JP2018152051A - 診断システム、診断方法、診断プログラム及び流量制御装置。 - Google Patents
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Abstract
Description
なお、P1は、上流側圧力センサの圧力値であり、P2は、下流側圧力センサの圧力値であり、Xは、ガス種によって変化する係数である。
なお、Vは、診断用の体積値であり、P1STARTは、所定時間の始点において上流側圧力センサで測定された圧力であり、P1ENDは、所定時間の終点において上流側圧力センサで測定された圧力である。
なお、nは、モル数(式(1)を用いて算出した単位時間あたりの質量(質量流量Q)を時間で積分したもの、すなわち、質量流量積分値nである。)であり、Rは、ガス種によって定まる気体定数であり、Tは、温度センサで測定される温度であり、ここでは、一定とみなしており、ΔP1は、所定時間の始点及び終点において上流側圧力センサで測定される圧力の圧力差である。
前記流量センサの上流側に設けられ、その流量センサの出力値に基づいて前記流体の流量を制御する流量制御機構と、前記流体センサの出力値又はこれに関連する値のいずれかの値である出力関連値を測定する出力関連値測定部と、前記出力関連値が正常であるか否か判断するために予め定められた基準値を記憶する基準値記憶部と、前記出力関連値又は前記基準値の少なくとも一方を、前記出力関連値の測定周囲条件に応じて補正する補正部と、前記補正部の補正結果に基づく前記出力関連値と前記基準値とに基づいて前記流体センサを診断する診断部と、を具備することを特徴とするものである。
本実施形態に係る診断システムDSは、図1に示すように、流量制御装置MF1と、流量制御装置MF1の上流側及び下流側に設けられた開閉バルブUV,DVと、を具備するものであり、例えば、半導体の成膜装置における成膜室(チャンバ)に材料ガスや冷却ガスを供給するためのガス制御システムに用いられる。
その他の実施形態として、図9に示す流量制御装置MF2は、実施形態1の流量制御装置MF1の変形例であり、流量センサ20の下流側に開閉バルブ31が設けられており、温度センサ80が抵抗体50と開閉バルブ31との間に設けられている。このような流量制御装置MF2において、ROR型の診断が可能となる。具体的には、流量センサ20の機能を診断する場合には、開閉バルブ31を閉じた状態でガスの供給が続くと、開閉バルブ30の上流側が昇圧する。そして、この場合にも抵抗体50の上流側と下流側とで差圧が生じるため、各センサ60,70,80の測定値に基づいて抵抗体50と開閉バルブ31との間の体積値Vを算出することでき、この体積値Vを用いて流量センサ20の機能を診断することができる。なお、本実施形態においては、測定周囲条件として、流量センサ20の上流側に接続された配管や外部機器から生じる一次圧変化や温度変化を加味して基準値を変化させる必要がある。
UV,DV 開閉バルブ
10 流路
20 流量センサ
30 流量制御機構
40 圧力センサ
50 抵抗体
60 上流側圧力センサ
70 下流側圧力センサ
80 温度センサ
90 制御部
90e 基準出力関連値記憶部
90g 補正部
90i 流量センサ診断部
Claims (11)
- 流体を測定する流体センサと、
前記流体センサの出力値又はこれに関連する値のいずれかの値である出力関連値を測定する出力関連値測定部と、
前記出力関連値が正常であるか否か判断するために予め定められた基準値を記憶する基準値記憶部と、
前記出力関連値又は前記基準値の少なくとも一方を、前記出力関連値の測定周囲条件に応じて補正する補正部と、
記補正部の補正結果に基づく前記出力関連値と前記基準値とに基づいて前記流体センサを診断する診断部と、を具備することを特徴とする診断システム。 - 予め基準となる測定周囲条件下で測定された基準出力関連値とその測定周囲条件とを関連付けて記憶する基準出力関連値記憶部をさらに具備し、
前記補正部が、前記出力関連値又は前記基準値を、前記出力関連値に関連付けられた測定周囲条件と前記基準出力関連値に関連付けられた測定周囲条件との偏差に基づいて補正する請求項1記載の診断システム。 - 前記測定周囲条件が、前記流体の圧力又は温度のいずれかを含む請求項1又は2のいずれかに記載の診断システム。
- 前記出力関連値が、前記流体の経時変化する圧力の時間積分値に基づく値である請求項1乃至3のいずれかに記載の診断システム。
- 前記出力関連値が、前記流体の流れの上流と下流との間に生じる差圧に基づき算出される質量流量を所定時間積分した質量流量積分値に基づく値である請求項1乃至4のいずれかに記載の診断システム。
- 前記出力関連値が、前記上流又は下流における前記所定時間の間の圧力変化量及び温度変化量と、前記質量流量積分値とから算出される流体の体積値である請求項5記載の診断システム。
- 前記流体の流れを遮断する流量調整機構をさらに具備し、
前記前記流量調整機構が、前記流体の流れを遮断することによって上流側又は下流側の流体の圧力が経時変化する請求項4乃至6のいずれかに記載の診断システム。 - 前記流体センサが、前記流体の上流と下流との間に差圧を発生させる抵抗体を備える請求項5乃至7のいずれかに記載の診断システム。
- 流体を測定する流体センサの機能を診断する診断方法であって、
前記流体センサの出力値又はこれに関連する値のいずれかの値である出力関連値を測定し、
前記出力関連値又は前記出力関連値が正常であるか否か判断するために予め定められた基準値の少なくとも一方を、前記出力関連値の測定周囲条件に応じて補正し、
前記補正結果に基づく前記出力関連値と前記基準値とに基づいて前記流体センサを診断することを特徴とする流体センサの診断方法。 - 流体を測定する流体センサの機能を診断する診断システムに用いられるプログラムであって、
前記流体センサの出力値又はこれに関連する値のいずれかの値である出力関連値を測定し、
前記出力関連値又は前記出力関連値が正常であるか否か判断するために予め定められた基準値の少なくとも一方を、前記出力関連値の測定周囲条件に応じて補正し、
前記補正結果に基づく前記出力関連値と前記基準値とに基づいて前記流体センサを診断する機能をコンピュータに発揮させることを特徴とするプログラム。 - 流体の流量を測定する流量センサと、
前記流量センサの上流側に設けられ、その流量センサの出力値に基づいて前記流体の流量を制御する流量制御機構と、
前記流体センサの出力値又はこれに関連する値のいずれかの値である出力関連値を測定する出力関連値測定部と、
前記出力関連値が正常であるか否か判断するために予め定められた基準値を記憶する基準値記憶部と、
前記出力関連値又は前記基準値の少なくとも一方を、前記出力関連値の測定周囲条件に応じて補正する補正部と、
前記補正部の補正結果に基づく前記出力関連値と前記基準値とに基づいて前記流体センサを診断する診断部と、を具備することを特徴とする流量制御装置。
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