JP6859227B2 - ガスセンサ - Google Patents
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Description
このようなガスセンサとして、電極の一方をセンサ素子の内部に配置し、固体電解質体を介して酸素が汲み込まれることで酸素基準部として機能する基準電極部とし、基準電極部にリード部を接続した構成が知られている。この構成においては、一対の電極間に微小電流を流して基準電極部に酸素を溜めさせ、基準酸素としている。このため、基準電極部及びリード部には、導電性だけでなく、酸素を溜め込められるよう多孔質性(酸素透過性)も要求されている。
そこで、本発明は、基準電極に接続される基準リードの剥離を抑制すると共に、出力を安定化させたガスセンサの提供を目的とする。
さらに、基準リードの少なくとも一部に沿って、基準リードよりもガス透過性の高い通気層部を別個に設け、この通気層部から酸素を外部に導出可能とすることで、基準電極部からの酸素透過性を通気層部で確保することができる。
このガスセンサによれば、積層相手材からの剥離を確実に抑制できる。
図1は本発明の実施形態に係るガスセンサ(酸素センサ)1の長手方向(軸線L方向)に沿う断面図、図2はセンサ素子100の模式分解斜視図、図3は図2のA−A線に沿う断面図である。
ている。
さらに、測定電極110を覆うようにして保護層111が設けられると共に、詳しくは後述する通気層部130が基準リード108bを覆うようにして設けられている。
もっとも、発熱体102、測定電極110、基準電極108、ヒータ側パッド120及び検出素子側パッド121は、耐熱性及び耐酸化性を考慮するとPtを主体にして形成することがより一層好ましい。さらに、発熱体102、測定電極110、第4電極110、ヒータ側パッド120及び検出素子側パッド121は、主体となる白金族元素の他にセラミック成分を含有することが好ましい。
基準リード108bよりもガス透過性が高い通気層部130を、基準リード108bと別個に設けることで、基準電極108の酸素透過性を通気層部130で確保している。
そして、酸素濃度検出セル140の各電極108、110間に微小電流を流して基準電極108に酸素を溜めさせ、基準酸素としている。
そしてこの金属ホルダ34の内側にはセラミックホルダ35、滑石36が先端側から順に配置されている。この滑石36は金属ホルダ34内に配置される滑石37と金属ホルダ34の後端に渡って配置される第2滑石38とからなる。
基準リード108bは、基準電極部108aの後端側に重なるように接続されると共に、固体電解質体105の一方の面(ヒータ部200側の面)に接してセンサ素子100の軸線L方向に沿って延設されている。又、基準リード108bの後端は、第2スルーホール105a及び第3スルーホール111aのそれぞれの側壁に設けられたスルーホール導体121wに接続されている。
これにより、通気層部130の後端側の表面(固体電解質体105側の面)が第2スルーホール105a及び第3スルーホール111aの内部に露出し、これらスルーホールを介して酸素を外部に導出するようになっている。又、図3の例では、通気層部130は基準リード108bを完全に覆っている。
さらに、基準リード108bの少なくとも一部に沿って、基準リード108bよりもガス透過性の高い通気層部130を別個に設け、この通気層部130から酸素を外部に導出可能とすることで、基準電極部108aからの酸素透過性を通気層部130で確保することができる。
例えば、図4に示すように、通気層部132が基準電極部108aの後端側に重なるように接続されると共に、固体電解質体105の一方の面(ヒータ部200側の面)に接してセンサ素子100の軸線L方向に沿って延設されてもよい。そして、基準リード108b2が、通気層部132の表面(ヒータ部200側の面)に積層されると共に、基準電極部108aの後端側に接続されてセンサ素子100の軸線L方向に沿って延設されてもよい。
さらに、図4の例では、通気層部132の後端は、センサ素子100の側面から外部に連通する通気孔100hに臨んでおり、通気孔100hを介して酸素を外部に導出するようになっている。
ここで、検出素子側パッド123は、第2スルーホール105a及び第3スルーホール111aを完全に導体で充填した形態をなしている。そして、図4のように、スルーホールと別の開口や孔を介して通気層部132を外部に臨ませることで、スルーホールが導体で完全に埋まっている場合でも、通気層部132が酸素を外部に導出できるようになる。
この焼成前のセンサ素子を1500℃で3時間焼成して各電極及びリードを焼結させた後、基準リード108bの長手方向に沿って積層方向に素子を切断し、固体電解質体105と基準リード108bとの隙間の有無を超音波検査で判定した。
得られた結果を表1に示す。
100 センサ素子
105 固体電解質体
108a 基準電極部
108b,108b2 基準リード
110a 測定電極部
130,132 通気層部
L 軸線
Claims (2)
- 被測定ガス中の特定ガスを検出するためのセンサ素子を備えるガスセンサであって、
前記センサ素子は、板状の固体電解質体と、
該固体電解質体上に配置される一対の電極と、を有し、
前記一対の電極は、前記被測定ガスに晒される測定電極部と、前記センサ素子の内部に配置されて、前記固体電解質体を介して酸素が汲み込まれることで酸素基準部として機能する基準電極部と、からなり、
前記基準電極部には、前記センサ素子の内部に延設される基準リードと、前記基準リードの少なくとも一部に沿って積層され、前記基準リードよりもガス透過性が高く、前記酸素を外部に導出可能な通気層部と、が接続され、
前記基準電極部は、貴金属を主成分とすると共にセラミックを含有し、
前記基準リードは、貴金属を主成分とすると共に、前記基準電極部よりも前記セラミックの含有量が多いことを特徴とするガスセンサ。 - 前記基準リードにおける前記セラミックの含有割合が10.3質量%以上である請求項1記載のガスセンサ。
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