JP2018179866A - 光学式エンコーダ - Google Patents
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Abstract
Description
このような光学式エンコーダでは、光源から照射された光は、回折格子を介して複数の回折光となる。複数の回折光は、回折格子と同じ周期の干渉縞を生成し、受光手段は、この干渉縞から信号を検出する。光学式エンコーダは、受光手段による検出結果(信号)からスケールとヘッドとの相対移動量を算出する。
複数の回折光は、光軸と同じ方向に進行する回折光を0次回折光とすると、0次回折光を基準として回折角度が大きくなる方向に向かって±1次回折光、±2次回折光と順序づけることができる。
受光手段は、信号回折光およびノイズ回折光が照射されると、ノイズ回折光により信号回折光が生成する干渉縞が歪み、受光手段が検出する信号にノイズが発生する。したがって、受光手段による信号から算出される相対移動量の精度は低下し、光学式エンコーダの信頼性が低下するという問題がある。
干渉式位置測定装置は、光源と受光器との間にメインスケールを配置して構成されている。また、干渉式位置測定装置は、光源とメインスケールの間に、回折格子ビームスプリッタと、光源から回折格子ビームスプリッタを透過した複数の回折光のうち±1次回折光のみをメインスケールに照射する光学ブロックと、を備える。
干渉式位置測定装置は、光学ブロックを備えることにより、0次回折光遮蔽器および一体型プリズムにてノイズ回折光を除去し、±1次回折光(信号回折光)のみをメインスケールに照射している。
本発明では、複数の回折光について、±1次回折光を信号回折光とし、±2次以上の次数を有する回折光をノイズ回折光とする。
また、回折効率とは、光学素子に入射する信号回折光およびノイズ回折光と、光学素子内を進行する信号回折光およびノイズ回折光の第1の分割光および第2の分割光と、の比である。
したがって、光学素子は、光学式エンコーダの大型化を抑え、受光手段にノイズ回折光が照射されることを抑制することができる。
したがって、光学素子は、受光手段にノイズ回折光が照射されることをさらに抑制することができる。
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、第1実施形態に係る光学式エンコーダを示す斜視図である。
光学式エンコーダ1は、図1に示すように、測定方向に沿って回折格子Sを有する長尺状のスケール2と、スケール2に沿って移動するとともにスケール2との相対移動量から位置情報を取得するためのヘッド3と、を備えるリニアエンコーダである。
なお、以下の説明および各図面において、スケール2の長手方向(測定方向)をX方向とし、短手方向をY方向とし、高さ方向をZ方向と記す場合がある。
光源4は、スケール2の一面に向かって垂直(−Z方向)に平行光を照射する。この際、光源4が照射する光の波長は、700nmである。光源4は、例えばLED(Light Emitting Diode)が用いられている。なお、光源4はLEDに限らず、任意の光源を用いてもよい。
受光手段6は、スケール2および光学素子5を透過した複数の回折光を受光し、複数の回折光によって生成された干渉縞から信号を検出する受光部7を備える。
PDAは、複数の干渉縞を1度に測定することができる性質を持つ検出器である。なお、受光部7はPDAに限らず、PSD(Position Sensitive Detector)やCCD(Charge-Coupled Device)等の任意の検出器を用いてもよい。
光学素子5は、図2に示すように、スケール2と対面する一面に形成される周期的構造部である複数の溝部8と、受光手段6と対面するとともに回折格子Sの配設方向(X方向)と平行な平滑面9と、を備える。
複数の溝部8は、断面方形波状に形成されている。具体的には、複数の溝部8は、幅160nm、深さ480nm、周期400nmに形成されている。
ここで、回折角度とは、光源4からの光の光軸Lを基準として、スケール2が有する回折格子Sによって回折された信号回折光10およびノイズ回折光20が光学素子5に向かって進行する際の角度である。
ここで、進行角度とは、光源4からの光の光軸Lを基準として、光学素子5が有する複数の溝部8によって分割された信号回折光10およびノイズ回折光20の第1の分割光11,21および第2の分割光12,22が光学素子5内を進行する際の角度である。
実線矢印は、破線矢印と比べて回折効率が高く、破線矢印は、実線矢印と比べて回折効率が低いことを示している。
平滑面9は、受光手段6と対面する一面に形成され、第2の分割光12,22を全反射させる。
信号回折光10の第1の分割光11の回折効率は94.0%であり、信号回折光10の第2の分割光12の回折効率は5.0%である。そして、信号回折光10の第2の分割光12は、光学素子5内を進行角度69.0度で進行する。
信号回折光10の第2の分割光12は、光学素子5内を進行角度69.0度で進行するため、平滑面9において全反射する。
ノイズ回折光20の第1の分割光21の回折効率は14.7%であり、ノイズ回折光20の第2の分割光22の回折効率は85.1%である。そして、ノイズ回折光20の第2の分割光22は、光学素子5内を進行角度44.4度で進行する。進行角度41.8度以上で光学素子5内を進行する回折光は、平滑面9において全反射するため、ノイズ回折光20の第2の分割光22は、平滑面9において全反射する。
したがって、光学式エンコーダ1は、複数の溝部8が形成された光学素子5を用いることによって、光学素子5を用いない場合と比較してS/N比をよくすることができる。
以下において、光学素子5を用いることによる信号回折光10およびノイズ回折光20の光路について説明する。
(1)光学素子5は、周期的構造部である複数の溝部8により分割される信号回折光10の第1の分割光11および第2の分割光12と、ノイズ回折光20の第1の分割光21および第2の分割光22と、について、信号回折光10の第1の分割光11よりもノイズ回折光20の第1の分割光21の回折効率を減少させることで、受光手段6に照射されるノイズ回折光20を抑制することができ、周期的構造部である複数の溝部8を用いない場合と比べてS/N比をよくすることができる。
したがって、光学素子5は、光学式エンコーダ1の大型化を抑え、受光手段6にノイズ回折光20が照射されることを抑制することができる。
したがって、光学素子5は、受光手段6にノイズ回折光20が照射されることをさらに抑制することができる。
以下、本発明の第2実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
前記第1実施形態の光学式エンコーダ1のヘッド3は、光学素子5を備えていた。本実施形態の光学式エンコーダ1Aのヘッド3Aは、図7に示すように、光学素子5Aを備えている点で前記第1実施形態のヘッド3と異なる。
また、前記第1実施形態の光学素子5は、断面方形波状に形成された周期的構造部である複数の溝部8を備えていた。本実施形態の光学素子5Aは、断面正弦波状に形成された周期的構造部である複数の溝部8Aを備えている点で、前記第1実施形態の光学素子5と異なる。
本実施形態の光学式エンコーダ1Aについて、厳密結合波理論により、信号回折光10Aの第1の分割光13(実線矢印)および第2の分割光14(破線矢印)と、ノイズ回折光20Aの第1の分割光23(破線矢印)および第2の分割光24(実線矢印)と、の回折効率を算出すると、以下のような結果が得られる。
信号回折光10Aの第1の分割光13の回折効率は96.3%であり、信号回折光10Aの第2の分割光14の回折効率は3.2%である。そして、信号回折光10Aの第2の分割光14は、光学素子5A内を進行角度69.0度で進行する。進行角度41.8度以上で光学素子5A内を進行する回折光は、平滑面9において全反射するため、信号回折光10の第2の分割光14は、平滑面9において全反射する。
ノイズ回折光20Aの第1の分割光23の回折効率は38.5%であり、ノイズ回折光20Aの第2の分割光24の回折効率は61.0%である。そして、ノイズ回折光20Aの第2の分割光24は、光学素子5A内を進行角度44.4度で進行する。進行角度41.8度以上で光学素子5A内を進行する回折光は、平滑面9において全反射するため、ノイズ回折光20Aの第2の分割光24Aは、平滑面9において全反射する。
したがって、光学式エンコーダ1Aは、複数の溝部8Aが形成された光学素子5Aを用いることによって、光学素子5Aを用いない場合と比較してS/N比をよくすることができる。
(5)周期的構造部である複数の溝部8Aは、断面正弦波状に形成されたことで、他の形状に形成された場合と比べて高い回折効率で光学素子5Aに照射される複数の回折光を回折できる。したがって、光学式エンコーダ1Aは、安定して信号回折光を得ることができる。
なお、本発明は、前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記各実施形態では、リニアエンコーダである光学式エンコーダ1,1Aに本発明を用いる場合を説明したが、ロータリーエンコーダであってもよく、光学式エンコーダであれば、検出器の形式や検出方式等は特に限定されるものではない。
前記各実施形態では、受光部7は、X方向に沿って幅2mmに設定されていたが、任意の幅を有していてもよい。また、光学素子5,5Aに対して、スケール2および受光手段6は、それぞれ1mm離間した位置に配置されていたが、任意の距離で離間させて配置してもよい。
2 スケール
4 光源
5,5A 光学素子
6 受光手段
8,8A 複数の溝部(周期的構造部)
9 平滑面
10,10A 信号回折光
11,13 第1の分割光
12,14 第2の分割光
20,20A ノイズ回折光
21,23 第1の分割光
22,24 第2の分割光
S 回折格子
Claims (4)
- 平行光を照射する光源と、前記光源から照射された光を複数の回折光に回折する回折格子を有するスケールと、前記回折格子にて回折することによって、前記光源から照射された光の光軸の両側を所定の回折角度で進行する信号回折光および前記光源から照射された光の光軸の両側を前記信号回折光よりも大きな回折角度で進行するノイズ回折光を受光する受光手段と、を備える光学式エンコーダであって、
前記スケールおよび前記受光手段の間に位置する光学素子を備え、
前記光学素子は、
前記スケールまたは前記受光手段と対面する一面に周期的に形成された周期的構造部を備え、
前記周期的構造部は、
前記信号回折光および前記ノイズ回折光を所定の進行角度で進行する第1の分割光と、
前記第1の分割光よりも大きな進行角度で進行する第2の分割光と、に分割するとともに、
前記信号回折光の第1の分割光よりも前記ノイズ回折光の第1の分割光の回折効率を減少させることを特徴とする光学式エンコーダ。 - 請求項1に記載された光学式エンコーダにおいて、
前記光学素子は、
前記スケールと対面する一面に形成される前記周期的構造部と、
前記受光手段と対面するとともに前記回折格子の配設方向と平行な平滑面と、を備え、
前記平滑面は、
前記第2の分割光を全反射させることを特徴とする光学式エンコーダ。 - 請求項1または請求項2に記載された光学式エンコーダにおいて、
前記周期的構造部は、
断面方形波状に形成された複数の溝部であることを特徴とする光学式エンコーダ。 - 請求項1または請求項2に記載された光学式エンコーダにおいて、
前記周期的構造部は、
断面正弦波状に形成された複数の溝部であることを特徴とする光学式エンコーダ。
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