JP2018137318A - 縦型ウエハボート - Google Patents

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Abstract

【課題】長尺形状のウエハ支持部を備えた縦型ウエハボートにおいて、熱によるウエハ支持部間の変形差を低減することによって、ウエハを傾斜させず、スリップの発生を抑制する。【解決手段】天板７と、前記天板に一端が固定され、他端が底板６に固定された３本の支柱２ｂ、３ｂ、４ｂと、前記支柱の側面から水平方向に突出するウエハ支持部とを有する縦型ウエハボート１であって、前記ウエハ支持部は、ウエハ挿入始端側の左右両側に配置された支柱の第１及び第２のウエハ支持部２ａ、３ａと、ウエハ挿入終端側の中央に配置された支柱の第３のウエハ支持部４ａとからなり、前記支柱を含む第１及び第２のウエハ支持部の水平方向の断面積と、前記支柱を含む第３のウエハ支持部の水平方向の断面積の比率が１％以下である。【選択図】図１

Description

本発明は、縦型ウエハボートに関し、特に半導体デバイスの製造に使用されるシリコンウエハを熱処理工程において保持する縦型ウエハボートに関する。
半導体デバイス製造に使用されるウエハは熱処理が施されており、この熱処理は、熱処理装置内に多数のウエハを載置した縦型ウエハボートを収容することによってなされる。
ところで、近年、ウエハは大口径化し、それに伴いウエハにスリップが生じ易く、その対策は重要な問題である。このスリップを抑制する対策として、例えば、特許文献１では、ウエハ支持部がウエハの外周部からウエハ半径の４０〜６０％の位置まで支持することで、ウエハの変形を最小化し、スリップの発生を抑制する発明が提案されている。
この特許文献１に開示された縦型ウエハボートについて図８に基づき説明する。尚、図８は、縦型ウエハボートを、その上部から透視してみた状態を示している。
ウエハボート１００は、鉛直方向に互いに平行状態に配置されたウエハ挿入方向Ｘからみた始端側の支持部材１０１、１０２及び終端側の支持部材１０３を具備している。これらの各支持部材１０１，１０２、１０３は、円板形状の基台（底板）上に立設され、さらに各支持部材の上端部は、円板状の上部固定部材（天板）によって支持されている。
尚、図８に示された外周円１０５は、このウエハボート１００の上部固定部材（天板）を示している。また、点線で示す符号Ｗは、このウエハボート１００に搭載されるウエハの搭載位置（ウエハＷと呼ぶ）を示している。また、矢印Ｘは、ウエハボート１００に対するウエハＷの挿入方向を示している。
そして、前記各支持部材１０１、１０２、１０３は、支柱部１０１ｂ、１０２ｂ、１０３ｂとこれら支柱部１０１ｂ、１０２ｂ、１０３ｂの側面よりそれぞれ水平に突出して長尺に形成される複数のウエハ支持部１０１ａ、１０２ａ、１０３ａから構成されている。
また、ウエハ挿入始端側に位置する支持部材１０１、１０２は、ウエハＷの挿入中心点Ｏを通り、ウエハＷの挿入方向Ｘに伸びた一点鎖線ｈに対して線対称に構成されている。
また、ウエハ挿入終端側に位置する支持部材１０３は、ウエハＷの挿入中心点Ｏを通り、ウエハＷの挿入方向Ｘに伸びた一点鎖線ｈ上に位置している。
また、前記ウエハ挿入始端側に位置する支持部材１０１、１０２は、ウエハ支持部を含む水平断面が略への字状に形成され、一方ウエハ支持部１０３ａは、支持部材１０３から略直線状に延設されている。
ここで、ウエハ挿入始端側に位置する支持部材１０１，１０２のウエハ支持部１０１ａ、１０２ａの先端部、ウエハ挿入終端側に位置する支持部材１０３の先端部が、ウエハ外周部からウエハＷの半径の４０〜６０％に位置するように構成されている。
この構成により、ウエハＷは、各ウエハ支持部１０１ａ、１０２ａ、１０３ａによって支持（３点支持）され、ウエハＷの変形を抑制できる。その結果、ウエハ特定位置への応力集中を緩和し、スリップの低減対策を有効ならしめることが期待できる。
特開２００９−９９５７６号公報
ところで、図８に示したウエハボートにあっては、ウエハ挿入始端側の支持部材１０１、１０２とウエハ挿入終端側の支持部材１０３との間において、ウエハ支持部１０１ａ、１０２ａの長さとウエハ支持部１０３ａの長さが異なる。
このように長さ寸法が異なると、支持部材の表面積（体積）が異なり、熱処理時に受ける熱量に差異が生じる。そのため、支持部材間において熱膨張による変形の大きさが異なり、その結果、支持するウエハＷに傾きが生じる虞があった。
そして、ウエハＷに傾きが生じた場合には、ウエハＷの特定箇所に応力が集中し、スリップが発生しやすくなるという課題があった。
本発明は、前記したような事情の下になされたものであり、長尺形状のウエハ支持部を備えた縦型ウエハボートにおいて、熱によるウエハ支持部間の変形差を低減することによって、ウエハを傾斜させず、スリップの発生を抑制することのできる縦型ウエハボートを提供することを目的とする。
前記課題を解決するためになされた、本発明に係る縦型ウエハボートは、天板と、前記天板に一端が固定され、他端が底板に固定された３本の支柱と、前記支柱の側面から水平方向に突出するウエハ支持部とを有する縦型ウエハボートであって、前記ウエハ支持部は、ウエハ挿入始端側の左右両側に配置された支柱の第１及び第２のウエハ支持部と、ウエハ挿入終端側の中央に配置された支柱の第３のウエハ支持部とからなり、前記支柱を含む第１及び第２のウエハ支持部の水平方向の断面積と、前記支柱を含む第３のウエハ支持部の水平方向の断面積の比率が１％以下であることに特徴を有する。
尚、前記第１及び第２のウエハ支持部は、その支柱を含む水平断面がへの字状に形成され、前記第３のウエハ支持部は、その支柱を含む水平断面が、先端から支柱側にかけて幅広に変化するようテーパ状に形成されていることが望ましい。
また、前記第１、第２及び第３のウエハ支持部の先端部は、支持するウエハの中心からウエハの半径の６５％以上７５％以下の位置に配されることが望ましい。
このような構成によれば、支柱部を含む第１、第２のウエハ支持部の水平方向の断面積と、支柱部を含む第３のウエハ支持部の水平方向の断面積とが、略等しく構成される。それにより、支柱部を含む第１、第２の支持部材が熱処理時に受ける熱量と支柱部を含む第３の支持部材が熱処理持に受ける熱量とが略等しくなり、熱膨張による変形に差が無くなる。よって、ウエハは傾斜することなく保持され、ウエハの特定箇所への応力集中が無くなり、スリップの発生を抑制することができる。
本発明によれば、長尺形状のウエハ支持部を備えた縦型ウエハボートにおいて、熱によるウエハ支持部間の変形差を低減することによって、ウエハを傾斜させず、スリップの発生を抑制することのできる縦型ウエハボートを得ることができる。
図１は、本実施形態に係る縦型ウエハボートの正面図である。 図２は、図１に示した縦型ウエハボートの側面図である。 図３は、図１に示した縦型ウエハボートの天板の平面図である。 図４は、図１のＩ−Ｉ矢視断面図（平面図）である。 図５（ａ）、（ｂ）は、図１の縦型ウエハボートが有する支柱部を含むウエハ支持部の水平方向の断面図である。 図６（ａ）、（ｂ）は、図１の縦型ウエハボートが有するウエハ支持部の側面図である。 図７（ａ）、（ｂ）は、図１の縦型ウエハボートが有するウエハ支持部の変形例を示す側面図である。 図８は、従来の縦型ウエハボートを、その上部から透視してみた状態を示す図である。
以下、本発明に係る縦型ウエハボートの実施形態について図面に基づき説明する。尚、図１は、本実施形態に係る縦型ウエハボートの正面図、図２は、図１に示した縦型ウエハボートの側面図、図３は、縦型ウエハボートの天板の平面図、図４は、図１のＩ−Ｉ矢視断面図（平面図）である。
図１、図２に示すように、縦型ウエハボート１は、ウエハ挿入方向の始端側（ウエハ挿入始端側と称呼する）に配された２本の支持部材２、３と、ウエハ挿入方向の終端側（以下、ウエハ挿入終端側と称呼する）に配された１本の支持部材４とを具備している。前記各支持部材２、３、４の下端部は、円板形状の底板６に立設され、さらに各支持部材７の上端部は、円板状の天板７によって支持されている。
前記各支持部材２、３、４は、それぞれ多数のウエハを支持するために複数のウエハ支持部２ａ、３ａ、４ａを有している。各支持部材２、３、４におけるウエハ支持部２ａ、３ａ、４ａは、縦方向に例えば８ｍｍピッチで５０〜１５０個形成されている。
また、図３に示すように、天板７において開口部７ａは、純化時のガスの主流を天板７の中央に形成するために、天板７の中央部に形成されている。この開口部７ａは、天板７の上面から見たとき、図４に示すようにウエハ支持部２ａ，３ａ，４ａの先端部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３が開口部７ａ内側に突出しないよう、直径φＡをもって形成されている。このようにした理由は、ウエハ支持部２，３，４の先端部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３が前記開口部７ａ内に突出していると、ウエハ中央側における特異なガスの乱れが生じ易くなるためである。
前記開口部７ａは、天板７の中心（載置されるウエハＷの中心）を中心とした円形であることが望ましいが、特にこれに限定されるものではなく、その他の形状、例えば、正方形、六角形、八角形等の多角形，楕円形、星型、歯車型であっても良い。
また、天板７の外形の形状についても、一般的な円形が望ましいが、特にこれに限定されるものではなく、その他の形状、例えば、正方形，六角形，八角形等の多角形，楕円形，略星型，歯車型であっても良い。
更に、図３に示すように天板７のウエハＷの挿入側には、前記開口部７ａに通じるスリット部７ｂが形成されている。前記スリット部７ｂの幅方向の中間点が、ウエハＷの挿入方向ＸとウエハＷの挿入中心点Ｏを結ぶ一点鎖線ｈ上に位置するように、前記スリット部７ｂが形成されている。
前記天板７のスリット部７ｂの幅Ｔは、天板７の幅の３５％以上４５％以下の寸法が望ましい。ここで、前記天板７の幅とは、天板７が矩形形状である場合には、ウエハ挿入方向Ｘと直交する方向の長さを意味し、また天板７が円形である場合にはその直径φＤを意味している。
このように、スリット部７ｂの幅Ｔを天板７の幅の３５％以上としたのは、３５％未満では天板７を介して十分なガス供給量を確保できないためであり、一方天板の幅の４５％以下としたのは、４５％を越えた幅ではボートの強度が弱くなるため、好ましくないからである。
さらに、天板７の開口部７ａの面積は、天板７の上面の面積の３０％以上４０％以下に形成されていることがより好ましい。
このように開口部面積を規定したのは、天板７の下部にあるウエハ支持部２ａ，３ａ，４ａにガスが十分行き届くようにするためである。
具体的には、天板７の開口部７ａの面積が、天板の上面の面積の３０％未満では、ガスが十分にボートの下部まで供給されにくく、純化効果が十分に得られない虞がある。一方、開口面積が４０％を超える場合は、上方から下方にボートを通過するガスの流れが増大して、ガスが支柱及びウエハ支持部に接触せず、単にガスがボート内部を通過するに過ぎない状態となり、やはり純化効果が十分に得られない虞がある。
更に、前記天板７のスリット部７ｂの幅Ｔは、前記したウエハ挿入始端側の支持部先端部Ｓ１，Ｓ２の間隔と同一であることがより望ましい。
この場合、天板７の上面から見たときスリット部７ｂの縁部とウエハ支持部２ａ，３ａの先端部Ｓ１，Ｓ２とが重なるため、ウエハ支持部２ａ，３ａの先端部Ｓ１，Ｓ２がスリット部７ｂの内側に突出することによって生じるウエハ中央側の特異なガスの乱れをより確実に抑制できる。
続いて、図４、及び図５（ａ）、（ｂ）に基づき、各支持部材２、３、４についてより詳細に説明する。図５（ａ）、（ｂ）は、図１の縦型ウエハボートが有する支柱部を含むウエハ支持部の水平方向の断面図である。
図４において、点線で示す符号Ｗは、この縦型ウエハボート１に搭載されるウエハＷの位置を示し、矢印Ｘは、縦型ウエハボート１に対するウエハＷの挿入方向を示している。
ウエハ挿入始端側に配された支持部材２、３は、支柱部２ｂ、３ｂと、これら支柱部２ｂ、３ｂの側面より、それぞれ水平に突出して形成される複数のウエハ支持部２ａ、３ａから構成され、図５（ａ）に示すようにウエハ支持部を含む水平断面が略への字状に形成されている。
図４に示すように、前記支持部材２、３は、ウエハＷの挿入方向ＸとウエハＷの挿入中心点Ｏを結ぶ一点鎖線ｈに対して線対称に構成されていて、ウエハ支持部２ａ、３ａの先端部Ｓ１、Ｓ２は上面から見た場合、半円形状となっている。
また、ウエハ挿入終端側に配された支持部材４は、支柱部４ｂと、この支柱部４ｂの側面より、水平に突出して形成される複数のウエハ支持部４ａとから構成されている。この支柱部４ｂを含むウエハ支持部４ａの水平断面は、図５（ｂ）に示すように先端が細く、支柱部４ｂ（ウエハ挿入終端側）に向かって幅広になるようテーパ状に（略三角形状）に形成されている。
前記支持部材４は、ウエハＷの挿入中心点Ｏを通り、ウエハＷの挿入方向Ｘに伸びた一点鎖線ｈ上に位置している。この支持部材４のウエハ支持部４ａはウエハ挿入終端側の支柱部４ｂから前記ウエハＷの挿入中心点Ｏに向かって水平方向に延設されている。前記ウエハ支持部４ａの先端部Ｓ３は上面から見た場合半円形状となっている。
本発明において、ウエハ支持部２ａ、３ａの先端部Ｓ１、Ｓ２及びウエハ支持部４ａの先端部Ｓ３は、ウエハＷの中心からウエハＷの半径の６５％以上７５％以下の位置に配されるように構成されている。また、前記先端部Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３によるウエハＷ下面の支持点位置は、ウエハＷの円周に沿って１２０°間隔になされている。
前記先端部Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の各々が、当該所定位置に配されることによって、発生応力を極力小さくすることができ、その結果、ウエハのスリップ発生が抑制される。
また、本発明にあっては、図５（ａ）に示す支柱２ｂ、３ｂを含むウエハ支持部２ａ、３ａの水平方向の断面積Ｓａと、図５（ｂ）に示す支柱４ｂを含むウエハ支持部４ａの水平方向の断面積Ｓｂとが、略等しく、その比率は１％以下になされている。ウエハ支持部２ａ、３ａ、４ａの厚さは、同一に形成されている。それにより、支持部材２，３と支持部材４の体積が等しくなるため、支持部材２、３が熱処理時に受ける熱量と支持部材４が熱処理持に受ける熱量とが略等しくなり、熱膨張による変形に差が無くなる。よって、ウエハＷは傾斜することなく保持されるため、ウエハＷの特定箇所への応力集中が無くなり、スリップの発生が抑制される。
図６（ａ）は、支持部材２、３の一部を拡大して示す側面図であり、図６（ｂ）は、支持部材４の一部を拡大して示す側面図である。
本実施形態において、図６（ａ）、（ｂ）に示すようにウエハ支持部２ａ、３ａ、４ａの上面は平坦であり、その略全体がウエハＷの裏面に接するようになっている。ウエハ支持部２ａ、３ａとウエハ支持部４ａとの間でのウエハＷに接する面積の差異は、３０ｍｍ２以下になされており、それによりウエハ支持部２ａ、３ａ、４ａからウエハＷへの伝熱の影響の差を小さく抑えるようになされている。
尚、本発明の変形例として、図７（ａ）、（ｂ）に示すようにウエハ支持部２ａ、３ａ、４ａの上面側先端部にウエハＷを支持する突起部２ａ１、３ａ１、４ａ１を設けてもよく、その場合、各突起部におけるウエハＷとの接触面積は等しくなされる。このように突起部を設けることによりウエハ支持部２ａ、３ａ、４ａからウエハＷへの伝熱の影響をより小さくすることができる。
以上のように本発明に係る実施の形態によれば、支柱部２ｂ、３ｂを含むウエハ支持部２ａ、３ａの水平方向の断面積と、支柱部４ｂを含むウエハ支持部４ａの水平方向の断面積とが、略等しく、その比率が１％以下になされる。それにより、支持部材２，３が熱処理時に受ける熱量と支持部材４が熱処理持に受ける熱量とが略等しくなり、熱膨張による変形に差が無くなる。よって、ウエハＷは傾斜することなく保持され、ウエハＷの特定箇所への応力集中が無くなり、スリップの発生を抑制することができる。
本発明に係る縦型ウエハボートについて、実施例に基づきさらに説明する。本実施例では、前記実施の形態に示した縦型ウエハボートを製造し、得られたウエハボートを用いてウエハの熱処理を行うことにより、その性能を検証した。
実施例ごとの異なる条件として、図５に示したウエハ挿入始端側の支柱部２ｂ、３ｂを含むウエハ支持部２ａ、３ａの水平方向断面積Ｓａ（図４（ａ）参照）と、ウエハ挿入終端側の支柱部４ｂを含むウエハ支持部４ａの水平方向断面積Ｓｂ（図４（ｂ）参照）との比率が異なるように、断面積Ｓｂの大きさのみを変化させた。
尚、前記比率は、比率（％）＝１００×（Ｓａ−Ｓｂ）／（Ｓａ＋Ｓｂ）により求めた。
実験に使用した炉はφ３００ｍｍ用縦型炉で、炉心管内径３９０ｍｍ×炉心管高さ１６５０ｍｍ、使用した縦型ウエハボートの外形は、天板と底板径３３０ｍｍ×ボート高さ１２００ｍｍである。
この炉を用いた実験として、各縦型ウエハボートを同一の使用条件で連続１０回熱処理したのち、評価用ウエハ１枚をボート中央部（ボート上部からの溝位置５０溝目）に配置し、評価用の熱処理を施した。
使用条件は、６００℃でウエハを１００枚積載した縦型ウエハボートを炉入れして１２００℃間で昇温後１時間保持し、６００℃まで降温したのち取出した。また、評価用の熱処理としては、６００℃で炉入れして１２００℃まで昇温後１０時間保持し、６００℃まで降温したのち炉出しした。どちらの場合も、ガスは全工程アルゴンガス１００％を毎分１５リットル流した。
スリップ評価は、１２インチの鏡面仕上げシリコンウエハ１００枚を積載して前述の使用条件で１回熱処理したものを、ボート上部から１枚目，５０枚目，１００枚目の３枚のウエハについて、Ｘ線トポグラフにて面内を測定し、観測されたスリップの中で最も長い最大スリップ長で比較するという評価を行なった。
このスリップ評価の判定指標は、最大スリップ長が３０ｍｍを越えるものがあった場合を×、最大スリップ長が３０ｍｍ未満１０以上であった場合を△、最大スリップ長が１０ｍｍ未満もしくはスリップ自体が存在しなかった場合を○という指標によって３区分に分け、ランク付けした。
表１に実施例１〜１０の条件、及びその結果を示す。
Figure 2018137318
表１に示すように面積比率の絶対値が１％以内であれば、最大スリップ長が１０ｍｍ未満もしくはスリップ自体が存在しなかった。
これは、ウエハ挿入始端側の支柱部を含むウエハ支持部の断面積Ｓａとウエハ挿入終端側の支柱部を含むウエハ支持部の断面積Ｓｂとの比率の絶対値が１％以内であれば、各支持部材の間で保有する熱量の差がなくなり（即ち熱膨張の差が小さく抑えられ）、ウエハを傾斜させることなく保持でき、傾斜によるウエハの歪みに起因するスリップを抑制することができたものと考えられた。
１ ウエハボート
２ 支持部材
２ａ ウエハ支持部（第１のウエハ支持部）
２ｂ 支柱部（支柱）
３ 支持部材
３ａ ウエハ支持部（第２のウエハ支持部）
３ｂ 支柱部（支柱）
４ 支持部材
４ａ ウエハ支持部（第３のウエハ支持部）
４ｂ 支柱部（支柱）
６ 底板
７ 天板
このような構成によれば、支柱部を含む第１、第２のウエハ支持部の水平方向の断面積と、支柱部を含む第３のウエハ支持部の水平方向の断面積とが、略等しく構成される。それにより、支柱部を含む第１、第２の支持部材が熱処理時に受ける熱量と支柱部を含む第３の支持部材が熱処理時に受ける熱量とが略等しくなり、熱膨張による変形に差が無くなる。よって、ウエハは傾斜することなく保持され、ウエハの特定箇所への応力集中が無くなり、スリップの発生を抑制することができる。
図１、図２に示すように、縦型ウエハボート１は、ウエハ挿入方向の始端側（ウエハ挿入始端側と称呼する）に配された２本の支持部材２、３と、ウエハ挿入方向の終端側（以下、ウエハ挿入終端側と称呼する）に配された１本の支持部材４とを具備している。前記各支持部材２、３、４の下端部は、円板形状の底板６に立設され、さらに各支持部材２、３、４の上端部は、円板状の天板７によって支持されている。
前記各支持部材２、３、４は、それぞれ多数のウエハを支持するために複数のウエハ支持部２ａ、３ａ、４ａを有している。各支持部材２、３、４におけるウエハ支持部２ａ、３ａ、４ａは、縦方向に例えば８ｍｍピッチで５０〜１５０個形成されている。
また、本発明にあっては、図５（ａ）に示す支柱２ｂ、３ｂを含むウエハ支持部２ａ、３ａの水平方向の断面積Ｓａと、図５（ｂ）に示す支柱４ｂを含むウエハ支持部４ａの水平方向の断面積Ｓｂとが、略等しく、その比率は１％以下になされている。ウエハ支持部２ａ、３ａ、４ａの厚さは、同一に形成されている。それにより、支持部材２，３と支持部材４の体積が等しくなるため、支持部材２、３が熱処理時に受ける熱量と支持部材４が熱処理時に受ける熱量とが略等しくなり、熱膨張による変形に差が無くなる。よって、ウエハＷは傾斜することなく保持されるため、ウエハＷの特定箇所への応力集中が無くなり、スリップの発生が抑制される。
図６（ａ）は、支持部材２、３の一部を拡大して示す側面図であり、図６（ｂ）は、支持部材４の一部を拡大して示す側面図である。
本実施形態において、図６（ａ）、（ｂ）に示すようにウエハ支持部２ａ、３ａ、４ａの上面は平坦であり、その略全体がウエハＷの裏面に接するようになっている。ウエハ支持部２ａ、３ａとウエハ支持部４ａとの間でのウエハＷに接する面積の差異は、３０ｍｍ 2 以下になされており、それによりウエハ支持部２ａ、３ａ、４ａからウエハＷへの伝熱の影響の差を小さく抑えるようになされている。
以上のように本発明に係る実施の形態によれば、支柱部２ｂ、３ｂを含むウエハ支持部２ａ、３ａの水平方向の断面積と、支柱部４ｂを含むウエハ支持部４ａの水平方向の断面積とが、略等しく、その比率が１％以下になされる。それにより、支持部材２，３が熱処理時に受ける熱量と支持部材４が熱処理時に受ける熱量とが略等しくなり、熱膨張による変形に差が無くなる。よって、ウエハＷは傾斜することなく保持され、ウエハＷの特定箇所への応力集中が無くなり、スリップの発生を抑制することができる。
本発明に係る縦型ウエハボートについて、実施例に基づきさらに説明する。本実施例では、前記実施の形態に示した縦型ウエハボートを製造し、得られたウエハボートを用いてウエハの熱処理を行うことにより、その性能を検証した。
実施例ごとの異なる条件として、図５に示したウエハ挿入始端側の支柱部２ｂ、３ｂを含むウエハ支持部２ａ、３ａの水平方向断面積Ｓａ（図５（ａ）参照）と、ウエハ挿入終端側の支柱部４ｂを含むウエハ支持部４ａの水平方向断面積Ｓｂ（図５（ｂ）参照）との比率が異なるように、断面積Ｓｂの大きさのみを変化させた。
尚、前記比率は、比率（％）＝１００×（Ｓａ−Ｓｂ）／（Ｓａ＋Ｓｂ）により求めた。
使用条件は、６００℃でウエハを１００枚積載した縦型ウエハボートを炉入れして１２００℃まで昇温後１時間保持し、６００℃まで降温したのち取出した。また、評価用の熱処理としては、６００℃で炉入れして１２００℃まで昇温後１０時間保持し、６００℃まで降温したのち炉出しした。どちらの場合も、ガスは全工程アルゴンガス１００％を毎分１５リットル流した。
このスリップ評価の判定指標は、最大スリップ長が３０ｍｍを越えるものがあった場合を×、最大スリップ長が３０ｍｍ未満１０ｍｍ以上であった場合を△、最大スリップ長が１０ｍｍ未満もしくはスリップ自体が存在しなかった場合を○という指標によって３区分に分け、ランク付けした。

Claims (3)

  1. 天板と、前記天板に一端が固定され、他端が底板に固定された３本の支柱と、前記支柱の側面から水平方向に突出するウエハ支持部とを有する縦型ウエハボートであって、
    前記ウエハ支持部は、ウエハ挿入始端側の左右両側に配置された支柱の第１及び第２のウエハ支持部と、ウエハ挿入終端側の中央に配置された支柱の第３のウエハ支持部とからなり、
    前記支柱を含む第１及び第２のウエハ支持部の水平方向の断面積と、前記支柱を含む第３のウエハ支持部の水平方向の断面積の比率が１％以下であることを特徴とする縦型ウエハボート。
  2. 前記第１及び第２のウエハ支持部は、その支柱を含む水平断面がへの字状に形成され、
    前記第３のウエハ支持部は、その支柱を含む水平断面が、先端から支柱側にかけて幅広に変化するようテーパ状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載された縦型ウエハボート。
  3. 前記第１、第２及び第３のウエハ支持部の先端部は、支持するウエハの中心からウエハの半径の６５％以上７５％以下の位置に配されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載された縦型ウエハボート。
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