴とする請求項1又は2に記載のガスセンサ素子の製造方法。
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