JP2018144115A - 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐剥離性を発揮する表面被覆切削工具 - Google Patents

硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐剥離性を発揮する表面被覆切削工具 Download PDF

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Abstract

【課題】高速断続切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐剥離性を備え、長期の使用に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮する被覆工具を提供する。【解決手段】硬質被覆層が、TiAlCN層を少なくとも含み、該層のNaCl型の面心立方構造を有するTiAlCN結晶粒には、周期的な組成変化が存在し、かつ、TiAlCN層の層厚をその層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間におけるAlの平均含有割合を求めたとき、工具基体側の区間に比して、硬質被覆層表面側の区間のAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合が単調増加し、最も工具基体側の区間のAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合よりも最も硬質被覆層表面側の区間におけるAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合の方が大きい値になる表面被覆切削工具。【選択図】 図1

Description

本発明は、高熱発生を伴うとともに、切刃に対して衝撃的な負荷が作用する鋳鉄等の高速断続切削加工で、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐剥離性を備えることにより、長期の使用に亘ってすぐれた切削性能を発揮する表面被覆切削工具(以下、被覆工具という)に関するものである。
従来、一般に、炭化タングステン(以下、WCで示す)基超硬合金、炭窒化チタン(以下、TiCNで示す)基サーメットあるいは立方晶窒化ホウ素(以下、cBNで示す)基超高圧焼結体で構成された工具基体(以下、これらを総称して工具基体という)の表面に、硬質被覆層として、Ti−Al系の複合窒化物層を物理蒸着法により被覆形成した被覆工具が知られており、これらは、すぐれた耐摩耗性を発揮することが知られている。
ただ、前記従来のTi−Al系の複合窒化物層を被覆形成した被覆工具は、比較的耐摩耗性にすぐれるものの、高速断続切削条件で用いた場合にチッピング、剥離等の異常損耗を発生しやすいことから、硬質被覆層の改善についての種々の提案がなされている。
例えば、特許文献1には、TiCl、AlCl、NHの混合反応ガス中で、650〜900℃の温度範囲において化学蒸着を行うことにより、Alの含有割合xの値が0.65〜0.95である(Ti1−xAl)N層を蒸着形成できることが記載されているが、この文献では、この(Ti1−xAl)N層の上にさらにAl層を被覆し、これによって断熱効果を高めることを目的とするものであるから、Alの含有割合xの値を0.65〜0.95まで高めた(Ti1−xAl)N層の形成によって、切削性能にどのような影響を及ぼしているかについては明らかでない。
また、例えば、特許文献2には、TiCN層、Al層を内層として、その上に、化学蒸着法により、立方晶構造あるいは六方晶構造を含む立方晶構造の(Ti1−xAl)N層(ただし、原子比で、xは0.65〜0.90)を外層として被覆するとともに該外層に100〜1100MPaの圧縮応力を付与することにより、被覆工具の耐熱性と疲労強度を改善することが提案されている。
また、例えば、特許文献3には、基材表面に形成された硬質被膜のうちの少なくとも1層をCVD法により形成した表面被覆部材において、第1単位層と第2単位層とが交互に多層積層され、第1単位層は、Tiと、B、C、NおよびOからなる群より選ばれる1種以上の元素とを含む第1化合物を含み、第2単位層は、Alと、B、C、NおよびOからなる群より選ばれる1種以上の元素とを含む第2化合物を含むことにより、表面被覆部材の耐摩耗性、耐溶着性および耐熱衝撃性を向上させることが提案されている。
また、例えば、特許文献4には、基材表面に形成された硬質被膜のうちの少なくとも1層をCVD法により形成した表面被覆部材において、前記層のうち少なくとも1層は、硬質粒子を含む層であり、前記硬質粒子は、第1単位層と第2単位層とが交互に積層された多層構造を含み、前記第1単位層は、周期表の4族元素、5族元素、6族元素およびAlからなる群より選ばれる1種以上の元素と、B、C、NおよびOからなる群より選ばれる1種以上の元素とからなる第1化合物を含み、前記第2単位層は、周期表の4族元素、5族元素、6族元素およびAlからなる群より選ばれる1種以上の元素と、B、C、NおよびOからなる群より選ばれる1種以上の元素とからなる第2化合物を含むことにより、表面被覆部材の耐摩耗性、耐溶着性を向上させることが提案されている。
特表2011−516722号公報 特表2011−513594号公報 特開2014−128848号公報 特開2014−129562号公報
近年の切削加工における省力化および省エネ化の要求は強く、これに伴い、切削加工は一段と高速化、高効率化の傾向にあり、被覆工具には、より一層、耐チッピング性、耐欠損性、耐剥離性等の耐異常損傷性が求められるとともに、長期の使用に亘ってのすぐれた耐摩耗性が求められている。
しかし、前記特許文献1に記載されている化学蒸着法で蒸着形成した(Ti1−xAl)N層については、Alの含有割合xを高めることができ、また、立方晶構造を形成させることができることから、所定の硬さを有し耐摩耗性にすぐれた硬質被覆層が得られるものの、工具基体との密着強度は十分でなく、また、靭性に劣るという課題があった。
また、前記特許文献2に記載されている被覆工具は、所定の硬さを有し耐摩耗性にはすぐれるものの、層間の密着強度が不十分で、鋳鉄等の高速断続切削加工に供した場合には、チッピング、欠損、剥離等の異常損傷が発生しやすく、満足できる切削性能を発揮するとは言えないという課題があった。
さらに、前記特許文献3、4に記載される被覆工具においても、鋳鉄等の高速断続切削加工に供した場合には、チッピング、欠損、剥離等の異常損傷が発生しやすく、満足できる切削性能を発揮するとはいえなかった。
そこで、本発明は、鋳鉄等の高速断続切削等に供した場合であっても、層間の密着強度に優れ、チッピング、剥離等の異常損傷を発生することなく、長期の使用に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮する被覆工具を提供することを目的とする。
本発明者らは、前述の観点から、少なくともTiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物(以下、「TiAlCN」、「(Ti,Al)(C,N)」あるいは「(Ti1−XAl)(C1−Y)」で示すことがある)を含む硬質被覆層を形成した被覆工具の耐チッピング性、耐剥離性の改善をはかるべく、鋭意研究を重ねた結果、次のような知見を得た。
即ち、本発明者らは、硬質被覆層を構成するTiAlCN層の結晶粒内の濃度変化に着目し鋭意研究を進めたところ、TiAlCN層のNaCl型の立方晶構造を有する結晶粒粒内にTiとAlの周期的な組成変化を形成し、さらに、TiAlCN層をその層厚方向の複数区間に分割した場合、各区間におけるAlの平均含有割合が硬質被覆層の表面側の区間ほど大きくなるような組成変化を形成することにより、結晶粒に歪を生成させて硬さを高めることができ、また、Alの平均含有割合の傾斜により、下部層との密着強度を高めることができるとともに、硬質被覆層表面で発生したクラックの工具基体表面方向への伝播を抑制し、さらに、組成変化の界面におけるクラック進展抑制効果も相まって、TiAlCN層の耐チッピング性、耐剥離性を高め得ることを見出した。
その結果、本発明の被覆工具は、高熱発生を伴うとともに、刃先に断続的・衝撃的な高負荷が作用する鋳鉄等の高速断続切削に供した場合であっても、チッピング、剥離等の異常損傷を発生することなく、長期の使用に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮することができる。
そして、前述のような構成のTiAlCN層は、例えば、NHを用いた熱CVD法によって形成することができる。
つまり、NHとHからなるガス群Aと、TiCl、AlCl、N、C、Hからなるガス群Bをおのおの別々のガス供給管から反応装置内へ供給し、AlCl/TiCl比を逐次的に増加させながら成膜することにより、工具基体表面から硬質皮膜表面方向へ向かって、Al量が周期的な組成変化をしながら次第に増加するTiAlCN層が成膜される。なお、高Al量のTiAlCN層の成膜において、TiとAlの周期的な組成変化は1周期当たりのガス供給時間や供給量を制御することによって形成される。
本発明は、前記知見に基づいてなされたものであって、
「(1) 炭化タングステン基超硬合金、炭窒化チタン基サーメットまたは立方晶窒化ホウ素基超高圧焼結体のいずれかで構成された工具基体の表面に、硬質被覆層が設けられた表面被覆切削工具において、
(a)前記硬質被覆層は、平均層厚1〜20μmのTiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層を少なくとも含み、
(b)前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層は、NaCl型の面心立方構造を有する複合窒化物または複合炭窒化物の相を少なくとも含み、
(c)前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層は、TiとAlの周期的な組成変化が存在するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒を含み、
(d)前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層は、その平均組成を、
組成式:(Ti1−XAl)(C1−Y
で表し、平均層厚をLavg(μm)とした場合、その層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間におけるAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合を求めたとき、各区間のAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合XavgおよびCのCとNの合量に占める平均含有割合Yavg(但し、Xavg、Yavgはいずれも原子比)は、それぞれ、0.60≦Xavg≦0.95、0≦Yavg≦0.005を満足し、
(e)前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の平均層厚Lavg(μm)を、その層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間におけるAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合を求めたとき、 工具基体側の区間に比して、硬質被覆層表面側の区間のAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合が単調増加し、最も工具基体側の区間のAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合よりも最も硬質被覆層表面側の区間におけるAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合の方が大きい値であることを特徴とする表面被覆切削工具。
(2) 前記複合窒化物または複合炭窒化物層を工具基体の表面と垂直な縦断面から分析した場合、前記TiとAlの周期的な組成変化を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が、前記複合窒化物または複合炭窒化物層の面積に占める割合は、40面積%以上であることを特徴とする(1)に記載の表面被覆切削工具。
(3) 前記TiとAlの周期的な組成変化の周期が最小になる方向と、工具基体表面に垂直な方向とのなす角が30度以内であるようなNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が存在することを特徴とする(1)または(2)に記載の表面被覆切削工具。
(4) 前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の平均層厚Lavg(μm)を、その層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間における前記TiとAlの周期的な組成変化の平均周期を求めたとき、工具基体側の区間に比して硬質被覆層表面側の区間におけるTiとAlの組成変化の平均周期が短くなる(1)乃至(3)のいずれかに記載の表面被覆切削工具。
(5) 前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の平均層厚Lavg(μm)を、その層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間における前記TiとAlの周期的な組成変化を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒において、TiとAlの周期的な組成変化の周期が最小になる方向について測定した各区間のTiとAlの周期的な組成変化の平均周期は1〜20nmであり、かつ、周期的に変化するAlのTiとAlの合量に占める含有割合Xの隣接する極大値Xmaxと極小値Xminの差Δxの最大値は0.01〜0.1であることを特徴とする(1)乃至(4)のいずれかに記載の表面被覆切削工具。
(6) 前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層を工具基体の表面と垂直な縦断面から観察した場合に、該層内のNaCl型の面心立方構造を有する個々の結晶粒の粒界部に、六方晶構造を有する微粒結晶粒が存在し、該微粒結晶粒が前記複合窒化物または複合炭窒化物層の面積に占める割合は5面積%以下であり、該微粒結晶粒の平均粒径Rは0.01〜0.3μmであることを特徴とする(1)乃至(5)のいずれかに記載の表面被覆切削工具。
(7) 前記工具基体と前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の間に、組成の異なるTiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上からなり、0.1〜20μmの合計平均層厚を有する下部層が存在することを特徴とする(1)乃至(6)のいずれかに記載の表面被覆切削工具。
(8) 前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の上部に、少なくとも酸化アルミニウム層を含む上部層が1〜25μmの合計平均層厚で形成されていることを特徴とする(1)乃至(7)のいずれかに記載の表面被覆切削工具。」
に特徴を有するものである。
本発明について、以下に詳細に説明する。
本発明のTiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層(TiAlCN層):
図1〜図5は、TiとAlの周期的な組成変化の概略説明図であり、図1は、硬質被覆層表面側ほど、TiAlCN層におけるAlのTiとAlの合量に占める含有割合(以下、単に、「Alの含有割合」という)が高くなる様子を示し、図2は、TiAlCN層の層厚方向に向かって、周期的な組成変化を示しながら硬質被覆層表面側ほど、Alの含有割合が高くなることを示す概略説明図である。図3はTiAlCN層の層厚方向に向かって、周期的な組成変化を示しながら、硬質被覆層表面側の区間ほど、Alの含有割合が高くなる別の態様を示す概略説明図である。図4は、TiAlCN層の層厚方向に向かって、周期的な組成変化を示しながら組成変化の周期が小さくなり、かつ硬質被覆層表面側ほど、Alの含有割合が高くなる様子を表し、図5はTiAlCN層の層厚方向に向かって、周期的な組成変化を示しながら組成変化の周期が小さくなり、かつ硬質被覆層表面側ほど、Alの含有割合が高くなることを示す概略説明図である。
TiAlCN層の平均層厚:
本発明の硬質被覆層は、前述したようにNHを用いた熱CVD法によって形成されたTiAlCN層を少なくとも含む。
このTiAlCN層は、硬さが高く、すぐれた耐摩耗性を有するが、特に平均層厚が1〜20μmのとき、その効果が際立って発揮される。その理由は、平均層厚が1μm未満では、層厚が薄いため長期の使用に亘っての耐摩耗性を十分確保することができず、一方、その平均層厚が20μmを越えると、TiAlCN層の結晶粒が粗大化し易くなり、チッピングを発生しやすくなる。
したがって、その平均層厚を1〜20μmと定めた。
TiAlCN層の組成:
本発明の硬質被覆層を構成するTiAlCN層を、
組成式:(Ti1−XAl)(C1−Y
で表し、平均層厚をLavg(μm)とした場合、その層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間におけるAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合を求めたとき、各区間のAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合(以下、単に、「Alの平均含有割合」という)XavgおよびCのCとNの合量に占める平均含有割合(以下、単に、「Cの平均含有割合」という)Yavg(但し、Xavg、Yavgはいずれも原子比)が、それぞれ、0.60≦Xavg≦0.95、0≦Yavg≦0.005を満足するように定める。
その理由は、TiAlCN層の硬さを担保するためにはAlの平均含有割合Xavgの高いNaCl型の面心立方構造の結晶粒からなるTiAlCN層を形成することが望まれるが、Alの平均含有割合Xavgが0.60未満では、硬さが十分でないため耐摩耗性の向上を図ることはできず、一方、0.60≦Xavgにおいて硬さが最大値に漸近するが、0.95<Xavgになると、硬さを確保する上で重要なNaCl型の面心立方構造を維持するのが難しく、硬さが低い六方晶構造のTiAlCN結晶粒が生成するため、Alの平均含有割合Xavgは、0.60≦Xavg≦0.95の範囲内とする。
また、TiAlCN層に含まれるCの平均含有割合Yavgは、0≦Yavg≦0.005の範囲の微量であるとき、TiAlCN層と工具基体もしくは下部層との密着性が向上し、かつ、潤滑性が向上することによって切削時の衝撃を緩和し、結果として硬質被覆層の耐欠損性および耐チッピング性が向上する。一方、Cの平均含有割合Yavgが0≦Yavg≦0.005の範囲を外れると、TiAlCN層の靭性が低下し、耐欠損性および耐チッピング性が低下するため好ましくない。したがって、Cの平均含有割合Yavgは、0≦Yavg≦0.005とする。
ただし、Cの平均含有割合Yavgについては、ガス原料としてCを含むガスを用いなくても不可避的に含有されるCの含有割合を除外している。具体的には、例えば、Cを含むガス原料であるCの供給量を0とした場合に、TiAlCN層に含まれるCの含有割合(原子比)を不可避的なCの含有割合として求め、例えば、Cを意図的に供給した場合に得られるTiAlCN層に含まれるCの含有割合(原子比)から前記不可避的に含有されるCの含有割合を差し引いた値をYavgとする。
TiAlCN層におけるAlの平均含有割合Xavgについては、透過型電子顕微鏡を用いて、加速電圧200kVの条件において前記TiAlCN層縦断面の微小領域の観察を行い、エネルギー分散型X線分光法(EDS)を用いて、断面側から線分析を行うことによって、次のように求めることが出来る。
TiAlCN層の平均層厚をLavg(μm)とした場合、該TiAlCN層の平均層厚Lavg(μm)を、層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間におけるAlの含有割合の平均値を求めたとき硬質被覆層表面側の区間におけるAlの含有割合の平均値は、工具基体側の区間におけるAlの含有割合の平均値に比して単調増加し、最も工具基体側の区間のAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合よりも最も硬質被覆層表面側の区間におけるAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合の方が大きい値であることが必要である。
また、分割した各区間におけるAlの含有割合は、工具基体表面と垂直な方向に少なくとも10本以上の線分析を行い、測定点の平均値としてそれぞれ分割した区間毎に求めることが出来る。さらに、この各区間のAlの含有割合の平均値を用い、全区間の平均値を取り、Xavgとして算出する。
周期的な組成変化:
図1〜図5の模式図に示すように、TiAlCN層のNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒内には、周期的な組成変化が存在することが必要である。また、前記TiとAlの周期的な組成変化を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が、前記複合窒化物または複合炭窒化物層の面積に占める割合は、40面積%以上であることが好ましい。
また、前記TiとAlの周期的な組成変化において、周期的な組成変化の周期が最小となる方向と、工具基体表面に垂直な方向とのなす角が30度以内であるようなNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が少なくとも存在することが好ましい。
本発明でいう「TiとAlの周期的な組成変化」とは、Alの含有割合が増減を繰り返しながら、全体としては、工具基体側から上部層側に向かって増加することをいう。TiとAlの周期的な組成変化の周期とは、TiとAlの周期的な組成変化の周期が最小となる方向において測定される隣り合う極小値の長さ(距離)のことである。
前記でいう「周期的な組成変化の周期が最小となる方向が、工具基体表面に垂直な方向とのなす角度が30度以内」の方向とは、「硬質被覆層を構成するTiAlCN層を、工具基体の表面と垂直な任意の縦断面から分析した場合、NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒内に存在するTiとAlの周期的な組成変化のうちで、組成変化の周期が最小になる方向を求め、該組成変化の周期が最小になる方向と工具基体表面に垂直な方向となす角が30度以内であるような周期的な組成変化の方向」(以下、「本発明組成変化の方向」と略記する)のことである。
ここで、NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒には、TiとAlの周期的な組成変化が存在することが必要である理由と、前記TiとAlの周期的な組成変化を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が、前記複合窒化物または複合炭窒化物層の面積に占める割合は、40面積%以上であることが好ましい理由、あるいは周期的な組成変化の周期が最小となる方向が、工具基体表面に垂直な方向とのなす角度が30度以内の方向であるNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が少なくとも存在することが好ましい理由は、次のとおりである。
本発明では、TiAlCN層の成膜を、反応ガス群Aとガス群Bを工具基体表面に到達する時間に差が生じるように供給する事により、結晶粒内にTiとAlの局所的な組成差を形成することができる。前記TiとAlの周期的な組成変化が膜中に存在すると、切削時に摩耗が進行する面に作用するせん断力により生じるクラックの進展を抑制し、靱性が向上する。このクラック進展抑制効果については、TiとAlの組成の異なる境界において、その進展方向の曲がりや屈折が生じることにより発揮されるものと推測される。
前記TiとAlの周期的な組成変化を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が、前記複合窒化物または複合炭窒化物層の面積に占める割合が、40面積%未満であると前記クラックの進展を抑制する効果が小さくなり、靱性向上の効果も小さくなる。
特に 前記工具基体表面に垂直な方向となす角度が30度以内の方向の周期的な組成変化は、切削時に摩耗が進行する面に作用するせん断力により生じる基体と垂直な方向へのクラックの進展を抑制し、靭性が向上するが、周期的な組成変化の方向が、工具基体表面に垂直な方向となす角度が30度を超えると、工具基体と垂直な方向へのクラックの進展を抑制する効果が小さくなり、靭性向上の効果も小さくなる。
したがって、本発明では、NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒には、TiとAlの周期的な組成変化が存在することが必要であり、前記TiとAlの周期的な組成変化を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が、前記複合窒化物または複合炭窒化物層の面積に占める割合は、40面積%以上であること、また、前記結晶粒内における周期的な組成変化の周期が最小となる方向が、工具基体表面に垂直な方向となす角度が30度以内の方向であることが好ましい。
なお、前記TiとAlの周期的な組成変化を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が、前記複合窒化物または複合炭窒化物層の面積に占める割合は、40面積%以上であることの測定、確認は次のように行った。透過型電子顕微鏡を用いて、1μm×1μmの像におけるTiとAlの周期的な組成変化に対応する画像のコントラストの変化、あるいはエネルギー分散型X線分光法(EDS)によって確認されるTiとAlの周期的な組成変化を有する結晶粒の面積をそれぞれ算出し、前記1μm×1μmの観察領域に占める面積割合を少なくとも10視野で求め、その平均値を、本発明組成変化を有する結晶粒の面積として求めることが出来る。
また、結晶粒内における周期的な組成変化の方向が、工具基体表面に垂直な方向となす角度が30度以内の方向であるNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒の存在の測定・確認は、透過型電子顕微鏡を用いて、1μm×1μmの像におけるTiとAlの周期的な組成変化に対応する画像のコントラストの変化、あるいはエネルギー分散型X線分光法(EDS)によって確認されるTiとAlの周期的な組成変化を有する領域から、各結晶粒の組成変化の方向を求め、これらの中から、周期的組成変化の方向が工具基体表面に垂直な方向となす角が30度以内である結晶粒を抽出することによって、測定・確認することが出来る。
本発明のTiAlCN層は、前述の周期的な組成変化を示すとともに、TiAlCN層の平均層厚をLavg(μm)とした場合、該TiAlCN層の平均層厚Lavg(μm)を、層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間におけるAlの含有割合の平均値を求めたとき、硬質被覆層表面側の区間におけるAlの含有割合の平均値は、工具基体側の区間におけるAlの含有割合の平均値に比して単調増加し、最も工具基体側の区間のAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合よりも最も硬質被覆層表面側の区間におけるAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合の方が大きい値であることが必要である。
これは、TiAlCN層を、NaCl型の立方晶構造の結晶粒を主体として形成し、該層の硬さを担保し、硬質被覆層全体としての耐摩耗性を向上させると同時に、工具基体(あるいは後記する下部層)との密着性を高め、硬質被覆層全体としての耐チッピング性、耐剥離性を向上させるためである。
なお、前記[Lavg]はガウス記号を表す。
ガウス記号[Lavg]はLavgを超えない最大の整数を表す数学記号であり、言い換えれば、[Lavg]は、n≦Lavg<n+1で定義される数値(ただし、nは整数)をいう。
例えば、TiAlCN層のLavg=1.5(μm)の場合、[1.5]=1であるから、『[Lavg]+2分割』とは、1+2=3分割ということになる。
また、前記それぞれの区間毎のAlの含有割合の平均値は、エネルギー分散型X線分光法(EDS)を用いて、断面側から線分析を行うことによって、確認することが出来る。分割した各区間におけるAlの含有割合は、工具基体表面と垂直な方向に少なくとも10本以上の線分析を行い、該測定値の平均値としてそれぞれ分割した区間毎に求める。
本発明のTiAlCN層の本発明組成変化の方向を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒において、TiAlCN層の平均層厚Lavg(μm)を、その層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間におけるTiとAlの周期的な組成変化の平均周期を求めたとき、工具基体側の区間における組成変化の平均周期に比して、硬質被覆層表面側の区間における組成変化の平均周期が短くなることが好ましい(図4、図5参照)。
これは、Al含有割合が多いほど、AlTiCN層の格子定数が小さくなるために、格子歪を付与し、また、亀裂進展性能を発揮するための最適なTiとAlの周期的な組成変化の周期が小さくなるためという理由による。
本発明組成変化の方向を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒について測定した組成変化の平均周期は1〜20nmであり、かつ、周期的に変化するAlの含有割合Xの隣接する極大値Xmaxと極小値Xminの差Δxの最大値は0.01〜0.1であることが望ましい。
これは、組成変化の周期が1nm未満であると、結晶粒の歪みが大きくなり過ぎ、格子欠陥が多くなり、硬さが低下し、一方、組成変化の周期が20nmを超えると、切削時のクラックの進展抑制のための十分な緩衝作用が見込めないことから、組成変化の周期は1〜20nmとすることが望ましい。
また、前記結晶粒内にTiとAlの周期的な組成変化が存在することによって、結晶粒に歪みが生じ、硬さが向上するが、TiとAlの周期的な組成変化量の大きさの指標であるAlの含有割合Xの隣接する極大値Xmaxと極小値Xminの差Δxが0.01より小さいと結晶粒の歪みが小さく十分な硬さの向上が見込めず、一方、Δxが0.1を超えると結晶粒の歪みが大きくなり過ぎ、格子欠陥が増加し硬さが低下することから、Δxを0.01〜0.1とすることが望ましい。
図2、図3、図5には、結晶粒内に存在するTiとAlの周期的な組成変化の様子を、透過型電子顕微鏡を用いて、エネルギー分散型X線分光法(EDS)による線分析を行って求めたTiとAlの周期的な組成変化を示すグラフの一例を示す。
TiAlCN層中に存在する微粒六方晶結晶粒:
本発明のTiAlCN層では、NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒の粒界に六方晶構造の微粒結晶粒を含有することができる。
硬さにすぐれたNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒の粒界に、微粒六方晶が存在することで粒界すべりが抑えられ、TiAlCN層の靱性が向上する。しかし、六方晶構造の微粒結晶粒の面積割合が5面積%を超えると相対的に硬さが低下し好ましくなく、また、六方晶構造の微粒結晶粒の平均粒径Rが0.01μm未満であると粒界滑りを抑制する効果が十分でなく、一方、0.3μmを超えると層内の歪みが大きくなり硬さが低下する。
したがって、TiAlCN層中に存在する微粒六方晶結晶粒の面積割合は、5面積%以下であることが好ましく、また、該微粒六方晶結晶粒の平均粒径Rは0.01〜0.3μmとすることが好ましい。
なお、NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒の粒界に存在する六方晶構造の微粒結晶粒は、透過型電子顕微鏡を用いて電子線回折図形を解析することにより同定することができ、また、六方晶構造の微粒結晶粒の平均粒子径は、粒界を含んだ1μm×1μmの測定範囲内に存在する粒子について、粒径を測定し、それらの平均値を算出することによって求めることができる。
下部層および上部層:
本発明のTiAlCN層は、それだけでも十分な効果を奏するが、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上のTi化合物層からなり、0.1〜20μmの合計平均層厚を有する下部層を設けた場合、および/または、少なくとも酸化アルミニウム層を含む上部層であって、該上部層の合計平均層厚が1〜25μmである上部層を設けた場合には、これらの層が奏する効果と相俟って、一層すぐれた特性を創出することができる。
Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上のTi化合物層からなる下部層を設ける場合、下部層の合計平均層厚が0.1μm未満では、下部層の効果が十分に奏されず、一方、20μmを超えると結晶粒が粗大化し易くなり、チッピングを発生しやすくなる。
また、酸化アルミニウム層を含む上部層の合計平均層厚が1μm未満では、上部層の効果が十分に奏されず、一方、25μmを超えると結晶粒が粗大化し易くなり、チッピングを発生しやすくなる。
本発明は、工具基体の表面に、硬質被覆層を設けた表面被覆切削工具において、硬質被覆層が、所定の組成のTiAlCN層を少なくとも含み、該TiAlCN層にはNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が存在し、また、NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒内には、TiとAlの組成変化(好ましくは、周期的な組成変化)が存在し、さらに、該TiAlCN層の平均層厚Lavgを、その層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間におけるAlの平均含有割合を求めたとき、工具基体側の区間に比して、硬質被覆層表面側の区間ほど、Alの平均含有割合が高くなるため、結晶粒に歪が生じて硬さが向上し、また、周期的な組成変化とAlの含有割合の傾斜構造により、クラックの伝播・進展が抑制され、耐チッピング性、耐剥離性、耐摩耗性が向上する。
したがって、上記の硬質被覆層を備える本発明の被覆工具は、鋳鉄等の高速断続切削等に供した場合であっても、層間の密着強度に優れ、チッピング、剥離等の異常損傷を発生することなく、長期の使用に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するのである。
本発明のTiAlCN層におけるTiとAlの周期的な組成変化の一つの態様を示す模式図であり、硬質被覆層表面側ほど、Alの平均含有割合が相対的に多くなっていることを示す。また、図中の矢印の方向が、各結晶粒におけるTiとAlの周期的な組成変化の周期が最小になる方向を表す。 図1に示す本発明のTiAlCN層におけるTiとAlの周期的な組成変化の一つの態様をグラフ化した模式図であり、硬質被覆層表面側ほど、Alの平均含有割合が相対的に多くなっていることを示す。 本発明のTiAlCN層におけるTiとAlの周期的な組成変化の別の態様を示す模式図であり、硬質被覆層表面側ほど、Alの平均含有割合が相対的に多くなっていることを示す。 本発明のTiAlCN層におけるTiとAlの周期的な組成変化の一つの態様を示す模式図であり、硬質被覆層表面側ほど、Alの平均含有割合が相対的に多くなるとともに、組成変化の周期が短くなっていることを示す。 図4に示す本発明のTiAlCN層におけるTiとAlの周期的な組成変化の別の態様をグラフ化した模式図であり、硬質被覆層表面側ほど、Alの平均含有割合が相対的に多くなるとともに、組成変化の周期が短くなっていることを示す。
つぎに、本発明の被覆工具を実施例により具体的に説明する。
なお、以下の実施例では、工具基体として、炭化タングステン基超硬合金(以下、「WC基超硬合金」で示す。)あるいは炭窒化チタン基サーメット(以下、「TiCN基サーメット」で示す。)を用いた場合について説明するが、立方晶窒化ホウ素基超高圧焼結体を工具基体として用いた場合も同様である。
原料粉末として、いずれも1〜3μmの平均粒径を有するWC粉末、TiC粉末、TaC粉末、NbC粉末、Cr32粉末およびCo粉末を用意し、これら原料粉末を、表1に示される配合組成に配合し、さらにワックスを加えてアセトン中で24時間ボールミル混合し、減圧乾燥した後、98MPaの圧力で所定形状の圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を5Paの真空中、1370〜1470℃の範囲内の所定の温度に1時間保持の条件で真空焼結し、焼結後、ISO規格SEEN1203AFSNのインサート形状をもったWC基超硬合金製の工具基体A〜Cをそれぞれ製造した。
また、原料粉末として、いずれも0.5〜2μmの平均粒径を有するTiCN(質量比でTiC/TiN=50/50)粉末、Mo2C粉末、ZrC粉末、NbC粉末、WC粉末、Co粉末およびNi粉末を用意し、これら原料粉末を、表2に示される配合組成に配合し、ボールミルで24時間湿式混合し、乾燥した後、98MPaの圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を1.3kPaの窒素雰囲気中、温度:1500℃に1時間保持の条件で焼結し、焼結後、ISO規格SEEN1203AFSNのインサート形状をもったTiCN基サーメット製の工具基体Dを作製した。
つぎに、これらの工具基体A〜Dの表面に、化学蒸着装置を用い、表4、表5に示される形成条件A〜Jにより、AlCl/TiClの比の値を逐次的に増加させながら、また、ガスの供給時間や供給量を調整することによって、表9に示される本発明被覆工具1〜16を製造した。
つまり、表4、表5に示される形成条件A〜Hにしたがい、NHとHからなるガス群Aと、TiCl、AlCl、N、C、Hからなるガス群B、および、おのおのガスの供給方法として、反応ガス組成(ガス群Aおよびガス群Bを合わせた全体に対する容量%)を、ガス群AとしてNH:2.0〜5.0%、H:50〜65%、ガス群BとしてAlCl:0.6〜1.0%、TiCl:0.07〜0.6%、N:0.0〜12.0%、C:0〜0.5%、H:残、反応雰囲気圧力:4.5〜5.0kPa、反応雰囲気温度:700〜900℃、供給周期1〜5秒、1周期当たりのガス供給時間0.10〜0.14秒、ガス群Aの供給とガス群Bの供給の位相差0.04〜0.09秒として、所定時間、熱CVD法を行い、表9に示されるTiAlCN層を成膜することにより本発明被覆工具1〜16を製造した。
なお、本発明被覆工具1〜3、9〜11については、それぞれ、表3に示される形成条件で、表8に示される下部層、上部層を形成した。
また、比較の目的で、工具基体A〜Dの表面に、表6および表7に示される比較成膜工程の条件で、本発明被覆工具1〜16と同様に、少なくともTiAlCN層を含む硬質被覆層を蒸着形成し比較例被覆工具1〜10を製造した。
但し、比較例被覆工具2、7、10は、TiAlCN層の成膜工程中に、工具基体表面における反応ガス組成が時間的に変化しない様に硬質被覆層を形成した。
なお、本発明被覆工具と同様に、比較例被覆工具1〜3、6〜8については、表3に示される形成条件で、表8に示される下部層、上部層を形成した。
本発明被覆工具1〜16、比較例被覆工具1〜10の各構成層の工具基体に垂直な方向の断面を、走査型電子顕微鏡あるいは透過型電子顕微鏡を用いて測定し、観察視野内の5点の層厚を測って平均して平均層厚を求めたところ、いずれも表9および表10に示される目標層厚と実質的に同じ平均層厚を示した。また、エネルギー分散型X線分光法(EDS)を用いて、断面側から線分析を行うことによって、TiAlCN層の平均層厚をLavg(μm)とした場合、該TiAlCN層の平均層厚Lavg(μm)を層厚方向に[Lavg]+2分割した時の各区間におけるAlの含有割合の平均値を求めた。分割した各区間におけるAlの含有割合は、工具基体表面と垂直な方向に少なくとも10本以上の線分析を行い、該測定値の平均値としてそれぞれ分割した区間毎に求めた。また、Cの平均含有割合Yavgについては、二次イオン質量分析(SIMS,Secondary−Ion−Mass−Spectroscopy)により求めた。イオンビームを試料表面側から70μm×70μmの範囲に照射し、スパッタリング作用によって放出された成分について深さ方向の濃度測定を行った。Cの平均含有割合YavgはTiAlCN層についての深さ方向の平均値を示す。ただし、Cの平均含有割合Yavgには、意図的にガス原料としてCを含むガスを用いなくても含まれる不可避的なCの含有割合を除外している。具体的にはCの供給量を0とした場合のTiAlCN層に含まれるCの含有割合(原子比)を不可避的なCの含有割合として求め、Cを意図的に供給した場合に得られるTiAlCN層に含まれるCの含有割合(原子比)から前記不可避的なCの含有割合を差し引いた値をYavgとして求めた。
また、透過型電子顕微鏡を用いて、加速電圧200kVの条件においてTiAlCN層の微小領域の観察を行い、エネルギー分散型X線分光法(EDS)を用いて、工具基体表面に垂直な縦断面について面分析を行うことによって、前記立方晶構造を有する結晶粒内に、TiとAlの周期的な組成変化が存在するか否かを確認した。
表9、表10にその結果を示す。
また、前記TiとAlの周期的な組成変化を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が、前記複合窒化物または複合炭窒化物層の面積に占める割合を次のようにして測定した。
透過型電子顕微鏡を用いて、1μm×1μmの像におけるTiとAlの周期的な組成変化に対応する画像のコントラストの変化、あるいはエネルギー分散型X線分光法(EDS)によって確認されるTiとAlの周期的な組成変化を有する結晶粒の面積をそれぞれ算出し、前記1μm×1μmの観察領域に占める面積割合を少なくとも10視野で求め、その平均値として算出し、表9、表10に示す。
さらに、上記周期的な組成変化の方向について、工具基体表面に垂直な方向とのなす角度を次のようにして測定した。
透過型電子顕微鏡を用いて、前記NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒内における工具基体表面と垂直な任意の断面から任意の1μm×1μmの領域において観察を行い、TiとAlの周期的な組成変化が存在し、前記断面におけるTiとAlの周期的な組成変化の周期が最小になる方向と工具基体表面に垂直な方向とのなす角を測定することにより、求めた。
そして、測定された「周期的な組成変化の周期が最小になる方向と工具基体表面に垂直な方向とのなす角」のうちで、最小の角度を、周期的組成変化の方向(度)として、この周期的な組成変化の方向が30度以内であるかを判定した。
この周期的な組成変化の方向が30度以内である場合を「有」、30度を超える場合を「無」として表9、表10に示す。
また、本発明被覆工具1〜16の周期的組成変化が形成されているTiAlCN結晶粒について、TiAlCN層の平均層厚をLavg(μm)とした場合に、前記TiAlCN層をその層厚方向に[Lavg]+2分割し、分割された各区間(例えば、m分割された区間1,区間2,・・区間m。但し、区間1が工具基体側であり、区間mが硬質被覆層の表面側である。)における層厚方向のAlの含有割合Xを測定し、各区間の層厚方向中央位置におけるAlの含有割合を該区間のAlの平均含有割合(例えば、区間1においてはX1,区間2においてはX2,・・区間mにおいてはXm)とし、X1≦X2≦・・≦XmかつX1<Xmを満たすかを確認した。X1≦X2≦・・≦XmかつX1<Xmを満たすかの判定結果とX1とXmの測定結果について表9、表10に示す。
また、前記の区間1〜区間mの結晶粒について、透過型電子顕微鏡を用いた微小領域の観察と、エネルギー分散型X線分光法(EDS)を用いた断面側からの面分析により、各区間(区間1,区間2,・・区間m)におけるTiとAlの組成変化の周期Pを求め、各区間の組成変化の平均周期(例えば、区間1、区間2、・・区間mにおける平均周期は、それぞれ、P1、P2、・・Pm)を求め、P1≧P2≧・・≧PmかつP1>Pmを満たすかを確認した。
なお、各区間(区間1、区間2、・・区間m)における平均周期P1、P2、・・Pmの測定は、工具基体表面と垂直な方向に少なくとも10本以上の線分析を行い、該測定値の平均値としてそれぞれ分割した区間毎に求める。P1≧P2≧・・≧PmかつP1>Pmを満たすかの判定結果とP1、Pmの測定結果を表9、表10に示す。
さらに、周期的な組成変化におけるAlの含有割合Xの隣接する極大値Xmaxと極小値Xminの差Δxは、以下の測定手法で求めた。
工具基体表面の周期的な組成変化の方向に沿ってEDSによる線分析を少なくとも10本以上の線について行い、TiとAlの周期的な組成変化の隣接する極大値Xmaxと極小値Xminのそれぞれの差を求め、これらの値のうちの最大値をΔxとして求めた。表9、表10に、Δxを示す。
また、前記TiAlCN層について、透過型電子顕微鏡を用いて複数視野に亘って観察し、NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒の粒界部に六方晶構造の微粒結晶粒が存在する面積割合および六方晶構造の微粒結晶粒の平均粒径Rを測定した。
なお、粒界に存在する微粒六方晶の同定は透過型電子顕微鏡を用いて電子線回折図形を解析することにより同定した。微粒六方晶の平均粒子径は粒界を含んだ1μm×1μmの測定範囲内に存在する粒子について、粒径を測定し、微粒六方晶の総面積を算出した値から面積割合を求めた。また、粒径は六方晶と同定した粒に対して外接円を作成し、その外接円の半径を求め、その平均値を粒径とした。
表9、表10に得られた結果を示す。







つぎに、前記各種の被覆工具をいずれもカッタ径125mmの工具鋼製カッタ先端部に固定治具にてクランプした状態で、本発明被覆工具1〜8、比較例被覆工具1〜5について、以下に示す切削条件Aで、鋳鉄の高速断続切削の一種である乾式高速正面フライス、センターカット切削加工試験を実施し、切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。
≪切削条件A≫
カッタ径: 125 mm、
被削材: JIS・FCD700幅100mm、長さ400mmのブロック材、
回転速度: 891 min−1
切削速度: 400 m/min、
切り込み: 2.0 mm、
一刃送り量: 0.2 mm/刃、
切削時間: 8分、
(通常の切削速度は、200m/min)、
また、前記各種の被覆工具をいずれも工具鋼製バイトの先端部に固定治具にてネジ止めした状態で、本発明被覆工具9〜16、比較例被覆工具6〜10について、以下に示す切削条件Bで、鋳鉄の乾式高速断続切削試験を実施し、切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。
≪切削条件B≫
被削材:JIS・FCD700の長さ方向等間隔4本縦溝入り丸棒、
切削速度:300 m/min、
切り込み:2.0 mm、
送り:0.2 mm/rev、
切削時間:5 分、
(通常の切削速度は、220m/min)、
表11、表12に、前記切削試験A、切削試験Bの結果を示す。

表11、表12に示される結果から、本発明の被覆工具は、硬質被覆層の密着性、耐チッピング性、耐剥離性にすぐれ、切れ刃に断続的・衝撃的な高負荷が作用する高速断続切削加工に用いた場合でも、チッピング、剥離の発生を抑制し、その結果、長期の使用に亘ってすぐれた耐摩耗性が発揮される。
これに対して、硬質被覆層を構成するAlTiCN層に周期的な組成変化がない比較例の被覆工具、あるいは、層厚方向に測定した各区間におけるAlの含有割合が本発明の規定を満たさない比較例の被覆工具は、高熱発生を伴い、しかも、切れ刃に断続的・衝撃的高負荷が作用する高速断続切削加工に用いた場合、チッピング、剥離等の発生により短時間で寿命にいたることが明らかである。
前述のように、本発明の被覆工具は、炭素鋼、合金鋼、鋳鉄等の高速断続切削加工ばかりでなく、各種の被削材の被覆工具として用いることができ、しかも、長期の使用に亘ってすぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮するものであるから、切削装置の高性能化並びに切削加工の省力化および省エネ化、さらに低コスト化に十分満足に対応できるものである。

Claims (8)

  1. 炭化タングステン基超硬合金、炭窒化チタン基サーメットまたは立方晶窒化ホウ素基超高圧焼結体のいずれかで構成された工具基体の表面に、硬質被覆層が設けられた表面被覆切削工具において、
    (a)前記硬質被覆層は、平均層厚1〜20μmのTiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層を少なくとも含み、
    (b)前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層は、NaCl型の面心立方構造を有する複合窒化物または複合炭窒化物の相を少なくとも含み、
    (c)前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層は、TiとAlの周期的な組成変化が存在するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒を含み、
    (d)前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層は、その平均組成を、
    組成式:(Ti1−XAl)(C1−Y
    で表し、平均層厚をLavg(μm)とした場合、その層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間におけるAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合を求めたとき、各区間のAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合XavgおよびCのCとNの合量に占める平均含有割合Yavg(但し、Xavg、Yavgはいずれも原子比)は、それぞれ、0.60≦Xavg≦0.95、0≦Yavg≦0.005を満足し、
    (e)前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の平均層厚Lavg(μm)を、その層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間におけるAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合を求めたとき、 工具基体側の区間に比して、硬質被覆層表面側の区間のAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合が単調増加し、最も工具基体側の区間のAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合よりも最も硬質被覆層表面側の区間におけるAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合の方が大きい値であることを特徴とする表面被覆切削工具。
  2. 前記複合窒化物または複合炭窒化物層を工具基体の表面と垂直な縦断面から分析した場合、前記TiとAlの周期的な組成変化を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が、前記複合窒化物または複合炭窒化物層の面積に占める割合は、40面積%以上であることを特徴とする請求項1に記載の表面被覆切削工具。
  3. 前記TiとAlの周期的な組成変化の周期が最小になる方向と、工具基体表面に垂直な方向とのなす角が30度以内であるようなNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が存在することを特徴とする請求項1または2に記載の表面被覆切削工具。
  4. 前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の平均層厚Lavg(μm)を、その層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間における前記TiとAlの周期的な組成変化の平均周期を求めたとき、工具基体側の区間に比して硬質被覆層表面側の区間におけるTiとAlの組成変化の平均周期が短くなる請求項1乃至3のいずれか一項に記載の表面被覆切削工具。
  5. 前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の平均層厚Lavg(μm)を、その層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間における前記TiとAlの周期的な組成変化を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒において、TiとAlの周期的な組成変化の周期が最小になる方向について測定した各区間のTiとAlの周期的な組成変化の平均周期は1〜20nmであり、かつ、周期的に変化するAlのTiとAlの合量に占める含有割合Xの隣接する極大値Xmaxと極小値Xminの差Δxの最大値は0.01〜0.1であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の表面被覆切削工具。
  6. 前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層を工具基体の表面と垂直な縦断面から観察した場合に、該層内のNaCl型の面心立方構造を有する個々の結晶粒の粒界部に、六方晶構造を有する微粒結晶粒が存在し、該微粒結晶粒が前記複合窒化物または複合炭窒化物層の面積に占める割合は5面積%以下であり、該微粒結晶粒の平均粒径Rは0.01〜0.3μmであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の表面被覆切削工具。
  7. 前記工具基体と前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の間に、組成の異なるTiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上からなり、0.1〜20μmの合計平均層厚を有する下部層が存在することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の表面被覆切削工具。
  8. 前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の上部に、少なくとも酸化アルミニウム層を含む上部層が1〜25μmの合計平均層厚で形成されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の表面被覆切削工具。









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