JP2018118887A5 - - Google Patents
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Description
本発明は、上記した従来技術の問題点に鑑みなされたもので、ＶＡＤ法において大重量にも耐えうる機械的強度を容易に且つ安価に確保できる種棒、及び該種棒を用いた多孔質石英ガラス母材の製造方法及び石英ガラスインゴットの製造方法を提供することを目的とする。
図２（ａ）に示した如く、粗面化処理された表面１０に加熱２０を行った場合、尖った先端部は単位体積あたりの比表面積が大きく、温度が高くなりやすく極局所的に高温になる。一方、平滑な表面１００の場合は、熱が分散する為、極局所的な高温部位は発生しない［図２（ｂ）］。
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