JP6563813B2 - 光学要素 - Google Patents
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Description
Claims (25)
- 装置の相対的に移動可能な2つの部分間の移動を決定する符号化装置であって、
検出器と、
源からの電磁放射を回折させて回折次数にする少なくとも1つの連続した回折フィーチャを備える少なくとも1つの光学要素であって、前記2つの部分間の移動とともに変動する干渉縞の前記検出器の位置における生成に寄与するためのものである、少なくとも1つの光学要素と
を備える符号化装置において、
前記少なくとも1つの連続した回折フィーチャの回折フィーチャは、名目上の規則的な間隔からシフトされており、前記検出器において前記干渉縞内の高調波を低減するように、隣接する回折フィーチャの中心間の間隔は、隣接するフィーチャの対ごとに不規則に変動し、それぞれの前記フィーチャは、少なくとも1つのn次の回折次数を実質的に排除し、その一方で1次および少なくとも1つの選択されたm次の回折次数の存在を維持するように、選択された所定の量だけシフトされており、前記1次および選択されたm次の回折次数は、前記干渉縞の前記検出器の位置における生成に寄与することを特徴とする符号化装置。 - 前記符号化装置は、前記検出器と回折格子とを備える読取りヘッドを備え、前記符号化装置はスケールを備え、前記回折格子は、前記スケールからの電磁放射と相互作用して、前記検出器の位置において回折次数の再結合を達成するように構成されたことを特徴とする請求項1に記載の符号化装置。
- 前記読取りヘッドの回折格子は、前記少なくとも1つの光学要素を備えることを特徴とする請求項2に記載の符号化装置。
- 前記少なくとも1つの光学要素を備えるスケールを含むことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の符号化装置。
- 前記スケールは、連続した回折フィーチャの2つの連続間に基準マークを備えたことを特徴とする請求項4に記載の符号化装置。
- 前記回折フィーチャの少なくとも1つのセットの中の前記隣接する回折フィーチャの中心間の間隔の変動の範囲は、回折格子のフィーチャの平均周期の1/200以上であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の符号化装置。
- 前記回折フィーチャは、1次と5次の強度の比が少なくとも100:1となり、かつ/または1次と7次の強度の比が少なくとも150:1となるような態様で配置されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の符号化装置。
- 前記検出器によって出力される信号は、高調波を実質的に含まないことを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1つに記載の符号化装置。
- 前記回折フィーチャのセットは、前記光学要素の長さに沿って少なくとも1回繰り返されることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1つに記載の符号化装置。
- 前記回折フィーチャのセットは少なくとも5つの回折フィーチャを備えたことを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1つに記載の符号化装置。
- 前記隣接する回折フィーチャの中心間の間隔は、前記光学要素の全長に沿って、該隣接する回折フィーチャの対ごとに不規則に変動することを特徴とする請求項1ないし10のいずれか1つに記載の符号化装置。
- 回折次数を発生させる光学要素であって、源からの電磁放射を回折させて回折次数にする連続した回折フィーチャの少なくとも1つの連続を備える光学要素において、前記少なくとも1つの連続した回折フィーチャの中の前記回折フィーチャの位置は、名目上の規則的な間隔からシフトされており、それぞれのフィーチャが、少なくとも1つのn次の回折次数を実質的に排除しかつその一方で1次および少なくとも1つの選択されたm次の回折次数の存在を維持するために、選択された所定の量だけシフトされるように、隣接する回折フィーチャの中心間の間隔は変動し、前記1次および選択されたm次の回折次数は、干渉縞の検出器の位置における生成に寄与することを特徴とする光学要素。
- 前記連続した回折フィーチャの中の前記隣接する回折フィーチャの中心間の間隔の変動の範囲は、回折格子のフィーチャの平均周期の1/200以上であることを特徴とする請求項12に記載の光学要素。
- 符号化器読取りヘッドのための回折格子であることを特徴とする請求項12に記載の光学要素。
- 前記回折フィーチャは、前記光学要素によって発生した1次と5次の強度の比が少なくとも100:1となり、かつ/または前記光学要素によって発生した1次と7次の強度の比が少なくとも150:1となるような態様で配置されていることを特徴とする請求項12に記載の光学要素。
- 前記隣接する回折フィーチャの中心間の間隔は、前記光学要素の全長に沿って、該隣接する回折フィーチャの対ごとに不規則に変動することを特徴とする請求項12に記載の光学要素。
- 前記回折フィーチャの前記連続は少なくとも5つの回折フィーチャを備えたことを特徴とする請求項12に記載の光学要素。
- 前記m次は、3次であることを特徴とすることを特徴とする請求項12に記載の光学要素。
- 前記n次は、5次又は高調波であることを特徴とすることを特徴とする請求項12に記載の光学要素。
- 検出器と、源からの電磁放射を回折させて回折次数にしおよび前記検出器において干渉縞の生成に寄与する少なくとも1つの連続した回折フィーチャを備える回折格子とを備える符号化装置のための読取りヘッドにおいて、前記少なくとも1つの連続した回折フィーチャの中の回折フィーチャは、名目上の規則的な間隔からシフトされており、前記検出器において前記干渉縞内の高調波を低減するように、隣接する回折フィーチャの中心間の間隔は、隣接するフィーチャの対ごとに選択的に不規則に変動し、それぞれの前記フィーチャは、少なくとも1つのn次の回折次数を実質的に排除し、その一方で1次および少なくとも1つの選択されたm次の回折次数の存在を維持するように、選択された所定の量だけシフトされており、前記1次および選択されたm次の回折次数は、前記検出器の位置における干渉信号の生成に寄与することを特徴とする読取りヘッド。
- 前記隣接する回折フィーチャの中心間の間隔の変動の範囲は、前記回折格子のフィーチャの平均周期の1/200以上であることを特徴とする請求項20に記載の読取りヘッド。
- 前記回折フィーチャは、前記回折格子によって発生した1次と5次の強度の比が少なくとも100:1となり、かつ/または前記回折格子によって発生した1次と7次の強度の比が少なくとも150:1となるように配置されていることを特徴とする請求項20に記載の読取りヘッド。
- 前記隣接する回折フィーチャの中心間の間隔は、前記回折格子の全長に沿って、該隣接する回折フィーチャの対ごとに不規則に変動することを特徴とする請求項20に記載の読取りヘッド。
- 前記回折格子は、少なくとも5つの回折フィーチャからなるアレイを備えたことを特徴
とする請求項20に記載の読取りヘッド。 - 符号化装置のための回折格子を製造する方法であって、回折フィーチャの位置が名目上の規則的な間隔からシフトされるように回折フィーチャの選択の配置を決定するステップであって、少なくとも1つのn次の回折次数が実質的に排除され、その一方で1次および選択された少なくとも1つのm次の回折次数の存在は、前記1次および選択されたm次の回折次数が、符号化装置の検出器の位置における干渉信号の生成に寄与することができるようなレベルに維持されるように、隣接する回折フィーチャの中心間の間隔が変動する、該ステップと、
前記選択の配置に従って基板上に回折フィーチャを形成するステップと
を含むことを特徴とする方法。
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