JP2018107233A - ケース洗浄装置及びケース洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
Description
11 基台
12 ロボットアーム
13 把持ハンド
20 洗浄槽
21 槽本体
22 蓋部
23 ヒンジ
24 開閉駆動機構
25 ドア保持部
26 吸着器
30 ロック動作機構
31 キー嵌め込み機構
32 キー回転機構
100 FOUP(ケース)
110 ケース本体
111 開口部
112 OHTヘッド
120 ドア部
121a、121b、122a、122b 孔
123、124 ピニオン
123a、124a キー溝
125a、125b、126a、126b 動作棒
127、128 孔
311 軸体
312 キー
Claims (5)
- ケース本体と、該ケース本体に対して着脱可能なドア部と、前記ケース本体に装着された前記ドア部を当該ケース本体に対して解除可能な状態で固定する固定機構とを有するケースを洗浄するケース洗浄装置であって、
洗浄槽と、
該洗浄槽に設けられ、前記ドア部を保持するドア保持部と、
前記ドア部が前記ケース本体に装着固定された状態の前記ケースを、前記ケース本体を把持して搬送するケース搬送機構と、
該ケース搬送機構が前記ケースを搬送して前記ドア部を前記ドア保持部に保持させた状態で、前記ドア部の前記ケース本体に対する固定を解除するように前記固定機構を動作させる固定解除機構と、
前記洗浄槽に設けられ、前記ケース搬送機構が前記ケース本体に対する固定が解除された状態で前記ドア保持部に保持された前記ドア部から分離して搬送してきた前記ケース本体を保持するケース本体保持部とを有するケース洗浄装置。 - 前記洗浄槽は、上方に開放する槽本体と、該槽本体の開口を開閉する蓋部とを備え、
前記ドア保持部は、前記蓋部の内側面に設けられており、
前記固定解除機構は、前記蓋部の外側から当該蓋部の内側面に設けられた前記ドア保持部に保持された状態の前記ドア部の前記ケース本体に対する固定を解除するように前記固定機構を動作させる機構を有する請求項1記載のケース洗浄装置。 - 前記固定機構は、キー溝の形成された回転部と、
前記回転部を回転させることによって動作し、当該回転部の回転方向に応じて、前記ドア部の前記ケース本体に対する固定及び固定解除を行う固定動作部とを有し、
前記固定機構を動作させる機構は、前記回転部に形成された前記キー溝に嵌合可能なキーと、
前記ドア部が前記ドア保持部に保持された状態で、前記キー溝に前記キーを嵌め込ませるキー嵌め込み機構と、
該キー嵌め込み機構により前記キー溝に嵌め込まれた前記キーを回転させて前記回転部を回転させるキー回転機構とを有する請求項2記載のケース洗浄装置。 - 前記固定機構は、前記ケースの前記ドア部に設けられており、
前記キー嵌め込み機構は、先端部に前記キーが設けられ、前記洗浄槽の前記蓋部を貫通して延びる軸体と、
前記蓋部の外側面に設けられ、前記ドア保持部に保持された状態の前記ドア部に設けられた前記固定機構の前記回転部に形成された前記キー溝に前記キーが嵌り込むように前記軸体を進出させ、及び前記キー溝から前記キーが脱出するように前記軸体を後退させる軸体進退動機構とを有し、
前記キー回転機構は、前記蓋部の前記外側面に設けられ、前記キーが前記キー溝に嵌り込んだ状態で前記軸体を回転させる軸体回転駆動機構を有する請求項3記載のケース洗浄装置。 - ケース本体と、該ケース本体に対して着脱可能なドア部と、前記ケース本体に装着された前記ドア部を当該ケース本体に対して解除可能な状態で固定する固定機構とを有するケースを洗浄するケース洗浄方法であって、
ケース搬送機構が、前記ドア部が装着固定された前記ケース本体を把持して前記ケースを搬送し、前記ドア部を洗浄槽に設けられたドア保持部に保持させるドア部セットステップと、
前記ドア部の前記ケース本体に対する固定を解除するように前記固定機構を動作させる固定解除ステップと、
前記ケース搬送機構が、前記ケース本体に対する固定が解除された状態で前記ドア保持部に保持された前記ドア部から分離して搬送してきた前記ケース本体を前記洗浄槽に設けられたケース本体保持部に保持させるケース本体セットステップと、
前記洗浄槽において、前記ドア保持部に保持された前記ドア部と前記ケース本体保持部に保持された前記ケース本体とを分離した状態で洗浄する洗浄ステップとを有するケース洗浄方法。
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JP2016250609A Active JP6779440B2 (ja) | 2016-12-26 | 2016-12-26 | ケース洗浄装置及びケース洗浄方法 |
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- 2016-12-26 JP JP2016250609A patent/JP6779440B2/ja active Active
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JP6779440B2 (ja) | 2020-11-04 |
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