JP2018114611A - 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 - Google Patents
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Abstract
Description
ただ、前記従来のTi−Al系の複合窒化物層を被覆形成した被覆工具は、比較的耐摩耗性にすぐれるものの、高速断続切削条件で用いた場合にチッピング等の異常損耗を発生しやすいことから、硬質被覆層の改善についての種々の提案がなされている。
また、前記被覆工具において、TiAlCN層についてXRD解析を行ったとき、立方晶構造に由来するピーク強度Ic{200}と六方晶構造に由来するピーク強度Ih{200}との間に、Ic{200}/Ih{200}≧3.0の関係が成立する場合には、耐摩耗性向上効果がより高まるとされている。
しかし、前記特許文献1〜3で提案されている被覆工具では、合金鋼等の高熱発生を伴うとともに、切刃に対して衝撃的な負荷が作用する高速断続切削加工において、耐チッピング、耐摩耗性が未だ十分ではなく、満足できる切削性能を備えるとはいえない。
そこで、本発明者らは、TiAlCN層を構成するTiAlCN結晶粒の各結晶格子における格子歪について鋭意研究したところ、TiAlCN層がNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒を含有し、かつ、該NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒についてX線回折を行って、(111)面と(200)面の面間隔を算出し、それぞれをd(111)およびd(200)とした場合、d(111)とd(200)から算出されるそれぞれの格子定数A(111)とA(200)の差の値の絶対値ΔAを0.007〜0.05Åの範囲内とした場合に、TiAlCN層の硬さを高めることができ、その結果、TiAlCN層の耐摩耗性が向上することを見出したのである。
したがって、TiAlCN層のNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒について測定した前記ΔAが0.007〜0.05Åである場合には、合金鋼等の高速断続切削加工等において、すぐれた耐チッピング性と耐摩耗性の両特性を相兼ね備えることを見出したのである。
「(1)炭化タングステン基超硬合金、炭窒化チタン基サーメットまたは立方晶窒化ホウ素基超高圧焼結体のいずれかで構成された工具基体の表面に、硬質被覆層が設けられた表面被覆切削工具において、
(a)前記硬質被覆層は、平均層厚1〜20μmのTiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層を少なくとも含み、該複合窒化物または複合炭窒化物を、
組成式:(Ti1−XAlX)(CYN1−Y)
で表した場合、AlのTiとAlの合量に占める平均含有割合XおよびCのCとNの合量に占める平均含有割合Y(但し、X、Yはいずれも原子比)は、それぞれ、0.60≦X≦0.95、0≦Y≦0.005を満足し、
(b)前記複合窒化物または複合炭窒化物は、微量のClを含有し、TiとAlとCとNとClの合量に占めるClの平均含有割合Z(但し、Zは原子比)は、0.0001≦Z≦0.004を満足し、
(c)前記複合窒化物または複合炭窒化物層について、X線回折装置を用いて測定した、複合窒化物または複合炭窒化物層内のNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒の(111)面および(200)面のX線回折スペクトルから、それぞれの面間隔d(111)およびd(200)の値を算出し、算出されたd(111)およびd(200)の値から、
A(111)=31/2d(111)、
A(200)=2d(200)
で定義されるA(111)およびA(200)を算出し、A(111)とA(200)の差の絶対値ΔA=|A(111)−A(200)|を求めた場合、
ΔAが、0.007Å≦ΔA≦0.05Åを満足することを特徴とする表面被覆切削工具。
(2)前記複合窒化物または複合炭窒化物層を縦断面方向から観察した場合に、複合窒化物または複合炭窒化物層内の立方晶構造を有する個々の結晶粒の平均粒子幅Wが0.10〜2.00μm、平均アスペクト比Aが2.0〜10.0である柱状組織を有することを特徴とする前記(1)に記載の表面被覆切削工具。
(3)前記工具基体と前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の間に、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上からなり、0.1〜20μmの合計平均層厚を有するTi化合物層を含む下部層が存在することを特徴とする(1)または(2)に記載の表面被覆切削工具。
(4)前記複合窒化物または複合炭窒化物層の上部に、少なくとも酸化アルミニウム層を含む上部層が1〜25μmの合計平均層厚で存在することを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載の表面被覆切削工具。」
に特徴を有するものである。
本発明の硬質被覆層は、組成式:(Ti1−XAlX)(CYN1−Y)で表されるTiAlCN層を少なくとも含む。このTiAlCN層は、硬さが高く、すぐれた耐摩耗性を有するが、特に平均層厚が1〜20μmのとき、その効果が際立って発揮される。これは、平均層厚が1μm未満では、層厚が薄いため長期の使用に亘っての耐摩耗性を十分確保することができず、一方、その平均層厚が20μmを越えると、TiAlCN層の結晶粒が粗大化し易くなり、チッピングを発生しやすくなるという理由による。
したがって、その平均層厚を1〜20μmと定めた。
本発明におけるTiAlCN層は、AlのTiとAlの合量に占める平均含有割合(以下、「Alの平均含有割合」という)XおよびCのCとNの合量に占める平均含有割合(以下、「Cの平均含有割合」という)Yが、それぞれ、0.60≦X≦0.95、0≦Y≦0.005(但し、X、Yはいずれも原子比)を満足するように定める。
その理由は、Alの平均含有割合Xが0.60未満であると、TiAlCN層は硬さに劣るため、合金鋼等の高速断続切削に供した場合には、耐摩耗性が十分でない。一方、Alの平均含有割合Xが0.95を超えると、相対的にTiの含有割合が減少するため、脆化を招き、耐チッピング性が低下する。
したがって、Alの平均含有割合Xは、0.60≦X≦0.95と定めた。
また、TiAlCN層に含まれるCの平均含有割合Yは、0≦Y≦0.005の範囲の微量であるとき、TiAlCN層と工具基体もしくは下部層との密着性が向上し、かつ、潤滑性が向上することによって切削時の衝撃を緩和し、結果としてTiAlCN層の耐チッピング性、耐欠損性が向上する。一方、Cの平均含有割合Yが0≦Y≦0.005の範囲を逸脱すると、TiAlCN層の靭性が低下するため耐チッピング性、耐欠損性が逆に低下するため好ましくない。
したがって、Cの平均含有割合Yは、0≦Y≦0.005と定めた。
また、TiAlCN層はその成膜に際して、反応ガス成分としてAlCl3およびTiCl4を使用することから、TiAlCN層中には微量のClが必然的に含有されるが、TiとAlとCとNとClの合量に占めるClの平均含有割合Z(即ち、Z=Cl/(Ti+Al+C+N+Cl)。但し、Zは原子比)は、0.0001≦Z≦0.004の範囲の微量であるとき、層の靭性を低下させずに潤滑性を高めることができる。しかし、平均塩素含有量が0.0001未満であると潤滑性向上効果は少なく、一方、平均塩素含有量が0.004を超えると、耐チッピング性が低下するため好ましくない。
したがって、Clの平均含有割合Zは、0.0001≦Z≦0.004と定めた。
本発明では、TiAlCN層の立方晶のTiAlCN結晶粒内に、積極的に格子歪を導入して、TiAlCN層の硬さを向上させる。
格子歪の導入は、例えば、TiAlCN層の成膜条件を制御することによって行うことができる。
例えば、TiAlCN層の成膜に際し、NH3を用いた熱CVD法によって、TiAlCN層の成膜と同時に該層中への格子歪を導入することができる。
具体的にいえば、次のとおりである。
用いる化学蒸着装置へは、NH3とH2からなるガス群Aと、TiCl4、AlCl3、N2、Al(CH3)3、H2からなるガス群Bがおのおの別々のガス供給管から反応装置内へ供給され、ガス群Aとガス群Bの反応装置内への供給は、例えば、一定の周期の時間間隔で、その周期よりも短い時間だけガスが流れるように供給し、ガス群Aとガス群Bのガス供給にはガス供給時間よりも短い時間の位相差が生じるようにして、工具基体表面に反応ガスを供給し、さらに、ガス成分であるN2、AlCl3、Al(CH3)3について、供給比N2/(AlCl3+Al(CH3)3)が適切な値となるように各ガス成分の供給量を調整して化学蒸着することによって、所定の格子歪が導入されたTiAlCN層を形成することができる。
なお、前記供給比N2/(AlCl3+Al(CH3)3)が大きくなると、ΔAが大きくなる傾向がみられる。
ここで、上記化学蒸着の具体的な条件は、次のとおりである。
反応ガス組成(ガス群Aおよびガス群Bを合わせた全体に対する容量%):
ガス群A: NH3:2〜6%、H2:65〜75%、
ガス群B: AlCl3:0.5〜0.9%、TiCl4:0.2〜0.3%、
N2:3.0〜12.0%、Al(CH3)3:0.0〜0.1%、H2:残、
反応雰囲気圧力: 4.5〜5.0kPa、
反応雰囲気温度: 700〜900℃、
供給周期: 6〜9秒、
1周期当たりのガス供給時間: 0.15〜0.25秒、
ガス群Aとガス群Bの供給の位相差: 0.10〜0.20秒
すなわち、NH3とH2からなるガス群Cと、TiCl4、AlCl3、Al(CH3)3、H2からなるガス群Dがおのおの別々のガス供給管から反応装置内へ供給され、ガス群Cとガス群Dの反応装置内への供給は、前記ガス群Aとガス群Bの供給と同様の手法により、行い、ガス成分であるH2、AlCl3、Al(CH3)3について、H2/(AlCl3+Al(CH3)3)が適切な値となるように各ガス成分の供給量を調整して化学蒸着することによって、所定の格子歪が導入されたTiAlCN層を形成することができる。
ここで、上記化学蒸着の具体的な条件は、次のとおりである。
反応ガス組成(ガス群Cおよびガス群Dを合わせた全体に対する容量%):
ガス群C: NH3:2〜6%、H2:65〜75%、
ガス群D: AlCl3:0.3〜0.9%、TiCl4:0.1〜0.2%、
Al(CH3)3:0.0〜0.1%、H2:残、
反応雰囲気圧力: 4.5〜5.0kPa、
反応雰囲気温度: 700〜900℃、
供給周期: 6〜9秒、
1周期当たりのガス供給時間: 0.20〜0.25秒、
ガス群Cとガス群Dの供給の位相差: 0.10〜0.15秒
まず、TiAlCN層について、X線回折を行い、TiAlCN結晶粒の(111)面および(200)面についてのX線回折スペクトルを求める。
ついで、(111)面および(200)面について測定したX線回折スペクトルから、既によく知られているブラッグの式:2dsinθ=nλ(なお、dは、格子面間隔、θはブラッグ角、2θは回折角、λは入射X線の波長、nは整数)を用いて、(111)面および(200)面の格子面間隔d(111)およびd(200)を算出する。
ついで、A(111)およびA(200)を、
A(111)=31/2d(111)、
A(200)=2d(200)、
と定義し、前記で算出したd(111)およびd(200)の値から、A(111)とA(200)の値を求める。
そして、格子歪の指標ΔAは、A(111)とA(200)の差の絶対値、即ち、
ΔA=|A(111)−A(200)|
として求めることができる。
そして、ΔAが、0.007Å≦ΔA≦0.05Åを満足する場合に、TiAlCN層は高硬度を具備するようになり、その結果、高熱発生を伴い、切刃に対して衝撃的な負荷が作用する高速断続切削加工に供した場合であっても、すぐれた耐摩耗性を発揮する。
本発明は、前記したとおり、前記TiAlCN層を構成する、NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒において、X線回折を行い、得られる(111)面および(200)面の面間隔である、d(111)とd(200)から算出されるそれぞれの格子定数A(111)とA(200)の差の絶対値ΔAを所定の範囲に調整することにより、TiAlCN層の硬さを高め、耐摩耗性を向上でき、耐チッピング性と耐摩耗性の両特性にすぐれた被覆工具が得られることを見出したものである。
特に、前記TiAlCN層を縦断面方向から観察した際に、複合窒化物または複合炭窒化物層内の立方晶構造を有する個々の結晶粒の平均粒子幅Wが0.10〜2.00μm、平均アスペクト比Aが2.0〜10.0である柱状組織を有する場合には、結晶粒の硬さおよび靭性が向上し、硬質被覆層として前記TiAlCN層が奏する効果と相俟って、一層の優れた特性を発揮することができる。
すなわち、平均粒子幅Wを0.10μm以上、2.00μm以下とすることにより、被削材との反応性を減少させ、耐摩耗性を発揮させるとともに、靱性の向上を図り、耐チッピング性を向上させることができる。
よって、平均粒子幅Wを0.10〜2.00μmとすることがより好ましい。
また、平均アスペクト比Aが2.0以上、10.0以下とし、十分な柱状組織を有することにより、小さな等軸結晶の脱落が生じにくく、十分な耐摩耗性を発揮することができ、また、10.0以下では、結晶粒の強度が増すため、耐チッピング性が向上する。
よって、平均アスペクト比Aは、2.0〜10.0とすることがより好ましい。
なお、本願発明では、平均アスペクト比Aとは、走査型電子顕微鏡を用い、幅100μm、高さが硬質被覆層全体を含む範囲で硬質被覆層の縦断面観察を行う際に、工具基体表面と垂直な被覆層断面側から観察し、基体表面と平行な方向の粒子幅w、基体表面に垂直な方向の粒子長さlを測定し、各結晶粒のアスペクト比a(=l/w)を算出するとともに、個々の結晶粒について求めたアスペクト比aの平均値を平均アスペクト比Aとして算出し、また、個々の結晶粒について求めた粒子幅wの平均値を平均粒子幅Wとして算出した。
下部層および上部層:
本発明では、硬質被覆層として前記TiAlCN層を設けることによって十分な効果を奏するが、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上からなり、0.1〜20μmの合計平均層厚を有するTi化合物層を含む下部層を設けた場合、あるいは、少なくとも酸化アルミニウム層を含む上部層が1〜25μmの合計平均層厚で設けられた場合には、これらの層が奏する効果と相俟って、一層すぐれた特性を発揮することができる。
Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上からなり、0.1〜20μmの合計平均層厚を有するTi化合物層を含む下部層を設ける場合、下部層の合計平均層厚が0.1μm未満では、下部層の効果が十分に奏されず、一方、20μmを超えると結晶粒が粗大化し易くなり、チッピングを発生しやすくなる。また、酸化アルミニウム層を含む上部層の合計平均層厚が1μm未満では、上部層の効果が十分に奏されず、一方、25μmを超えると結晶粒が粗大化し易くなり、チッピングを発生しやすくなる。
したがって、本発明の被覆工具は、TiAlCN層が適度の格子歪(0.007Å≦ΔA≦0.05Å)を備え、高硬度化が図られるため、合金鋼等の高熱発生を伴うとともに、切刃に対して衝撃的な負荷が作用する高速断続切削加工に供した場合、TiAlCN層がすぐれた耐チッピング性を備えるとともに、長期の使用にわたってすぐれた耐摩耗性を発揮する。
なお、以下の実施例では、工具基体として、炭化タングステン基超硬合金(以下、「WC基超硬合金」で示す。)あるいは炭窒化チタン基サーメット(以下、「TiCN基サーメット」で示す。)を用いた場合について説明するが、立方晶窒化ホウ素基超高圧焼結体を工具基体として用いた場合も同様である。
化学蒸着条件は、次のとおりである。
表4、表5に示される形成条件A〜J、すなわち、NH3とH2からなるガス群Aと、TiCl4、AlCl3、N2、Al(CH3)3、H2からなるガス群B、およびおのおのガスの供給方法として、反応ガス組成(ガス群Aおよびガス群Bを合わせた全体に対する容量%)を、ガス群AとしてNH3:2〜6%、H2:65〜75%、ガス群BとしてAlCl3:0.5〜0.9%、TiCl4:0.2〜0.3%、N2:3.0〜12.0%、Al(CH3)3:0.0〜0.1%、H2:残、反応雰囲気圧力:4.5〜5.0kPa、反応雰囲気温度:700〜900℃、供給周期6〜9秒、1周期当たりのガス供給時間0.15〜0.25秒、ガス群Aとガス群Bの供給位相差0.10〜0.20秒とし、また、N2、AlCl3、Al(CH3)3の供給比N2/(AlCl3+Al(CH3)3)を3〜24として、所定時間、熱CVD法を行った。
また、表6、表7に示される形成条件K〜L、すなわち、NH3とH2からなるガス群Cと、TiCl4、AlCl3、Al(CH3)3、H2からなるガス群D、およびおのおのガスの供給方法として、反応ガス組成(ガス群Cおよびガス群Dを合わせた全体に対する容量%)を、ガス群CとしてNH3:2〜6%、H2:65〜75%、ガス群DとしてAlCl3:0.3〜0.9%、TiCl4:0.1〜0.2%、Al(CH3)3:0.0〜0.1%、H2:残、反応雰囲気圧力:4.5〜5.0kPa、反応雰囲気温度:700〜900℃、供給周期6〜9秒、1周期当たりのガス供給時間0.20〜0.25秒、ガス群Cとガス群Dの供給位相差0.10〜0.15秒とし、また、H2、AlCl3、Al(CH3)3の供給比H2/(AlCl3+Al(CH3)3)を100〜160として、所定時間、熱CVD法を行った。
前記表4、表5、および、表6、表7の条件でTiAlCN層を形成することにより、表9に示す平均目標層厚、Alの平均組成X、Cの平均組成Yを有する本発明被覆工具1〜17を製造した。
なお、本発明被覆工具6〜13、17については、表3に示される形成条件で、表8に示される下部層および/または上部層を形成した。
なお、本発明被覆工具6〜13、17と同様に、比較被覆工具6〜13、17については、表3に示される形成条件で、表8に示される下部層および上部層を形成した。
Cの平均含有割合Yについては、二次イオン質量分析(Secondary−Ion−Mass−Spectroscopy:SIMS)により求めた。イオンビームを試料表面側から70μm×70μmの範囲に照射し、スパッタリング作用によって放出された成分について深さ方向の濃度測定を行った。Cの平均含有割合YはTiAlCN層についての深さ方向の平均値を示す。
ただし、Cの含有割合には、意図的にガス原料としてCを含むガスを用いなくても含まれる不可避的なCの含有割合を除外している。具体的にはAl(CH3)3の供給量を0とした場合のTiAlCN層に含まれるCの含有割合(原子比)を不可避的なCの含有割合として求め、Al(CH3)3を意図的に供給した場合に得られるTiAlCN層に含まれるCの含有割合(原子比)から前記不可避的なCの含有割合を差し引いた値をYとして求めた。
表9、表10に、前記で求めたX、Y、Zの値を示す(X、Y、Zは、いずれも原子比)。
ついで、前記d(111)とd(200)から、格子定数に相当するA(111)およびA(200)を次の式から算出した。
A(111)=31/2d(111)、
A(200)=2d(200)、
ついで、前記A(111)とA(200)の差の絶対値を、格子歪の指標ΔAとして求めた。
表9、表10に、前記で求めたd(111)、d(200)、A(111)、A(200)およびΔAの値を示す。
なお、X線回折は、測定条件: Cu−Kα線(λ=1.5418Å)を線源として、測定範囲(2θ):30〜50度、スキャンステップ:0.013度、1ステップ辺り測定時間:0.48sec/stepという条件で測定した。
切削試験:乾式高速正面フライス、センターカット切削加工、
被削材:JIS・SCM440幅100mm、長さ400mmのブロック材、
回転速度:994 min−1、
切削速度:390 m/min、
切り込み:1.8 mm、
一刃送り量:0.20 mm/刃、
切削時間:8分、
表11に、その結果を示す。
また、表6、表7に示される形成条件K〜L、すなわち、NH3とH2からなるガス群Cと、TiCl4、AlCl3、Al(CH3)3、H2からなるガス群D、およびおのおのガスの供給方法として、反応ガス組成(ガス群Cおよびガス群Dを合わせた全体に対する容量%)を、ガス群CとしてNH3:2〜6%、H2:65〜75%、ガス群DとしてAlCl3:0.3〜0.9%、TiCl4:0.1〜0.2%、Al(CH3)3:0.0〜0.1%、H2:残、反応雰囲気圧力:4.5〜5.0kPa、反応雰囲気温度:700〜900℃、供給周期6〜9秒、1周期当たりのガス供給時間0.20〜0.25秒、ガス群Cとガス群Dの供給位相差0.10〜0.15秒とし、また、H2、AlCl3、Al(CH3)3の供給比H2/(AlCl3+Al(CH3)3)を100〜160として、所定時間、熱CVD法を行った。
前記表4、表5、および、表6、表7の条件でTiAlCN層を形成することにより、表15に示す平均目標層厚、Alの平均組成X、Cの平均組成Yを有する本発明被覆工具18〜34を製造した。
なお、本発明被覆工具23〜30、34については、表3に示される形成条件で、表14に示される下部層および上部層を形成した。
なお、本発明被覆工具23〜30、34と同様に、比較被覆工具23〜30、34については、表3に示される形成条件で、表14に示される下部層、上部層を形成した。
表15および表16に、その結果を示す。
切削条件1:
被削材:JIS・S55Cの長さ方向等間隔4本縦溝入り丸棒、
切削速度:370 m/min、
切り込み:1.2 mm、
送り:0.2 mm/rev、
切削時間:5 分、
(通常の切削速度は、220m/min)、
切削条件2:
被削材:JIS・FCD600の長さ方向等間隔4本縦溝入り丸棒、
切削速度:325 m/min、
切り込み:1.5 mm、
送り:0.2 mm/rev、
切削時間:5 分、
(通常の切削速度は、180m/min)、
表17に、前記切削試験の結果を示す。
Claims (4)
- 炭化タングステン基超硬合金、炭窒化チタン基サーメットまたは立方晶窒化ホウ素基超高圧焼結体のいずれかで構成された工具基体の表面に、硬質被覆層が設けられた表面被覆切削工具において、
(a)前記硬質被覆層は、平均層厚1〜20μmのTiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層を少なくとも含み、該複合窒化物または複合炭窒化物を、
組成式:(Ti1−XAlX)(CYN1−Y)
で表した場合、AlのTiとAlの合量に占める平均含有割合XおよびCのCとNの合量に占める平均含有割合Y(但し、X、Yはいずれも原子比)は、それぞれ、0.60≦X≦0.95、0≦Y≦0.005を満足し、
(b)前記複合窒化物または複合炭窒化物は、微量のClを含有し、TiとAlとCとNとClの合量に占めるClの含有割合Z(但し、Zは原子比)は、0.0001≦Z≦0.004を満足し、
(c)前記複合窒化物または複合炭窒化物層について、X線回折装置を用いて測定した、複合窒化物または複合炭窒化物層内のNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒の(111)面および(200)面のX線回折スペクトルから、それぞれの面間隔d(111)およびd(200)の値を算出し、算出されたd(111)およびd(200)の値から、
A(111)=31/2d(111)、
A(200)=2d(200)、
で定義されるA(111)およびA(200)を算出し、A(111)とA(200)の差の絶対値ΔA=|A(111)−A(200)|を求めた場合、
A(111)とA(200)の差の絶対値
ΔA=|A(111)−A(200)|
ΔAが、0.007Å≦ΔA≦0.05Åを満足することを特徴とする表面被覆切削工具。 - 前記複合窒化物または複合炭窒化物層を縦断面方向から観察した場合に、複合窒化物または複合炭窒化物層内の立方晶構造を有する個々の結晶粒の平均粒子幅Wが0.10〜2.00μm、平均アスペクト比Aが2.0〜10.0である柱状組織を有することを特徴とする請求項1に記載の表面被覆切削工具。
- 前記工具基体と前記TiとAlの複合窒化物または複合炭窒化物層の間に、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上からなり、0.1〜20μmの合計平均層厚を有するTi化合物層を含む下部層が存在することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の表面被覆切削工具。
- 前記複合窒化物または複合炭窒化物層の上部に、少なくとも酸化アルミニウム層を含む上部層が1〜25μmの合計平均層厚で存在することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の表面被覆切削工具。
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