JP2004037275A - 光学式エンコーダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】互いに光軸の異なる複数の平行光束La,Lbが、メインスケール3とインデックススケール14のほぼ同じ領域を通過するように光源部Sを構成する。二つの光束La,Lbの領域は、それぞれの領域に含まれる光学格子の位相がずれるように設定されており、これによって光束La,Lbをそれぞれ受光する受光面18,19からの変位信号が、互いに異なる位相を有する。異なる位相の変位信号を形成する光束La,Lbの光路がほぼ一致するので、光路上の構成の汚れなどによる光強度の変化が二つの光束に関し、ほぼ同時に現れる。これにより、汚れなどによる検出誤差を抑えることができる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、工作機械、産業機械等で利用される光学式エンコーダに関し、特に光学系の構成に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般的な光学式エンコーダの光学系斜視図を図5に示す。また、上面図を図6に示す。発光素子1から発せられた光はコリメータレンズ2で平行光束Lとなり、メインスケール3に入射して透過し、その後インデックススケールを透過して、受光素子の受光面に入射し光電変換される。
【0003】
メインスケール3上には、ピッチPの光学格子が、その格子線方向がメインスケールの長手方向に垂直になるように施されている。また、インデックススケール上にも、メインスケール上の格子トラックに対応して光学格子が設けられている。
【0004】
このような構成でメインスケールが長手方向に移動すると、メインスケールとインデックススケールとに設けられた光学格子の対向関係が変化することで、透過する光量が周期的に変化し、受光素子から得られる変位信号も周期的に変化する。変位信号の周期はメインスケール上の光学格子のピッチPとなる。
【0005】
通常、光学式エンコーダでは、メインスケールの移動によって現れる周期的な変位信号を電気的に内挿分割することによって高分解能化を図っている。そのために、互いに位相の異なる複数の変位信号を得るように光学系を構成するのが一般的である。一例として図5、図6では、互いに電気角で90゜位相の異なる2つの変位信号A、Bを得る例を示す。インデックススケール上には2つの光学格子部、A格子部とB格子部が形成されており、2つの格子部は互いに格子の位相がP/4だけずれて形成されている。そして、A格子部を透過した光はA受光面へ、そして、B格子部を透過した光はB受光面へ入射して光電変換されて変位信号となる。したがって、2つの変位信号もP/4だけ位相のずれた信号となる。
【0006】
前述した内挿分割方法の例としては、2つの変位信号A、Bをcosとsinと見立ててその比を取り、アークタンジェント計算によって変位信号の1周期内の位置を求める方法がある。変位信号の波形によっては他の計算方法もあるが、2つの変位信号の比を取ることによって、発光素子の発光量の経時変化等が発生して2つの変位信号が同じ割合で変化しても誤差にならない利点があるので、AとBとの比を用いるのが極めて一般的である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上述のような構成の光学式エンコーダでは、変位信号Aを発生するための光の経路と変位信号Bを発生するための光の経路とは異なっている。図5を用いて説明すると、発光素子から出た光のうち変位信号Aに寄与するのは図の左半分、変位信号Bに寄与するのは右半分である。それぞれの光は、コリメータレンズ上の異なった場所を通り、メインスケール上、インデックススケール上でも、異なった場所を通っている。
【0008】
したがって、粉塵や水分等なんらかの原因で、コリメータレンズやメインスケール、そしてインデックススケールの一部が汚れた場合、変位信号Aの信号だけが減衰し、変位信号Bは減衰しない場合、あるいは、その逆の場合が発生する。
【0009】
先に述べたように、一般的な内挿分割方法は2つの変位信号AとBの比を利用するため、双方が同じ割合で減衰すれば誤差には成りにくいが、一方だけが減衰するとバランスが崩れ、内挿誤差を発生する。
【0010】
本発明は上記課題を解決するために、2つの変位信号に寄与する光が同じ経路を通るような構成を簡単に実現することによって、万一、メインスケール等が汚れても誤差を発生しにくくし、耐環境性に優れた高精度な光学式エンコーダを提供することにある。さらには、複数の変位信号の位相差を簡単に調整可能な構成も提供する。
【0011】
【課題を解決するための手段】
前述の課題を解決するために、本発明に係る光学式エンコーダは、光束を発生する光源と、前記光束を透過する光学格子が形成された第1のスケールと、前記光束を透過または反射する光学格子が形成され、前記第1のスケールと相対移動する第2のスケールと、前記2種のスケールの光学格子を透過または反射した光束を受光し、光量に応じた信号を出力する受光手段と、を有している。そして、前記光源は、前記第1のスケールに対する入射角が異なる複数の光束を、当該各光束が前記第1のスケールおよび前記第2のスケールのほぼ同じ領域に照射するように形成し、また前記入射角は、前記2種のスケール上の光学格子の対向関係がそれぞれの光束について互いに異なるように決められている。前記受光手段は、前記複数の光束にそれぞれ対応した複数の受光部を有している。さらに、当該光学式エンコーダは、前記複数の受光部からの、前記2種のスケールの相対移動に応じて出力され、2種のスケール上の光学格子の対向関係の違いにより生じる互いに異なる位相を持つ複数の変位信号に基づき前記2種のスケールの相対変位を算出する演算部、を有している。
【0012】
スケールの、複数の光束が通過する領域がほぼ共通しているので、スケールが汚れた場合など光学系の光量変化の影響が、複数の光束においてほぼ同時に現れ、この結果汚れの影響を小さくすることができる。
【0013】
また、前記光源を、コリメータレンズと、前記コリメータレンズから焦点距離だけ離れ、互いに所定間隔離れて配置された複数の発光素子を有するものとすることができる。さらに、この複数の発光素子間の距離を調整可能とすることにより、受光部より出力される変位信号の位相差を調整可能とすることができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態(以下、実施形態と記す)を図面に従って説明する。図1は、本実施形態の光学式エンコーダの概略構成を示す図である。なお、従来例と同じ構成は、同一の符号を付し、その説明を省略する。本実施形態では、光源部Sが、二つの発光素子1a,1bとコリメータレンズ2を含む。2つの発光素子1a,1bから出た光はコリメータレンズでそれぞれが平行光束La,Lbとなる。2つの発光素子はコリメータレンズの焦点距離fl上に2dの距離を隔てて配置されているので、コリメータレンズを透過した2つの光束は、それらの光の進行方向つまり光軸が互いに角度2θ傾いている。
【0015】
2つの平行光束は、メインスケール3とインデックススケール14のほぼ同じ領域を透過する。なお、従来例ではインデックススケール上に互いに位相の異なる2種の光学格子が設けられていたが本実施形態では1種の光学格子部15があるだけである。2つの平行光束La,Lbは互いに傾いているため、2つの平行光束にとっては、メインスケールとインデックススケールに設けられた光学格子の対向関係が異なっているのと同等の効果が得られる。例えば、一方の光束に着目したときメインスケール上の光学格子の透過部とインデックススケール上の光学格子の透過部が対向しているとき、他方の光束にとっては、必ずしも2つの光学格子の透過部どうしは対向していない。インデックススケールを透過した2つの光束は集光レンズ10を通って、別々の位置に集光される。この位置に受光素子17の受光面18,19を配置すると、それぞれの光量を光電変換することができる。
【0016】
上述のような配置にすれば、結果的に、メインスケールの移動に伴って、互いに位相の異なった2つの変位信号を得ることができる。以下に各構成要素の配置と得られる2つの変位信号の位相差について説明する。
【0017】
2つの発光素子間の距離を2d、コリメータレンズの焦点距離をflとするとコリメータレンズから出る平行光束La,Lbのそれぞれの、コリメータレンズの光軸との角度θは、tanθ=d/flで表される。一方、例えば、2つの変位信号の位相差を90゜にしたいときは、2つの光束に対する光学格子の位相が互いにP/4(Pは光学格子のピッチ)となればよいのでメインスケール15とインデックススケール14の光学格子の間隔をgとすれば、tanθ=(P/8)/gの関係になるようにgとθを決定すればよい。したがって、光学系の配置は、d/fl=(P/8)/gとなる。
【0018】
上記のような構成によれば、2つの変位信号に寄与する光束の光路がほぼ同じ部分を通過する。つまり、コリメータレンズの同じ場所を通り、メインスケールやインデックススケールのほぼ同じ領域を通り、さらに集光レンズも同じ部分を通過する。したがって、万が一、その一部が粉塵や水分等で汚れた場合、2つの変位信号が全く同じ割合で減衰する。従来の技術で記載したように、内挿分割は、2つの変位信号の比をもとに計算されるので、同じ割合での信号の増減は誤差にならない。結果的に、耐環境性に優れた高精度の光学式エンコーダを提供することが可能となる。
【0019】
図2は、本発明の他の実施形態の光学式エンコーダの概略構成を示す図である。本実施形態では、光源として平行光束を発生する発光素子21a,21bが使用されている。これらは、発光素子自体にコリメータレンズ相当の部分が一体となって形成されているものである。したがって、図1に示した実施形態で記載したような角度に2つの平行光束La,Lbが位置するように2つの発光素子を配置することにより、図1の実施形態と同等の光源部Tを構成することが可能である。また、受光素子についても、受光面の大きさを確保すれば集光レンズを使用せずに光束を受光することが可能である。
【0020】
図3に、さらに他の実施形態の光学式エンコーダの要部構成を示す。本実施形態は、前述の各実施形態の光源部のみの変更であるのでその部分だけを図示する。図3ではひとつの発光素子で2つの平行光束を作り出す例を表している。発光素子31から出た光は2つのミラー22よって反射してそれぞれがコリメータレンズ32で平行光束となる。このように構成すると、2つの発光素子を使う場合に比べて発光素子自体の発光量変化が発生しても2つの光束に同じ割合で影響するため、内挿分割の誤差が発生しない。
【0021】
図4に、さらに他の実施形態の光学式エンコーダの要部構成を示す。本実施形態においても、光源部のみの変更であるのでその部分だけを図示する。本実施例では主にレーザ光等コヒーレンスの高い光源に用いると効果的である。図4ではひとつの発光素子41で2つの平行光束を作り出す例を表している。発光素子から出た光はコリメータレンズ42で平行光束となる。平行光束は、回折格子43を透過すると、このとき回折現象により、直進する0次回折光と、高次回折光に分かれる。図4では、これらの光束のうち、0次回折光と±1次回折光のみを図示している。回折角度、つまり回折光の進行方向は、発光素子41の波長と回折格子43の格子周期によって決定される。また、各回折光の強度は、回折格子43の性質によって決定される。回折格子43としては、透過型振幅格子でもよいし、透過型位相格子でも適用可能である。また、反射型回折格子を使った光学系も利用できる。
【0022】
また、別の実施形態として、例えば図1の構成で、2つの発光素子の間隔2dを調整可能なように調整手段を設けることによって、得られる複数の変位信号の位相差を任意に調整することができる。
【0023】
以上、リニアエンコーダの例で説明したが、ロータリエンコーダでも同じ方法で適用可能である。また、主に2本の平行光束で2つの変位信号を得る例を説明したが、3つ、あるいは、4つの光束を使うことでさらに多くの変位信号を得ることも可能である。また、変位信号の位相差についても90゜位相差に限らず、120゜位相差等、別の位相差の変位信号を得ることも可能である。メインスケールの前後、あるいはインデックススケールの前後に光束の幅を制限するスリット等を設け、複数の光束が同じ光路を通るようにすることも可能である。
【0024】
【発明の効果】
以上のように、本発明の提案する簡単な光学系の変更で、互いに位相差の異なる複数の変位信号をほぼ同じ光路から得られるので、粉塵や水分などの汚れによっても内挿分割の誤差が発生しない、耐環境性の優れた高精度な光学式エンコーダを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態の光学式エンコーダの概略構成図である。
【図2】本発明の他の実施形態による光学式エンコーダの概略構成図である。
【図3】本発明のさらに他の実施形態の要部構成図である。
【図4】本発明のさらに他の実施形態の要部構成図である。
【図5】従来の光学式エンコーダの斜視図である。
【図6】従来の光学式エンコーダの構成図である。
【符号の説明】
1,1a,1b,21a,21b 発光素子、2 コリメータレンズ、3 メインスケール、4,14 インデックススケール、5 A格子部、6 B格子部、15 格子部、7,17,27 受光素子、8,18,28 A受光面、9,19,29 B受光面、10 集光レンズ、22 ミラー、23 回折格子。
Claims (3)
- 光束を発生する光源と、
前記光束を透過する光学格子が形成された第1のスケールと、
前記光束を透過または反射する光学格子が形成され、前記第1のスケールと相対移動する第2のスケールと、
前記2種のスケールの光学格子を透過または反射した光束を受光し、光量に応じた信号を出力する受光手段と、
を有し、
前記光源は、前記第1のスケールに対する入射角が異なる複数の光束を、当該各光束が前記第1のスケールおよび前記第2のスケールのほぼ同じ領域に照射するように形成し、
前記入射角は、前記2種のスケール上の光学格子の対向関係がそれぞれの光束について互いに異なるように決められており、
前記受光手段は、前記複数の光束にそれぞれ対応した複数の受光部を有し、
さらに、前記複数の受光部からの、前記2種のスケールの相対移動に応じて出力され、2種のスケール上の光学格子の対向関係の違いにより生じる互いに異なる位相を持つ複数の変位信号に基づき前記2種のスケールの相対変位を算出する演算部、を有する、
光学式エンコーダ。 - 請求項1に記載の光学式エンコーダであって、前記光源は、コリメータレンズと、前記コリメータレンズから焦点距離だけ離れ、互いに所定間隔離れて配置された複数の発光素子と、を有する光学式エンコーダ。
- 請求項2に記載の光学式エンコーダであって、前記複数の発光素子間の距離を調整する手段を有し、この調整により前記複数の変位信号の位相差を調整可能とする、光学式エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002195292A JP2004037275A (ja) | 2002-07-03 | 2002-07-03 | 光学式エンコーダ |
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JP2002195292A JP2004037275A (ja) | 2002-07-03 | 2002-07-03 | 光学式エンコーダ |
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JP2004037275A true JP2004037275A (ja) | 2004-02-05 |
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Family Applications (1)
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JP2002195292A Pending JP2004037275A (ja) | 2002-07-03 | 2002-07-03 | 光学式エンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2004037275A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102620658A (zh) * | 2012-03-30 | 2012-08-01 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 移位测量装置 |
WO2013026266A1 (zh) * | 2011-08-23 | 2013-02-28 | 广州市诺信数字测控设备有限公司 | 双光源光栅尺 |
JP2016161425A (ja) * | 2015-03-03 | 2016-09-05 | キヤノン株式会社 | 位置検出装置およびこれを用いた装置 |
JP2017044700A (ja) * | 2015-08-26 | 2017-03-02 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングDr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung | 光学式位置測定装置 |
-
2002
- 2002-07-03 JP JP2002195292A patent/JP2004037275A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN102620658A (zh) * | 2012-03-30 | 2012-08-01 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 移位测量装置 |
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