JP2018132337A - 電流測定用コイル及び電流測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】電流の測定精度を向上すること。【解決手段】電流測定用コイル１００は、コイル部１を備える。コイル部１は、第１導体２１を巻き回して構成される第１コイル１１と、第２導体２２を巻き回して構成される第２コイル１２と、を有する。第１導体２１は、第１配線３１と、第１ビア４１と、をそれぞれ複数有する。第２導体２２は、第２配線３２と、第２ビア４２と、をそれぞれ複数有する。基板５は、平面視で開口部５３を囲む同心環状の第１配置領域Ｂ１１、第２配置領域Ｂ１２、第３配置領域Ｂ１３、及び第４配置領域Ｂ１４を有する。第１ビア４１は、第２配置領域Ｂ１２及び第３配置領域Ｂ１３の各々に少なくとも２つ以上配置される。第２ビア４２は、第１配置領域Ｂ１１及び第４配置領域Ｂ１４の各々に少なくとも２つ以上配置される。【選択図】図１

Description

本発明は、一般に電流測定用コイル及び電流測定装置に関し、より詳細には、基板に設けられた開口部を通る導体に流れる電流を測定する電流測定用コイル及び電流測定装置に関する。

従来、基板に設けられた開口部を通る導体を流れる電流を測定する電流測定用コイルが知られており、例えば特許文献１に開示されている。特許文献１に記載の空芯コイルは、基板開口部（開口部）を有する絶縁性基板（基板）と、絶縁性基板に埋め込まれたコイル本体（電流測定用コイル）と、を備えている。コイル本体は、基板開口部の外周に沿って導線が巻き回されるように形成された巻き進みコイル部と巻き戻しコイル部と、を有している。

特開２００４−８７６１９号公報

上記従来例のような電流測定用コイルでは、電流の測定精度を向上することが望まれている。

本発明は、上記の点に鑑みてなされており、電流の測定精度を向上することのできる電流測定用コイルを提供することを目的とする。

本発明の一態様に係る電流測定用コイルは、コイル部を備える。前記コイル部は、基板の複数の導電層に設けられて、平面視で前記開口部を囲むようにトロイダルコイルを形成する。前記基板は、被測定電流の流れる被測定導体が通る開口部を有する。前記コイル部は、第１コイルと、第２コイルと、を有する。前記第１コイルは、前記開口部の周方向における第１向きに沿って第１導体を巻き回して構成される。前記第２コイルは、前記第１コイルに直列に電気的に接続され、前記開口部の周方向における前記第１向きとは反対向きである第２向きに沿って第２導体を巻き回して構成される。前記第１導体は、第１配線と、第１ビアと、をそれぞれ複数有する。前記第１配線は、前記複数の導電層の各々に形成される。前記第１ビアは、互いに異なる導電層に形成された前記第１配線同士を電気的に接続する。前記第２導体は、第２配線と、第２ビアと、をそれぞれ複数有する。前記第２配線は、前記複数の導電層の各々に形成される。前記第２ビアは、互いに異なる導電層に形成された前記第２配線同士を電気的に接続する。前記基板は、平面視で前記開口部を囲む同心環状の４つの配置領域を有する。前記４つの配置領域は、前記開口部に最も近い配置領域から順に第１配置領域、第２配置領域、第３配置領域、及び第４配置領域である。前記第１ビアは、前記第２配置領域及び前記第３配置領域の各々に少なくとも２つ以上配置されている。前記第２ビアは、前記第１配置領域及び前記第４配置領域の各々に少なくとも２つ以上配置されている。

本発明の一態様に係る電流測定装置は、上記の電流測定用コイルと、測定部と、を備える。前記測定部は、前記被測定電流に応じて発生する前記コイル部の出力に基づいて、前記被測定電流を測定する。

本発明は、電流の測定精度を向上することができる。

図１は、実施形態１に係る電流測定用コイルの平面図である。 図２は、同上の電流測定用コイルの一部の拡大平面図である。 図３は、同上の電流測定用コイルを用いた電流測定装置の概略図である。 図４は、同上の電流測定用コイルの一部の拡大斜視図である。 図５は、同上の電流測定用コイルにおける第１コイルを示す平面図である。 図６は、同上の電流測定用コイルにおける第１コイルの一部の拡大斜視図である。 図７は、同上の電流測定用コイルにおける第２コイルを示す平面図である。 図８は、同上の電流測定用コイルにおける第２コイルの一部の拡大斜視図である。 図９Ａは、同上の電流測定用コイルの一部の拡大平面図である。図９Ｂは、同上の電流測定用コイルにおいて、第２ビアの中心に近い位置で第２配線を接続した構成の拡大平面図である。 図１０は、同上の第１変形例に係る電流測定用コイルの平面図である。 図１１は、同上の第２変形例に係る電流測定用コイルの平面図である。 図１２は、同上の電流測定用コイルの変形例の一つを示す要部断面図である。 図１３は、実施形態２に係る電流測定用コイルの平面図である。 図１４Ａは、同上の電流測定用コイルにおける第１コイルの平面図である。図１４Ｂは、同上の電流測定用コイルにおける第１コイルの一部の拡大斜視図である。 図１５Ａは、同上の電流測定用コイルにおける第２コイルの平面図である。図１５Ｂは、同上の電流測定用コイルにおける第２コイルの一部の拡大斜視図である。 図１６は、同上の電流測定用コイルの一部の拡大平面図である。

（実施形態１）
（１）概要
以下、実施形態１の電流測定用コイル１００及び電流測定装置２００の概要について図１〜図３を用いて説明する。本実施形態の電流測定装置２００は、電流測定用コイル１００と、測定部６と、を備え、被測定導体Ａ１を流れる被測定電流Ｉ１を測定するように構成されている。電流測定用コイル１００は、基板５の導電層５０に形成されたコアレスの空芯コイルであるコイル部１を有している。コイル部１は、平面視で基板５の開口部５３を囲むようにトロイダルコイルを形成している。ここでいう「平面視」は、水平面に置かれた対象となる物体を鉛直方向から見ることをいう。本実施形態では、「平面視」は、基板５の厚さ方向（前後方向）から見ることをいう。コイル部１は、その内側を通る被測定導体Ａ１を流れる被測定電流Ｉ１に応じた出力を生じるロゴスキコイルである。測定部６は、電流測定用コイル１００の出力、つまり電流測定用コイル１００の両端に誘起される電圧を積分することにより、被測定電流Ｉ１を測定する。

電流測定用コイル１００は、例えば分岐ブレーカに接続される負荷を流れる電流（以下、「負荷電流」という）を測定する用途で用いられる。この場合、導電バーの接続端子に電流測定用コイル１００を取り付け、電流測定用コイル１００に生じる出力を測定部６で測定することにより、負荷電流を測定することができる。ここでいう「接続端子」は、導電バーの一部を構成する棒状の端子であり、分岐ブレーカの差込口に差し込まれることで、分岐ブレーカの内部回路と電気的に接続される。もちろん、電流測定用コイル１００の用途は上記の用途に限られず、電流測定用コイル１００の内側に通すことが可能な被測定導体Ａ１（例えば、電線）を流れる電流を測定する用途であればよい。

コイル部１は、いわゆる巻き進みコイルである第１コイル１１と、いわゆる巻き戻しコイルである第２コイル１２と、を直列に電気的に接続して構成されている。第１コイル１１は、複数の導電層５０の各々に形成される第１配線３１と、第１配線３１同士を電気的に接続する第１ビア４１と、を有する第１導体２１を巻き回して構成されている。第２コイル１２は、複数の導電層５０の各々に形成される第２配線３２と、第２配線３２同士を電気的に接続する第２ビア４２と、を有する第２導体２２を巻き回して構成されている。

基板５は、平面視で開口部５３を囲む同心環状の４つの配置領域Ｂ１を有している（図１、図２における点線で示す領域を参照）。４つの配置領域Ｂ１は、開口部５３に最も近い配置領域Ｂ１から順に第１配置領域Ｂ１１、第２配置領域Ｂ１２、第３配置領域Ｂ１３、及び第４配置領域Ｂ１４である。そして、第１ビア４１は、第２配置領域Ｂ１２及び第３配置領域Ｂ１３の各々に少なくとも２つ以上配置されている。第２ビア４２は、第１配置領域Ｂ１１及び第４配置領域Ｂ１４の各々に少なくとも２つ以上配置されている。

（２）詳細
以下、本実施形態の電流測定用コイル１００及び電流測定装置２００の構成について図１〜図９Ｂを用いてより詳細に説明する。以下では、基板５の厚さ方向を前後方向、基板５の短手方向を上下方向、基板５の長手方向を左右方向として説明する。なお、図３には、これらの方向（上、下、左、右、前、後）を表す矢印を示すが、矢印は単に説明を補助する目的で記載しているに過ぎず、実体を伴わない。また、上記の方向の規定は、本実施形態の電流測定用コイル１００及び電流測定装置２００の使用形態を限定する趣旨ではない。

（２．１）電流測定装置
まず、本実施形態の電流測定装置２００について図３を用いて説明する。本実施形態では、電流測定装置２００は、分岐ブレーカに接続された負荷を流れる負荷電流を測定する用途で用いられる。電流測定装置２００は、図３に示すように、複数（ここでは、２つ）の電流測定用コイル１００と、１以上（ここでは、１つ）の測定部６と、を備えている。電流測定用コイル１００は、コイル部１を備えている。コイル部１は、基板５の複数（ここでは、２つ）の導電層５０に設けられており、平面視で基板５の開口部５３を囲むようにトロイダルコイルを形成している。言い換えれば、本実施形態では、コイル部１の設けられる複数の導電層５０は、２つの導電層５０である。

基板５は、左右方向に長尺な多層構造（ここでは、２層構造）のプリント基板である。基板５は、厚さ方向（前後方向）に沿って並ぶ複数（ここでは、２層）の導電層５０を有している。複数の導電層５０は、それぞれ基板５の前面及び後面に形成されている。また、基板５の厚さ方向において隣り合う２つの導電層５０の間には、絶縁層が形成されている。以下では、特に断りの無い限り、基板５の前面に形成されている導電層５０を「第１導電層５１」、基板５の後面に形成されている導電層５０を「第２導電層５２」という。

基板５には、厚さ方向に貫通する平面視で円形状の複数（図３では、２つ）の開口部５３が左右方向に並ぶようにして設けられている。また、基板５には、厚さ方向に貫通する平面視で矩形状の複数（図３では、２つ）の孔５４が左右方向に並ぶようにして設けられている。複数の孔５４は、それぞれ複数の開口部５３の上側に設けられている。開口部５３及び孔５４は、いずれも導電バーの接続端子を挿入可能な寸法である。そして、電流測定装置２００は、複数の開口部５３及び複数の孔５４の各々に導電バーの接続端子が挿入された状態で、導電バーに取り付けられる。ここでは、孔５４には、測定対象ではない接続端子が挿入される。また、孔５４は、測定対象が分岐ブレーカに接続された負荷の負荷電流ではない場合、つまり、電流測定装置２００を導電バーに取り付ける必要がない場合は、不要である。

コイル部１は、基板５の複数の開口部５３の各々の周囲に形成されている。コイル部１は、開口部５３の内側を通過する負荷電流（被測定導体Ａ１を流れる被測定電流Ｉ１）に応じた出力を生じる。コイル部１の詳細な構造については後述する。本実施形態では、基板５には、複数のコイル部１が設けられているが、１つのコイル部１だけが設けられていてもよい。

測定部６は、左右方向に並ぶ２つの電流測定用コイル１００を一組として、各組に対して１つずつ設けられている。測定部６の入力端と、対応する組の２つの電流測定用コイル１００の各々の出力端とは、それぞれ基板５の前面に形成された伝送線路５５により電気的に接続されている。ここでは、１つの測定部６には、２つの電流測定用コイル１００が接続されているが、更に多数の電流測定用コイル１００が接続されていてもよいし、１つの電流測定用コイル１００だけが接続されていてもよい。

測定部６は、被測定電流Ｉ１に応じて発生するコイル部１の出力に基づいて、被測定電流Ｉ１を測定するように構成されている。ここで、コイル部１の出力端には、被測定電流Ｉ１に応じた誘導起電力が発生する。測定部６は、コイル部１の出力端に発生した誘導起電力を積分することにより、被測定電流Ｉ１を求める。本実施形態では、測定部６は、増幅回路と、積分回路と、を有している。また、測定部６は、対応する組の２つのコイル部１から出力される電気信号を、例えば時分割で交互に取得する。

増幅回路は、コイル部１から出力される電気信号を増幅するアンプで構成されている。積分回路は、増幅回路から出力される電気信号を積分するように構成されている。すなわち、コイル部１から出力される電気信号は、接続端子を流れる負荷電流（被測定導体Ａ１を流れる被測定電流Ｉ１）を微分した値を示す。このため、積分回路は、増幅回路から出力される電気信号を積分することで、接続端子を流れる負荷電流を示す電気信号を求める。

ここで、測定部６は、増幅回路から出力される電気信号（アナログ信号）をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ（Analog-to-Digital）変換回路を更に有していてもよい。つまり、測定部６は、増幅回路及び積分回路を有する構成に限定されず、被測定電流Ｉ１を測定可能な構成であればよい。その他、測定部６は、コイル部１から出力される電気信号を増幅せずとも十分な大きさの被測定電流Ｉ１を測定可能であれば、増幅回路を有していなくてもよい。

（２．２）電流測定用コイルのコイル部
次に、電流測定用コイル１００のコイル部１について図１〜図９Ｂを用いて詳細に説明する。なお、図１、図２では、コイル部１と、コイル部１が設けられる基板５との両方を図示している。図１、図２において破線で示す配線（後述する第１配線３１又は第２配線３２）は、基板５の後面に形成されている。一方、図４〜図９Ｂでは、基板５を図示していない。図１０、図１１、図１３〜図１６でも、同様に基板５を図示していない。

コイル部１は、図１〜図４に示すように、第１コイル１１と、第２コイル１２と、を有している。第１コイル１１は、開口部５３の周方向における第１向き（ここでは、時計回り）に沿って第１導体２１を巻き回して構成されており、いわゆる巻き進みコイルである。第２コイル１２は、開口部５３の周方向における第２向き（ここでは、反時計回り）に沿って第２導体２２を巻き回して構成されており、いわゆる巻き戻しコイルである。第２向きは、第１向きとは反対向きである。

第１導体２１は、複数の第１配線３１と、複数の第１ビア４１と、を有している。第１配線３１は、例えば銅などの導電性材料を用いて、複数の導電層５０の各々（ここでは、第１導電層５１及び第２導電層５２）にパターン形成されている。第１ビア４１は、基板５の厚さ方向において、基板５の第１導電層５１、絶縁層、及び第２導電層５２を貫通するスルーホールに形成される内部導体である。第１ビア４１は、第１導電層５１に形成された第１配線３１と、第２導電層５２に形成された第１配線３１と、を電気的に接続する。言い換えれば、第１ビア４１は、互いに異なる導電層５０に形成された第１配線３１同士を電気的に接続する。

第２導体２２は、複数の第２配線３２と、複数の第２ビア４２と、を有している。第２配線３２は、例えば銅などの導電性材料を用いて、複数の導電層５０の各々（ここでは、第１導電層５１及び第２導電層５２）にパターン形成されている。第２ビア４２は、基板５の厚さ方向において、基板５の第１導電層５１、絶縁層、及び第２導電層５２を貫通するスルーホールに形成される内部導体である。第２ビア４２は、第１導電層５１に形成された第２配線３２と、第２導電層５２に形成された第２配線３２と、を電気的に接続する。言い換えれば、第２ビア４２は、互いに異なる導電層５０に形成された第２配線３２同士を電気的に接続する。

以下では、第１配線３１及び第２配線３２を区別しない場合は、特に断りの無い限り、単に「配線」という。また、以下では、第１ビア４１及び第２ビア４２を区別しない場合は、特に断りの無い限り、単に「ビア」という。

本実施形態では、基板５は、平面視で開口部５３を囲む同心環状（ここでは、同心円環状）の４つの配置領域Ｂ１を有している。なお、図２には、４つの配置領域Ｂ１の一部だけを表しているが、４つの配置領域Ｂ１は、いずれも平面視で開口部５３の周方向の全周にわたって設けられている。４つの配置領域Ｂ１は、開口部５３に最も近い配置領域Ｂ１から順に、第１配置領域Ｂ１１、第２配置領域Ｂ１２、第３配置領域Ｂ１３、第４配置領域Ｂ１４である。４つの配置領域Ｂ１の各々には、複数のビアが配置されている。

本実施形態では、第１配置領域Ｂ１１には、第２ビア４２だけが複数（ここでは、３０個）配置されている。また、第２配置領域Ｂ１２には、第１ビア４１だけが複数（ここでは、３０個）配置されている。また、第３配置領域Ｂ１３には、複数（ここでは、２９個）の第１ビア４１と、１つの第２ビア４２とが配置されている。また、第４配置領域Ｂ１４には、第２ビア４２だけが複数（ここでは、３０個）配置されている。

つまり、本実施形態では、第１ビア４１は、第２配置領域Ｂ１２及び第３配置領域Ｂ１３の各々に少なくとも２つ以上配置されている。また、第２ビア４２は、第１配置領域Ｂ１１及び第４配置領域Ｂ１４の各々に少なくとも２つ以上配置されている。特に、本実施形態では、第１配置領域Ｂ１１に配置されているビアは、全て第２ビア４２である。また、第２配置領域Ｂ１２に配置されているビアは、全て第１ビア４１である。

コイル部１のうち第１コイル１１だけを表す図を図５、図６に示す。図５、図６において、第１配置領域Ｂ１１及び第４配置領域Ｂ１４のビアは想像線で表されている。第１ビア４１は、図５に示すように、第１コイル１１の第１端Ｅ１１に接続される第２配置領域Ｂ１２の第１ビア４１を始点として、第１向きに沿って、第３配置領域Ｂ１３、第２配置領域Ｂ１２、…の順に配置されている。第１コイル１１の第２端Ｅ１２となる第１ビア４１は、第２配置領域Ｂ１２に配置され、配線を介して第４配置領域Ｂ１４の第２ビア４２に接続される（図７参照）。この第２ビア４２は、第２コイル１２の第１端Ｅ２１となる。

第２配置領域Ｂ１２の第１ビア４１と、第３配置領域Ｂ１３の第１ビア４１とは、図６に示すように、第１配線３１を介して接続されている。第１配線３１は、平面視で開口部５３の径方向に沿った略直線状の直線部３１１を有している。直線部３１１の第１端は、第２配置領域Ｂ１２の第１ビア４１に接続されており、第２端は、第３配置領域Ｂ１３の第１ビア４１に接続されている。第１導電層５１（つまり、基板５の前面）に形成される第１配線３１と、第２導電層５２（つまり、基板５の後面）に形成される第１配線３１とは、平面視で開口部５３の周方向に沿って交互に並ぶように設けられている。

コイル部１のうち第２コイル１２だけを表す図を図７、図８に示す。図７、図８において、第２配置領域Ｂ１２及び第３配置領域Ｂ１３のビアは想像線で表されている。第２ビア４２は、図７に示すように、第２コイル１２の第１端Ｅ２１となる第４配置領域Ｂ１４の第２ビア４２を始点として、第２向きに沿って、第１配置領域Ｂ１１、第４配置領域Ｂ１４、…の順に配置されている。第２コイル１２の第２端Ｅ２２に接続される第２ビア４２は、第３配置領域Ｂ１３に配置される。

第１配置領域Ｂ１１の第２ビア４２と、第４配置領域Ｂ１４の第２ビア４２とは、図８に示すように、第２配線３２を介して接続されている。第２配線３２は、１つの直線部３２１と、２つの迂回部３２２と、を有している。直線部３２１は、平面視で開口部５３の径方向に沿った略直線状に形成されている。直線部３２１の第１端は、２つの迂回部３２２のうち一方（開口部５３に近い側）の迂回部３２２の第１端に接続されている。直線部３２１の第２端は、他方（開口部５３から遠い側）の迂回部３２２の第１端に接続されている。

２つの迂回部３２２は、いずれも平面視でビア（ここでは、第１ビア４１）を避けるように第１ビア４１の周方向に沿って湾曲した形状に形成されている。一方の迂回部３２２の第２端は、第１配置領域Ｂ１１の第２ビア４２に接続されている。他方の迂回部３２２の第２端は、第４配置領域Ｂ１４の第２ビア４２に接続されている。第１導電層５１（つまり、基板５の前面）に形成される第２配線３２と、第２導電層５２（つまり、基板５の後面）に形成される第２配線３２とは、平面視で開口部５３の周方向に沿って交互に並ぶように設けられている。

第１コイル１１の第１端Ｅ１１にある第１ビア４１は、コイル部１の始端である。第２コイル１２の第２端Ｅ２２にある第２ビア４２は、コイル部１の終端である。また、コイル部１の始端及び終端は、電流測定用コイル１００の出力端であり、伝送線路５５を介して測定部６に電気的に接続される。

ここで、４つの配置領域Ｂ１のうち第２配置領域Ｂ１２及び第３配置領域Ｂ１３に配置されるビアを「内側ビア」、第１配置領域Ｂ１１及び第４配置領域Ｂ１４に配置されるビアを「外側ビア」ということとする。また、外側ビアに電気的に接続される配線を「外側配線」ということとする。本実施形態では、内側ビアは、平面視で周方向の少なくとも一部が、外側ビア及び外側配線により囲まれている。例えば、図１、図２に示すように、第２配置領域Ｂ１２の第１ビア４１（内側ビア）の周方向の一部は、隣接する第１配置領域Ｂ１１の第２ビア４２（外側ビア）と、この第２ビア４２に接続される第２配線３２（外側配線）とにより囲まれている。同様に、第３配置領域Ｂ１３の第１ビア４１（内側ビア）の周方向の一部は、隣接する第４配置領域Ｂ１４の第２ビア４２（外側ビア）と、この第２ビア４２に接続される第２配線３２（外側配線）とにより囲まれている。特に、本実施形態では、内側ビアは、平面視で周方向の１８０度以上の範囲が、外側ビア及び外側配線により囲まれている。

また、本実施形態では、外側配線は、外側ビアの中心よりも内側ビアに寄った位置で外側ビアに接続されている。例えば、図９Ａに示すように、第４配置領域Ｂ１４の第２ビア４２（外側ビア）に接続される第２配線３２（外側配線）は、この第２ビア４２の中心よりも、隣接する第３配置領域Ｂ１３の第１ビア４１（内側ビア）に寄った位置で、第２ビア４２に接続されている。つまり、本実施形態では、第２配線３２が第２ビア４２の中心に近い位置で接続される構成（図９Ｂ参照）と比較して、平面視で第１配線３１と第２配線３２とで囲まれる閉領域が小さくなっている（図９Ａ、図９Ｂにおいて一点鎖線で囲まれた領域を参照）。

ここで、本実施形態の電流測定用コイル１００には、被測定導体Ａ１を流れる被測定電流Ｉ１により生じる磁界の他に、外部磁界が通る可能性がある。ここでいう「外部磁界」は、被測定導体Ａ１以外の導体を流れる電流により生じる磁界であり、例えば、電流測定用コイル１００に隣接する他の電流測定用コイルの内側を通る導体を流れる電流により生じる磁界である。そして、電流測定用コイル１００において、外部磁界の通る閉領域が存在する場合、外部磁界により閉領域に誘導電流が流れ、この誘導電流がノイズとなる可能性がある。

本実施形態では、第１配置領域Ｂ１１及び第４配置領域Ｂ１４において、外側配線は、外側ビアの中心よりも内側ビアに寄った位置で外側ビアに接続されているので、閉領域の面積を小さくすることができる。つまり、本実施形態では、外部磁界により生じる誘導電流を低減することができ、結果としてノイズを低減することができる。

また、本実施形態では、図１に示すように、第２配置領域Ｂ１２のビアと、第３配置領域Ｂ１３のビアとは、平面視で開口部５３の周方向に沿って、開口部５３の中心を頂点とした同じ角度θ１で並ぶように配置されている。また、第１配置領域Ｂ１１のビアと、第４配置領域Ｂ１４のビアとは、平面視で開口部５３の周方向に沿って、開口部５３の中心を頂点とした同じ角度θ２で並ぶように配置されている。言い換えれば、複数の第１ビア４１、及び複数の第２ビア４２のうち少なくとも一方は、平面視で開口部５３の周方向に沿って、開口部５３の中心を頂点とした等角度で並ぶように配置されている。

ここでいう「角度θ１」は、平面視で第２直線Ｌ２と第３直線Ｌ３とがなす角度である。また、「角度θ２」は、平面視で第１直線Ｌ１と第４直線Ｌ４とがなす角度である。ここでいう「第１直線Ｌ１」は、平面視で第１配置領域Ｂ１１のビア（ここでは、第２ビア４２）の中心と、開口部５３の中心とを結ぶ直線である。また、「第２直線Ｌ２」は、平面視で第２配置領域Ｂ１２のビア（ここでは、第１ビア４１）の中心と、開口部５３の中心とを結ぶ直線である。また、「第３直線Ｌ３」は、平面視で上記第１配置領域Ｂ１１のビアと配線を介して接続される第４配置領域Ｂ１４のビア（ここでは、第２ビア４２）の中心と、開口部５３の中心とを結ぶ直線である。また、「第４直線Ｌ４」は、平面視で上記第２配置領域Ｂ１２のビアと配線を介して接続される第３配置領域Ｂ１３のビア（ここでは、第１ビア４１）の中心と、開口部５３の中心とを結ぶ直線である。

また、本実施形態では、第１配置領域Ｂ１１に配置される複数のビア及び第２配置領域Ｂ１２に配置される複数のビアは、開口部５３の径方向において並ぶように配置されている。言い換えれば、開口部５３の径方向に並ぶ第１配置領域Ｂ１１のビア及び第２配置領域Ｂ１２のビアを１組のビアとして、複数組のビアが開口部５３の周方向に並ぶように配置されている。同様に、第３配置領域Ｂ１３に配置される複数のビア、及び第４配置領域Ｂ１４に配置される複数のビアは、開口部５３の径方向において並ぶように配置されている。言い換えれば、開口部５３の径方向に並ぶ第３配置領域Ｂ１３のビア及び第４配置領域Ｂ１４のビアを１組のビアとして、複数組のビアが開口部５３の周方向に並ぶように配置されている。

したがって、本実施形態では、第１直線Ｌ１及び第２直線Ｌ２は、平面視で同じ直線上で重なっている。同様に、第３直線Ｌ３及び第４直線Ｌ４は、平面視で同じ直線上に重なっている。このため、本実施形態では、角度θ１と角度θ２とは同じ角度である。

また、本実施形態では、第１配線３１の一部と第２配線３２の一部とは、基板５の厚さ方向において互いに重なっている。具体的には、第１導電層５１に形成された第１配線３１の直線部３１１と、第２導電層５２に形成された第２配線３２の直線部３２１とは、基板５の厚さ方向において互いに重なっている。また、第２導電層５２に形成された第１配線３１の直線部３１１と、第１導電層５１に形成された第２配線３２の直線部３２１とは、基板５の厚さ方向において互いに重なっている。

また、本実施形態では、第１配置領域Ｂ１１のビア、第２配置領域Ｂ１２のビア、第３配置領域Ｂ１３のビア、及び第４配置領域Ｂ１４のビアは、開口部５３の周方向において互いに重ならないように配置されている。つまり、開口部５３の径方向において互いに隣接する２つのビアにおいて、開口部５３の中心から一方のビアの中心までの距離と、開口部５３の中心から他方のビアの中心までの距離との差分が、ビアの径以上である。

特に、本実施形態では、第１配置領域Ｂ１１には第２ビア４２のみ、第２配置領域Ｂ１２には第１ビア４１のみ、第４配置領域Ｂ１４には第２ビア４２のみが配置されている。また、第３配置領域Ｂ１３には、１つの第２ビア４２を除けば、第１ビア４１のみが配置されている。

（３）効果
本実施形態の電流測定用コイル１００では、４つの配置領域Ｂ１の各々において、開口部５３の周方向に沿って並ぶビア間の距離を比較的短くすることができる。つまり、本実施形態では、コイル部１の第１導体２１及び第２導体２２の各々を、開口部５３の周方向に沿って比較的短いピッチで巻き回すことが可能である。言い換えれば、本実施形態の電流測定用コイル１００では、第１コイル１１及び第２コイル１２の各々の巻き数、つまりコイル部１の巻き数を比較的大きくすることが可能である。ここで、コイル部１の出力端に発生する誘導起電力は、コイル部１の巻き数に比例することから、本実施形態の電流測定用コイル１００では、コイル部１に発生する誘導起電力を比較的大きくし易い。したがって、本実施形態の電流測定用コイル１００では、ＳＮ（Signal-to-Noise）比を比較的高くすることが可能である。このため、本実施形態の電流測定用コイル１００では、測定部６により被測定電流Ｉ１を測定し易い。つまり、本実施形態の電流測定用コイル１００及び電流測定装置２００は、電流の測定精度を向上することができる。

（４）変形例
以下、実施形態１の変形例を列挙する。以下に説明する変形例は、適宜組み合わせて適用可能である。

（４．１）第１変形例
第１変形例の電流測定用コイル１００では、図１０に示すように、第３配置領域Ｂ１３において、開口部５３の周方向に沿って第１ビア４１と第２ビア４２とが交互に並んで配置されている。同様に、第１変形例の電流測定用コイル１００では、第４配置領域Ｂ１４において、開口部５３の周方向に沿って第１ビア４１と第２ビア４２とが交互に並んで配置されている。

第１ビア４１は、第１コイル１１の第１端Ｅ１１に接続される第１配置領域Ｂ１１の第１ビア４１を始点として、第１向きに沿って、第４配置領域Ｂ１４、第１配置領域Ｂ１１、第３配置領域Ｂ１３、第１配置領域Ｂ１１、…の順に配置される。第１コイル１１の第２端Ｅ１２となる第１ビア４１は、第１配置領域Ｂ１１に配置され、配線を介して第４配置領域Ｂ１４の第２ビア４２に接続される。この第２ビア４２は、第２コイル１２の第１端Ｅ２１となる。

第２ビア４２は、第２コイル１２の第１端Ｅ２１となる第４配置領域Ｂ１４の第２ビア４２を始点として、第２向きに沿って、第２配置領域Ｂ１２、第３配置領域Ｂ１３、第２配置領域Ｂ１２、第４配置領域Ｂ１４、…の順に配置される。第２コイル１２の第２端Ｅ２２に接続される第２ビア４２は、第３配置領域Ｂ１３に配置される。

本変形例では、第３配置領域Ｂ１３及び第４配置領域Ｂ１４の各々において、開口部５３の周方向に沿って第１ビア４１と第２ビア４２とが交互に並んでいるが、他の構成であってもよい。例えば、第３配置領域Ｂ１３及び第４配置領域Ｂ１４の代わりに、第１配置領域Ｂ１１及び第２配置領域Ｂ１２の各々において、開口部５３の周方向に沿って第１ビア４１と第２ビア４２とが交互に並ぶ構成であってもよい。

（４．２）第２変形例
第２変形例の電流測定用コイル１００では、図１１に示すように、第１配置領域Ｂ１１及び第２配置領域Ｂ１２のビアは、各々の中心が開口部５３の径方向に並ばないように、開口部５３の周方向に互いにずれるように配置されている。同様に、第３配置領域Ｂ１３及び第４配置領域Ｂ１４のビアは、各々の中心が開口部５３の径方向に並ばないように、開口部５３の周方向に互いにずれるように配置されている。なお、図１１では、第１コイル１１の第２端Ｅ１２、第２コイル１２の第１端Ｅ２１、及びコイル部１の出力端（つまり、第１コイル１１の第１端Ｅ１１及び第２コイル１２の第２端Ｅ１２）の図示を省略している。本変形例では、第１配線３１及び第２配線３２のいずれも、平面視で比較的直線に近い形状に形成することが可能である。

（４．３）その他の変形例
本実施形態では、基板５は２つの導電層５０を有していたが、更に多数の導電層５０を有していてもよい。この場合、コイル部１が設けられる複数の導電層５０は、基板５の厚さ方向において最も外側にある２つの導電層５０であるのが好ましい。例えば、基板５は、図１２に示すように、４つの導電層５０と、３つの絶縁層５６とを有する多層基板であるとする。この場合、コイル部１は、基板５の最外側である前面に形成される第１導電層５１と、基板５の最外面である後面に形成される第２導電層５２とに設けられる。つまり、第１配線３１及び第２配線３２は、いずれも第１導電層５１及び第２導電層５２には形成されるが、他の導電層５０には形成されない。また、第１ビア４１及び第２ビア４２は、いずれも第１導電層５１及び第２導電層５２には電気的に接続されるが、他の導電層５０には電気的に接続されない。

本実施形態では、外側配線が、外側ビアの中心よりも内側ビアに寄った位置で外側ビアに接続される構成（以下、「第１構成」という）であるが、他の構成であってもよい。例えば、内側ビアに電気的に接続される配線（以下、「内側配線」という）が、内側ビアの中心よりも外側ビアに寄った位置で内側ビアに接続される構成（以下、「第２構成」という）であってもよい。その他、例えば、上記の第１構成及び第２構成の両方を備えた構成であってもよい。

本実施形態では、第１コイル１１は、第１導体２１を時計回りに巻き回して構成され、かつ、第２コイル１２は、第２導体２２を反時計回りに巻き回して構成されているが、逆であってもよい。つまり、第１コイル１１は、第１導体２１を反時計回りに巻き回して構成され、かつ、第２コイル１２は、第２導体２２を時計回りに巻き回して構成されていてもよい。

本実施形態では、第１コイル１１が巻き進みコイルであり、かつ、第２コイル１２が巻き戻しコイルであるが、逆であってもよい。つまり、第１コイル１１が巻き戻しコイルであり、かつ、第２コイル１２が巻き進みコイルであってもよい。

本実施形態では、４つの配置領域Ｂ１はいずれも円環状であるが、他の形状であってもよい。例えば、４つの配置領域Ｂ１は、いずれも楕円環状であってもよい。つまり、ここでいう「環状」は、円環に限定されず、平面視で開口部５３を囲むループ状であればよい。また、４つの配置領域Ｂ１は、いずれも同じ形状である必要はない。例えば、４つの配置領域Ｂ１のうち３つの配置領域Ｂ１が円環状であり、残りの１つの配置領域Ｂ１が楕円環状であってもよい。

本実施形態では、第１配置領域Ｂ１１のビアは、開口部５３から離れた位置に形成されているが、他の構成であってもよい。例えば、第１配置領域Ｂ１１のビアは、開口部５３の内壁面に導体を設けることで形成されていてもよい。

（実施形態２）
以下、実施形態２の電流測定用コイル１００について詳細に説明する。ただし、本実施形態の基本的な構成は、実施形態１の電流測定用コイル１００と共通しているので、共通する点については同一の符号を付して説明を省略する。また、本実施形態の電流測定用コイル１００は、実施形態１の電流測定装置２００において、実施形態１の電流測定用コイル１００の代わりに用いることが可能である。

本実施形態の電流測定用コイル１００は、図１３〜図１６に示すように、第１配線３１の形状と、第２配線３２の形状とが実施形態１と異なっている。また、本実施形態の電流測定用コイル１００では、複数の第１閉回路７１と、複数の第２閉回路７２とを有している点で実施形態１と異なっている（図１６参照）。

第１配線３１は、図１４Ａ、図１４Ｂに示すように、２つの直線部３１１と、１つの迂回部３１２と、１つの連結部３１３と、１つの延長部３１４と、を有している。２つの直線部３１１は、いずれも開口部５３の径方向に沿った直線状に形成されている。

迂回部３１２は、平面視でビア（ここでは、迂回部３１２が接続される第１ビア４１に隣接するビア）を避けるように、ビアの周方向に沿って湾曲した形状に形成されている。迂回部３１２の第１端は、２つの直線部３１１のうち一方（開口部５３に近い側）の直線部３１１の第１端に接続されている。また、迂回部３１２の第２端は、第２配置領域Ｂ１２の第１ビア４１に接続されている。

連結部３１３は、開口部５３の周方向に沿った直線状に形成されており、２つの直線部３１１を連結する。つまり、連結部３１３は、一方の直線部３１１の第２端と、他方（開口部５３から遠い側）の直線部３１１の第１端とを連結する。

延長部３１４の第１端は、他方の直線部３１１の第２端に接続されている。延長部３１４は、第１端から開口部５３から離れる向きに延びており、平面視でビア（ここでは、第２ビア４２）を避けるように、ビアの周方向に沿って湾曲した形状に形成されている。また、延長部３１４は、迂回部３１２とは異なり、開口部５３から離れる向きに延びた位置で折り返され、第２端が第３配置領域Ｂ１３の第１ビア４１に接続されている。

第２配線３２は、図１５Ａ、図１５Ｂに示すように、１つの直線部３２１と、２つの迂回部３２２と、を有している点で、実施形態１の第２配線３２と同じである。本実施形態では、２つの迂回部３２２のうち一方（開口部５３に近い側）の迂回部３２２の形状は、実施形態１における一方の迂回部３２２と同じであるが、他方（開口部５３から遠い側）の迂回部３２２の形状は、実施形態１における他方の迂回部３２２と異なる。具体的には、本実施形態では、一方の迂回部３２２は、実施形態１と同様に平面視で半円弧状に形成されているのに対し、他方の迂回部３２２は、実施形態１とは異なり四分円弧状に形成されている。

以下、第１閉回路７１及び第２閉回路７２について具体的に説明する。本実施形態では、図１６の一点鎖線で示すように、第２配置領域Ｂ１２と第３配置領域Ｂ１３との間において、第１閉回路７１（以下、「第１閉回路７１１」ともいう）が形成されている。この第１閉回路７１１は、平面視で第１配線３１の直線部３１１、迂回部３１２、及び連結部３１３と、第２配線３２の直線部３２１及び迂回部３２２とで囲まれる閉領域である。また、第３配置領域Ｂ１３及び第４配置領域Ｂ１４においても、第１閉回路７１（以下、「第１閉回路７１２」ともいう）が形成されている。この第１閉回路７１２は、平面視で第１配線３１の延長部３１４と、第２配線３２の迂回部３２２とで囲まれる閉領域である。つまり、第１閉回路７１は、第２配線３２を挟んだ一方側（開口部５３から遠い側）の領域の一部を第１配線３１及び第２配線３２で囲むように形成されている。

また、本実施形態では、図１６の二点鎖線で示すように、第１配置領域Ｂ１１及び第２配置領域Ｂ１２において、第２閉回路７２（以下、「第２閉回路７２１」ともいう）が形成されている。この第２閉回路７２１は、平面視で第１配線３１の２つの迂回部３１２の各々の一部と、第２配線３２の２つの迂回部３２２の各々の一部とで囲まれる閉領域である。また、第３配置領域Ｂ１３及び第４配置領域Ｂ１４においても、第２閉回路７２（以下、「第２閉回路７２２」ともいう）が形成されている。この第２閉回路７２２は、第１配線３１の２つの延長部３１４の各々の一部と、第２配線３２の２つの迂回部３２２の各々の一部とで囲まれる閉領域である。つまり、第２閉回路７２は、第２配線３２を挟んだ他方側（開口部５３に近い側）の領域の一部を第１配線３１及び第２配線３２で囲むように形成されている。

本実施形態では、外部磁界が第１閉回路７１１を通ることで生じる誘導電流と、外部磁界が第２閉回路７２１を通ることで生じる誘導電流とが相殺される。同様に、外部磁界が第１閉回路７１２及び第２閉回路７２２の各々を通ることで生じる誘導電流が相殺される。つまり、本実施形態では、外部磁界により生じる誘導電流を低減することができ、結果としてノイズを低減することができる。

ところで、本実施形態において、第１配線３１の形状、及び第２配線３２の形状は上記の形状に限定されず、他の形状であってもよい。つまり、第１配線３１及び第２配線３２は、いずれも第２配線３２を挟むように第１閉回路７１及び第２閉回路７２を形成可能な形状であればよい。

（まとめ）
以上述べたように、第１の態様の電流測定用コイル１００は、コイル部１を備える。コイル部１は、基板５の複数の導電層５０に設けられて、平面視で開口部５３を囲むようにトロイダルコイルを形成する。基板５は、被測定電流Ｉ１の流れる被測定導体Ａ１が通る開口部５３を有する。コイル部１は、第１コイル１１と、第２コイル１２と、を有する。第１コイル１１は、開口部５３の周方向における第１向きに沿って第１導体２１を巻き回して構成される。第２コイル１２は、第１コイル１１に直列に電気的に接続され、開口部５３の周方向における第１向きとは反対向きである第２向きに沿って第２導体２２を巻き回して構成される。第１導体２１は、第１配線３１と、第１ビア４１と、をそれぞれ複数有する。第１配線３１は、複数の導電層５０の各々に形成される。第１ビア４１は、互いに異なる導電層５０に形成された第１配線３１同士を電気的に接続する。第２導体２２は、第２配線３２と、第２ビア４２と、をそれぞれ複数有する。第２配線３２は、複数の導電層５０の各々に形成される。第２ビア４２は、互いに異なる導電層５０に形成された第２配線３２同士を電気的に接続する。基板５は、平面視で開口部５３を囲む同心環状の４つの配置領域Ｂ１を有する。４つの配置領域Ｂ１は、開口部５３に最も近い配置領域Ｂ１から順に第１配置領域Ｂ１１、第２配置領域Ｂ１２、第３配置領域Ｂ１３、及び第４配置領域Ｂ１４である。第１ビア４１は、第２配置領域Ｂ１２及び第３配置領域Ｂ１３の各々に少なくとも２つ以上配置されている。第２ビア４２は、第１配置領域Ｂ１１及び第４配置領域Ｂ１４の各々に少なくとも２つ以上配置されている。

この態様によれば、第１コイル１１及び第２コイル１２の各々の巻き数、つまりコイル部１の巻き数を比較的大きくすることが可能である。このため、この態様によれば、コイル部１に発生する誘導起電力を比較的大きくし易く、ＳＮ比を比較的高くすることが可能である。したがって、この態様によれば、電流の測定精度を向上することができる。

また、第２の態様の電流測定用コイル１００では、第１の態様において、内側ビアは、平面視で周方向の少なくとも一部が、外側ビア及び外側ビアに電気的に接続される外側配線により囲まれている。内側ビアは、４つの配置領域Ｂ１のうち第２配置領域Ｂ１２又は第３配置領域Ｂ１３に配置されるビアである。外側ビアは、４つの配置領域Ｂ１のうち第１配置領域Ｂ１１又は第４配置領域Ｂ１４に配置されるビアである。

この態様によれば、４つの配置領域Ｂ１の各々において、開口部５３の周方向に沿って並ぶ配線間の距離を比較的短くすることができる。したがって、この態様によれば、第１コイル１１及び第２コイル１２の各々の巻き数、つまりコイル部１の巻き数をより大きくすることができる。ただし、この態様は必須ではなく、外側ビア及び外側配線は、平面視で内側ビアの周方向に沿うように設けられていなくてもよい。

また、第３の態様の電流測定用コイル１００では、第２の態様において、外側配線は、外側ビアの中心よりも内側ビアに寄った位置で外側ビアに接続されている。

この態様によれば、外側配線が外側ビアの中心に近い位置で接続される構成と比較して、平面視で第１配線３１と第２配線３２とで囲まれる閉領域を比較的小さくすることができる。したがって、この態様によれば、外部磁界により生じる誘導電流を低減することができ、結果としてノイズを低減することができる。ただし、この態様は必須ではなく、外側配線は、外側ビアの中心に近い位置、又は外側ビアの中心よりも内側ビアから離れた位置で接続されていてもよい。

また、第４の態様の電流測定用コイル１００は、第１〜第３のいずれかの態様において、以下のように構成されている。すなわち、複数の第１ビア４１及び複数の第２ビア４２のうち少なくとも一方は、平面視で開口部５３の周方向に沿って、開口部５３の中心を頂点として等角度に並ぶように配置されている。

この態様によれば、複数の第１ビア４１及び複数の第２ビア４２のうち少なくとも一方は、対称性を確保し易い。つまり、この態様によれば、複数の第１ビア４１及び複数の第２ビア４２のうち少なくとも一方の配置は、コイル部１を平面視で時計回り又は反時計回りに回転させたとしても、変化しない。したがって、この態様によれば、外部磁界により生じる誘導電流を低減し易く、結果としてノイズを低減し易い。ただし、この態様は必須ではなく、複数の第１ビア４１及び複数の第２ビア４２は、いずれも対称性を有していなくてもよい。

また、第５の態様の電流測定用コイル１００では、第１〜第４のいずれかの態様において、複数の導電層５０は、２つの導電層５０である。

この態様によれば、基板５の３つ以上の導電層５０にコイル部１を設ける場合と比較して、電流測定用コイル１００の小型化を図ることができる。ただし、この態様は必須ではなく、コイル部１は、基板５の３つ以上の導電層５０に設けられてもよい。

また、第６の態様の電流測定用コイル１００では、第１〜第４のいずれかの態様において、複数の導電層５０は、基板５の厚さ方向において最も外側にある２つの導電層５０である。

この態様によれば、ビアの高さ寸法（基板５の厚さ方向の寸法）の最大化を図ることができる。ここで、コイル部１の断面積は、開口部５３の径方向に沿った配線の長さ寸法と、ビアの高さ寸法との乗算により求められる。したがって、この態様によれば、ビアの高さ寸法の最大化を図ることで、コイル部１の断面積の最大化を図ることができ、結果としてコイル部１に発生する誘導起電力を大きくすることができる。ただし、この態様は必須ではなく、多層基板の有する複数の導電層５０のうち任意の２つの導電層５０にコイル部１が設けられてもよい。

また、第７の態様の電流測定用コイル１００では、第１〜第６のいずれかの態様において、第１配線３１の一部と第２配線３２の一部とは、基板５の厚さ方向において互いに重なっている。

この態様によれば、４つの配置領域Ｂ１の各々において、開口部５３の周方向に沿って並ぶ配線間の距離を比較的短くすることができる。したがって、この態様によれば、第１コイル１１及び第２コイル１２の各々の巻き数、つまりコイル部１の巻き数をより大きくすることができる。ただし、この態様は必須ではない。

また、第８の態様の電流測定用コイル１００では、第１〜第７のいずれかの態様において、第１配置領域Ｂ１１に配置される複数のビア及び第２配置領域Ｂ１２に配置される複数のビアは、開口部５３の径方向において並ぶように配置されている。また、第３配置領域Ｂ１３に配置される複数のビア及び第４配置領域Ｂ１４に配置される複数のビアは、開口部５３の径方向において並ぶように配置されている。

この態様によれば、４つの配置領域Ｂ１の各々において、開口部５３の周方向に沿って並ぶビア間の距離を比較的短くすることができる。したがって、この態様によれば、第１コイル１１及び第２コイル１２の各々の巻き数、つまりコイル部１の巻き数をより大きくすることができる。ただし、この態様は必須ではなく、例えば実施形態１の第２変形例のように、第１配置領域Ｂ１１及び第２配置領域Ｂ１２のビアは、各々の中心が開口部５３の径方向に並ばないように、開口部５３の周方向に互いにずれるように配置されていてもよい。

また、第９の態様の電流測定用コイル１００では、第１〜第８のいずれかの態様において、コイル部１は、第１閉回路７１と、第２閉回路７２と、を有する。第１閉回路７１は、平面視で第２配線３２を挟んだ一方側の領域の一部を第１配線３１及び第２配線３２で囲む回路である。第２閉回路７２は、平面視で第２配線３２を挟んだ他方側の領域の一部を第１配線３１及び第２配線３２で囲む回路である。

この態様によれば、外部磁界が第１閉回路７１及び第２閉回路７２の各々を通ることで生じる誘導電流が相殺されるので、外部磁界により生じる誘導電流を低減することができ、結果としてノイズを低減することができる。ただし、この態様は必須ではなく、コイル部１は、平面視で第２配線３２を挟んだ一方側のみに閉回路を有する構成であってもよい。

また、第１０の態様の電流測定装置２００は、第１〜第９のいずれかの態様の電流測定用コイル１００と、測定部６と、を備える。測定部６は、被測定電流Ｉ１に応じて発生するコイル部１の出力に基づいて、被測定電流Ｉ１を測定する。

この態様によれば、電流の測定精度を向上することができる。

以上、実施形態１，２に係る電流測定用コイル１００及び電流測定装置２００について説明した。ただし、以上に説明した実施形態は、上記の変形例を含めて本発明の様々な実施形態の一つに過ぎず、上記の実施形態は、本発明の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。

１ コイル部
１１ 第１コイル
１２ 第２コイル
２１ 第１導体
２２ 第２導体
３１ 第１配線
３２ 第２配線
４１ 第１ビア
４２ 第２ビア
５ 基板
５０ 導電層
５３ 開口部
６ 測定部
７１，７１１，７１２ 第１閉回路
７２，７２１，７２２ 第２閉回路
１００ 電流測定用コイル
２００ 電流測定装置
Ａ１ 被測定導体
Ｂ１ 配置領域
Ｂ１１ 第１配置領域
Ｂ１２ 第２配置領域
Ｂ１３ 第３配置領域
Ｂ１４ 第４配置領域
Ｉ１ 被測定電流

Claims (10)

1. 被測定電流の流れる被測定導体が通る開口部を有する基板の複数の導電層に設けられて、平面視で前記開口部を囲むようにトロイダルコイルを形成するコイル部を備え、
   前記コイル部は、
   前記開口部の周方向における第１向きに沿って第１導体を巻き回して構成される第１コイルと、
   前記第１コイルに直列に電気的に接続され、前記開口部の周方向における前記第１向きとは反対向きである第２向きに沿って第２導体を巻き回して構成される第２コイルと、を有し、
   前記第１導体は、前記複数の導電層の各々に形成される第１配線と、互いに異なる導電層に形成された前記第１配線同士を電気的に接続する第１ビアと、をそれぞれ複数有し、
   前記第２導体は、前記複数の導電層の各々に形成される第２配線と、互いに異なる導電層に形成された前記第２配線同士を電気的に接続する第２ビアと、をそれぞれ複数有し、
   前記基板は、平面視で前記開口部を囲む同心環状の４つの配置領域を有し、
   前記４つの配置領域は、前記開口部に最も近い配置領域から順に第１配置領域、第２配置領域、第３配置領域、及び第４配置領域であり、
   前記第１ビアは、前記第２配置領域及び前記第３配置領域の各々に少なくとも２つ以上配置され、
   前記第２ビアは、前記第１配置領域及び前記第４配置領域の各々に少なくとも２つ以上配置されていることを特徴とする電流測定用コイル。
2. 前記４つの配置領域のうち前記第２配置領域又は前記第３配置領域に配置される内側ビアは、平面視で周方向の少なくとも一部が、前記第１配置領域又は前記第４配置領域に配置される外側ビア及び前記外側ビアに電気的に接続される外側配線により囲まれていることを特徴とする請求項１記載の電流測定用コイル。
3. 前記外側配線は、前記外側ビアの中心よりも前記内側ビアに寄った位置で前記外側ビアに接続されていることを特徴とする請求項２記載の電流測定用コイル。
4. 前記複数の第１ビア及び前記複数の第２ビアのうち少なくとも一方は、平面視で前記開口部の周方向に沿って、前記開口部の中心を頂点として等角度に並ぶように配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の電流測定用コイル。
5. 前記複数の導電層は、２つの導電層であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の電流測定用コイル。
6. 前記複数の導電層は、前記基板の厚さ方向において最も外側にある２つの導電層であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の電流測定用コイル。
7. 前記第１配線の一部と前記第２配線の一部とは、前記基板の厚さ方向において互いに重なっていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の電流測定用コイル。
8. 前記第１配置領域に配置される複数のビア及び前記第２配置領域に配置される複数のビアは、前記開口部の径方向において並ぶように配置されており、
   前記第３配置領域に配置される複数のビア及び前記第４配置領域に配置される複数のビアは、前記開口部の径方向において並ぶように配置されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の電流測定用コイル。
9. 前記コイル部は、
   平面視で前記第２配線を挟んだ一方側の領域の一部を前記第１配線及び前記第２配線で囲む第１閉回路と、
   平面視で前記第２配線を挟んだ他方側の領域の一部を前記第１配線及び前記第２配線で囲む第２閉回路と、を有することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の電流測定用コイル。
10. 請求項１乃至９のいずれか１項に記載の電流測定用コイルと、
    前記被測定電流に応じて発生する前記コイル部の出力に基づいて、前記被測定電流を測定する測定部と、を備えることを特徴とする電流測定装置。

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