JP2018117049A - パッケージデバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】パッケージデバイスの製造に係る所要時間が長時間化することを抑制しながらも、電極部を接着剤層が被覆することを抑制することができるパッケージデバイスの製造方法を提供すること。【解決手段】パッケージデバイスの製造方法は、接着剤層を備えるデバイスチップを準備するチップ準備ステップST1と、デバイスチップが接着されるチップ接着領域とデバイスチップと接続される電極部とチップ接着領域と電極部との間に形成された段差部とを有する実装基板を準備する実装基板準備ステップST2と、実装基板のチップ接着領域にデバイスチップを接着する実装ステップST3と、接着剤層を硬化させる硬化ステップST4と、デバイスチップと電極部とをワイヤで電気的に接続する接続ステップST5と、デバイスチップ及びワイヤをモールド樹脂で被覆するモールドステップST6とを備える。【選択図】図9
Description
本発明は、パッケージデバイスの製造方法に関する。
各種電子機器に使用されている半導体デバイスチップは、ダイボンディング用のフレームや実装基板に接着され、使用される。従来は、フレームや基板に塗布した銀ペーストを接着剤にして半導体デバイスチップを接着していた。しかしながら、銀ペーストを狭い領域に適量を塗布するのが難しいため、ダイアタッチフィルム(DAF)と称する接着フィルムが広く使われるようになってきた。DAFは、半導体ウェーハの裏面に貼り付けられ、半導体ウェーハをチップ分割する際に共に分割される事で、チップと同じサイズの接着層としてチップの裏面に設置される。
しかしながら、レーザー加工でウェーハを分割する場合やいわゆるDBG(Dicing Before Grinding)加工で分割する場合では、DAFを別途分割加工(クールエキスパンドやレーザーアブレーション加工)する必要があり合理的ではない(例えば、特許文献1、2参照)。また、チップサイズが小さくなると、加工本数が増えるため、更にDAFの分割に時間がかかり、デバイスの製造に係る所要時間が長時間化するという課題があった。
そこで、フィルム状ではなく液状の接着剤をチップに吹き付けて、チップに対応した面積の接着剤層を形成する事が考案された(例えば、特許文献3参照)。液状の接着剤が塗布されて構成された接着剤層は、仮硬化された後、実装基板に接着される。
しかしながら、特許文献3に示された液状の接着剤が塗布されて構成された接着剤層は、フィルム状のDAFに比較して、比較的軟性が高いので、接着時の圧着で周囲に広がってしまい易く、実装基板の電極パッドまで被覆してしまう恐れがある。
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、パッケージデバイスの製造に係る所要時間が長時間化することを抑制しながらも、電極部を接着剤層が被覆することを抑制することができるパッケージデバイスの製造方法を提供する。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のパッケージデバイスの製造方法は、パッケージデバイスの製造方法であって、片方の面に液状で塗布され仮硬化された接着剤層を備えるデバイスチップを準備するチップ準備ステップと、該デバイスチップが接着されるチップ接着領域と、該チップ接着領域の近傍に設けられ接着された該デバイスチップと電気的に接続される電極部と、該チップ接着領域と該電極部との間に形成された段差部と、を表面に有する実装基板を準備する実装基板準備ステップと、該実装基板の該チップ接着領域に該接着剤層を介して該デバイスチップを接着する実装ステップと、該接着剤層に外的刺激を与えて硬化させる硬化ステップと、該デバイスチップと該電極部とをワイヤで電気的に接続する接続ステップと、該デバイスチップ及び該ワイヤをモールド樹脂で被覆するモールドステップと、を備え、該段差部によって、仮硬化状態の該接着剤層が該電極部にはみ出すのを抑制することを特徴とする。
該段差部によって、該チップ接着領域と該電極部とに高低差が形成されていても良い。
該段差部は、該チップ接着領域と該電極部との間に形成された溝でも良い。
本願発明のパッケージデバイスの製造方法は、パッケージデバイスの製造に係る所要時間が長時間化することを抑制しながらも、電極部を接着剤層が被覆することを抑制することができるという効果を奏する。
本発明を実施するための形態(実施形態)につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
〔実施形態1〕
実施形態1に係るパッケージデバイスの製造方法を図面を参照して説明する。図1は、実施形態1に係るパッケージデバイスの製造方法により製造されるパッケージデバイスの要部を示す斜視図である。
実施形態1に係るパッケージデバイスの製造方法を図面を参照して説明する。図1は、実施形態1に係るパッケージデバイスの製造方法により製造されるパッケージデバイスの要部を示す斜視図である。
実施形態1に係るパッケージデバイスの製造方法は、図1に示すパッケージデバイスPDを製造する方法である。パッケージデバイスPDは、図1に示すように、デバイスチップDTと、デバイスチップDTを実装する実装基板PBと、モールド樹脂MRとを備える。
デバイスチップDTは、基板SBと、基板SBの表面WSに設けられたデバイスDと、基板SBの片方の面である裏面WRに設けられた接着剤層BLとを備える。デバイスDは、IC(Integrated Circuit)、LSI(Large-Scale Integration)等の電子部品である。実施形態1において、デバイスチップDTのデバイスDは、IC等をコントロール(制御)するコントロールデバイスであるが、コントロールデバイスに限定されない。デバイスチップDTは、実装基板PBに一つ以上実装される。デバイスDの表面は、実装基板PBと電気的に接続するための図示しない電極を設けている。
接着剤層BLは、デバイスチップDTを実装基板PBに固定されるためのものである。接着剤層BLは、液状の接着剤の状態で裏面WRに塗布された後、液状の接着剤が仮硬化されて構成される。仮硬化とは、少なくとも表層が硬化し、表層よりも奥側が液状である状態をいう。接着剤層BLは、外的刺激が与えられることにより硬化する液状の接着剤により構成される。外的刺激とは、紫外線の照射又は熱である。実施形態1において、接着剤層BLを構成する接着剤は、紫外線の照射により仮硬化し、熱を付与されることにより全体が硬化する。接着剤層BLを構成する接着剤は、Honghow Specialty Chemicals Inc.製の商品名「HP20VL」、「ST20VL」、又はAblestik Laboratories製の商品名「Ablebond 8200c」等を用いることができる。
実装基板PBは、絶縁性の基板2を備える。また、実装基板PBは、デバイスチップDTの裏面WRが接着剤層BLを介して接着されるチップ接着領域3と、チップ接着領域3に接着されたデバイスチップDTと接続される電極部4と、チップ接着領域3と電極部4との間に形成された段差部5と、電極部4同士等を所定のパターンで接続する図示しない配線パターンとを基板2の表面に備える。
実施形態1において、チップ接着領域3の平面形状は、デバイスチップDTの裏面WRの平面形状よりも若干大きい。実施形態1において、チップ接着領域3は、基板2の表面から凹の凹部6により形成され、凹部6は底面6aを備える。チップ接着領域3を形成する凹部6は、基板2の表面に切削加工、又はレーザー光線の照射によるアブレーション加工等により構成される。
電極部4は、チップ接着領域3の近傍に設けられ、かつチップ接着領域3の外側を取り囲むように複数設けられている。電極部4及び配線パターンは、銅又は銅合金等の導電性を有する金属により構成されている。
段差部5とは、基板2の表面に対して交差する面6bを少なくとも有し、接着剤層BLを構成する接着剤の表面張力を利用してチップ接着領域3の外側に接着剤層BLを構成する接着剤が漏れて、電極部4等を被覆することを抑制するものである。実施形態1において、段差部5の面6bは、チップ接着領域3を形成する凹部6の内側面であり、チップ接着領域3である底面6aに対して直交する。また、実施形態1において、チップ接着領域3が凹部6の底面6aであるので、段差部5の面6bによって、チップ接着領域3と電極部4とに基板2の厚み方向の高低差が形成されている。
また、パッケージデバイスPDは、デバイスチップDTの電極と実装基板PBの電極部4とが導電性のワイヤWIにより接続されている。即ち、デバイスチップDTは、所謂ワイヤボンディングに実装基板PBに実装されている。モールド樹脂MRは、絶縁性の樹脂により構成され、デバイスチップDT及びワイヤWIを被覆する。
次に、パッケージデバイスPDのデバイスチップDTの製造方法を図面を参照して説明する。図2は、実施形態1に係るパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の流れを示すフローチャートである。図3(a)は、図2に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の分離溝形成工程を示す斜視図である。図3(b)は、図3(a)中のIIIb−IIIb線に沿う断面図である。図4(a)は、図2に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の保護部材貼着工程を示す斜視図である。図4(b)は、図2に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の保護部材貼着工程後の斜視図である。図5(a)は、図2に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の分割工程を示す斜視図である。図5(b)は、図2に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の分割工程後の斜視図である。図6(a)は、図2に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法のダイボンド用樹脂敷設工程を示す斜視図である。図6(b)は、図6(a)に示されたダイボンド用樹脂敷設工程の接着剤を仮硬化させる状態を示す斜視図である。図7は、図2に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の移し替え工程を示す斜視図である。図8(a)は、図2に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の分離工程を示す断面図である。図8(b)は、図2に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法により製造されたデバイスチップを示す斜視図である。
パッケージデバイスPDのデバイスチップDTの製造方法(以下、デバイスチップDTの製造方法と記す)は、図3(a)に示すウエーハWを分割予定ラインLに沿って切断して、ウエーハWを個々のデバイスチップDTに分割する方法である。
図3(a)に示すウエーハWは、実施形態1ではシリコン、サファイア、ガリウムヒ素などを基板SBとする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。ウエーハWは、図3(a)に示すように、表面WSの複数の分割予定ラインLによって区画された複数の領域にそれぞれデバイスDが形成されている。
デバイスチップDTの製造方法は、図2に示すように、分離溝形成工程ST10と、保護部材貼着工程ST20と、分割工程ST30と、ダイボンド用樹脂敷設工程ST40と、移し替え工程ST50と、分離工程ST60とを含む。
分離溝形成工程ST10は、ウエーハWの表面WSに各分割予定ラインLに沿った溝SDを形成するステップである。分離溝形成工程ST10は、各分割予定ラインLに各分割予定ラインLの長手方向に沿った溝SDを形成する。分離溝形成工程ST10で形成される溝SDの深さは、デバイスチップDTの基板SBの仕上げ厚さ以上(例えば、50μm)であり、溝SDの幅は、所定の幅(例えば、30μm)である。実施形態1において、分離溝形成工程ST10は、図3(a)に示す切削装置10の図示しないチャックテーブルの保持面にウエーハWの裏面WRを吸引保持して、切削ユニット12の切削ブレード13を用いて、ウエーハWの表面WSに溝SDを形成する。
分離溝形成工程ST10は、チャックテーブルを図示しないX軸移動手段により水平方向と平行なX軸方向に移動させ、切削ユニット12の切削ブレード13を図示しないY軸移動手段により水平方向と平行でかつX軸方向と直交するY軸方向に移動させ、切削ユニット12の切削ブレード13を図示しないZ軸移動手段により鉛直方向と平行なZ軸方向に移動させて、切削ブレード13を分割予定ラインLに切り込ませて、図3(b)に示すように、ウエーハWの各分割予定ラインLの表面WSに溝SDを形成する。
保護部材貼着工程ST20は、ウエーハWの表面WSに保護部材PPを貼着する工程である。実施形態1において、保護部材貼着工程ST20は、図4(a)に示すように、ウエーハWの表面WSと保護部材PPとを対向させた後、図4(b)に示すように、保護部材PPをウエーハWの表面WSに貼着する。
分割工程ST30は、ウエーハWを個々のデバイスチップDTに分割する工程である。分割工程ST30は、図5(a)に示すように、ウエーハWの表面WSを保護部材PPを介して研削装置20のチャックテーブル21の保持面21aに吸引保持し、ウエーハWの裏面WRに研削砥石22を当接させて、チャックテーブル21及び研削砥石22を軸心回りに回転して、ウエーハWの裏面WRに研削加工を施す。分割工程ST30は、ウエーハWに研削加工を施して、ウエーハWの基板SBを仕上げ厚さまで薄化する。分割工程ST30は、ウエーハWの基板SBを仕上げ厚さまで薄化することにより、図5(b)に示すように、裏面WR側に溝SDを表出させて、ウエーハWを個々のデバイスチップDTに分割する。
ダイボンド用樹脂敷設工程ST40は、ウエーハWの基板SBの裏面WRに接着剤層BLを形成する工程である。ダイボンド用樹脂敷設工程ST40は、図6(a)に示すように、ウエーハWの表面WSを保護部材PPを介してダイボンド用樹脂敷設装置30の保持テーブル31の保持面31aに吸引保持し、塗布ユニット32の塗布ノズル33から液状の接着剤と加圧されたエアーの混合物をウエーハWの基板SBの裏面WRに噴射する。液状の接着剤と加圧されたエアーの混合物は、加圧エアー供給源34からの加圧されたエアーと、液状樹脂タンク35からの液状の接着剤とが混合ユニット36により混合された後に塗布ノズル33に供給される。また、実施形態1において、ダイボンド用樹脂敷設工程ST40は、塗布ノズル33を図6(a)中の矢印に沿って揺動させながら前述した混合物をウエーハWの基板SBの裏面WRに噴射して、裏面WRに接着剤を塗布する。
ダイボンド用樹脂敷設工程ST40は、塗布ノズル33が所定回数揺動する間に混合物を噴射し、塗布ノズル33が所定回数揺動する毎に、塗布ノズル33の揺動と混合物の噴射を停止し、図6(b)に示すように、紫外線照射装置37から裏面WRに塗布された接着剤に紫外線を照射して、仮硬化させる。実施形態1において、ダイボンド用樹脂敷設工程ST40は、液状の接着剤の塗布と紫外線の照射とを複数回繰り返して、所望の厚さの仮硬化された接着剤層BLを形成する。また、ダイボンド用樹脂敷設工程ST40は、液状の接着剤の塗布と紫外線の照射とを複数回繰り返して、接着剤の表面張力により分離溝形成工程ST10において形成された溝SD内に液状の接着剤が流入することなく、基板SBの裏面WRのみに接着剤層BLを形成することができる。
移し替え工程ST50は、ウエーハWの裏面WRに粘着テープTを貼着し、表面WSから保護部材PPを剥がす工程である。移し替え工程ST50は、図7に示すように、外周に環状フレームFが貼着された粘着テープTにウエーハWの裏面WRを接着剤層BLを介して貼着し、保護部材PPを表面WSから剥がす。
分離工程ST60は、粘着テープTから個々のデバイスチップDTを取り外す工程である。分離工程ST60は、分離装置40のフレーム保持部材41とクランプ42との間に環状フレームFを保持する。分離工程ST60は、分離装置40の円筒状の拡張ドラム43を、図8(a)に示すように、ウエーハWと環状フレームFとの間の粘着テープTに押しつけて、粘着テープTを拡張させ、隣接するデバイスチップDT間の間隔を広げる。分離工程ST60は、分離装置40のピックアップコレット44を用いてデバイスチップDTを一つずつ粘着テープTから取り外す。こうして、図8(b)に示すように、デバイスチップDTの製造方法は、基板SBの表面WSにデバイスDが設けられ、裏面WRに接着剤層BLが設けられたデバイスチップDTを得る。
次に、パッケージデバイスPDの製造方法を図面を参照して説明する。図9は、実施形態1に係るパッケージデバイスの製造方法の流れを示すフローチャートである。図10は、図9に示されたパッケージデバイスの製造方法の実装ステップを示す斜視図である。図11は、図9に示されたパッケージデバイスの製造方法の実装ステップを示す断面図である。図12は、図9に示されたパッケージデバイスの製造方法の硬化ステップを示す断面図である。図13は、図9に示されたパッケージデバイスの製造方法の接続ステップを示す断面図である。図14は、図9に示されたパッケージデバイスの製造方法のモールドステップを示す断面図である。
パッケージデバイスPDの製造方法は、実装基板PBにデバイスチップDTを実装して、パッケージデバイスPDを製造する方法である。パッケージデバイスPDの製造方法は、図9に示すように、チップ準備ステップST1と、実装基板準備ステップST2と、実装ステップST3と、硬化ステップST4と、接続ステップST5と、モールドステップST6とを備える。
チップ準備ステップST1は、図2に示されたデバイスチップの製造方法により製造されたデバイスチップDTを準備するステップである。実装基板準備ステップST2は、図1に示す実装基板PBを準備するステップである。実装基板準備ステップST2は、基板2に電極部4と配線パターンを形成するとともに、切削加工又はレーザー光線の照射によるアブレーション加工等により凹部6を形成して、段差部5及びチップ接着領域3を形成した実装基板PBを準備する。
実装ステップST3は、実装基板PBのチップ接着領域3に接着剤層BLを介してデバイスチップDTを接着するステップである。実装ステップST3は、図10及び図11に示すように、デバイスチップDTの仮硬化した接着剤層BLをチップ接着領域3に対向させた後、デバイスチップDTの接着剤層BLをチップ接着領域3に載置して、接着剤層BLによりデバイスチップDTをチップ接着領域3に接着する。
硬化ステップST4は、接着剤層BLに外的刺激を与えて硬化させるステップである。実施形態1において、硬化ステップST4は、接着剤層BLに外熱刺激である熱を与えて、接着剤層BLを硬化させて、図12に示すように、チップ接着領域3にデバイスチップDTを接着する。
接続ステップST5は、デバイスチップDTと実装基板PBの電極部4とをワイヤWIで電気的に接続するステップである。接続ステップST5は、図13に示すように、ワイヤWIの一端をデバイスチップDTの電極に取り付け、ワイヤWIの他端を実装基板PBの電極部4に取り付ける。
モールドステップST6は、デバイスチップDT及びワイヤWIをモールド樹脂MRで被覆するステップである。モールドステップST6は、実装基板PBに接着剤層BLにより取り付けられ、ワイヤWIにより実装基板PBの電極部4に接続されたデバイスチップDT及びワイヤWIを、図14に示すように、モールド樹脂MRで被覆する。
実施形態1に係るパッケージデバイスPDの製造方法は、実装基板PBのチップ接着領域3と電極部4との間に面6bを有する段差部5を設けているので、液状で塗布された接着剤がチップ接着領域3に接着された際、接着剤の表面張力によって段差部5の面6bよりも外側に広がることを抑制できる。これにより、パッケージデバイスPDの製造方法は、電極部4が接着剤層BLによって被覆されることを抑制することができる。
また、実施形態1に係るパッケージデバイスPDの製造方法は、液状の接着剤を塗布して接着剤層BLを形成するとともに、接着剤の塗布と仮硬化とを複数回繰り返して接着剤層BLを形成するので、接着剤層BLを構成する接着剤がデバイスチップDT間の溝SD内に侵入することを抑制することができる。このために、実施形態1に係るパッケージデバイスPDの製造方法は、デバイスチップDTの製造方法の分離工程ST60前にデバイスチップDT間の接着剤層BLを切断する必要が生じないので、デバイスチップDTの製造にかかる所要時間が長時間化することを抑制することができる。その結果、実施形態1に係るパッケージデバイスPDの製造方法は、パッケージデバイスPDの製造に係る所要時間が長時間化することを抑制しながらも、電極部4を接着剤層BLが被覆することを抑制することができる。
また、実施形態1に係るパッケージデバイスPDの製造方法は、段差部5の面6bによりチップ接着領域3と電極部4とに高低差が形成されているので、接着剤の表面張力によって段差部5の面6bよりも外側に広がることを抑制できる。
〔実施形態2〕
次に、実施形態2に係るパッケージデバイスPDの製造方法を図面を参照して説明する。図15は、実施形態2に係るパッケージデバイスの製造方法の実装ステップを示す斜視図である。図16は、実施形態2に係るパッケージデバイスの製造方法の実装ステップを示す断面図である。図17は、実施形態2に係るパッケージデバイスの製造方法の硬化ステップを示す断面図である。図18は、実施形態2に係るパッケージデバイスの製造方法の接続ステップを示す断面図である。図19は、実施形態2に係るパッケージデバイスの製造方法のモールドステップを示す断面図である。図15から図19は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
次に、実施形態2に係るパッケージデバイスPDの製造方法を図面を参照して説明する。図15は、実施形態2に係るパッケージデバイスの製造方法の実装ステップを示す斜視図である。図16は、実施形態2に係るパッケージデバイスの製造方法の実装ステップを示す断面図である。図17は、実施形態2に係るパッケージデバイスの製造方法の硬化ステップを示す断面図である。図18は、実施形態2に係るパッケージデバイスの製造方法の接続ステップを示す断面図である。図19は、実施形態2に係るパッケージデバイスの製造方法のモールドステップを示す断面図である。図15から図19は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
実施形態2に係るパッケージデバイスPDの製造方法では、実装基板PBの段差部5が溝7であることにより構成され、チップ接着領域3が基板2の表面により構成されていること以外、実施形態1と同じである。溝7は、基板2の表面から凹に形成され、デバイスチップDTの全周に亘ってデバイスチップDTの外側を囲繞している。また、実施形態2において、段差部5である溝7は、チップ接着領域3である基板2の表面に対して直交する内側面7aを備えている。溝7の内側面7aと実装基板PBとの連結部にある角部が作用し、接着剤層BLを構成する接着剤の表面張力を利用してチップ接着領域3の外側に接着剤層BLを構成する接着剤が漏れることを抑制する。また、角部から接着剤がはみ出したとしても、溝7内に接着剤が収容される容積があるため、接着剤がはみ出て電極部4を覆う事が抑制される。
実施形態2に係るパッケージデバイスPDの製造方法は、実施形態1と同様に、チップ準備ステップST1において、デバイスチップDTを準備し、実装基板準備ステップST2において、実装基板PBを準備し、実装ステップST3において、図15及び図16に示すように、デバイスチップDTの仮硬化した接着剤層BLをチップ接着領域3に対向させた後、デバイスチップDTの接着剤層BLをチップ接着領域3に載置して、接着剤層BLによりデバイスチップDTをチップ接着領域3に接着する。
また、実施形態2に係るパッケージデバイスPDの製造方法は、硬化ステップST4において、実装基板PB毎接着剤層BLを加熱するなどして、図17に示すように、チップ接着領域3にデバイスチップDTを接着し、接続ステップST5において、図18に示すように、デバイスチップDTと実装基板PBの電極部4とをワイヤWIで電気的に接続し、モールドステップST6において、図19に示すように、デバイスチップDT及びワイヤWIをモールド樹脂MRで被覆する。
実施形態2に係るパッケージデバイスPDの製造方法は、実装基板PBのチップ接着領域3と電極部4との間に内側面7aを有する段差部5を設け、接着剤の塗布と仮硬化とを複数回繰り返して接着剤層BLを形成するので、パッケージデバイスPDの製造に係る所要時間が長時間化することを抑制しながらも、電極部4を接着剤層BLが被覆することを抑制することができる。
また、実施形態2に係るパッケージデバイスPDの製造方法は、段差部5が内側面7aを有する溝SDであるので、接着剤の表面張力によって段差部5の内側面7aよりも外側に広がることを抑制できる。
〔実施形態3〕
次に、実施形態3に係るパッケージデバイスPDの製造方法を図面を参照して説明する。図20は、実施形態3に係るパッケージデバイスの製造方法により製造されたパッケージデバイスを示す断面図である。図20は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
次に、実施形態3に係るパッケージデバイスPDの製造方法を図面を参照して説明する。図20は、実施形態3に係るパッケージデバイスの製造方法により製造されたパッケージデバイスを示す断面図である。図20は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
実施形態3において、図20に示すように、パッケージデバイスPDのチップ接着領域3が基板2の表面から凸の凸部8により形成されて凸部8の上面8aであり、段差部5がチップ接着領域3である上面8aに直交する外側面8bを備えていること以外、実施形態1と同じである。外側面8bとチップ接着領域3との連結部である角部が作用し、接着剤層BLを構成する接着剤の表面張力を利用してチップ接着領域3の外側に接着剤層BLを構成する接着剤が漏れることを抑制する。また、実施形態3において、チップ接着領域3が凸部8の上面8aであるので、段差部5の外側面8bによって、チップ接着領域3と電極部4とに基板2の厚み方向の高低差が形成されている。
実施形態3に係るパッケージデバイスPDの製造方法は、実装基板PBのチップ接着領域3と電極部4との間に外側面8bを有する段差部5を設け、接着剤の塗布と仮硬化とを複数回繰り返して接着剤層BLを形成するので、パッケージデバイスPDの製造に係る所要時間が長時間化することを抑制しながらも、電極部4を接着剤層BLが被覆することを抑制することができる。
また、実施形態3に係るパッケージデバイスPDの製造方法は、段差部5の外側面8bによりチップ接着領域3と電極部4とに高低差が形成されているので、接着剤の表面張力によって段差部5の外側面8bよりも外側に広がることを抑制できる。
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
3 チップ接着領域
4 電極部
5 段差部
7 溝
DT デバイスチップ
PD パッケージデバイス
PB 実装基板
WR 裏面(片方の面)
BL 接着剤層
WI ワイヤ
MR モールド樹脂
ST1 チップ準備ステップ
ST2 実装基板準備ステップ
ST3 実装ステップ
ST4 硬化ステップ
ST5 接続ステップ
ST6 モールドステップ
4 電極部
5 段差部
7 溝
DT デバイスチップ
PD パッケージデバイス
PB 実装基板
WR 裏面(片方の面)
BL 接着剤層
WI ワイヤ
MR モールド樹脂
ST1 チップ準備ステップ
ST2 実装基板準備ステップ
ST3 実装ステップ
ST4 硬化ステップ
ST5 接続ステップ
ST6 モールドステップ
Claims (3)
- パッケージデバイスの製造方法であって、
片方の面に液状で塗布され仮硬化された接着剤層を備えるデバイスチップを準備するチップ準備ステップと、
該デバイスチップが接着されるチップ接着領域と、該チップ接着領域の近傍に設けられ接着された該デバイスチップと電気的に接続される電極部と、該チップ接着領域と該電極部との間に形成された段差部と、を表面に有する実装基板を準備する実装基板準備ステップと、
該実装基板の該チップ接着領域に該接着剤層を介して該デバイスチップを接着する実装ステップと、
該接着剤層に外的刺激を与えて硬化させる硬化ステップと、
該デバイスチップと該電極部とをワイヤで電気的に接続する接続ステップと、
該デバイスチップ及び該ワイヤをモールド樹脂で被覆するモールドステップと、を備え、
該段差部によって、仮硬化状態の該接着剤層が該電極部にはみ出すのを抑制することを特徴とするパッケージデバイスの製造方法。 - 該段差部によって、該チップ接着領域と該電極部とに高低差が形成されている請求項1に記載のパッケージデバイスの製造方法。
- 該段差部は、該チップ接着領域と該電極部との間に形成された溝である請求項1に記載のパッケージデバイスの製造方法。
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