JP2018152232A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 荷電粒子が照射されるシンチレータと、
   前記シンチレータの荷電粒子が照射される面と対向する面に接する蛍光フィルムと、
   前記蛍光フィルムの発光を検出する光検出器とを有し、
   前記蛍光フィルムは複数の領域を有し、前記複数の領域はそれぞれ前記シンチレータの発光を吸収し、互いに異なる波長で発光する蛍光体を有する荷電粒子検出器。
2. 請求項１において、
   前記蛍光体は有機化合物を含む蛍光体である荷電粒子検出器。
3. 請求項２において、
   前記蛍光体は有機化合物で覆われた量子ドットであり、
   前記蛍光フィルムはマトリクスを有し、前記マトリクス内に前記量子ドットが分散されている荷電粒子検出器。
4. 請求項１において、
   前記複数の領域のいずれかの蛍光体の発光を選択的に透過または反射させる光学素子を有し、
   前記光検出器は、前記光学素子を透過または反射した光を検出する荷電粒子検出器。
5. 請求項４において、
   前記蛍光フィルムの発光した光を前記光学素子に伝搬するウェイブガイドを有する荷電粒子検出器。
6. 請求項５において、
   前記ウェイブガイドの前記蛍光フィルム側の端面及び前記蛍光フィルムに対向する側面は、光拡散反射膜に覆われ、
   前記ウェイブガイドの前記蛍光フィルムに対向しない側面は、光鏡面反射膜で覆われている荷電粒子検出器。
7. 請求項１において、
   前記シンチレータに接する面と対向する面から前記蛍光フィルムを励起する光源と、
   前記光検出器の出力信号を増幅する信号アンプとを有し、
   前記信号アンプは、前記複数の領域それぞれの蛍光体について、あらかじめ定められた発光効率と前記光源により前記蛍光フィルムを励起して測定した発光効率とに基づき設定される信号アンプ倍率により、前記光検出器の出力信号を増幅して出力する荷電粒子検出器。
8. 請求項７において、
   前記光源の発光する光の発光波長は、前記シンチレータの発光する光の発光波長に等しくされる荷電粒子検出器。
9. 請求項１において、
   前記シンチレータと前記蛍光フィルムを囲む導電性のハウジングを有する荷電粒子検出器。
10. 荷電粒子源と、
    試料を配置するステージと、
    前記荷電粒子源より放出される一次荷電粒子線を前記ステージに配置された試料上に集束させる対物レンズと、
    前記一次荷電粒子線が試料に照射されることによって発生する二次荷電粒子を検出する荷電粒子検出器を有し、
    前記荷電粒子検出器は、前記二次荷電粒子が照射されるシンチレータと、前記シンチレータの前記二次荷電粒子が照射される面と対向する面に接する蛍光フィルムと、前記蛍光フィルムの発光を検出する光検出器とを有し、前記蛍光フィルムは複数の領域を有し、前記複数の領域はそれぞれ前記シンチレータの発光を吸収し、互いに異なる波長で発光する蛍光体を有する荷電粒子線装置。
11. 請求項１０において、
    前記荷電粒子検出器は、前記対物レンズと前記ステージとの間の空間に配置される荷電粒子線装置。
12. 請求項１０において、
    前記荷電粒子検出器は、前記シンチレータに接する面と対向する面から前記蛍光フィルムを励起する光源と、前記光検出器の出力信号を増幅する信号アンプとを有し、前記信号アンプは、前記複数の領域それぞれの蛍光体について、あらかじめ定められた発光効率と前記光源により前記蛍光フィルムを励起して測定した発光効率とに基づき設定される信号アンプ倍率により、前記光検出器の出力信号を増幅して出力する荷電粒子線装置。
13. 請求項１２において、
    前記信号アンプの信号アンプ倍率を設定するシステム制御部を有し、
    前記システム制御部は、前記複数の領域それぞれの蛍光体についての発光効率標準値を記憶する記憶部と、前記光源を発光させ、前記複数の領域それぞれの蛍光体についての発光効率を測定する計測部と、前記発光効率標準値と前記計測部により測定された発光効率とに基づき、前記複数の領域それぞれの蛍光体について信号アンプ倍率を設定する演算部とを有する荷電粒子線装置。
14. 請求項１３において、
    前記発光効率標準値は、発光効率変動前にあらかじめ測定された前記複数の領域それぞれの蛍光体の発光効率である荷電粒子線装置。