JP2018164188A - 温度補償装置、温度補償型発振器、および温度補償方法 - Google Patents

Abstract

【課題】発振器は高次の周波数温度特性の成分をもち、その成分は素子固有にばらつくので、高精度に温度特性を補償することは困難であった。【解決手段】制御電圧に応じた周波数で発振する発振器の温度補償を行う温度補償装置であって、温度に応じた第１補償電圧を発生するための第１温度補償回路と、予め設定された設定温度において最大または最小となり、設定温度を含む温度範囲より外の温度での電圧変動が誤差範囲内となる第２補償電圧を発生するための第２温度補償回路と、第１補償電圧および第２補償電圧に基づく制御電圧を発振器に供給する制御電圧供給回路とを備える温度補償装置。【選択図】図１

Description

本発明は、温度補償装置、温度補償型発振器、および温度補償方法に関する。

従来、携帯端末の通信トラフィック量の増大に伴うマクロセル基地局の負担を軽減させるため、スモールセル基地局は今後大量に設置されることが見込まれる。フェムトセルなどのスモールセル基地局で使われる基準クロックは、±１００ｐｐｂ以下という高精度な周波数安定度が要求される。水晶自身のヒステリシス特性は、求められる±１００ｐｐｂに対して無視できないほど大きいため、高精度クロックが必要な場合はＯＣＸＯ（環境温度に応じてヒーターに電流を流して発熱させ、水晶振動子を一定の高温に保つことで周波数変動を抑える構成の水晶発振器）を用いるのが一般的であった。しかし、ヒステリシスの小さい水晶振動子が出てきたことにより、ＴＣＸＯ（温度補償型水晶発振器）によって、周波数安定度が±１００ｐｐｂという高精度な要求を満たそうとする試みがある（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１ 特開平１１−６８４６１号公報

発振器は高次の周波数温度特性の成分をもち、その成分は素子固有にばらつくので、高精度に温度特性を補償することは困難であった。

本発明の第１の態様においては、制御電圧に応じた周波数で発振する発振器の温度補償を行う温度補償装置であって、温度に応じた第１補償電圧を発生するための第１温度補償回路と、予め設定された設定温度において最大または最小となり、設定温度を含む温度範囲より外の温度での電圧変動が誤差範囲内となる第２補償電圧を発生するための第２温度補償回路と、第１補償電圧および第２補償電圧に基づく制御電圧を発振器に供給する制御電圧供給回路とを備える温度補償装置が提供される。

本発明の第２の態様においては、第１の態様の温度補償装置と、温度補償装置が出力する制御電圧に応じた周波数で発振する発振器とを備える温度補償型発振器が提供される。

本発明の第３の態様においては、制御電圧に応じた周波数で発振する発振器の温度補償を行う温度補償方法であって、複数の互いに独立に設定可能な第１温度補償回路から第１補償電圧を発生し、予め設定された選定周波数に一致するように第１温度補償回路の第１補償電圧による補正量を調整した後に、温度補償範囲内における複数の温度で発振器の発振周波数を測定し、発振周波数の測定結果から、予め設定された選定周波数からの周波数エラーの温特を測定し、予め設定された設定温度において最大または最小となり、設定温度を含む温度範囲より外の温度での電圧変動が誤差範囲内となる第２補償電圧を発生し、第２温度補償回路の第２補償電圧による発振器の周波数変動量をそれぞれ個別に複数の温度で測定し、第２温度補償回路の第２補償電圧による発振器の周波数変動量を温度Ｔの関数として近似し、予め設定された選定周波数に一致するように、周波数エラーに対する第２温度補償回路による補正量と設定温度を調整する温度補償方法が提供される。

上記の発明の概要は、本発明の特徴の全てを列挙したものではない。これらの特徴群のサブコンビネーションも発明となりうる。

本実施形態に係る温度補償型発振器の構成例を示す。 第２温度補償回路の構成例を示す。 第２温度センサの出力と、第１増幅器の出力と、第２増幅器の出力との関係を示す。 第２補償電圧に対応する電流値の一例を示す。 第３温度補償回路と第４温度補償回路の構成例を示す。 第２温度センサの出力と、第３増幅器の出力と、第４増幅器の出力との関係を示す。 第３補償電圧に対応する電流値の一例を示す。 温度補償型発振器の補償動作のフロー図である。 温度センサの出力電圧と温度の関係を示す。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本実施形態に係る温度補償型発振器１００の構成例を示す。温度補償型発振器１００は、予め定められた補償温度範囲内（例えば−４０〜８５℃）で、発振器１４０の温度変化による周波数変動を抑制する。温度補償型発振器１００は、参照電圧生成部１１０と、第１温度センサ１２０と、第２温度センサ１３０と、発振器１４０と、温度補償装置１５０とを備える。

参照電圧生成部１１０は、温度補償装置１５０に接続され、温度補償装置１５０に参照電圧（例えば２．２Ｖ）を供給する。

第１温度センサ１２０は、発振器１４０の温度を検出して、検出温度に応じたセンス電圧を出力する。第１温度センサ１２０は、温度補償装置１５０の第１温度補償回路１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，および１６６に接続され、第１温度補償回路１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，および１６６に、センス電圧を出力する。第１温度センサ１２０は、外部入力の温度センサを用いてもよい。

第２温度センサ１３０は、発振器１４０の温度を検出して、検出温度に応じたセンス電圧を出力する。第２温度センサ１３０は、温度補償装置１５０の第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，および１７５、第３温度補償回路１８０、および第４温度補償回路１８５に接続され、第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，１７５、第３温度補償回路１８０、および第４温度補償回路１８５に、センス電圧を出力する。第２温度センサ１３０は、外部入力の温度センサを用いてもよい。なお、温度補償型発振器１００は第２温度センサ１３０を備えなくてもよく、この場合第１温度センサ１２０は、すべての温度補償回路に接続されて、すべての温度補償回路にセンス電圧を出力してよい。

発振器１４０は、電界の印加によって変形が生じる圧電効果によって、発振動作する素子である。発振器１４０は、温度補償装置１５０に接続され、温度補償装置１５０が出力する制御電圧に応じた周波数で発振する。発振器１４０は、例えば２つの電極の間に水晶が設けられた水晶発振器である。なお、発振器１４０の発振周波数は、当該発振器１４０の温度に応じて変動する。また、発振器１４０の発振周波数は、発振器毎に、バラツキを有する。温度補償型発振器１００は、このような発振器１４０の発振周波数を調整する。

温度補償装置１５０は、１又は複数の第１温度補償回路１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，１６６と、１又は複数の第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，１７５と、１又は複数の第３温度補償回路１８０と、１又は複数の第４温度補償回路１８５と、制御電圧供給回路１９０とを有する。温度補償装置１５０は、参照電圧生成部１１０、第１温度センサ１２０、および第２温度センサ１３０の出力から、第１温度補償回路１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，１６６、第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，１７５、第３温度補償回路１８０、および第４温度補償回路１８５のうちの少なくとも１つにより補償電圧を生成し、当該補償電圧に基づいて発振器１４０に制御電圧を出力する。

第１温度補償回路１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，および１６６は、参照電圧生成部１１０と第１温度センサ１２０と制御電圧供給回路１９０とに接続される。第１温度補償回路１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，および１６６は、第１温度センサ１２０が検出した温度に応じた第１補償電圧を発生し、制御電圧供給回路１９０に出力する。一例として第１温度補償回路１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，および１６６は、温度変化に対して２次以上の次数の関数をとる第１補償電圧を生成してよい。第１温度補償回路は、複数設けられてよく、この場合、複数の第１温度補償回路１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，および１６６は、互いに独立に設定可能であり、温度変化に対して互いに異なる次数の関数をとる複数の第１補償電圧を生成してもよい。

第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，および１７５は、参照電圧生成部１１０と第２温度センサ１３０と制御電圧供給回路１９０とに接続される。第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，および１７５は、予め設定された設定温度において最大または最小となり、設定温度を含む温度範囲より外の温度での電圧変動が誤差範囲内となる第２補償電圧を発生し、制御電圧供給回路１９０に出力する。例えば、第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，および１７５は、温度変化に対し、設定温度で最大ピークまたは最小ピークとなる連続な凸関数をとる第２補償電圧を生成する。第２補償電圧は、設定温度を含む温度範囲より外の温度で、ある電圧（例えば０Ｖまたは０Ｖ以外の電圧）に収束してよい。

第２温度補償回路は、複数設けられてよく、この場合、複数の第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，および１７５は、例えば補償温度範囲内の複数の部分温度範囲をそれぞれ補償するために、互いに独立に設定温度を設定可能で、互いに独立に補正量を設定可能である。

第３温度補償回路１８０は、参照電圧生成部１１０と第２温度センサ１３０と制御電圧供給回路１９０とに接続される。第３温度補償回路１８０は、補償温度範囲の低温端の第２補償電圧を発生する。以下、当該低温端の第２補償電圧を第３補償電圧とも呼ぶ。第３温度補償回路１８０は、温度が予め定められた温度以上において電圧変動が誤差範囲内となり、温度が予め定められた温度よりも低くなるにつれて単調増加または単調減少する第３補償電圧を発生し、制御電圧供給回路１９０に出力する。第３補償電圧は、低温端を含む温度範囲より外の温度で、ある電圧（例えば０Ｖまたは０Ｖ以外の電圧）に収束してよい。

第４温度補償回路１８５は、参照電圧生成部１１０と第２温度センサ１３０と制御電圧供給回路１９０とに接続される。第４温度補償回路１８５は、補償温度範囲の高温端の第２補償電圧を発生する。以下、当該高温端の第２補償電圧を第４補償電圧とも呼ぶ。第４温度補償回路１８５は、温度が予め定められた温度以下において電圧変動が誤差範囲内となり、温度が予め定められた温度よりも高くなるにつれて単調増加または単調減少する第４補償電圧を発生し、制御電圧供給回路１９０に出力する。第４補償電圧は、高温端を含む温度範囲より外の温度で、ある電圧（例えば０Ｖまたは０Ｖ以外の電圧）に収束してよい。

なお、第３補償電圧および第４補償電圧は、第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，および１７５によっても生成することができる。この場合、温度補償装置１５０は、第３温度補償回路１８０および第４温度補償回路１８５を含まなくてよい。

制御電圧供給回路１９０は、第１温度補償回路１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，１６６、第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，１７５、第３温度補償回路１８０、および第４温度補償回路１８５の出力に接続される。制御電圧供給回路１９０は、第１補償電圧、第２補償電圧、第３補償電圧、および第４補償電圧のうちの少なくとも１つに基づく制御電圧を発振器１４０に供給する。

以上に示したように、本実施形態に係る温度補償型発振器１００では、第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，１７５、第３温度補償回路１８０、および第４温度補償回路１８５が、各々設定された温度範囲内で変化する補償電圧を発生し、温度範囲外ではほぼ一定の補償電圧を発生する。これにより、本実施形態に係る温度補償型発振器１００によれば、第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，１７５、第３温度補償回路１８０、および第４温度補償回路１８５の各々に対して設定された温度範囲内か否かを判別して各々の補償電圧を利用するか否かを切り替える必要がなく、温度範囲の境目で周波数のチャタリングが発生する可能性をなくすことができる。

図２は、第２温度補償回路１７１の構成例を示す。他の第２温度補償回路１７２，１７３，１７４，および１７５は、第２温度補償回路１７１と同様の構成および動作を有してよい。第２温度補償回路１７１は、第１設定温度電圧生成部２００と、第１抵抗２０５と、第２抵抗２１０と、第１増幅器２１５と、第３抵抗２２０と、第４抵抗２２５と、第２増幅器２３０と、第１定電流源２３５と、第１スイッチ２４０と、第１電流源２４５と、第２電流源２５０と、第３電流源２５５とを有する。

第１設定温度電圧生成部２００は、第１基準電圧を出力する。第１設定温度電圧生成部２００は、例えば工場出荷時またはユーザ入力に応じて第１基準電圧の電圧値を設定可能であり、これによって、第２補償電圧のピークの電圧が生じる設定温度を設定可能である。第１基準電圧は定電圧であってよい。

第１抵抗２０５は、第２温度センサ１３０の出力に接続される。第２抵抗２１０は、第１抵抗２０５に接続される。第１増幅器２１５は、出力端子が第２電流源２５０に接続され、プラスの入力端子が第１設定温度電圧生成部２００に接続され、マイナスの入力端子が第１抵抗２０５に接続され、マイナスの入力端子と出力端子との間に第２抵抗２１０が接続される。第１増幅器２１５は、第２温度センサ１３０からのセンス電圧を第１基準電圧に対して反転して、センス電圧のゲイン倍した反転センス電圧を、第２電流源２５０に出力する。第１抵抗２０５と、第２抵抗２１０と、第１増幅器２１５とは、反転増幅回路を構成する。

第３抵抗２２０は、第１増幅器２１５の出力端子に接続される。第４抵抗２２５は、第３抵抗２２０に接続される。第２増幅器２３０は、出力端子が第１電流源２４５に接続され、プラスの入力端子が第１設定温度電圧生成部２００に接続され、マイナスの入力端子が第３抵抗２２０に接続され、マイナスの入力端子と出力端子との間に第４抵抗２２５が接続される。第２増幅器２３０は、第１増幅器２１５の出力電圧を第１基準電圧に対して反転することにより、第２温度センサ１３０の出力電圧をゲイン倍したセンス電圧を第１電流源２４５に出力する。第３抵抗２２０と、第４抵抗２２５と、第２増幅器２３０とは、反転増幅回路を構成する。

ここで、図３は、第２温度センサ１３０の出力と、第１増幅器２１５の出力と、第２増幅器２３０の出力との関係を示す。第２温度センサ１３０のセンス電圧は、一例として温度に対して負の傾きを有する。第１増幅器２１５の出力は、センス電圧を反転増幅したものであるため温度に対して正の傾きを有する。第２増幅器２３０の出力は、第１増幅器２１５からの反転センス電圧をさらに−１倍で反転したものであるため、温度に対して負の傾きを有する。

第１定電流源２３５は、基準電位に接続され、定電流を出力する。図２では、第１定電流源２３５は、基準電圧ＶＳＳに接続されているが、ＶＲＥＦ、ＶＤＤに接続される構成でも良い。第１定電流源２３５は、並列に接続された複数のトランジスタを有し、制御信号によるトランジスタのスイッチングによって、流れる電流量を設定可能である。第２温度補償回路１７１における温度補償のための補正量は、例えば工場出荷時またはユーザ入力に応じて、第１定電流源２３５の電流値を設定することにより調整可能である。例えば、第１定電流源２３５を流れる電流値をより大きく設定することで、ピークの電圧がより大きくなり、補正量をより大きくすることができる。

第１スイッチ２４０は、第２温度補償回路１７１の出力端子Ｉｏｕｔｐｕｔ＿ＰおよびＩｏｕｔｐｕｔ＿Ｎに接続され、制御信号に応じてスイッチングを行い、第３電流源２５５からの電流を出力端子Ｉｏｕｔｐｕｔ＿ＰおよびＩｏｕｔｐｕｔ＿Ｎのいずれかに流す。第１スイッチ２４０の制御により、第２温度補償回路１７１の出力が、上に凸の関数、下に凸の関数のいずれかを生成されてもよい。

第１電流源２４５は、コレクタ端子とエミッタ端子間が第１定電流源２３５と参照電圧生成部１１０とに直列に接続され、ベース端子が第２増幅器２３０の出力に接続される。第１電流源２４５は、第２温度センサ１３０からのセンス電圧に応じた出力が第２増幅器２３０からベース端子に入力され、当該出力に応じた電流を流す。

第２電流源２５０は、コレクタ端子とエミッタ端子間が第１定電流源２３５と参照電圧生成部１１０とに直列に接続されて、第１電流源２４５と並列に接続され、ベース端子が第１増幅器２１５の出力に接続される。第２電流源２５０は、第１増幅器２１５からの反転センス電圧に応じた出力がベース端子に入力され、当該出力に応じた電流を流す。

第３電流源２５５は、コレクタ端子とエミッタ端子間が第１定電流源２３５と第１スイッチ２４０とに直列に接続されて、第１電流源２４５および第２電流源２５０と並列に接続され、ベース端子が第１設定温度電圧生成部２００に接続される。第３電流源２５５は、第１設定温度電圧生成部２００からベース端子に供給される第１基準電圧に応じた電流を流し、第２補償電圧は、第３電流源２５５に流れる電流に応じて第２温度補償回路１７１の出力端子Ｉｏｕｔｐｕｔ＿ＰとＩｏｕｔｐｕｔ＿Ｎに発生される。

図４は、第２補償電圧に対応する電流値の一例を示す。図４の第２補償電圧に対応する電流は、設定温度が１５℃の場合であり、１５℃において電流がピークとなっている。第２温度補償回路１７１は、温度に依らないバイアス電流で第１定電流源２３５により一定電流を流し、第１増幅器２１５の出力電圧と、第２増幅器２３０の出力電圧と、第１設定温度電圧生成部２００の第１基準電圧との３つの電圧が、それぞれ、第１電流源２４５、第２電流源２５０、および第３電流源２５５からなる差動対に入力される。

第２温度補償回路１７１の出力電流は、第１設定温度電圧生成部２００の第１基準電圧が入力された差動対の電流出力であり、設定温度でピーク波形として出力される。ピークとなる設定温度の温度領域以外の電流は、他の差動対（第１電流源２４５および第２電流源２５０）から電流を流すことにより図４の波形を実現している。第２補償電圧の凸関数は、電流同士の引き算ではなく、共通の第１定電流源２３５を元に生成されるシンプルな構成で実現しているため、素子ばらつきの影響を受けにくい構成である。また、ピーク波形の形状は、第１増幅器２１５の出力、及び第２増幅器２３０の出力の温度に対する傾きを変えることにより実現され、第２温度補償回路１７１は、傾きを調整する制御信号、調整レジスタを持っても良い。第２補償電圧の凸関数は、例えばガウス分布やポアソン分布などの累乗項を持った凸状の関数であってよい。

図４において、−５℃以下の場合は、第１電流源２４５が第１定電流源２３５に電流をほぼすべて供給し、３５℃以上の場合は、第２電流源２５０が第１定電流源２３５に電流をほぼすべて供給している。これらの場合、第３電流源２５５を流れる電流は非常に小さく、第２温度補償回路１７１の出力電流は非常に小さい。−５℃から３５℃の間では、第１設定温度電圧生成部２００の第１基準電圧が入力された第３電流源２５５も、第１定電流源２３５に電流を供給する。第２温度補償回路１７１の出力電流は、第１電流源２４５および第２電流源２５０のベース端子に入力される電圧が、第１設定温度電圧生成部２００の第１基準電圧と同一になる温度でピークとなる。

図４のような凸状の累乗関数を温度補償に用いることで、補償対象となる温度領域外の成分を指数関数的に急激にゼロまたは一定値に近づけることができ、温度領域を実質的に区切ることが容易である。ここで、第１補償電圧のＮ次関数は、関数の中心（変曲点）から離れるほど数値がＮ乗で大きくなる。このため特定の温度領域を補償対象とすると、たとえ第１補償電圧の１〜Ｎ次成分をなるべくバランス良く重みづけて加算し合成しても、対象の温度領域外での成分を完全にゼロとなるように相殺することは難しい。よって、第１補償電圧による温度補償で残ったエラー部分を、現実的な計算回数で第２補償電圧により補正することができる。

次に、第３温度補償回路１８０と第４温度補償回路１８５について説明する。図５は、第３温度補償回路１８０と第４温度補償回路１８５の構成例を示す。第３温度補償回路１８０と第４温度補償回路１８５は、補償温度範囲の温度端における補償電圧を生成するものであるため、凸関数の片側のみの出力を行う。

第３温度補償回路１８０は、第２設定温度電圧生成部５００と、第５抵抗５０５と、第６抵抗５１０と、第３増幅器５１５と、第２定電流源５２０と、第２スイッチ５２５と、第４電流源５３０と、第５電流源５３５とを有する。

第２設定温度電圧生成部５００は、第２基準電圧（例えばＶＬ＝１．７Ｖ以下）を出力する。第２設定温度電圧生成部５００は、例えば工場出荷時またはユーザ入力に応じて第２基準電圧の電圧値を設定可能であり、これによって、第３補償電圧のピークの電圧が生じる設定温度を調整可能である。

第５抵抗５０５は、第２温度センサ１３０の出力に接続される。第６抵抗５１０は、第５抵抗５０５に接続される。第３増幅器５１５は、出力端子が第４電流源５３０のゲート端子に接続され、プラスの入力端子が第２設定温度電圧生成部５００に接続され、マイナスの入力端子が第５抵抗５０５に接続され、マイナスの入力端子と出力端子との間に第６抵抗５１０が接続される。第３増幅器５１５は、第２温度センサ１３０からのセンス電圧を第２基準電圧に対して反転して、センス電圧のゲイン倍した反転センス電圧を生成する。第３増幅器５１５は、センス電圧に応じた当該ゲイン倍した反転センス電圧を出力し、第４電流源５３０に電流を流す。第５抵抗５０５と、第６抵抗５１０と、第３増幅器５１５とは、反転増幅回路を構成する。

第２定電流源５２０は、基準電位に接続され、定電流を出力する。第２定電流源５２０は、図５では、基準電圧ＶＳＳに接続されているが、ＶＲＥＦ、ＶＤＤに接続される構成でも良い。第２定電流源５２０は、並列に接続された複数のトランジスタを有し、制御信号によるトランジスタのスイッチングによって、流れる電流量を設定可能である。第３温度補償回路１８０における温度補償のための補正量は、例えば工場出荷時またはユーザ入力に応じて、第２定電流源５２０の電流値を設定することにより調整可能である。例えば、第２定電流源５２０を流れる電流値をより大きく設定することで、ピークの電圧がより大きくなり、補正量をより大きくすることができる。

第２スイッチ５２５は、第３温度補償回路１８０の出力端子Ｉｏｕｔｐｕｔ＿ＰおよびＩｏｕｔｐｕｔ＿Ｎに接続され、制御信号に応じてスイッチングを行い、第５電流源５３５からの電流を出力端子Ｉｏｕｔｐｕｔ＿ＰおよびＩｏｕｔｐｕｔ＿Ｎのいずれかに流す。第２スイッチ５２５の制御により、第３温度補償回路１８０の出力が、プラスの補正量、マイナスの補正量のいずれかを生成されてもよい。

第４電流源５３０は、コレクタ端子とエミッタ端子間が第２定電流源５２０と参照電圧生成部１１０とに直列に接続され、ベース端子が第３増幅器５１５の出力に接続される。第４電流源５３０は、第２温度センサ１３０からのセンス電圧に応じた出力がベース端子に入力され、当該出力に応じた電流を流す。

第５電流源５３５は、コレクタ端子とエミッタ端子間が第２定電流源５２０と第２スイッチ５２５とに直列に接続されて、第４電流源５３０と並列に接続され、ベース端子が第２設定温度電圧生成部５００に接続される。第５電流源５３５は、ベース端子に入力される第２基準電圧に応じた電流を流し、第３補償電圧は、第５電流源５３５に流れる電流に応じて第３温度補償回路１８０の出力端子Ｉｏｕｔｐｕｔ＿ＰとＩｏｕｔｐｕｔ＿Ｎに発生される。

第４温度補償回路１８５は、第３設定温度電圧生成部５４０と、第７抵抗５４５と、第８抵抗５５０と、第４増幅器５５５と、第３定電流源５６０と、第３スイッチ５６５と、第６電流源５７０と、第７電流源５７５とを有する。

第３設定温度電圧生成部５４０は、第３基準電圧（例えばＶＨ＝０．９Ｖ以下）を出力する。第３設定温度電圧生成部５４０は、例えば工場出荷時またはユーザ入力に応じて第３基準電圧の電圧値を設定可能であり、これによって、第４補償電圧のピーク電圧が生じる設定温度を調整可能である。

第７抵抗５４５は、第２温度センサ１３０の出力に接続される。第８抵抗５５０は、第７抵抗５４５に接続される。第４増幅器５５５は、出力端子が第６電流源５７０のベース端子に接続され、プラスの入力端子が第３設定温度電圧生成部５４０に接続され、マイナスの入力端子が第７抵抗５４５に接続され、マイナスの入力端子と出力端子との間に第８抵抗５５０が接続される。第４増幅器５５５は、第２温度センサ１３０からのセンス電圧を第３基準電圧に対して反転して、センス電圧のゲイン倍した反転センス電圧を生成する。第４増幅器５５５は、センス電圧に応じた当該ゲイン倍した反転センス電圧を出力し、第６電流源５７０に電流を流す。第７抵抗５４５と、第８抵抗５５０と、第４増幅器５５５とは、反転増幅回路を構成する。

第３定電流源５６０は、基準電位に接続され、定電流を出力する。第３定電流源５６０は、図５では、基準電圧ＶＳＳに接続されているが、ＶＲＥＦ、ＶＤＤに接続される構成でも良い。第３定電流源５６０は、並列に接続された複数のトランジスタを有し、制御信号によるトランジスタのスイッチングによって、流れる電流量を設定可能である。第４温度補償回路１８５における温度補償のための補正量は、例えば工場出荷時またはユーザ入力に応じて、第３定電流源５６０の電流値を設定することにより調整可能である。例えば、第３定電流源５６０を流れる電流値をより大きく設定することで、ピークの電圧がより大きくなり、補正量をより大きくすることができる。

第３スイッチ５６５は、第４温度補償回路１８５の出力端子Ｉｏｕｔｐｕｔ＿ＰおよびＩｏｕｔｐｕｔ＿Ｎに接続され、制御信号に応じてスイッチングを行い、第７電流源５７５からの電流を出力端子Ｉｏｕｔｐｕｔ＿ＰおよびＩｏｕｔｐｕｔ＿Ｎのいずれかに流す。第３スイッチ５６５の制御により、第４温度補償回路１８５の出力が、プラスの補正量、マイナスの補正量のいずれかを生成されてもよい。

第６電流源５７０は、コレクタ端子とエミッタ端子間が第３定電流源５６０と参照電圧生成部１１０とに直列に接続され、ベース端子が第４増幅器５５５の出力に接続される。第６電流源５７０は、第４増幅器５５５から、第２温度センサ１３０のセンス電圧に応じた出力がベース端子に入力され、当該出力に応じた電流を流す。

第７電流源５７５は、コレクタ端子とエミッタ端子間が第３定電流源５６０と第３スイッチ５６５とに直列に接続されて、第６電流源５７０と並列に接続され、ベース端子が第３設定温度電圧生成部５４０に接続される。第７電流源５７５は、ベース端子に入力される第３基準電圧に応じた電流を流し、第３補償電圧は、第７電流源５７５に流れる電流に応じて第３温度補償回路１８０の出力端子Ｉｏｕｔｐｕｔ＿ＰとＩｏｕｔｐｕｔ＿Ｎに発生される。

図６は、第２温度センサ１３０の出力と、第３増幅器５１５の出力と、第４増幅器５５５の出力との関係を示す。第２温度センサ１３０のセンス電圧は、温度に対して負の傾きを有する。第３増幅器５１５および第４増幅器５５５の出力は、センス電圧を反転増幅したものであるため温度に対して正の傾きを有する。

図７は、第３補償電圧に対応する電流値の一例を示す。図７の第３補償電圧に対応する電流は、設定温度が−４０℃の低温端の場合であり、−４０℃において電流がピークとなっている。第３温度補償回路１８０は、温度に依らないバイアス電流で第２定電流源５２０により一定電流（テール電流）を流し、第３増幅器５１５からの出力電圧と、第２設定温度電圧生成部５００の第２基準電圧との２つの電圧が、第４電流源５３０および第５電流源５３５からなる差動対に入力される。

第３温度補償回路１８０の出力電流は、第２設定温度電圧生成部５００の第２基準電圧が入力された差動対（第５電流源５３５）の電流出力であり、設定温度におけるピーク波形として出力される。ピークとなる設定温度の温度領域以外の電流は、他の差動対（第４電流源５３０）から電流を流すことにより図７の波形を実現している。

図７において、−２５℃以上の場合は、第４電流源５３０が第２定電流源５２０に電流をほぼすべて供給している。−２５℃から−４０℃の間では、第２設定温度電圧生成部５００の第２基準電圧が入力された第５電流源５３５も、第２定電流源５２０に電流を供給する。

なお、第４温度補償回路１８５は、第３温度補償回路１８０と同様に、ただし第３基準電圧を適宜設定することで、図７の第３補償電圧の形状とは左右対称で高温端にピークをとる関数の第４補償電圧を生成することができる。このように、本実施形態により、低温側と高温側の温度端では、温度補償装置１５０は、ピークの片側だけを発生させればよく、回路の簡素化が可能である。また、ピーク波形の形状は、第３温度補償回路１８０では、第３増幅器５１５の出力の温度に対する傾きを、第４温度補償回路１８５では、第４増幅器５５５の出力の温度に対する傾きを変えることにより実現され、第３温度補償回路１８０および第４温度補償回路１８５は、傾きを調整する制御信号、調整レジスタを持っても良い。

なお、温度補償装置１５０は、第３温度補償回路１８０および第４温度補償回路１８５を有さなくてもよい。この場合は、第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，および１７５は、補償温度範囲の全範囲をカバーするように設定温度を設定して、第２補償電圧を生成してよい。

なお、第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，および１７５、第３温度補償回路１８０、および第４温度補償回路１８５は、第２温度センサ１３０との間に調整部を有してよく、当該調整部によって、第２温度センサ１３０のセンス電圧をシフトすることにより発振器１４０を温度補償してよい。

次に、本実施形態の温度補償型発振器１００の補償動作の一例について図８を参照して説明する。図８は、温度補償型発振器１００の補償動作のフロー図である。温度補償型発振器１００は、例えば−４０〜８５℃の補償温度範囲で発振器１４０の温度補償を行う。

Ｓ８１０において、温度補償装置１５０は、複数の第１温度補償回路１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，および１６６により、温度変化に対して例えば２次〜７次関数をとる第１補償電圧を生成する。第１温度補償回路１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，および１６６は、関数の係数により補正量を調整し、かつ、関数の変曲点が温度範囲内、特に範囲の中心にくるように第１補償電圧を生成してよい。

Ｓ８２０において、温度補償装置１５０は、発振器１４０の周波数が温度に依らず一定となるように、第１温度補償回路１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，および１６６を調整する。温度補償装置１５０は、第１温度補償回路１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，および１６６と第１温度センサ１２０との間に変曲点調整回路を有してよく、当該変曲点調整回路によって、第１温度センサ１２０のセンス電圧をシフトすることにより、発振器１４０の周波数が予め設定された選定周波数に一致するように関数の変曲点を調整してよい。図９は、温度センサの出力電圧と温度の関係を示す。図９に示すように、第１温度センサ１２０のセンス電圧をシフトすると温度がシフトし、これにより、温度に応じた第１補償電圧の関数の変曲点がシフトする。

また、補償温度範囲内で複数のＮ次関数の第１補償電圧により補正する場合、調整パラメータとして、変曲点温度であるＴ＋ΔＴ、および補正量を示す係数αｎを決定する。具体的には、全てのＮ次関数で変曲点温度を共通として変曲点温度を固定し、最適な係数α１〜αｎを導出し、調整エラーを算出する。その後、変曲点温度ΔＴを振りながら、係数導出および調整エラー算出を繰り返し、最も調整エラーが小さくなる最適な係数を導出することができる。

次にＳ８３０において、温度補償装置１５０は、第１補償電圧を適用した状態で、温度補償範囲内における複数の温度で発振器１４０の発振周波数を測定し、発振周波数の測定結果から、予め設定された選定周波数からの周波数エラーの温特を測定する。例えば、温度補償装置１５０は、Ｓ８２０で算出した最も調整エラーが小さくなる最適な係数に調整され、温度補償範囲内における複数の温度で発振器１４０の発振周波数を測定し、予め設定された選定周波数からの周波数エラーの温特を測定する。

Ｓ８４０において、温度補償装置１５０は、複数の第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，および１７５、第３温度補償回路１８０，第４温度補償回路１８５により、温度変化に対してピークの電圧、及び片側のピークの電圧をとる各第２補償電圧、第３補償電圧、および第４補償電圧を生成する。

Ｓ８５０において、第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，および１７５、第３温度補償回路１８０，および第４温度補償回路１８５の各々の補償電圧による発振器１４０の周波数変動量をそれぞれ個別に複数の温度で測定し、第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，および１７５、第３温度補償回路１８０，および第４温度補償回路１８５の各々による周波数変動量を温度Ｔの関数として近似する。ここで、第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，および１７５、第３温度補償回路１８０，および第４温度補償回路１８５の各々による電圧変動量ではなく、周波数変動量を直接測る理由は、周波数を出力している実動作時のＩＣの状態に近づけることで、実動作時と調整時のＩＣ内部の発熱による温度変動が及ぼす周波数エラーを小さくするためである。また、周波数変動量を直接測ることにより、発振器１４０の制御電圧−周波数のノンリニアリティ特性や温度特性により生じるエラー成分込みでの測定が可能で、より周波数安定度の高い調整が可能となる。

Ｓ８６０においては、Ｓ８３０で測定した周波数エラーの温特が最小となるように、複数の第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，および１７５、第３温度補償回路１８０，第４温度補償回路１８５の調整パラメータとして、設定温度（ピーク温度）と、補正量を決めてよい。

ここで、Ｓ８４０−８６０における、第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，１７５、第３温度補償回路１８０，および第４温度補償回路１８５の調整パラメータの決定について詳細に説明する。温度補償装置１５０は、複数の第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，および１７５について補償温度範囲を複数の温度領域に分け、温度領域毎に設定温度を決定してよい。例えば温度補償装置１５０は、５つの第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，および１７５について、ブロック１（温度領域：−４０〜−１５℃）、ブロック２（温度領域：−１５〜＋１０℃）、ブロック３（温度領域：＋１０〜＋３５℃）、ブロック４（温度領域：＋３５〜＋６０℃）、およびブロック５（温度領域：＋６０〜＋８５℃）をそれぞれ振り分けて、各ブロックについて設定温度を決定する。

第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，および１７５の各々において、第１設定温度電圧生成部２００は、決定した設定温度に応じた第１基準電圧を生成する。ピーク温度を５℃ずつ変更可能である場合には、１つのブロックで、ピーク温度の取りうる可能性は６通り（２５／５＋１）である。各ブロックでピーク温度の取りうる組み合わせは、全体で６＾５＝７７７６通りとなり、現実的な計算回数で調整できる。

補正量は、第１温度補償回路１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，および１６６による補償後の発振器１４０の発振周波数が予め設定された選定周波数からずれた量（周波数エラー）に応じて決めてよい。第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，および１７５は、第１定電流源２３５を通る電流量を切り替えることによって補正量を設定することができる。

また、第１温度補償回路１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，および１６６による温度補償後の発振器１４０の周波数に対して、第３温度補償回路１８０および第４温度補償回路１８５による温度補償を行う。第３温度補償回路１８０は、設定温度が−４０℃であり、第４温度補償回路１８５は、設定温度が８５℃である。第３温度補償回路１８０および第４温度補償回路１８５の調整パラメータとして、補正量を決める。第３温度補償回路１８０は、第２定電流源５２０の電流量を切り替えることによって補正量を設定することができる。第４温度補償回路１８５は、第３定電流源５６０の電流量を切り替えることによって補正量を設定することができる。

制御電圧供給回路１９０は、第１補償電圧、第２補償電圧、第３補償電圧、および第４補償電圧に基づく制御電圧を発振器１４０に供給する。例えば、制御電圧供給回路１９０は、第１補償電圧、第２補償電圧、第３補償電圧、および第４補償電圧を含む複数の補償電圧を合計した制御電圧を発振器１４０に供給する。また、制御電圧供給回路１９０は、第１温度補償回路１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，および１６６、第２温度補償回路１７１，１７２，１７３，１７４，および１７５、第３温度補償回路１８０、および第４温度補償回路１８５が流す電流の合計電流に応じた制御電圧を発振器１４０に供給してもよい。

温度補償装置１５０は、Ｓ８１０〜Ｓ８６０で補償回路の調整パラメータを、発振器１４０毎または選定周波数毎に決定して、温度補償装置１５０の記憶部に記憶させてよい。温度補償装置１５０は、制御電圧の供給の際に、対応する調整パラメータを当該記憶部から読み出して制御電圧を調整して供給してよい。

本実施形態により、温度に応じた第１補償電圧により温度補償した発振器１４０について、残ったエラー部分を、さらに温度範囲毎にピークを有する第２補償電圧、第３補償電圧、および第４補償電圧により温度補償する。これにより、発振周波数の温度特性を相殺して高精度な周波数安定度の要求を満たすことができる。

ここで、例えば、温度変化に対してＮ次関数をとる補償電圧のみで発振器１４０の温度補償を行うと以下のような問題がある。

補償温度範囲を複数の部分温度範囲に分けて、部分温度範囲毎に異なるＮ次関数の補償電圧を出力する場合、部分温度範囲外ではＮ次関数の補償電圧の出力をＯＦＦする必要がある。Ｎ次関数の補償電圧の出力のＯＮ／ＯＦＦは、温度センサの出力電圧と温度範囲を示す設定電圧との比較に基づいてスイッチング制御される。その際、部分温度範囲の温度境目ではスイッチングがＯＮ／ＯＦＦを繰り返し、その度に発振器に入力される制御電圧が変動し、結果として、周波数のチャタリングを起こす懸念がある。また、チャタリング防止のために、ＯＮ／ＯＦＦの温度境目部分でヒステリシスをもたせると、持たせたヒステリシス温度分だけ狙い通りの周波数補正ができない懸念がある。

一方、本実施形態において第２補償電圧、第３補償電圧、および第４補償電圧は、Ｎ次多項式ではない凸関数であるため、離散的にスイッチングを行うことなく、対象温度範囲外で成分を十分に減衰させることができる。従って、本実施形態により、Ｎ次関数の第１補償電圧により補償しきれないエラーを補正可能である。

また、補償温度範囲内の複数の部分温度範囲を異なるように個別に規定して、温度補償する場合、例えば、補償温度範囲の−４０〜８５℃内で、５℃ステップで補正開始および終了温度を調整すると、とりうる調整パラメータ（補正開始温度、補正終了温度、および補正量を決める係数）の組み合わせは、１次から５次関数まで用いると４兆通り以上になりうる。本実施形態においては、第２補償電圧、第３補償電圧、および第４補償電圧により追加の温度補償を行うため、第１補償電圧の温度領域は部分温度領域に分けなくても、周波数安定度を高くすることができる。

また、温度にかかわらず１つのＮ次関数の補償電圧で温度補償を行う場合、任意の温度範囲にＮ次関数の補償電圧を出力するために、Ｎ次関数の変曲点を当該温度範囲内まで調整する必要がでてくる。変曲点の調整は、温度センサからの入力信号のＤＣ値のシフトにより実現可能である。例えば、温度センサの出力が−１０ｍＶ／℃で、補償温度範囲が−４０〜８５℃である場合、変曲点の調整電圧レンジは、１０×（８５−（−４０））＝１２５０ｍＶとなり、非常に大きい。広いレンジで、精度良く変曲点を調整する場合、スイッチの数は多くなり、回路規模の増大に繋がる。また、Ｎ次関数の変曲点を広範囲に調整する場合、素子の温度特性によりＮ次関数の出力が変わるため、出力を補正するための調整回路も必要になり、回路が煩雑になり、回路規模がさらに大きくなる。

また、発振器の共振周波数をＮ次で近似する場合、Ｎ次をどんどん大きくしていくと、理想的にはエラー成分はゼロになる。しかし、温度補償回路に入力される温度センサの出力電圧は、１次より大きい高次成分を含んでいる。ＴＣＸＯの補償温度範囲は、−４０〜８５℃で、水晶の補正前の周波数温度特性は±１５ｐｐｍ程度である。高精度要求の±０．１ｐｐｍでは、補正前の周波数温度特性から０．６〜０．７％内（０．１／１５）に収める必要がある。水晶の主な温特成分である３次補正だけを考えた場合でも、温度センサのリニアリティは、０．２％程度に抑える必要があり、実際には難しい。

例えば、温度センサの出力が２次成分を含む場合、理想的な３次関数発生回路では、２次×３次の６次成分が出力に現れる。６次成分を補正するため、６次関数回路が必要になるが、同様に入力となる温度センサの出力が２次成分を持っている場合、２次×６次の１２次成分が出力され、次数を上げてもエラー成分はゼロにはならない。また、逆に温度センサを補正して理想的な１次出力を出せたとしても、誤差が１％以下の３次関数発生回路を作るのは実際には難しく、次数を上げてもエラー成分はゼロにはならない。

一方、本実施形態により、第１補償電圧により、周波数のエラーの大きさは大幅に小さくなり（例えば１５ｐｐｍ⇒０．１５ｐｐｍ）、さらに第２補償電圧、第３補償電圧、および第４補償電圧による補正により温度補償を改善できる。第２補償電圧、第３補償電圧、および第４補償電圧による補正でも温度センサのノンリニアリティによるエラーはあるが、温度センサ誤差が１％の場合、０．１５ｐｐｍ×１％＝１．５ｐｐｂ程度で、要求精度に対してほとんど無視できるほど小さく、問題とならない。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

１００ 温度補償型発振器、１１０ 参照電圧生成部、１２０ 第１温度センサ、１３０ 第２温度センサ、１４０ 発振器、１５０ 温度補償装置、１６０ 第１温度補償回路、１６１ 第１温度補償回路、１６２ 第１温度補償回路、１６３ 第１温度補償回路、１６４ 第１温度補償回路、１６５ 第１温度補償回路、１６６ 第１温度補償回路、１７１ 第２温度補償回路、１７２ 第２温度補償回路、１７３ 第２温度補償回路、１７４ 第２温度補償回路、１７５ 第２温度補償回路、１８０ 第３温度補償回路、１８５ 第４温度補償回路、１９０ 制御電圧供給回路、２００ 第１設定温度電圧生成部、２０５ 第１抵抗、２１０ 第２抵抗、２１５ 第１増幅器、２２０ 第３抵抗、２２５ 第４抵抗、２３０ 第２増幅器、２３５ 第１定電流源、２４０ 第１スイッチ、２４５ 第１電流源、２５０ 第２電流源、２５５ 第３電流源、５００ 第２設定温度電圧生成部、５０５ 第５抵抗、５１０ 第６抵抗、５１５ 第３増幅器、５２０ 第２定電流源、５２５ 第２スイッチ、５３０ 第４電流源、５３５ 第５電流源、５４０ 第３設定温度電圧生成部、５４５ 第７抵抗、５５０ 第８抵抗、５５５ 第４増幅器、５６０ 第３定電流源、５６５ 第３スイッチ、５７０ 第６電流源、５７５ 第７電流源

Claims (15)

1. 制御電圧に応じた周波数で発振する発振器の温度補償を行う温度補償装置であって、
   温度に応じた第１補償電圧を発生するための第１温度補償回路と、
   予め設定された設定温度において最大または最小となり、前記設定温度を含む温度範囲より外の温度での電圧変動が誤差範囲内となる第２補償電圧を発生するための第２温度補償回路と、
   前記第１補償電圧および前記第２補償電圧に基づく前記制御電圧を前記発振器に供給する制御電圧供給回路と
   を備える温度補償装置。
2. 前記第２温度補償回路は、温度変化に対し、前記設定温度で最大ピークまたは最小ピークとなる連続な凸関数をとる前記第２補償電圧を生成する請求項１に記載の温度補償装置。
3. 前記第２温度補償回路は、
   第１定電流源と、
   前記第１定電流源に対して直列に接続され、温度センサからのセンス電圧に応じた電流を流す第１電流源と、
   前記第１定電流源に対して直列かつ前記第１電流源と並列に接続され、前記センス電圧を第１基準電圧に対して反転した反転センス電圧に応じた電流を流す第２電流源と、
   前記第１定電流源に対して直列、かつ前記第１電流源および前記第２電流源と並列に接続され、前記第１基準電圧に応じた電流を流す第３電流源と、
   を有し、
   前記第２補償電圧は、前記第３電流源に流れる電流に応じて発生される
   請求項１または２に記載の温度補償装置。
4. 前記第１定電流源は、流れる電流量を設定可能である請求項３に記載の温度補償装置。
5. 互いに独立に前記設定温度を設定可能な複数の前記第２温度補償回路を備える請求項１から４のいずれか一項に記載の温度補償装置。
6. 互いに独立に補正量を設定可能な複数の前記第２温度補償回路を備える請求項１から４のいずれか一項に記載の温度補償装置。
7. 温度が予め定められた温度以上において電圧変動が誤差範囲内となり、温度が予め定められた温度よりも低くなるにつれて単調増加または単調減少する低温端の前記第２補償電圧を発生するための第３温度補償回路を更に備え、
   前記制御電圧供給回路は、前記低温端の前記第２補償電圧に更に基づく前記制御電圧を前記発振器に供給する
   請求項１から６のいずれか一項に記載の温度補償装置。
8. 前記第３温度補償回路は、
   第２定電流源と、
   前記第２定電流源に対して直列に接続され、温度センサからのセンス電圧に応じた電流を流す第４電流源と、
   前記第２定電流源に対して直列かつ前記第４電流源と並列に接続され、第２基準電圧に応じた電流を流す第５電流源と、
   を有し、
   前記低温端の前記第２補償電圧は、前記第５電流源に流れる電流に応じて発生される
   請求項７に記載の温度補償装置。
9. 温度が予め定められた温度以下において電圧変動が誤差範囲内となり、温度が予め定められた温度よりも高くなるにつれて単調増加または単調減少する高温端の前記第２補償電圧を発生するための第４温度補償回路を更に備え、
   前記制御電圧供給回路は、前記高温端の前記第２補償電圧に更に基づく前記制御電圧を前記発振器に供給する
   請求項１から８のいずれか一項に記載の温度補償装置。
10. 前記制御電圧供給回路は、前記第１補償電圧および前記第２補償電圧を含む複数の補償電圧を合計した前記制御電圧を前記発振器に供給する
    請求項１から９のいずれか一項に記載の温度補償装置。
11. 前記制御電圧供給回路は、前記第１温度補償回路および前記第２温度補償回路を含む複数の温度補償回路が流す電流の合計電流に応じた前記制御電圧を前記発振器に供給する請求項１から９のいずれか一項に記載の温度補償装置。
12. 前記第１温度補償回路は、温度変化に対して２次以上の次数の関数をとる前記第１補償電圧を生成する請求項１から１１のいずれか一項に記載の温度補償装置。
13. 互いに独立に設定可能であり、温度変化に対して互いに異なる次数の関数をとる複数の前記第１補償電圧を生成する複数の前記第１温度補償回路を備える請求項１２に記載の温度補償装置。
14. 請求項１から１３のいずれか一項に記載の温度補償装置と、
    前記温度補償装置が出力する前記制御電圧に応じた周波数で発振する発振器と
    を備える温度補償型発振器。
15. 制御電圧に応じた周波数で発振する発振器の温度補償を行う温度補償方法であって、
    複数の互いに独立に設定可能な第１温度補償回路から第１補償電圧を発生し、
    予め設定された選定周波数に一致するように前記第１温度補償回路の前記第１補償電圧による補正量を調整した後に、温度補償範囲内における複数の温度で前記発振器の発振周波数を測定し、
    前記発振周波数の測定結果から、前記予め設定された選定周波数からの周波数エラーの温特を測定し、
    予め設定された設定温度において最大または最小となり、前記設定温度を含む温度範囲より外の温度での電圧変動が誤差範囲内となる第２補償電圧を、第２温度補償回路から発生し、
    前記第２温度補償回路の前記第２補償電圧による前記発振器の周波数変動量をそれぞれ個別に複数の温度で測定し、
    前記第２温度補償回路の前記第２補償電圧による前記発振器の周波数変動量を温度Ｔの関数として近似し、
    前記予め設定された選定周波数に一致するように、前記周波数エラーに対する前記第２温度補償回路による補正量と前記設定温度を調整する
    温度補償方法。

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