JP2018149572A - レーザー加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)被加工物に対して吸収性を有する波長のパルスレーザー光線を照射してアブレーション加工を施し分割予定ラインに溝を形成して個々のデバイスに分割するタイプ(たとえば特許文献1参照。)
(2)被加工物に対して透過性を有する波長のパルスレーザー光線の集光点を分割予定ラインの内部に位置づけてパルスレーザー光線をウエーハに照射して分割予定ラインの内部に改質層を形成して個々のデバイスに分割するタイプ(たとえば特許文献2参照。)
(3)被加工物に対して透過性を有する波長のパルスレーザー光線の集光点を分割予定ラインに位置づけてパルスレーザー光線をウエーハに照射して分割予定ラインの表面から裏面に至る細孔と細孔を囲繞する非晶質を形成し個々のデバイスに分割するタイプ(たとえば特許文献3参照。)
被加工物 電子励起時間 熱放出時間
サファイア 8ps 1μs
シリコン 20ps 5μs
リチウムタンタレート 50ps 50μs
リチウムナイオベート 50ps 50μs
銅 20ps 5μs
6:保持手段
10:レーザー光線照射手段(第一の実施形態)
42:集光器
42a:集光レンズ
44:発振器
46:第一の光路
48:第二の光路
50:第一のビームスプリッター
52:光遅延光学体
54:第二のビームスプリッター
58:1/2波長板
60:第一のミラー
62:第二のミラー
LB:パルスレーザー光線
LB1:第一のパルスレーザー光線
LB2:第二のパルスレーザー光線
80:レーザー加工装置(第二の実施形態)
82:レーザー光線照射手段
84:第一の光路(光ファイバー)
86:第二の光路(光ファイバー)
Claims (4)
- 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物にパルスレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、を含むレーザー加工装置であって、
該レーザー光線照射手段は、
被加工物にレーザー光線を照射することによって生じる電子励起の時間よりも短いパルス幅を有するパルスレーザー光線を発振する発振器と、
該発振器が発振したパルスレーザー光線を分岐して第一の光路に第一のパルスレーザー光線を導くと共に第二の光路に第二のパルスレーザー光線を導く第一のビームスプリッターと、
該第一の光路または該第二の光路に配設され該電子励起時間に満たない時間だけ第一のパルスレーザー光線と第二のパルスレーザー光線との一方に対して第一のパルスレーザー光線と第二のパルスレーザー光線との他方を相対的に遅延させる光遅延光学体と、
該第一の光路と該第二の光路とを合流させる第二のビームスプリッターと、
該第二のビームスプリッターによって合流した第一のパルスレーザー光線と第二のパルスレーザー光線を該保持手段に保持された被加工物に照射する集光器と、
を少なくとも備えたレーザー加工装置。 - 該第一の光路を直角に曲げて該第二のビームスプリッターに第一のパルスレーザー光線を導く第一のミラーと、
該第二の光路を直角に曲げて該第二のビームスプリッターに第二のパルスレーザー光線を導く第二のミラーと、を備える請求項1記載のレーザー加工装置。 - 該発振器と該第一のビームスプリッターとの間に、1/2波長板が配設され、第一のパルスレーザー光線と第二のパルスレーザー光線の光量が調整される請求項1記載のレーザー加工装置。
- 該発振器が発振するパルスレーザー光線の繰り返し周波数は、該第一のパルスレーザー光線と該第二のパルスレーザー光線を照射した後に生じる熱が放出する時間で1秒を除した値以下に設定される請求項1記載のレーザー加工装置。
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