JP2018156841A - 電極接合構造体 - Google Patents
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Abstract
【課題】 切れや破れ、バリの発生を抑制させる電池の接合構造体を提供する。【解決手段】第1金属板と、上記第1金属板に積層された第2金属板と、を含み、上記第1金属板のうち上記第2金属板が積層されていない一方の面に、複数の凹部が円弧状に配列された電極接合構造体を用いる。上記凹部の先端には、第1平坦部がある上記電極接合構造体を用いる。上記複数の凹部間には、第2凸部を有する上記電極接合構造体を用いる。上記複数の凹部は、1つの領域を形成し、上記一方の面には、上記1つの領域が複数個配置され、上記複数の領域間には、第3凸部が位置する上記電極接合構造体を用いる。【選択図】 図7
Description
本発明は、接合構造体に関する。特に、電池の接合構造体に関する。
超音波振動による接合方法は、突起部を被接合材に加圧し、超音波振動を与え、接合させる方法である。
従来の突起として、例えば、図12(a)は、従来例の超音波ホーンの突起を示す平面図、図12(b)は、図12(a)の側面図である(特許文献1)。超音波接合用ホーンの加圧面に形成された複数の突起15を示す。突起15は、先端が面取りされた突起である。この結果、被接合材に応力集中が生じにくくなっている。このことで、被接合材の破れを低減することができる方法である。
また、例えば、図13に示す特許文献2には、超音波振動方向に対して所定の角度で直線上に並んだ加圧面に設けられた突起15と、その間の溝30とで構成されている。この構造により、被接合材に埋まらない空隙を保ちつつ、被接合材を振動させることができ、接合できる。この結果、ホーンより面積の大きい被接合材を超音波接合する場合におけるバリの発生、特に震動方向に対して垂直な突起部の外縁におけるバリの発生を防止できる方法である。
特許文献1および2に示す超音波接合装置の構成と接合方法では、ホーン加圧面に直線上に突起15が構成されており、被接合材の接合後に模られる加工表面の形状がホーン加圧面に直線上に並んだ突起形状がそのまま転写されることになる。
そのため被接合材外縁が直線的に並び、応力集中することで、切れや破れ、バリの発生要因となる問題がある。例えば電池の電極タブ集箔接合部で上記問題が生じると、電池の特性に大きく影響する。
そこで本発明は、上記問題を鑑みて、バリの発生を抑制できる接合構造体を提供する。
上記目的を達成させるために、第1金属板と、上記第1金属板に積層された第2金属板と、を含み、上記第1金属板のうち上記第2金属板が積層されていない一方の面に、複数の凹部が円弧状に配列された電極接合構造体を用いる。
本発明によれば、被接合材の塑性流動を利用することで、被接合材において、切れや破れ、バリの発生を抑制させる接合構造体を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の全ての図において、同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。また、以下、本発明を詳細に説明するが、本発明は以下の説明に限定されるものではなく、その要旨の範囲内において種々に変更して実施することができる。
<超音波ホーンの形状>
図1(a)は、実施の形態の超音波接合用ホーン100の斜視図である。図1(b)は、領域2aと堀溝3bの空隙を示す。図1(c)は、突起2の拡大図を示し、面取りされた突起2の先端9を示す。先端9は、面取りされて平坦となっている。
図1(a)は、実施の形態の超音波接合用ホーン100の斜視図である。図1(b)は、領域2aと堀溝3bの空隙を示す。図1(c)は、突起2の拡大図を示し、面取りされた突起2の先端9を示す。先端9は、面取りされて平坦となっている。
超音波接合用ホーン100は、ホーン基部1の加圧面4に複数の突起2が円弧状に配列され、その円弧状に配列された突起2の領域2aが複数個配列されている。超音波接合用ホーン100の材質は、例えば超硬合金やステンレスを用いることが好ましく、超硬合金がより好ましい。超硬合金とは、例えば鉄、コバルト、ニッケルなどの鉄系金属で焼結した複合材料が好ましいが、その限りではない。
更に、加圧面4の突起2間には、突起2間を縫うように堀溝3aの空隙が形成されており、領域2a間の加圧面4にも堀溝3bの空隙が形成されている。堀溝3bの空隙は、堀溝3aの空隙より大きい。より多くの被接合材を逃がす。
また、加圧面4より突出し突起2より低い平面部5が加圧面4を囲むように四方に凸状の壁として形成されている。これにより突起2で押し出された被接合材は、塑性流動により堀溝3bへ流動し、更に外周部に押し出された被接合材は、外周の平面部5と堀溝3bの空隙により留まり外周縁へ流出することを抑制でき、更には応力緩和により、切れや破れ、バリやはみ出しによるバリの発生を抑制させることができる。
<超音波接合用ホーン100を使用>
図2は、超音波接合用ホーン100を使用した接合を説明する断面図である。図2では、被接合材として、電極積層体300を示している。電極積層体300は、電池の複数の電極集電体の導電タブ21(第1金属板)と集電板リードタブ26(第2金属板)とを接合したものである。
図2は、超音波接合用ホーン100を使用した接合を説明する断面図である。図2では、被接合材として、電極積層体300を示している。電極積層体300は、電池の複数の電極集電体の導電タブ21(第1金属板)と集電板リードタブ26(第2金属板)とを接合したものである。
固定台アンビル150上に、電極集電体の導電タブ21(第1金属板)と集電板リードタブ26(第2金属板)とを重ね、超音波接合用ホーン100で、加圧しながら、方向50の方向に超音波振動を与える。このことで、導電タブ21(第1金属板)と集電板リードタブ26(第2金属板)とを接合させる。
固定台アンビル150の上面は、平坦でもよいし、超音波接合用ホーン100の加圧面4と同様に複数の突起部が施されてもよい。また、固定台アンビル150の材質は、例えば超硬合金やステンレスを用いることが好ましく、超硬合金がより好ましい。超硬合金とは、例えば鉄、コバルト、ニッケルなどの鉄系金属で焼結した複合材料が好ましいが、その限りではない。
超音波接合工程では、振動周波数は、例えば20kHzであり、その限りではない。超音波振動により、被接合材の上面と下面の接触面の表面酸化物やその他汚染物が除去される。更に摩擦発熱により、被接合材の塑性流動が生じ、接合面積の拡大と導電タブ21(第1金属板)と集電板リードタブ26(第2金属板)の接合、即ち原子間接合が行われる。
<電池の構造>
図3は、一般的な角型リチウムイオン二次電池の電極構成概略展開図である。図3において、正極電極集電体20と負極電極集電体23がある。正極電極集電体20と負極電極集電体23は、基材層であり、金属箔からなる集電体である。
図3は、一般的な角型リチウムイオン二次電池の電極構成概略展開図である。図3において、正極電極集電体20と負極電極集電体23がある。正極電極集電体20と負極電極集電体23は、基材層であり、金属箔からなる集電体である。
正極電極集電体20と負極電極集電体23とは、それぞれ、一辺から突出した導電タブ21(第1金属板),導電タブ24と、を備える。正極電極集電体20,負極電極集電体23では両面に活物質を含む電極合剤層22が塗布形成されてある。
一方、導電タブ21と導電タブ24には電極合剤層22は塗布形成されていない。正極電極集電体20と負極電極集電体23とが、セパレータ25を介して交互に積層されて構成されている。
図4(a)は、複数の正極電極集電体20の導電タブ21が、互いに重ね合わされて、集電板リードタブ26(第2金属板)と超音波接合にて接合された被接合材の電極積層体300の断面図である。
図4(b)は、図4(a)の平面図を示す。図示はしないが、同様に複数の負極側も同様の構造である。
図5(a)は、一般的な角型リチウムイオン二次電池の本体斜視図である。図5(b)は、一般的な角型リチウムイオン二次電池の本体内部展開斜視図である。正極電極集電体20と、図示はしない同様の負極電極積層体とを、収納し完成した角型リチウムイオン二次電池600を示す。天板27に正極端子28と負極端子29を具備して構成される。
<超音波ホーンの変形例>
図6は、別の形態の超音波接合用ホーン200の斜視図である。図1(a)の超音波接合用ホーン100では外周の平面部5を設けたが、図6では外周の平面部5を設けていない。突起2間の堀溝3a若しくは、領域2a間の加圧面4の堀溝3bの幅や深さを変えることで、図1(a)と同様の効果が得られる。つまり、応力緩和により、被接続体に切れや破れ、バリやはみ出しによるバリの発生を抑制させることができる。
図6は、別の形態の超音波接合用ホーン200の斜視図である。図1(a)の超音波接合用ホーン100では外周の平面部5を設けたが、図6では外周の平面部5を設けていない。突起2間の堀溝3a若しくは、領域2a間の加圧面4の堀溝3bの幅や深さを変えることで、図1(a)と同様の効果が得られる。つまり、応力緩和により、被接続体に切れや破れ、バリやはみ出しによるバリの発生を抑制させることができる。
<電極積層体300>
図7(a)は、超音波接合用ホーン100で超音波接合されできた電極積層体300の平面図である。突起2によりできた凹部7aと、領域2a間の堀溝3bによりできた第3凸部8bを示す。また、平面部5によりできた第4凸部16を示す。
図7(a)は、超音波接合用ホーン100で超音波接合されできた電極積層体300の平面図である。突起2によりできた凹部7aと、領域2a間の堀溝3bによりできた第3凸部8bを示す。また、平面部5によりできた第4凸部16を示す。
図7(b)は、図7(a)の領域7bの平面図である。堀溝3aによりできた第2凸部8aを示す。
図7(c)は、凹部7aの拡大図を示し、面取りされた突起2の先端9でできた第1平坦部14を示す。
図7(d)は、図7(c)の斜視図を示す。
図7(e)は、図7(a)の断面図である。第3凸部8bと第4凸部16とを含む部分の断面図である。
図1(a)で示した超音波接合用ホーン100の突起2の形状がそのまま転写された凹部7aが形成されている。凹部7aの並びは、突起2と同様、円弧状となる。円となる必要はない。直線状に並ばず、円弧の一部に並ぶことが好ましい。円弧が複数あってもよい。直線でなく緩やかな曲線状に凹部7aが並ぶのがよい。
突起2の形状と突起2間の堀溝3a、および、領域間の堀溝3b、更には図1(a)の突起2より低い平面部5とにより、被接合材の塑性流動を制御し、第1平坦部14、第2凸部8a、第3凸部8b、第4凸部16が形成される。結果、応力緩和により、切れや破れ、バリやはみ出しによるバリの発生を抑制させることができた電池の接合構造体となる。
なお、第1平坦部14は、底部に平坦部分を有するのが好ましい。第2凸部8a、第3凸部8b、第4凸部16は、頂上に平坦部分を有するのが好ましい。この平坦部分を設けることで、被接合材に応力集中が生じにくくなる。また、被接合材の破れを低減することができる。
なお、電池の例で説明しているが、他の電極間の接合でも同様に適用できる。
正極導電タブ(第1金属板)21は、例えばアルミニウムやアルミニウム合金などを用いることが好ましい。負極の導電タブ24は、例えば銅や銅にニッケルメッキを用いることが好ましいが、その限りではない。
また、集電板リードタブ26(第2金属板)は、正極導電タブ(第1金属板)21、負極の導電タブ24に合わせた材質からなることが好ましいが、その限りではない。
また、ホーン基部1の突起2や堀溝3a、3bの形状がそのまま被接合材へ転写され、突起2の形状転写では、被接合材は凹み形状となり、堀溝3a、3bの形状転写では、被接合材は凸形状となることを特徴とする。
突起の凹部7aの形状は角錐や円錐、角柱や円柱でも良いが、好ましくは角錐や円錐形状が好ましいが、その限りではない。
なお、図2に示した方法で接合する場合には、集電板リードタブ26(第2金属板)の面に凹部、または、凹凸部が形成される。この凹部、または、凹凸部があることが好ましい。
なお、凹部7aは、いくつかで1つの領域7bを形成し、この1つの領域7bが、複数個配置されている。複数の領域7bは、それぞれ、凹部7aの配置がすべて同じであることが好ましいが、凹部7aの異なる配列の領域があってもよい。1つの領域とは、他の領域から離れて位置する。第2凸部8aより幅が広い第3凸部8bで、領域間は分けられている。
<プロセス>
図8(a)、図8(b)は、超音波接合による電池の接合工程を示す概略断面図である。接合工程は、図8(a)に示すように、固定台アンビル150の上に被接合材の電極積層体300の集電板リードタブ26(第2金属板)を載置し、その上に被接合材の電極積層体300の導電タブ21(第1金属板)を載置する。更にその上に超音波接合用ホーン100を下降させ、超音波接合用ホーン100の突起2の先端を、被接合材の電極積層体300の導電タブ21(第1金属板)に当接させる。
図8(a)、図8(b)は、超音波接合による電池の接合工程を示す概略断面図である。接合工程は、図8(a)に示すように、固定台アンビル150の上に被接合材の電極積層体300の集電板リードタブ26(第2金属板)を載置し、その上に被接合材の電極積層体300の導電タブ21(第1金属板)を載置する。更にその上に超音波接合用ホーン100を下降させ、超音波接合用ホーン100の突起2の先端を、被接合材の電極積層体300の導電タブ21(第1金属板)に当接させる。
図8(b)に示すように、超音波接合用ホーン100により被接合材の電極積層体300の導電タブ21(第1金属板)を集電板リードタブ26(第2金属板)に対して押圧し、超音波接合用ホーン100を振動の方向50に超音波振動させる。振動周波数は、例えば20kHzである。
被接合材の電極積層体300の導電タブ21(第1金属板)を集電板リードタブ26(第2金属板)に対して押圧しながら振動させることにより、超音波接合用ホーン100の突起2が被接合材の電極積層体300の導電タブ21の上面に食い込み、被接合材の電極積層体300の導電タブ21と集電板リードタブ26(第2金属板)との接合面同士が擦れて、接合面に被覆されている酸化膜等、接合を阻害する汚染物が除去される。
突起2の食い込みにより被接合材の電極積層体300の導電タブ21が塑性流動し、突起部2間の堀溝3aや領域間の加圧面4の堀溝3bの空隙に塑性流動した被接合材の電極積層体300の導電タブ21が埋まっていく。
更に、外周縁に押し出されようとする被接合材の電極積層体300の導電タブ21は、超音波接合用ホーン100の外周部四方に設けられた平面部5と堀溝3bの空隙により留まり外周縁へ流出することを抑制される。
また、平面部5は、被接合材の電極積層体300の導電タブ21に食い込まず当接されているだけなので、平面部5が被接合材の電極積層体300の導電タブ21に接する部分では、被接合材の電極積層体300の導電タブ21が塑性流動することはない。これにより、被接合材の応力緩和により、切れや破れ、バリやはみ出しによるバリの発生を抑制させることができる、電池の接合構造体である。
塑性流動の量は、超音波振動の加圧力、振幅量によって変化し、その変化量に対応するために、堀溝や凸部、突起部の形状も変化させる。
<超音波接合用ホーン突起>
図9(a)〜図9(i)は、本発明の別の実施形態にかかる超音波接合用ホーンの突起2の配列概略図である。ホーンの突起2の円弧状の配列の一例であり、その限りではない。突起部2間の堀溝3b空隙は図示せず。
図9(a)〜図9(i)は、本発明の別の実施形態にかかる超音波接合用ホーンの突起2の配列概略図である。ホーンの突起2の円弧状の配列の一例であり、その限りではない。突起部2間の堀溝3b空隙は図示せず。
図9(j)は、本発明の実施形態にかかる超音波接合用ホーンの突起10の配列概略図である。突起2の角錐形状に角柱を組み合わせた形状で、突起を縦方向に伸長したものである。
図9(k)は、本発明の実施形態にかかる超音波接合用ホーンの突起11の配列概略図である。突起2を円錐形状にしたものである。
図9(l)は、本発明の実施形態にかかる超音波接合用ホーンの突起12の配列概略図である。円錐の突起11に円柱を組み合わせた形状で、突起11を縦方向に伸長したものである。
図9(j)〜図9(l)においても図9(a)〜図9(i)同様の配列を用いており、またその限りではない。
図10(a)〜図10(h)は、本発明の実施形態にかかる被接合材の凹部7aの配列概略図である。凹部7aの円弧状の配列の一例であり、その限りではない。凹部7a間の堀溝3aによる第2凸部8aも図示した。
図10(i)は、本発明の実施形態にかかる被接合材の接合痕13の配列概略図である。凹部7aを円錐形状にしたものである。接合痕13間の堀溝3aによる結合痕である第2凸部8aも図示した。
図10(j)〜図10(i)は、本発明の実施形態にかかる被接合材の凹部7aの接合痕1個当たりの概略模式斜視図であり、その限りではない。
<プロセス>
図11(a)は、本発明の実施形態にかかる超音波接合による電池の接合構成概略断面図である。超音波接合用ホーン100により被接合材の電極積層体300の導電タブ21を集電板リードタブ26(第2金属板)に対して押圧し、超音波接合用ホーン100を振動の方向50に超音波振動させる。条件は上記と同じである。
図11(a)は、本発明の実施形態にかかる超音波接合による電池の接合構成概略断面図である。超音波接合用ホーン100により被接合材の電極積層体300の導電タブ21を集電板リードタブ26(第2金属板)に対して押圧し、超音波接合用ホーン100を振動の方向50に超音波振動させる。条件は上記と同じである。
図11(b)は、図11(a)に対し平面部5のない、本発明の実施形態にかかる超音波接合による電池の接合構成概略断面図である。超音波接合用ホーン200により被接合材の電極積層体300の導電タブ21を集電板リードタブ26(第2金属板)に対して押圧し、超音波接合用ホーン200を振動の方向50に超音波振動させる。条件は上記と同じである。
図11(c)は、図11(a)の突起2の角錐形状に対し、突起11が円錐形状である、本発明の実施形態にかかる超音波接合による電池の接合構成概略断面図である。超音波接合用ホーン400により被接合材の電極積層体300の導電タブ21を集電板リードタブ26(第2金属板)に対して押圧し、超音波接合用ホーン400を振動の方向50に超音波振動させる。条件は上記と同じである。
図11(d)は、図11(c)に対し平面部5のない、本発明の実施形態にかかる超音波接合による電池の接合構成概略断面図である。超音波接合用ホーン500により被接合材の電極積層体300の導電タブ21を集電板リードタブ26(第2金属板)に対して押圧し、超音波接合用ホーン500を振動の方向50に超音波振動させる。条件は上記と同じである。
<効果>
以上のように、本発明の実施形態にかかる超音波接合による電池の接合構成では、ホーン基部1の加圧面4に複数の突起2を円弧状に配列し、その円弧状に配列された領域が複数個配列し、突起2の先端9を面取りした超音波接合用ホーン100である。
以上のように、本発明の実施形態にかかる超音波接合による電池の接合構成では、ホーン基部1の加圧面4に複数の突起2を円弧状に配列し、その円弧状に配列された領域が複数個配列し、突起2の先端9を面取りした超音波接合用ホーン100である。
これにより超音波接合で接合された被接合材の電極積層体300である電池の複数の電極集電体の導電タブ21と集電板リードタブ26(第2金属板)が、超音波振動と加圧により、被接合材外縁の突起形状接合痕が線から点に点在し、突起先端形状接合痕は点から面となる。
更に、加圧面4の突起2間には、堀溝3aの空隙を形成し、領域間にも堀溝3bの空隙が形成されている。また、加圧面4より突出し突起2より低い平面部5が加圧面4を囲むように四方に形成されている。
これにより突起2で押し出された被接合材は、塑性流動により堀溝3aへ流動し、更に外周部に押し出された被接合材は、平面部5と堀溝3bの空隙により留まり外周縁へ流出することを抑制でき、被接合材には、突起2の形状や堀溝3a、3bにより、被接合材の塑性流動を制御した形状がそのまま被接合材へ転写されることを特徴とする、電池の接合構造体である。
これにより、応力緩和により、切れや破れ、バリやはみ出しによるバリの発生を抑制させることができる。
また、突起2の形状は角錐や円錐、角柱や円柱でも良く、角錐形状に角柱を組み合わせた形状や、円錐形状に円柱を組み合わせた形状でも良いが、好ましくは角錐や円錐形状が好ましいが、その限りではない。
更に、外周の平面部5を設けず、突起2間の堀溝3a若しくは、領域間の加圧面4の堀溝3bの幅や深さを変えることで、平面部5を設けたのと同様に被接合材の塑性流動効果が得られ、応力緩和により、切れや破れ、バリやはみ出しによるバリの発生を抑制させることができる。
本発明の超音波振動により接合する電池の接合構造体の用途は、特に制限されるものではないが、例えばリチウムイオン二次電池の製造方法として用いることが可能である。
1 ホーン基部
2 突起
2a 領域
3a 堀溝
3b 堀溝
4 加圧面
5 平面部
7a 凹部
7b 領域
8a 第2凸部
8b 第3凸部
9 先端
10 突起
11 突起
12 突起
13 接合痕
14 第1平坦部
15 突起
16 第4凸部
20 正極電極集電体
21 導電タブ(第1金属板)
22 電極合剤層
23 負極電極集電体
24 導電タブ
25 セパレータ
26 集電板リードタブ(第2金属板)
27 天板
28 正極端子
29 負極端子
30 溝
50 方向
100 超音波接合用ホーン
150 固定台アンビル
200 超音波接合用ホーン
300 電極積層体
400 超音波接合用ホーン
500 超音波接合用ホーン
600 角型リチウムイオン二次電池
2 突起
2a 領域
3a 堀溝
3b 堀溝
4 加圧面
5 平面部
7a 凹部
7b 領域
8a 第2凸部
8b 第3凸部
9 先端
10 突起
11 突起
12 突起
13 接合痕
14 第1平坦部
15 突起
16 第4凸部
20 正極電極集電体
21 導電タブ(第1金属板)
22 電極合剤層
23 負極電極集電体
24 導電タブ
25 セパレータ
26 集電板リードタブ(第2金属板)
27 天板
28 正極端子
29 負極端子
30 溝
50 方向
100 超音波接合用ホーン
150 固定台アンビル
200 超音波接合用ホーン
300 電極積層体
400 超音波接合用ホーン
500 超音波接合用ホーン
600 角型リチウムイオン二次電池
Claims (15)
- 第1金属板と、
前記第1金属板に積層された第2金属板と、を含み、
前記第1金属板のうち前記第2金属板が積層されていない一方の面に、
複数の凹部が円弧状に配列された電極接合構造体。 - 前記凹部の先端には、第1平坦部がある請求項1記載の電極接合構造体。
- 前記複数の凹部間には、第2凸部を有する請求項1または2記載の電極接合構造体。
- 前記複数の凹部は、1つの領域を形成し、
前記一方の面には、前記1つの領域が複数個配置され、
前記複数の領域間には、第3凸部が位置する請求項1〜3のいずれか1項に記載の電極接合構造体。 - 前記1つの領域では、前記凹部が、同心円状に配列された請求項4項に記載の電極接合構造体。
- 前記1つの領域では、前記円弧状の内で、格子状に配列された請求項4項に記載の電極接合構造体。
- 前記1つの領域では、前記円弧状の内で、十字状に配列された請求項4項に記載の電極接合構造体。
- 前記1つの領域では、前記円弧状の内で、千鳥状に配列された請求項4項に記載の電極接合構造体。
- 前記複数の領域の外周に第4凸部が設けられた請求項4項に記載の電極接合構造体。
- 前記凹部の形状が角錐である請求項1〜9のいずれか1項に記載の電極接合構造体。
- 前記凹部の形状が円錐である請求項1〜9のいずれか1項に記載の電極接合構造体。
- 前記凹部の形状が角柱である請求項1〜9のいずれか1項に記載の電極接合構造体。
- 前記凹部の形状が円柱である請求項1〜9のいずれか1項に記載の電極接合構造体。
- 前記凹部の形状が角錐と角柱を組み合わせた形状である請求項1〜9のいずれか1項に記載の電極接合構造体。
- 前記凹部の形状が円錐と円柱を組み合わせた形状である請求項1〜9のいずれか1項に記載の電極接合構造体。
Priority Applications (1)
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JP2017052791A JP2018156841A (ja) | 2017-03-17 | 2017-03-17 | 電極接合構造体 |
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JP2017052791A JP2018156841A (ja) | 2017-03-17 | 2017-03-17 | 電極接合構造体 |
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JP (1) | JP2018156841A (ja) |
Cited By (1)
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JP2021150320A (ja) * | 2020-03-16 | 2021-09-27 | 三菱電機株式会社 | ボンディングツール、電力半導体装置の製造方法及び電力半導体装置 |
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2017
- 2017-03-17 JP JP2017052791A patent/JP2018156841A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2021150320A (ja) * | 2020-03-16 | 2021-09-27 | 三菱電機株式会社 | ボンディングツール、電力半導体装置の製造方法及び電力半導体装置 |
JP7316958B2 (ja) | 2020-03-16 | 2023-07-28 | 三菱電機株式会社 | ボンディングツール、及び、電力半導体装置の製造方法 |
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