JP2018138698A5 - - Google Patents
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- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims 21
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 20
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 5
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 239000002966 varnish Substances 0.000 claims 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018085753A JP6588125B2 (ja) | 2018-04-26 | 2018-04-26 | 蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク、および有機半導体素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018085753A JP6588125B2 (ja) | 2018-04-26 | 2018-04-26 | 蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク、および有機半導体素子の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017566424A Division JP6410247B1 (ja) | 2017-01-31 | 2017-01-31 | 蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク、および有機半導体素子の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018138698A JP2018138698A (ja) | 2018-09-06 |
| JP2018138698A5 true JP2018138698A5 (enExample) | 2018-10-18 |
| JP6588125B2 JP6588125B2 (ja) | 2019-10-09 |
Family
ID=63450843
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018085753A Expired - Fee Related JP6588125B2 (ja) | 2018-04-26 | 2018-04-26 | 蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク、および有機半導体素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6588125B2 (enExample) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109609902B (zh) * | 2018-10-26 | 2020-08-11 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种掩模板及显示面板封装方法 |
| US20220181594A1 (en) * | 2019-03-27 | 2022-06-09 | Sakai Display Products Corporation | Method for manufacturing resin film having fine pattern, method for manufacturing organic el display device, base material film for use in formation of fine pattern, and resin film having support member attached thereto |
| CN109778116B (zh) | 2019-03-28 | 2021-03-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种掩膜版及其制作方法、掩膜版组件 |
| JP7473298B2 (ja) * | 2019-03-29 | 2024-04-23 | マクセル株式会社 | 蒸着マスク |
| CN110846614B (zh) | 2019-11-21 | 2022-03-25 | 昆山国显光电有限公司 | 一种掩膜版和蒸镀系统 |
| KR20220060084A (ko) | 2020-11-03 | 2022-05-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 마스크, 이의 제조 방법 및 마스크 어셈블리 |
| KR102716371B1 (ko) * | 2023-01-20 | 2024-10-15 | 주식회사 오럼머티리얼 | 밀착 지지부 및 그 제조 방법 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5899585B2 (ja) * | 2011-11-04 | 2016-04-06 | 株式会社ブイ・テクノロジー | マスクの製造方法 |
| JP6142386B2 (ja) * | 2012-12-21 | 2017-06-07 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 蒸着マスクの製造方法 |
| JP6217197B2 (ja) * | 2013-07-11 | 2017-10-25 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスク、樹脂層付き金属マスク、および有機半導体素子の製造方法 |
| JP6769692B2 (ja) * | 2015-01-14 | 2020-10-14 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクの製造方法、及び有機半導体素子の製造方法 |
| WO2017006821A1 (ja) * | 2015-07-03 | 2017-01-12 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク準備体、有機半導体素子の製造方法、有機elディスプレイの製造方法、及び蒸着マスク |
| JP6341434B2 (ja) * | 2016-03-29 | 2018-06-13 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 成膜マスク、その製造方法及び成膜マスクのリペア方法 |
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2018
- 2018-04-26 JP JP2018085753A patent/JP6588125B2/ja not_active Expired - Fee Related
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