JP2018156986A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2018156986A5
JP2018156986A5 JP2017050288A JP2017050288A JP2018156986A5 JP 2018156986 A5 JP2018156986 A5 JP 2018156986A5 JP 2017050288 A JP2017050288 A JP 2017050288A JP 2017050288 A JP2017050288 A JP 2017050288A JP 2018156986 A5 JP2018156986 A5 JP 2018156986A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspection
pattern
defect
substrate
unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017050288A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2018156986A (ja
JP6971599B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2017050288A priority Critical patent/JP6971599B2/ja
Priority claimed from JP2017050288A external-priority patent/JP6971599B2/ja
Publication of JP2018156986A publication Critical patent/JP2018156986A/ja
Publication of JP2018156986A5 publication Critical patent/JP2018156986A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6971599B2 publication Critical patent/JP6971599B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2017050288A 2017-03-15 2017-03-15 インプリント装置、欠陥検査方法、パターン形成方法および物品製造方法 Active JP6971599B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017050288A JP6971599B2 (ja) 2017-03-15 2017-03-15 インプリント装置、欠陥検査方法、パターン形成方法および物品製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017050288A JP6971599B2 (ja) 2017-03-15 2017-03-15 インプリント装置、欠陥検査方法、パターン形成方法および物品製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2018156986A JP2018156986A (ja) 2018-10-04
JP2018156986A5 true JP2018156986A5 (OSRAM) 2020-03-26
JP6971599B2 JP6971599B2 (ja) 2021-11-24

Family

ID=63715662

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017050288A Active JP6971599B2 (ja) 2017-03-15 2017-03-15 インプリント装置、欠陥検査方法、パターン形成方法および物品製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6971599B2 (OSRAM)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7391806B2 (ja) * 2020-09-16 2023-12-05 キオクシア株式会社 インプリント装置、情報処理装置、及びインプリント方法
JP7465307B2 (ja) * 2021-10-01 2024-04-10 キヤノン株式会社 シミュレーション装置、シミュレーション装置の制御方法、およびプログラム
JP7721736B1 (ja) * 2024-05-14 2025-08-12 キヤノン株式会社 平坦化装置、平坦化方法、および物品の製造方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3620470B2 (ja) * 2001-06-08 2005-02-16 三菱住友シリコン株式会社 欠陥検査方法及び欠陥検査装置
JP4118703B2 (ja) * 2002-05-23 2008-07-16 株式会社日立ハイテクノロジーズ 欠陥分類装置及び欠陥自動分類方法並びに欠陥検査方法及び処理装置
JP5556346B2 (ja) * 2010-05-11 2014-07-23 株式会社Ｓｕｍｃｏ ウェーハ欠陥検査装置及びウェーハ欠陥検査方法
JP2014109436A (ja) * 2012-11-30 2014-06-12 Tokyo Electron Ltd 基板の欠陥検査方法、基板の欠陥検査装置、プログラム及びコンピュータ記憶媒体
JP6403627B2 (ja) * 2015-04-14 2018-10-10 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2016201522A5 (OSRAM)
WO2020244795A8 (en) Cross section imaging with improved 3d volume image reconstruction accuracy
JP6126450B2 (ja) 検査装置
JP2017502499A5 (OSRAM)
JP2013138175A5 (OSRAM)
JP2017152580A5 (OSRAM)
JP2017523927A5 (OSRAM)
JP2018156986A5 (OSRAM)
JP2016027623A5 (ja) インプリント材の供給パターンの作成方法、インプリント方法及び装置、物品の製造方法、及びプログラム
JP2019027927A5 (OSRAM)
JP2020136502A5 (ja) 情報処理装置、プログラム、リソグラフィ装置、物品の製造方法、物品の製造システム、及び出力方法
JP2016213418A5 (OSRAM)
JP2015038985A5 (OSRAM)
JP2016008924A5 (OSRAM)
AU2014384279A1 (en) Method for detecting flaws in the walls of hollow glass items
TW201612509A (en) Process monitoring device and process monitoring method
JP2020008841A5 (OSRAM)
JP2018195725A5 (OSRAM)
JP2018194616A5 (OSRAM)
JP2016129212A5 (OSRAM)
JP2016090444A5 (OSRAM)
JP2015087314A5 (OSRAM)
JP2017037194A5 (ja) 評価方法、露光方法、露光装置、プログラム、および物品の製造方法
JP2017040758A5 (OSRAM)
US20150036915A1 (en) Inspection Method