JP2018144115A - 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐剥離性を発揮する表面被覆切削工具 - Google Patents
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Abstract
Description
ただ、前記従来のTi−Al系の複合窒化物層を被覆形成した被覆工具は、比較的耐摩耗性にすぐれるものの、高速断続切削条件で用いた場合にチッピング、剥離等の異常損耗を発生しやすいことから、硬質被覆層の改善についての種々の提案がなされている。
しかし、前記特許文献1に記載されている化学蒸着法で蒸着形成した(Ti1−xAlx)N層については、Alの含有割合xを高めることができ、また、立方晶構造を形成させることができることから、所定の硬さを有し耐摩耗性にすぐれた硬質被覆層が得られるものの、工具基体との密着強度は十分でなく、また、靭性に劣るという課題があった。
また、前記特許文献2に記載されている被覆工具は、所定の硬さを有し耐摩耗性にはすぐれるものの、層間の密着強度が不十分で、鋳鉄等の高速断続切削加工に供した場合には、チッピング、欠損、剥離等の異常損傷が発生しやすく、満足できる切削性能を発揮するとは言えないという課題があった。
さらに、前記特許文献3、4に記載される被覆工具においても、鋳鉄等の高速断続切削加工に供した場合には、チッピング、欠損、剥離等の異常損傷が発生しやすく、満足できる切削性能を発揮するとはいえなかった。
そこで、本発明は、鋳鉄等の高速断続切削等に供した場合であっても、層間の密着強度に優れ、チッピング、剥離等の異常損傷を発生することなく、長期の使用に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮する被覆工具を提供することを目的とする。
その結果、本発明の被覆工具は、高熱発生を伴うとともに、刃先に断続的・衝撃的な高負荷が作用する鋳鉄等の高速断続切削に供した場合であっても、チッピング、剥離等の異常損傷を発生することなく、長期の使用に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮することができる。
つまり、NH3とH2からなるガス群Aと、TiCl4、AlCl3、N2、C2H4、H2からなるガス群Bをおのおの別々のガス供給管から反応装置内へ供給し、AlCl3/TiCl4比を逐次的に増加させながら成膜することにより、工具基体表面から硬質皮膜表面方向へ向かって、Al量が周期的な組成変化をしながら次第に増加するTiAlCN層が成膜される。なお、高Al量のTiAlCN層の成膜において、TiとAlの周期的な組成変化は1周期当たりのガス供給時間や供給量を制御することによって形成される。
「(1) 炭化タングステン基超硬合金、炭窒化チタン基サーメットまたは立方晶窒化ホウ素基超高圧焼結体のいずれかで構成された工具基体の表面に、硬質被覆層が設けられた表面被覆切削工具において、
(a)前記硬質被覆層は、平均層厚1〜20μmのTiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層を少なくとも含み、
(b)前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層は、NaCl型の面心立方構造を有する複合窒化物または複合炭窒化物の相を少なくとも含み、
(c)前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層は、TiとAlの周期的な組成変化が存在するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒を含み、
(d)前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層は、その平均組成を、
組成式:(Ti1−XAlX)(CYN1−Y)
で表し、平均層厚をLavg(μm)とした場合、その層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間におけるAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合を求めたとき、各区間のAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合XavgおよびCのCとNの合量に占める平均含有割合Yavg(但し、Xavg、Yavgはいずれも原子比)は、それぞれ、0.60≦Xavg≦0.95、0≦Yavg≦0.005を満足し、
(e)前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の平均層厚Lavg(μm)を、その層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間におけるAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合を求めたとき、 工具基体側の区間に比して、硬質被覆層表面側の区間のAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合が単調増加し、最も工具基体側の区間のAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合よりも最も硬質被覆層表面側の区間におけるAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合の方が大きい値であることを特徴とする表面被覆切削工具。
(2) 前記複合窒化物または複合炭窒化物層を工具基体の表面と垂直な縦断面から分析した場合、前記TiとAlの周期的な組成変化を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が、前記複合窒化物または複合炭窒化物層の面積に占める割合は、40面積%以上であることを特徴とする(1)に記載の表面被覆切削工具。
(3) 前記TiとAlの周期的な組成変化の周期が最小になる方向と、工具基体表面に垂直な方向とのなす角が30度以内であるようなNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が存在することを特徴とする(1)または(2)に記載の表面被覆切削工具。
(4) 前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の平均層厚Lavg(μm)を、その層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間における前記TiとAlの周期的な組成変化の平均周期を求めたとき、工具基体側の区間に比して硬質被覆層表面側の区間におけるTiとAlの組成変化の平均周期が短くなる(1)乃至(3)のいずれかに記載の表面被覆切削工具。
(5) 前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の平均層厚Lavg(μm)を、その層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間における前記TiとAlの周期的な組成変化を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒において、TiとAlの周期的な組成変化の周期が最小になる方向について測定した各区間のTiとAlの周期的な組成変化の平均周期は1〜20nmであり、かつ、周期的に変化するAlのTiとAlの合量に占める含有割合Xの隣接する極大値Xmaxと極小値Xminの差Δxの最大値は0.01〜0.1であることを特徴とする(1)乃至(4)のいずれかに記載の表面被覆切削工具。
(6) 前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層を工具基体の表面と垂直な縦断面から観察した場合に、該層内のNaCl型の面心立方構造を有する個々の結晶粒の粒界部に、六方晶構造を有する微粒結晶粒が存在し、該微粒結晶粒が前記複合窒化物または複合炭窒化物層の面積に占める割合は5面積%以下であり、該微粒結晶粒の平均粒径Rは0.01〜0.3μmであることを特徴とする(1)乃至(5)のいずれかに記載の表面被覆切削工具。
(7) 前記工具基体と前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の間に、組成の異なるTiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上からなり、0.1〜20μmの合計平均層厚を有する下部層が存在することを特徴とする(1)乃至(6)のいずれかに記載の表面被覆切削工具。
(8) 前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の上部に、少なくとも酸化アルミニウム層を含む上部層が1〜25μmの合計平均層厚で形成されていることを特徴とする(1)乃至(7)のいずれかに記載の表面被覆切削工具。」
に特徴を有するものである。
図1〜図5は、TiとAlの周期的な組成変化の概略説明図であり、図1は、硬質被覆層表面側ほど、TiAlCN層におけるAlのTiとAlの合量に占める含有割合(以下、単に、「Alの含有割合」という)が高くなる様子を示し、図2は、TiAlCN層の層厚方向に向かって、周期的な組成変化を示しながら硬質被覆層表面側ほど、Alの含有割合が高くなることを示す概略説明図である。図3はTiAlCN層の層厚方向に向かって、周期的な組成変化を示しながら、硬質被覆層表面側の区間ほど、Alの含有割合が高くなる別の態様を示す概略説明図である。図4は、TiAlCN層の層厚方向に向かって、周期的な組成変化を示しながら組成変化の周期が小さくなり、かつ硬質被覆層表面側ほど、Alの含有割合が高くなる様子を表し、図5はTiAlCN層の層厚方向に向かって、周期的な組成変化を示しながら組成変化の周期が小さくなり、かつ硬質被覆層表面側ほど、Alの含有割合が高くなることを示す概略説明図である。
本発明の硬質被覆層は、前述したようにNH3を用いた熱CVD法によって形成されたTiAlCN層を少なくとも含む。
このTiAlCN層は、硬さが高く、すぐれた耐摩耗性を有するが、特に平均層厚が1〜20μmのとき、その効果が際立って発揮される。その理由は、平均層厚が1μm未満では、層厚が薄いため長期の使用に亘っての耐摩耗性を十分確保することができず、一方、その平均層厚が20μmを越えると、TiAlCN層の結晶粒が粗大化し易くなり、チッピングを発生しやすくなる。
したがって、その平均層厚を1〜20μmと定めた。
本発明の硬質被覆層を構成するTiAlCN層を、
組成式:(Ti1−XAlX)(CYN1−Y)
で表し、平均層厚をLavg(μm)とした場合、その層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間におけるAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合を求めたとき、各区間のAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合(以下、単に、「Alの平均含有割合」という)XavgおよびCのCとNの合量に占める平均含有割合(以下、単に、「Cの平均含有割合」という)Yavg(但し、Xavg、Yavgはいずれも原子比)が、それぞれ、0.60≦Xavg≦0.95、0≦Yavg≦0.005を満足するように定める。
その理由は、TiAlCN層の硬さを担保するためにはAlの平均含有割合Xavgの高いNaCl型の面心立方構造の結晶粒からなるTiAlCN層を形成することが望まれるが、Alの平均含有割合Xavgが0.60未満では、硬さが十分でないため耐摩耗性の向上を図ることはできず、一方、0.60≦Xavgにおいて硬さが最大値に漸近するが、0.95<Xavgになると、硬さを確保する上で重要なNaCl型の面心立方構造を維持するのが難しく、硬さが低い六方晶構造のTiAlCN結晶粒が生成するため、Alの平均含有割合Xavgは、0.60≦Xavg≦0.95の範囲内とする。
また、TiAlCN層に含まれるCの平均含有割合Yavgは、0≦Yavg≦0.005の範囲の微量であるとき、TiAlCN層と工具基体もしくは下部層との密着性が向上し、かつ、潤滑性が向上することによって切削時の衝撃を緩和し、結果として硬質被覆層の耐欠損性および耐チッピング性が向上する。一方、Cの平均含有割合Yavgが0≦Yavg≦0.005の範囲を外れると、TiAlCN層の靭性が低下し、耐欠損性および耐チッピング性が低下するため好ましくない。したがって、Cの平均含有割合Yavgは、0≦Yavg≦0.005とする。
ただし、Cの平均含有割合Yavgについては、ガス原料としてCを含むガスを用いなくても不可避的に含有されるCの含有割合を除外している。具体的には、例えば、Cを含むガス原料であるC2H4の供給量を0とした場合に、TiAlCN層に含まれるCの含有割合(原子比)を不可避的なCの含有割合として求め、例えば、C2H4を意図的に供給した場合に得られるTiAlCN層に含まれるCの含有割合(原子比)から前記不可避的に含有されるCの含有割合を差し引いた値をYavgとする。
TiAlCN層の平均層厚をLavg(μm)とした場合、該TiAlCN層の平均層厚Lavg(μm)を、層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間におけるAlの含有割合の平均値を求めたとき硬質被覆層表面側の区間におけるAlの含有割合の平均値は、工具基体側の区間におけるAlの含有割合の平均値に比して単調増加し、最も工具基体側の区間のAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合よりも最も硬質被覆層表面側の区間におけるAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合の方が大きい値であることが必要である。
また、分割した各区間におけるAlの含有割合は、工具基体表面と垂直な方向に少なくとも10本以上の線分析を行い、測定点の平均値としてそれぞれ分割した区間毎に求めることが出来る。さらに、この各区間のAlの含有割合の平均値を用い、全区間の平均値を取り、Xavgとして算出する。
図1〜図5の模式図に示すように、TiAlCN層のNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒内には、周期的な組成変化が存在することが必要である。また、前記TiとAlの周期的な組成変化を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が、前記複合窒化物または複合炭窒化物層の面積に占める割合は、40面積%以上であることが好ましい。
また、前記TiとAlの周期的な組成変化において、周期的な組成変化の周期が最小となる方向と、工具基体表面に垂直な方向とのなす角が30度以内であるようなNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が少なくとも存在することが好ましい。
本発明でいう「TiとAlの周期的な組成変化」とは、Alの含有割合が増減を繰り返しながら、全体としては、工具基体側から上部層側に向かって増加することをいう。TiとAlの周期的な組成変化の周期とは、TiとAlの周期的な組成変化の周期が最小となる方向において測定される隣り合う極小値の長さ(距離)のことである。
前記でいう「周期的な組成変化の周期が最小となる方向が、工具基体表面に垂直な方向とのなす角度が30度以内」の方向とは、「硬質被覆層を構成するTiAlCN層を、工具基体の表面と垂直な任意の縦断面から分析した場合、NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒内に存在するTiとAlの周期的な組成変化のうちで、組成変化の周期が最小になる方向を求め、該組成変化の周期が最小になる方向と工具基体表面に垂直な方向となす角が30度以内であるような周期的な組成変化の方向」(以下、「本発明組成変化の方向」と略記する)のことである。
ここで、NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒には、TiとAlの周期的な組成変化が存在することが必要である理由と、前記TiとAlの周期的な組成変化を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が、前記複合窒化物または複合炭窒化物層の面積に占める割合は、40面積%以上であることが好ましい理由、あるいは周期的な組成変化の周期が最小となる方向が、工具基体表面に垂直な方向とのなす角度が30度以内の方向であるNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が少なくとも存在することが好ましい理由は、次のとおりである。
本発明では、TiAlCN層の成膜を、反応ガス群Aとガス群Bを工具基体表面に到達する時間に差が生じるように供給する事により、結晶粒内にTiとAlの局所的な組成差を形成することができる。前記TiとAlの周期的な組成変化が膜中に存在すると、切削時に摩耗が進行する面に作用するせん断力により生じるクラックの進展を抑制し、靱性が向上する。このクラック進展抑制効果については、TiとAlの組成の異なる境界において、その進展方向の曲がりや屈折が生じることにより発揮されるものと推測される。
前記TiとAlの周期的な組成変化を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が、前記複合窒化物または複合炭窒化物層の面積に占める割合が、40面積%未満であると前記クラックの進展を抑制する効果が小さくなり、靱性向上の効果も小さくなる。
特に 前記工具基体表面に垂直な方向となす角度が30度以内の方向の周期的な組成変化は、切削時に摩耗が進行する面に作用するせん断力により生じる基体と垂直な方向へのクラックの進展を抑制し、靭性が向上するが、周期的な組成変化の方向が、工具基体表面に垂直な方向となす角度が30度を超えると、工具基体と垂直な方向へのクラックの進展を抑制する効果が小さくなり、靭性向上の効果も小さくなる。
したがって、本発明では、NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒には、TiとAlの周期的な組成変化が存在することが必要であり、前記TiとAlの周期的な組成変化を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が、前記複合窒化物または複合炭窒化物層の面積に占める割合は、40面積%以上であること、また、前記結晶粒内における周期的な組成変化の周期が最小となる方向が、工具基体表面に垂直な方向となす角度が30度以内の方向であることが好ましい。
また、結晶粒内における周期的な組成変化の方向が、工具基体表面に垂直な方向となす角度が30度以内の方向であるNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒の存在の測定・確認は、透過型電子顕微鏡を用いて、1μm×1μmの像におけるTiとAlの周期的な組成変化に対応する画像のコントラストの変化、あるいはエネルギー分散型X線分光法(EDS)によって確認されるTiとAlの周期的な組成変化を有する領域から、各結晶粒の組成変化の方向を求め、これらの中から、周期的組成変化の方向が工具基体表面に垂直な方向となす角が30度以内である結晶粒を抽出することによって、測定・確認することが出来る。
これは、TiAlCN層を、NaCl型の立方晶構造の結晶粒を主体として形成し、該層の硬さを担保し、硬質被覆層全体としての耐摩耗性を向上させると同時に、工具基体(あるいは後記する下部層)との密着性を高め、硬質被覆層全体としての耐チッピング性、耐剥離性を向上させるためである。
なお、前記[Lavg]はガウス記号を表す。
ガウス記号[Lavg]はLavgを超えない最大の整数を表す数学記号であり、言い換えれば、[Lavg]は、n≦Lavg<n+1で定義される数値(ただし、nは整数)をいう。
例えば、TiAlCN層のLavg=1.5(μm)の場合、[1.5]=1であるから、『[Lavg]+2分割』とは、1+2=3分割ということになる。
また、前記それぞれの区間毎のAlの含有割合の平均値は、エネルギー分散型X線分光法(EDS)を用いて、断面側から線分析を行うことによって、確認することが出来る。分割した各区間におけるAlの含有割合は、工具基体表面と垂直な方向に少なくとも10本以上の線分析を行い、該測定値の平均値としてそれぞれ分割した区間毎に求める。
これは、Al含有割合が多いほど、AlTiCN層の格子定数が小さくなるために、格子歪を付与し、また、亀裂進展性能を発揮するための最適なTiとAlの周期的な組成変化の周期が小さくなるためという理由による。
これは、組成変化の周期が1nm未満であると、結晶粒の歪みが大きくなり過ぎ、格子欠陥が多くなり、硬さが低下し、一方、組成変化の周期が20nmを超えると、切削時のクラックの進展抑制のための十分な緩衝作用が見込めないことから、組成変化の周期は1〜20nmとすることが望ましい。
また、前記結晶粒内にTiとAlの周期的な組成変化が存在することによって、結晶粒に歪みが生じ、硬さが向上するが、TiとAlの周期的な組成変化量の大きさの指標であるAlの含有割合Xの隣接する極大値Xmaxと極小値Xminの差Δxが0.01より小さいと結晶粒の歪みが小さく十分な硬さの向上が見込めず、一方、Δxが0.1を超えると結晶粒の歪みが大きくなり過ぎ、格子欠陥が増加し硬さが低下することから、Δxを0.01〜0.1とすることが望ましい。
図2、図3、図5には、結晶粒内に存在するTiとAlの周期的な組成変化の様子を、透過型電子顕微鏡を用いて、エネルギー分散型X線分光法(EDS)による線分析を行って求めたTiとAlの周期的な組成変化を示すグラフの一例を示す。
本発明のTiAlCN層では、NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒の粒界に六方晶構造の微粒結晶粒を含有することができる。
硬さにすぐれたNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒の粒界に、微粒六方晶が存在することで粒界すべりが抑えられ、TiAlCN層の靱性が向上する。しかし、六方晶構造の微粒結晶粒の面積割合が5面積%を超えると相対的に硬さが低下し好ましくなく、また、六方晶構造の微粒結晶粒の平均粒径Rが0.01μm未満であると粒界滑りを抑制する効果が十分でなく、一方、0.3μmを超えると層内の歪みが大きくなり硬さが低下する。
したがって、TiAlCN層中に存在する微粒六方晶結晶粒の面積割合は、5面積%以下であることが好ましく、また、該微粒六方晶結晶粒の平均粒径Rは0.01〜0.3μmとすることが好ましい。
なお、NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒の粒界に存在する六方晶構造の微粒結晶粒は、透過型電子顕微鏡を用いて電子線回折図形を解析することにより同定することができ、また、六方晶構造の微粒結晶粒の平均粒子径は、粒界を含んだ1μm×1μmの測定範囲内に存在する粒子について、粒径を測定し、それらの平均値を算出することによって求めることができる。
本発明のTiAlCN層は、それだけでも十分な効果を奏するが、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上のTi化合物層からなり、0.1〜20μmの合計平均層厚を有する下部層を設けた場合、および/または、少なくとも酸化アルミニウム層を含む上部層であって、該上部層の合計平均層厚が1〜25μmである上部層を設けた場合には、これらの層が奏する効果と相俟って、一層すぐれた特性を創出することができる。
Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上のTi化合物層からなる下部層を設ける場合、下部層の合計平均層厚が0.1μm未満では、下部層の効果が十分に奏されず、一方、20μmを超えると結晶粒が粗大化し易くなり、チッピングを発生しやすくなる。
また、酸化アルミニウム層を含む上部層の合計平均層厚が1μm未満では、上部層の効果が十分に奏されず、一方、25μmを超えると結晶粒が粗大化し易くなり、チッピングを発生しやすくなる。
したがって、上記の硬質被覆層を備える本発明の被覆工具は、鋳鉄等の高速断続切削等に供した場合であっても、層間の密着強度に優れ、チッピング、剥離等の異常損傷を発生することなく、長期の使用に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するのである。
なお、以下の実施例では、工具基体として、炭化タングステン基超硬合金(以下、「WC基超硬合金」で示す。)あるいは炭窒化チタン基サーメット(以下、「TiCN基サーメット」で示す。)を用いた場合について説明するが、立方晶窒化ホウ素基超高圧焼結体を工具基体として用いた場合も同様である。
つまり、表4、表5に示される形成条件A〜Hにしたがい、NH3とH2からなるガス群Aと、TiCl4、AlCl3、N2、C2H4、H2からなるガス群B、および、おのおのガスの供給方法として、反応ガス組成(ガス群Aおよびガス群Bを合わせた全体に対する容量%)を、ガス群AとしてNH3:2.0〜5.0%、H2:50〜65%、ガス群BとしてAlCl3:0.6〜1.0%、TiCl4:0.07〜0.6%、N2:0.0〜12.0%、C2H4:0〜0.5%、H2:残、反応雰囲気圧力:4.5〜5.0kPa、反応雰囲気温度:700〜900℃、供給周期1〜5秒、1周期当たりのガス供給時間0.10〜0.14秒、ガス群Aの供給とガス群Bの供給の位相差0.04〜0.09秒として、所定時間、熱CVD法を行い、表9に示されるTiAlCN層を成膜することにより本発明被覆工具1〜16を製造した。
なお、本発明被覆工具1〜3、9〜11については、それぞれ、表3に示される形成条件で、表8に示される下部層、上部層を形成した。
但し、比較例被覆工具2、7、10は、TiAlCN層の成膜工程中に、工具基体表面における反応ガス組成が時間的に変化しない様に硬質被覆層を形成した。
なお、本発明被覆工具と同様に、比較例被覆工具1〜3、6〜8については、表3に示される形成条件で、表8に示される下部層、上部層を形成した。
表9、表10にその結果を示す。
また、前記TiとAlの周期的な組成変化を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が、前記複合窒化物または複合炭窒化物層の面積に占める割合を次のようにして測定した。
透過型電子顕微鏡を用いて、1μm×1μmの像におけるTiとAlの周期的な組成変化に対応する画像のコントラストの変化、あるいはエネルギー分散型X線分光法(EDS)によって確認されるTiとAlの周期的な組成変化を有する結晶粒の面積をそれぞれ算出し、前記1μm×1μmの観察領域に占める面積割合を少なくとも10視野で求め、その平均値として算出し、表9、表10に示す。
さらに、上記周期的な組成変化の方向について、工具基体表面に垂直な方向とのなす角度を次のようにして測定した。
透過型電子顕微鏡を用いて、前記NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒内における工具基体表面と垂直な任意の断面から任意の1μm×1μmの領域において観察を行い、TiとAlの周期的な組成変化が存在し、前記断面におけるTiとAlの周期的な組成変化の周期が最小になる方向と工具基体表面に垂直な方向とのなす角を測定することにより、求めた。
そして、測定された「周期的な組成変化の周期が最小になる方向と工具基体表面に垂直な方向とのなす角」のうちで、最小の角度を、周期的組成変化の方向(度)として、この周期的な組成変化の方向が30度以内であるかを判定した。
この周期的な組成変化の方向が30度以内である場合を「有」、30度を超える場合を「無」として表9、表10に示す。
なお、各区間(区間1、区間2、・・区間m)における平均周期P1、P2、・・Pmの測定は、工具基体表面と垂直な方向に少なくとも10本以上の線分析を行い、該測定値の平均値としてそれぞれ分割した区間毎に求める。P1≧P2≧・・≧PmかつP1>Pmを満たすかの判定結果とP1、Pmの測定結果を表9、表10に示す。
工具基体表面の周期的な組成変化の方向に沿ってEDSによる線分析を少なくとも10本以上の線について行い、TiとAlの周期的な組成変化の隣接する極大値Xmaxと極小値Xminのそれぞれの差を求め、これらの値のうちの最大値をΔxとして求めた。表9、表10に、Δxを示す。
なお、粒界に存在する微粒六方晶の同定は透過型電子顕微鏡を用いて電子線回折図形を解析することにより同定した。微粒六方晶の平均粒子径は粒界を含んだ1μm×1μmの測定範囲内に存在する粒子について、粒径を測定し、微粒六方晶の総面積を算出した値から面積割合を求めた。また、粒径は六方晶と同定した粒に対して外接円を作成し、その外接円の半径を求め、その平均値を粒径とした。
表9、表10に得られた結果を示す。
≪切削条件A≫
カッタ径: 125 mm、
被削材: JIS・FCD700幅100mm、長さ400mmのブロック材、
回転速度: 891 min−1、
切削速度: 400 m/min、
切り込み: 2.0 mm、
一刃送り量: 0.2 mm/刃、
切削時間: 8分、
(通常の切削速度は、200m/min)、
≪切削条件B≫
被削材:JIS・FCD700の長さ方向等間隔4本縦溝入り丸棒、
切削速度:300 m/min、
切り込み:2.0 mm、
送り:0.2 mm/rev、
切削時間:5 分、
(通常の切削速度は、220m/min)、
表11、表12に、前記切削試験A、切削試験Bの結果を示す。
Claims (8)
- 炭化タングステン基超硬合金、炭窒化チタン基サーメットまたは立方晶窒化ホウ素基超高圧焼結体のいずれかで構成された工具基体の表面に、硬質被覆層が設けられた表面被覆切削工具において、
(a)前記硬質被覆層は、平均層厚1〜20μmのTiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層を少なくとも含み、
(b)前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層は、NaCl型の面心立方構造を有する複合窒化物または複合炭窒化物の相を少なくとも含み、
(c)前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層は、TiとAlの周期的な組成変化が存在するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒を含み、
(d)前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層は、その平均組成を、
組成式:(Ti1−XAlX)(CYN1−Y)
で表し、平均層厚をLavg(μm)とした場合、その層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間におけるAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合を求めたとき、各区間のAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合XavgおよびCのCとNの合量に占める平均含有割合Yavg(但し、Xavg、Yavgはいずれも原子比)は、それぞれ、0.60≦Xavg≦0.95、0≦Yavg≦0.005を満足し、
(e)前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の平均層厚Lavg(μm)を、その層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間におけるAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合を求めたとき、 工具基体側の区間に比して、硬質被覆層表面側の区間のAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合が単調増加し、最も工具基体側の区間のAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合よりも最も硬質被覆層表面側の区間におけるAlのTiとAlの合量に占める平均含有割合の方が大きい値であることを特徴とする表面被覆切削工具。 - 前記複合窒化物または複合炭窒化物層を工具基体の表面と垂直な縦断面から分析した場合、前記TiとAlの周期的な組成変化を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が、前記複合窒化物または複合炭窒化物層の面積に占める割合は、40面積%以上であることを特徴とする請求項1に記載の表面被覆切削工具。
- 前記TiとAlの周期的な組成変化の周期が最小になる方向と、工具基体表面に垂直な方向とのなす角が30度以内であるようなNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が存在することを特徴とする請求項1または2に記載の表面被覆切削工具。
- 前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の平均層厚Lavg(μm)を、その層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間における前記TiとAlの周期的な組成変化の平均周期を求めたとき、工具基体側の区間に比して硬質被覆層表面側の区間におけるTiとAlの組成変化の平均周期が短くなる請求項1乃至3のいずれか一項に記載の表面被覆切削工具。
- 前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の平均層厚Lavg(μm)を、その層厚方向に[Lavg]+2分割した各区間における前記TiとAlの周期的な組成変化を有するNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒において、TiとAlの周期的な組成変化の周期が最小になる方向について測定した各区間のTiとAlの周期的な組成変化の平均周期は1〜20nmであり、かつ、周期的に変化するAlのTiとAlの合量に占める含有割合Xの隣接する極大値Xmaxと極小値Xminの差Δxの最大値は0.01〜0.1であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の表面被覆切削工具。
- 前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層を工具基体の表面と垂直な縦断面から観察した場合に、該層内のNaCl型の面心立方構造を有する個々の結晶粒の粒界部に、六方晶構造を有する微粒結晶粒が存在し、該微粒結晶粒が前記複合窒化物または複合炭窒化物層の面積に占める割合は5面積%以下であり、該微粒結晶粒の平均粒径Rは0.01〜0.3μmであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の表面被覆切削工具。
- 前記工具基体と前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の間に、組成の異なるTiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上からなり、0.1〜20μmの合計平均層厚を有する下部層が存在することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の表面被覆切削工具。
- 前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の上部に、少なくとも酸化アルミニウム層を含む上部層が1〜25μmの合計平均層厚で形成されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の表面被覆切削工具。
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