JP7246933B2 - ガスセンサ素子、ヒータ、及びガスセンサ - Google Patents
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Description
このガスセンサに用いるセンサ素子では、電極とリードとが接続された構造を有している。センサ素子を製造の際に、電極を形成するペーストと、リードを形成するペーストとを重ねた状態で焼成することにより、両者の接続部が形成される。
また、センサ素子の種類によっては、発熱部を備えており、発熱部とリードとが接続された構造を有している。このセンサ素子では、センサ素子を製造の際に、発熱部を形成するペーストと、リードを形成するペーストとを重ねた状態で焼成することにより、両者の接続部が形成される。このセンサ素子においても、上述の場合と同様に、焼成後に、発熱部の金属元素が、リードに移動してしまい、接続部において断線するおそれがあった。
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、断線を抑制することを目的とする。本発明は、以下の形態として実現することが可能である。
前記電極に接続され、第2金属を主成分とするリードと、を備え、
前記電極と前記リードとが、直接的に又は継ぎ手部を介して間接的に接続されているガスセンサ素子であって、
前記電極と前記リードとが直接的に接続されている場合は、前記電極と前記リードとの接合部には、前記第1金属及び前記第2金属のうち比重が小さい方の金属について、前記接合部を除いた前記電極における含有割合と、前記接合部を除いた前記リードにおける含有割合と、の間の大きさの含有割合である成分領域が存在し、
前記電極と前記リードとが前記継ぎ手部を介して間接的に接続されている場合は、前記継ぎ手部には、前記第1金属及び前記第2金属のうち比重が小さい方の金属について、前記電極における含有割合と、前記リードにおける含有割合と、の間の大きさの含有割合である成分領域が存在することを特徴とするガスセンサ素子。
本構成では、電極とリードとが直接的に接続されている場合は、電極とリードとの接合部には、第1金属及び第2金属のうち比重が小さい方の金属について、接合部を除いた電極における含有割合と、接合部を除いたリードにおける含有割合と、の間の大きさの含有割合である成分領域が存在している。また、電極とリードとが継ぎ手部を介して間接的に接続されている場合は、継ぎ手部には、第1金属及び第2金属のうち比重が小さい方の金属について、電極における含有割合と、リードにおける含有割合と、の間の大きさの含有割合である成分領域が存在している。そのため、電極とリードとの間において、第1金属及び第2金属のうち比重が小さい方の金属の濃度勾配が緩やかとなり、急激な金属元素の移動による空洞が発生しにくく、断線が抑制される。
前記成分領域は、前記第1金属及び前記第2金属のうち比重が大きい方の金属について、前記電極における含有割合と、前記リードにおける含有割合と、の間の大きさの含有割合であることを特徴とする(1)に記載のガスセンサ素子。
前記電極と前記第2電極との間に配される固体電解質体と、を備え、
前記第2電極は、前記第2金属を主成分とし、混成電位式であることを特徴とする(2)に記載のガスセンサ素子。
このガスセンサ素子において、電極をリードと異種の金属で形成されたものとして本発明を適用することで、断線が抑制されるという効果が有効に発揮される。
前記継ぎ手部の前記第2金属の濃度は、前記継ぎ手部における前記第1金属及び前記第2金属の全体を100質量%とした場合に、30~70質量%であることを特徴とする(2)~(4)のいずれかに記載のガスセンサ素子。
前記電極と前記リードとが重ならない電極単独部と、前記電極と前記リードとが重なる接続部と、前記電極と前記リードとが重ならないリード単独部と、を有し、
前記接続部の厚みは、前記電極単独部と前記リード単独部との厚みを足した厚みに比べて、厚くされているとともに、
前記接続部の断面を観察した際に、
前記接続部の表面側を前記リード単独部の厚み分だけ除外し、かつ、
前記接続部の裏面側を前記電極単独部の厚み分だけ除外して、残った部分が前記接合部であることを特徴とする(1)に記載のガスセンサ素子。
従来は、残存部がないため、接続部において電極として機能する部分から、第1金属がリードに移動してしまい、断線するおそれがあった。
本形態の接続部では、電極として機能する部分(電極単独部の厚み分)と、リードとして機能する部分(リード単独部の厚み分)との間に残存部を配し、第1金属の移動の起きる部位を残存部に留めることができるから、電極として機能する部分からの第1金属の流出を抑制できる。その結果、接続部での断線が抑制される。
前記電極と前記リードとが重ならない電極単独部と、前記電極と前記リードとが重なる接続部と、前記電極と前記リードとが重ならないリード単独部と、を有し、
前記接続部の厚みは、前記電極単独部と前記リード単独部との厚みを足した厚みに比べて、厚くされているとともに、
前記接続部の断面を観察した際に、
前記接続部の表面側を前記電極単独部の厚み分だけ除外し、かつ、前記接続部の裏面側を前記リード単独部の厚み分だけ除外して、残った部分が前記接合部であることを特徴とする(1)に記載のガスセンサ素子。
従来は、残存部がないため、接続部において電極として機能する部分から、第1金属がリードに移動してしまい、断線するおそれがあった。
本形態の接続部では、電極として機能する部分(電極単独部の厚み分)と、リードとして機能する部分(リード単独部の厚み分)との間に残存部を配し、第1金属の移動の起きる部位を残存部に留めることができるから、電極として機能する部分からの第1金属のリードへの移動を抑制できる。その結果、接続部での断線が抑制される。
前記発熱部に接続され、第2金属を主成分とするヒータリードと、を備え、
前記発熱部と前記ヒータリードとが、直接的に又はヒータ継ぎ手部を介して間接的に接続されているヒータであって、
前記発熱部と前記ヒータリードとが直接接続されている場合は、前記発熱部と前記ヒータリードとのヒータ接合部には、前記第1金属及び前記第2金属のうち比重が小さい方の金属について、前記ヒータ接合部を除いた前記発熱部における含有割合と、前記ヒータ接合部を除いた前記ヒータリードにおける含有割合と、の間の大きさの含有割合である成分領域が存在し、
前記発熱部と前記ヒータリードとが前記ヒータ継ぎ手部を介して間接的に接続されている場合は、前記ヒータ継ぎ手部には、前記第1金属及び前記第2金属のうち比重が小さい方の金属について、前記発熱部における含有割合と、前記ヒータリードにおける含有割合と、の間の大きさの含有割合である成分領域が存在することを特徴とするヒータ。
本構成では、発熱部とヒータリードとが直接接続されている場合は、発熱部とヒータリードとのヒータ接合部には、第1金属及び第2金属のうち比重が小さい方の金属について、ヒータ接合部を除いた発熱部における含有割合と、ヒータ接合部を除いたヒータリードにおける含有割合と、の間の大きさの含有割合である成分領域が存在している。また、発熱部とヒータリードとがヒータ継ぎ手部を介して間接的に接続されている場合は、ヒータ継ぎ手部には、第1金属及び第2金属のうち比重が小さい方の金属について、発熱部における含有割合と、ヒータリードにおける含有割合と、の間の大きさの含有割合である成分領域が存在している。そのため、発熱部とヒータリードとの間において、第1金属及び第2金属のうち比重が小さい方の金属の濃度勾配が緩やかとなり、急激な金属元素の移動による空洞が発生しにくく、断線が抑制される。
本発明の第1実施形態に係るガスセンサ素子(アンモニアセンサ部21)を備えたマルチガスセンサ装置1について、図1~4を参照しながら説明する。本実施形態のマルチガスセンサ装置1は、ディーゼルエンジンから排出される排気ガス(被測定ガス)に含まれる窒素酸化物(NOx)を浄化する尿素SCRシステムに用いられるものである。より具体的には、排気ガスに含まれるNOxと、アンモニア(尿素)とを反応させた後の排気ガスに含まれる一酸化窒素(NO)、二酸化窒素(NO2)およびアンモニアの濃度を測定するものである。
なお、本実施形態では、中間層21bは、酸化コバルトとジルコニアとを主体としていたが、酸素イオン導電性の固体電解質成分(つまりはジルコニア)を50質量%以上含有するとともに、Mn,Cu,NiおよびCeの群から選ばれる1種以上の金属の酸化物である第1の金属酸化物を含む層であっても良い。また、例えば、第1の金属酸化物が、酸化コバルト(Co3O4)である場合には、被検出ガスに含まれるH2Oによって、アンモニアセンサ部21におけるアンモニア濃度の感度の変動が抑制される。上述の第1の金属酸化物は、金属酸化物または複合酸化物の形態をとるものである。なお、中間層21bに含まれる固体電解質成分は、本発明のガスセンサを構成する固体電解質体と同一の組成であってもよいし、異なる成分であってもよい。
最初に、絶縁層10eの上に基準電極21aを形成するPt、アルミナ(共素地として用いる無機酸化物)、バインダおよび有機溶剤を含む電極ペースト(以下、「Pt系ペースト」と表記する。)をスクリーン印刷により配置し、所定温度(約1400℃以上)で焼成する。
継ぎ手部70には、Au(第1金属)及びPt(第2金属)が合計50質量%以上含有されている。継ぎ手部70は、アンモニア電極21cにおけるAuの含有割合と、アンモニア電極リード21dにおけるAuの含有割合と、の間の大きさのAuの含有割合となっている。すなわち、継ぎ手部70のAuの濃度は、アンモニア電極21cよりも低く、かつアンモニア電極リード21dよりも高い。また、継ぎ手部70のPtの含有割合は、アンモニア電極21cにおけるPtの含有割合と、アンモニア電極リード21dにおけるPtの含有割合と、の間の大きさである。すなわち、継ぎ手部70のPtの濃度は、アンモニア電極リード21dよりも低く、かつアンモニア電極21cよりも高い。すなわち、Au濃度について、継ぎ手部70は、アンモニア電極21cとアンモニア電極リード21dの間の濃度とされている。また、Pt濃度についても、継ぎ手部70は、アンモニア電極21cとアンモニア電極リード21dの間の濃度とされている。
継ぎ手部70のAuの濃度は、継ぎ手部70におけるAu及びPtの全体を100質量%とした場合に、30~70質量%であることが好ましく、40~60質量%であることがより好ましく、45~55質量%であることが更に好ましい。
継ぎ手部70のPtの濃度は、継ぎ手部70におけるAu及びPtの全体を100質量%とした場合に、30~70質量%であることが好ましく、40~60質量%であることがより好ましく、45~55質量%であることが更に好ましい。
継ぎ手部70における金属成分は、実質的に、Au及びPtからなることが好ましい。ここで、「実質的に、Au及びPtからなる」とは、Au及びPt以外の他の金属成分が実質的に0%(具体的には、5.0質量%未満)であることを意味する。
第1金属がAuであり、第2金属がPtの場合は、焼成時に金属元素の移動が起こりやすい組合せであるが、継ぎ手部70を介在させることによって、金属元素の移動を効果的に抑制できる。
本発明の第2実施形態に係るガスセンサ310について、図5~8を参照しながら説明する。
図5は、ガスセンサ310の構成を示した説明図である。ガスセンサ310は、酸素検出素子320(本発明のガスセンサ素子に相当)と、主体金具311と、内側端子部材330と、外側端子部材340と、セラミックヒータ300(本発明のヒータに相当)と、を備える。
グリーンシート446は、グリーンシート440のうち発熱抵抗体441が形成される側の面に圧着されている。グリーンシート446のうち、この圧着面と反対側の面にはアルミナペーストが塗布され、この塗布面を内側にしてグリーンシート440,446が碍管401に巻き付けられて外周から内向きに押圧されることにより、セラミックヒータ成形体が形成される。その後、セラミックヒータ成形体が焼成されることにより、セラミック基体402が形成される。
継ぎ手部450には、Pt(第1金属)及びPd(第2金属)が合計50質量%以上含有されている。継ぎ手部450は、発熱部442におけるPtの含有割合と、リード部443におけるPtの含有割合と、の間の大きさのPtの含有割合となっている。すなわち、継ぎ手部450のPtの濃度は、発熱部442よりも低く、かつリード部443よりも高い。また、継ぎ手部450のPdの含有割合は、発熱部442におけるPdの含有割合と、リード部443におけるPdの含有割合と、の間の大きさである。すなわち、継ぎ手部450のPdの濃度は、リード部443よりも低く、かつ発熱部442よりも高い。すなわち、Pt濃度について、継ぎ手部450は、発熱部442とリード部443の間の濃度とされている。また、Pd濃度についても、継ぎ手部450は、発熱部442とリード部443の間の濃度とされている。
継ぎ手部450のPtの濃度は、継ぎ手部450におけるPt及びPdの全体を100質量%とした場合に、30~70質量%であることが好ましく、40~60質量%であることがより好ましく、45~55質量%であることが更に好ましい。
継ぎ手部450のPdの濃度は、継ぎ手部450におけるPt及びPdの全体を100質量%とした場合に、30~70質量%であることが好ましく、40~60質量%であることがより好ましく、45~55質量%であることが更に好ましい。
継ぎ手部450における金属成分は、実質的に、Pt及びPdからなることが好ましい。ここで、「実質的に、Pt及びPdからなる」とは、Pt及びPd以外の他の金属成分が実質的に0%(具体的には、5.0質量%未満)であることを意味する。
第1金属がPtであり、第2金属がPdの場合は、焼成後に金属元素の移動が起こりやすい組合せであるが、継ぎ手部450を介在させることによって、金属元素の移動を効果的に抑制できる。
第3実施形態に係るガスセンサ素子(アンモニアセンサ部21)を備えたマルチガスセンサ装置(本発明のガスセンサに相当)1について、図1,2,9~10を参照しながら説明する。なお、第3実施形態のマルチガスセンサ装置1は、一部を除き第1実施形態のマルチガスセンサ装置1と同様の構成であるため、図1,2を用いて説明をする。また、以下の説明では、第1実施形態のマルチガスセンサ装置1と同様の構成については、第1実施形態と同様の符号を用いて、詳しい説明を省略する。
最初に、絶縁層10eの上に基準電極21aを形成するPt、アルミナ(共素地として用いる無機酸化物)バインダおよび有機溶剤を含む電極ペースト(以下、「Pt系ペースト」と表記する。)をスクリーン印刷により配置し、所定温度(約1400℃以上)で焼成する。
最後に、基準電極21a、アンモニア用固体電解質体23、中間層21bおよびアンモニア電極21cを覆うように、アルミナ等を含むペーストをスクリーン印刷により配置し、所定温度(例えば、1000℃)で焼成することにより、保護層24が形成される。以上によりアンモニアセンサ部21が形成される。
図10に示すように、この接続構造では、アンモニア電極21cとアンモニア電極リード21dとが重ならない電極単独部73と、アンモニア電極21cとアンモニア電極リード21dとが重なる接続部71と、アンモニア電極21cとアンモニア電極リード21dとが重ならないリード単独部75と、が存在している。接続部71は、アンモニア電極21cとアンモニア電極リード21dとが、厚み方向で重なる領域である。
そして、接続部71は、アンモニア電極21cの上に、アンモニア電極リード21dが被さるようにして形成されている。
図10に示されるように、接続部71の厚み(T3)は、電極単独部73の厚み(T1)とリード単独部75との厚み(T2)を足した厚み(T1+T2)に比べて、厚くされている。
また、図10に示すように、接続部71の断面を観察した際、接続部71の表面側をリード単独部75の厚み(T2)分だけ除外し、かつ接続部71の裏面側を電極単独部73の厚み(T1)分だけ除外して、残った部分である残存部77(本発明の接合部、成分領域に相当し、図10におけるクロスハッチング部分)が存在している。
この残存部77におけるAuの含有割合は、電極単独部73におけるAuの含有割合と、リード単独部75におけるAuの含有割合と、の間の大きさになっている。すなわち、この残存部77に含まれる金属成分(貴金属成分)に対するAuの含有割合が、電極単独部73における金属成分(貴金属成分)に対するAuの含有割合よりも低く、リード単独部75における金属成分(貴金属成分)に対するAuの含有割合よりも多い構成とされている。
なお、「接続部71の断面を観察した際」とは、「アンモニアセンサ部21を軸線方向に沿って、アンモニア電極21cで切断して、厚み方向から観察した際」と同義である。
リード単独部75の厚み(T2)は、特に限定されないが、高い導電性を確保するという観点と高価な貴金属の使用量を抑えるという観点から、5μm~40μmが好ましく、10μm~30μmがより好ましく、15μm~25μmが更に好ましい。
残存部77の厚みは、特に限定されないが、断線を効果的に抑制するという観点と高価な貴金属の使用量を抑えるという観点から、1μm~40μmが好ましく、5μm~30μmがより好ましく、10μm~20μmが更に好ましい。
なお、図10に示すように、リード単独部75の厚み(T2)は、接続部71近傍の部分的に厚くなる箇所(図10におけるリード単独部75の左端部分)を除いた厚さとする。また、各厚みは、接続部近傍断面を例えば300倍でSEM観察した場合のそれぞれ3箇所の平均値とする。
このように、電極単独部73は、Auを主たる金属成分(貴金属成分)としている。よって、電極単独部73における集電体としての能力が確保される。
なお、電極単独部73には、上述の第1の金属酸化物が含まれていても、含まれていなくても良いが、含まれない形態とすれば、電極単独部73におけるアンモニアガスの燃焼が抑制され、電極単独部73と中間層21bとの界面に到達するアンモニアガスが減少しにくい。言い換えると、アンモニアセンサ部21の検知精度が向上し、特に、10ppm付近の低濃度のアンモニアを高い精度で検出することが可能となる。
電極単独部73を、Zr(ジルコニウム),Y(イットリウム),Al(アルミニウム)およびSi(ケイ素)の群から選ばれる1種以上の金属の酸化物である第2の金属酸化物を含む多孔質電極として形成することで、電極単独部73にガス透過性を付与することができる。そのため、アンモニアガスが電極単独部73を透過することができ、電極単独部73と中間層21bとの界面まで容易に到達することができる。なお、電極単独部73は、電極単独部73全体を100重量%とした場合に、第2の金属酸化物を5重量%から30重量%までの割合で含有していることが好ましい。
なお、上述のように残存部77における金属成分(貴金属成分)に対するAuの含有割合は、通常、電極単独部73のAuの含有割合よりも低い。
本実施形態のアンモニアセンサ部21では、接続部71において、電極として機能する部分(電極単独部73の厚み分)と、リードとして機能する部分(リード単独部75の厚み分)との間に残存部77を設けている。よって、Auの移動の起きる部位を残存部77に留めることができるから、電極として機能する部分からのAuの流出を抑制できる。その結果、接続部71での断線が抑制される。
第4実施形態は、第3実施形態と、アンモニア電極21cとアンモニア電極リード21dとの接続構造が異なる。この点について、図11を参照しつつ説明する。なお、その他の構成は、第3実施形態と同様であるので説明を省略する。
図11に示すように、この接続構造では、アンモニア電極21cとアンモニア電極リード21dとが重ならない電極単独部83と、アンモニア電極21cとアンモニア電極リード21dとが重なる接続部81と、アンモニア電極21cとアンモニア電極リード21dとが重ならないリード単独部85と、が存在している。アンモニア電極21cとアンモニア電極リード21dとが、直接的に接続されている。
そして、接続部81は、アンモニア電極リード21dの上に、アンモニア電極21cが被さるようにして形成されている。
図11に示されるように、接続部81の厚み(T6)は、電極単独部83の厚み(T4)とリード単独部85との厚み(T5)を足した厚み(T4+T5)に比べて、厚くされている。
また、図11に示すように、接続部81の断面を観察した際、接続部81の表面側を電極単独部83の厚み(T4)分だけ除外し、かつ接続部81の裏面側をリード単独部85の厚み(T5)分だけ除外して、残った部分である残存部87(本発明の接合部、成分領域に相当し、図11におけるクロスハッチング部分)が存在している。
この残存部87に含まれる金属成分(貴金属成分)に対するAuの含有割合が、リード単独部85における金属成分(貴金属成分)に対するAuの含有割合よりも多い構成とされている。
なお、「接続部81の断面を観察した際」とは、「アンモニアセンサ部21を軸線方向に沿って、アンモニア電極21cで切断して、厚み方向から観察した際」と同義である。
リード単独部85の厚み(T5)は、特に限定されないが、高い導電性を確保するという観点と高価な貴金属の使用量を抑えるという観点から、5μm~40μmが好ましく、10μm~30μmがより好ましく、15μm~25μmが更に好ましい。
残存部87の厚みは、特に限定されないが、断線を効果的に抑制するという観点と高価な貴金属の使用量を抑えるという観点から、1μm~40μmが好ましく、5μm~30μmがより好ましく、10μm~20μmが更に好ましい。
このように、電極単独部83は、Auを主たる金属成分(貴金属成分)としている。よって、電極単独部83における集電体としての能力が確保される。
なお、電極単独部83には、上述の第1の金属酸化物が含まれていても、含まれていなくても良いが、含まれない形態とすれば、電極単独部83におけるアンモニアガスの燃焼が抑制され、電極単独部83と中間層21bとの界面に到達するアンモニアガスが減少しにくい。言い換えると、アンモニアセンサ部21の検知精度が向上し、特に、10ppm付近の低濃度のアンモニアを高い精度で検出することが可能となる。
電極単独部83を、Zr(ジルコニウム),Y(イットリウム),Al(アルミニウム)およびSi(ケイ素)の群から選ばれる1種以上の金属の酸化物である第2の金属酸化物を含む多孔質電極として形成することで、電極単独部83にガス透過性を付与することができる。そのため、アンモニアガスが電極単独部83を透過することができ、電極単独部83と中間層21bとの界面まで容易に到達することができる。なお、電極単独部83は、電極単独部83全体を100重量%とした場合に、第2の金属酸化物を5重量%から30重量%までの割合で含有していることが好ましい。
なお、上述のように残存部87における金属成分(貴金属成分)に対するAuの含有割合は、電極単独部83のAuの含有割合よりも低い。
本実施形態のアンモニアセンサ部21では、接続部81において、電極として機能する部分(電極単独部83の厚み分)と、リードとして機能する部分(リード単独部85の厚み分)との間に残存部87を設けている。よって、Auの移動の起きる部位を残存部87に留めることができるから、電極として機能する部分からのAuの流出を抑制できる。その結果、接続部81での断線が抑制される。
1.試料の作製
第1実施形態の図4に示される構成と同様の電極を作製した。
Pt系電極用のペーストは、Pt、Au、エチルセルロース、ブチルカルビトール、ジルコニアを含有している。Pt系電極用のペーストの組成は、焼成後にPt/Au比が下記の値となるように調製した。
Pt/Au比=14/86(mass%)
Pd系電極用のペーストは、Pd、Au、エチルセルロース、ブチルカルビトール、ジルコニアを含有している。Pd系電極用のペーストの組成は、焼成後にPd/Au比が下記の値となるように調製した。
Pd/Au比=7/93(mass%)
リード用のペーストは、Pt、エチルセルロース、ブチルカルビトール、ジルコニアを含有している。リード用のペーストの組成は、焼成後にPtが下記の値となるように調製した。
リード:Pt100mass%
(1)Pt/Au比=70/30(mass%)
(2)Pt/Au比=43/57(mass%)
(3)Pt/Au比=30/70(mass%)
このようにして、電極が2種、継ぎ手部が3種の組み合わせの合計6種の試料を実施例として用意した。
また、比較のために、継ぎ手部を用いずに、電極とリードが直接接触した試料を比較例として用意した。比較例では、上述のPt系電極用のペーストを用いて電極を形成し、上述のリード用のペーストを用いてリードを形成した。アルミナ基板の上に、リード用のペーストをスクリーン印刷により配置した。そして、このリード用のペーストの端部に重ねるようにして、Pt系電極用のペーストをスクリーン印刷により配置し、所定温度(1100℃)で焼成した。
比較例において、電極のうちリードが直接接触している部分の色を観察した。この色を基準色とした。比較例では、電極のAuがリードへ移動したため、電極のうちリードが直接接触している部分では、ジルコニアの白色が目立つようになっており、基準色は白系の色であった。
実施例において、電極のうち継ぎ手部が接触している部分の色を観察した。この色を上記基準色と比較した。実施例において、電極のAuのリードへ移動が比較例よりも少なくなれば、ジルコニアの白色が目立たなくなり、基準色よりも暗い色が観察される。よって、基準色よりも暗い色が観察された場合を良好(○)とした。一方、実施例において、電極のAuのリードへ移動が比較例と同等又は比較例よりも多くなれば、ジルコニアの白色がより目立つようになり、基準色と同等、又は基準色よりも明るい色が観察される。よって、基準色と同等、又は基準色よりも明るい色が観察された場合を不良(×)とした。
<評価>
○:基準色よりも暗い色である。
×:基準色と同等、又は基準色よりも明るい色である。
結果を表1に示す。
継ぎ手部を用いた実施例では、いずれの場合も、継ぎ手部の存在により、金属元素の急激な濃度勾配が緩やかとなり、電極のAuが、リードに流れ込むことが抑制されたため、電極のジルコニアが目立ちにくくなっていた。そのため、基準色よりも暗い色が観察された。
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能である。
(2)上記実施形態では第1金属がAu、第2金属がPtである場合、第1金属がPt、第2金属がPdである場合を例として説明したが、第1金属及び第2金属はそれぞれ比重が異なる組み合わせであれば良く、上記実施例に限定されない。
電極、発熱部、リードに採用される金属種としては、例えば、電極としてはAu,Pt等が用いられ、発熱部としてはPt,Pd,W等が用いられ、リードとしてはPd,Pt等が用いられる。この場合において、第1金属がAu、第2金属がPdである組み合わせ、第1金属がRh、第2金属がPtである組み合わせが好適に例示される。
(3)上記実施形態では、図5に記載のような、有底筒状の酸素検出素子を加熱するセラミックヒータをヒータの例として説明したが、ヒータの形態としてはこれに限らず、例えば、第1実施形態にて開示されているヒータ19に対しても適用可能である。
(4)上記第2実施形態では、発熱部442とリード部443とが継ぎ手部450を介して間接的に接続されている構成を例示したが、第4実施形態のアンモニア電極21cとアンモニア電極リード21dとの接続構造(図11参照)のように、発熱部442とリード部443とが直接接続されている構成であってもよい。具体的には、リード部443の上に発熱部442が被さる構成であってもよい。この接続構造では、発熱部442とリード部443とが重ならない発熱部単独部(図示略)と、発熱部442とリード部443とが重なる接続部(図示略)と、発熱部442とリード部443とが重ならないリード単独部(図示略)と、が存在している。接続部は、発熱部442とリード部443とが、厚み方向で重なる領域である。接続部の断面を観察した際、接続部の表面側を発熱部単独部の厚み分だけ除外し、かつ接続部の裏面側をリード単独部の厚み分だけ除外して、残った部分である残存部(本発明のヒータ接合部、成分領域に相当)が存在している。
この残存部におけるAuの含有割合は、発熱部単独部におけるAuの含有割合と、リード単独部におけるAuの含有割合と、の間の大きさになっている。すなわち、この残存部に含まれる金属成分(貴金属成分)に対するAuの含有割合が、発熱部単独部における金属成分(貴金属成分)に対するAuの含有割合よりも低く、リード単独部における金属成分(貴金属成分)に対するAuの含有割合よりも多い構成とされている。
また、第3実施形態のアンモニア電極21cとアンモニア電極リード21dとの接続構造(図10参照)のように、発熱部442の上にリード部443が被さる構成であってもよい。この接続構造でも、接続部の表面側をリード単独部の厚み分だけ除外し、かつ接続部の裏面側を発熱部単独部の厚み分だけ除外して、残った部分である残存部(本発明のヒータ接合部、成分領域に相当)が存在する。
2 …マルチガスセンサ(ガスセンサ)
21 …アンモニアセンサ部(ガスセンサ素子)
21a …基準電極(第2電極)
21c …アンモニア電極(電極)
21d …アンモニア電極リード(リード)
23 …アンモニア用固体電解質体(固体電解質体)
70 …継ぎ手部(成分領域)
71 …接続部
73 …電極単独部
75 …リード単独部
77 …残存部(残った部分、接合部、成分領域)
81 …接続部
83 …電極単独部
85 …リード単独部
87 …残存部(残った部分、接合部、成分領域)
300 …セラミックヒータ(ヒータ)
402 …セラミック基体
442 …発熱部
443 …リード部(ヒータリード)
450 …ヒータ継ぎ手部(成分領域)
Claims (7)
- 第1金属を主成分とする電極と、
前記電極に接続され、第2金属を主成分とするリードと、を備え、
前記電極と前記リードとが、直接的に接続されているガスセンサ素子であって、
前記電極と前記リードとの接合部には、前記第1金属及び前記第2金属のうち比重が小さい方の金属について、前記接合部を除いた前記電極における含有割合と、前記接合部を除いた前記リードにおける含有割合と、の間の大きさの含有割合である成分領域が存在し、
前記電極の上に前記リードが被さることで、前記電極と前記リードとが直接的に接続されており、
前記電極と前記リードとが重ならない電極単独部と、前記電極と前記リードとが重なる接続部と、前記電極と前記リードとが重ならないリード単独部と、を有し、
前記接続部の厚みは、前記電極単独部と前記リード単独部との厚みを足した厚みに比べて、厚くされているとともに、
前記接続部の断面を観察した際に、
前記接続部の表面側を前記リード単独部の厚み分だけ除外し、かつ、
前記接続部の裏面側を前記電極単独部の厚み分だけ除外して、残った部分が前記接合部であるガスセンサ素子。 - 第1金属を主成分とする電極と、
前記電極に接続され、第2金属を主成分とするリードと、を備え、
前記電極と前記リードとが、直接的に接続されているガスセンサ素子であって、
前記電極と前記リードとの接合部には、前記第1金属及び前記第2金属のうち比重が小さい方の金属について、前記接合部を除いた前記電極における含有割合と、前記接合部を除いた前記リードにおける含有割合と、の間の大きさの含有割合である成分領域が存在し、
前記リードの上に前記電極が被さることで、前記電極と前記リードとが直接的に接続されており、
前記電極と前記リードとが重ならない電極単独部と、前記電極と前記リードとが重なる接続部と、前記電極と前記リードとが重ならないリード単独部と、を有し、
前記接続部の厚みは、前記電極単独部と前記リード単独部との厚みを足した厚みに比べて、厚くされているとともに、
前記接続部の断面を観察した際に、
前記接続部の表面側を前記電極単独部の厚み分だけ除外し、かつ、前記接続部の裏面側を前記リード単独部の厚み分だけ除外して、残った部分が前記接合部であるガスセンサ素子。 - 前記第1金属の比重が前記第2金属の比重より低いことを特徴とする請求項1又は2に記載のガスセンサ素子。
- 前記第1金属が金であり、かつ前記第2金属が白金であることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載のガスセンサ素子。
- 被測定ガスに含まれるアンモニアの濃度を測定することを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載のガスセンサ素子。
- 第1金属を主成分とする発熱部と、
前記発熱部に接続され、第2金属を主成分とするヒータリードと、を備え、
前記発熱部と前記ヒータリードとが、直接的に又はヒータ継ぎ手部を介して間接的に接続されているヒータであって、
前記発熱部と前記ヒータリードとが直接接続されている場合は、前記発熱部と前記ヒータリードとのヒータ接合部には、前記第1金属及び前記第2金属のうち比重が小さい方の金属について、前記ヒータ接合部を除いた前記発熱部における含有割合と、前記ヒータ接合部を除いた前記ヒータリードにおける含有割合と、の間の大きさの含有割合である成分領域が存在し、
前記発熱部と前記ヒータリードとが前記ヒータ継ぎ手部を介して間接的に接続されている場合は、前記ヒータ継ぎ手部には、前記第1金属及び前記第2金属のうち比重が小さい方の金属について、前記発熱部における含有割合と、前記ヒータリードにおける含有割合と、の間の大きさの含有割合である成分領域が存在することを特徴とするヒータ。 - 請求項1~5のいずれか1項に記載のガスセンサ素子又は請求項6に記載のヒータを備えたことを特徴とするガスセンサ。
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