JP2018103279A - 搬送システム及びその運転方法 - Google Patents

Abstract

【課題】複数のシート部材が縦置きに積層されている容器内からシート部材を容易に１つずつ搬送することができる搬送システムを提供することを目的とする。
【解決手段】その主面が傾斜するように縦置きされているシート部材１０２を収納する容器１０３と、吸着部を有するアームを備えるロボット１０１と、制御装置と、を備え、制御装置は、シート部材１０２の主面をアームの吸着部により吸着させた後、仰角方向であって、シート部材１０２の主面の法線方向以外の角度方向に、シート部材１０２が移動するようにアームを動作させるように構成されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、搬送システム及びその運転方法に関する。

大型基板を搬送させる装置として、基板ハンドリング設備が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に開示されている基板ハンドリング設備では、複数の基板が所定間隔をあけて、格納されている垂直カセットを傾斜装置により傾斜させ、傾斜している基板を保持する基板ハンドを備えている。そして、この基板ハンドは、基板に沿って延びる保持板と、基板の下端を支持する可動支持爪と、基板の上端を挟持する可動挟持爪と、を有している。

また、複数のガラス板と、ガラス板間に挟持される合紙と、を縦置きに搭載する縦置き型の梱包容器が知られている（例えば、特許文献２参照）。特許文献２に開示されている梱包容器では、ガラス板の一方の面を受ける背板の上端面が、ガラス板側となる受け面から該受け面に対向する背面に向かうにつれて高くなる傾斜面に形成されている。

特開２００２−１９９５８号公報 特開２０１３−４７１１０号公報

しかしながら、上記特許文献２に開示されている梱包容器では、真空吸着用の孔、又は吸盤を有したロボットアームにより、ガラス板の外面を吸着保持し、コンベア等の移送装置上に移送すると記載されているが、ロボットアームにより、ガラス板を移送させるときに、ガラス版と合紙との間に生じる静電気力により、合紙がガラス板と引っ付いて移送されるおそれがあり、未だ改善の余地があった。

本発明は、上記従来の課題を解決するもので、複数のシート部材が縦置きに積層されている容器内からシート部材を容易に１つずつ搬送することができる、搬送システム及びその運転方法を提供することを目的とする。

上記従来の課題を解決するために、本発明に係る搬送システムは、その主面が傾斜するように縦置きされているシート部材を収納する容器と、吸着部を有するアームを備えるロボットと、制御装置と、を備え、前記制御装置は、前記シート部材の主面を前記アームの前記吸着部により吸着させた後、仰角方向であって、水平面と前記シート部材の主面とのなす角度である第１角度のうち、前記シート部材の主面の法線方向以外の角度方向に、前記シート部材が移動するように前記アームを動作させるように構成されている。

これにより、複数のシート部材が縦置きに積層されている容器内からシート部材を容易に１つずつ搬送することができる。また、シート部材を搬送するときに、隣接するシート部材と擦れることが抑制され、シート部材表面に傷がつくことを抑制することができる。

また、本発明に係る搬送システムの運転方法は、その主面が傾斜するように縦置きされているシート部材を収納する容器と、吸着部を有するアームを備えるロボットと、を備える、搬送システムの運転方法であって、前記アームが前記シート部材の主面に向かって動作する（Ａ）と、前記（Ａ）の後、前記アームの前記吸着部が、前記シート部材の主面を吸着する（Ｂ）と、前記（Ｂ）の後、仰角方向であって、水平面と前記シート部材の主面とのなす角度である第１角度のうち、前記シート部材の主面の法線方向以外の角度方向に、前記シート部材を移動させるように前記アームが動作する（Ｃ）と、を備える。

これにより、複数のシート部材が縦置きに積層されている容器内からシート部材を容易に１つずつ搬送することができる。また、シート部材を搬送するときに、隣接するシート部材と擦れることが抑制され、シート部材表面に傷がつくことを抑制することができる。

本発明の搬送システム及びその運転方法によれば、複数のシート部材が縦置きに積層されている容器内からシート部材を容易に１つずつ搬送することができる。

図１は、本実施の形態１に係る搬送システムの概略構成を示す模式図である。 図２は、図１に示す搬送システムにおけるロボットの概略構成を示す模式図である。 図３は、図２に示すロボットの制御装置の構成を概略的に示す機能ブロック図である。 図４は、図２に示すロボットにおける第１ハンド部の右側側面の概略構成を示す模式図である。 図５は、本実施の形態１に係る搬送システム（ロボット）の制御系の一例を示すブロック図である。 図６は、本実施の形態１に係る搬送システムの動作の一例を示すフローチャートである。 図７は、図６に示すフローチャートに沿って、ロボットが動作しているときのロボットの状態を示す模式図である。 図８は、図６に示すフローチャートに沿って、ロボットが動作しているときのロボットの状態を示す模式図である。 図９は、図６に示すフローチャートに沿って、ロボットが動作しているときのロボットの状態を示す模式図である。 図１０は、本実施の形態２に係る搬送システムの概略構成を示す模式図である。 図１１は、本実施の形態２に係る搬送システムの動作の一例を示すフローチャートである。 図１２は、本実施の形態３に係る搬送システムにおけるロボットの第１ハンド部の概略構成を示す模式図である。 図１３は、本実施の形態３に係る搬送システムの動作の一例を示すフローチャートである。 図１４は、本実施の形態３に係る搬送システムにおけるロボットの概略構成を示す模式図である。 図１５は、本実施の形態４に係る搬送システムの動作の一例を示すフローチャートである。 図１６は、本実施の形態５に係る搬送システムの動作の一例を示すフローチャートである。

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。なお、全ての図面において、同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。また、全ての図面において、本発明を説明するための構成要素を抜粋して図示しており、その他の構成要素については図示を省略している場合がある。さらに、本発明は以下の実施の形態に限定されない。

（実施の形態１）
本実施の形態１に係る搬送システムは、その主面が傾斜するように縦置きされているシート部材を収納する容器と、吸着部を有するアームを備えるロボットと、制御装置と、を備え、制御装置は、シート部材の主面をアームの吸着部により吸着させた後、仰角方向であって、水平面とシート部材の主面とのなす角度である第１角度のうち、シート部材の主面の法線方向以外の角度方向に、シート部材が移動するようにアームを動作させるように構成されている。

また、本実施の形態１に係る搬送システムでは、吸着部には、圧力検知器が設けられていて、記制御装置は、圧力検知器が予め設定されている第１圧力値を検知するまで、アームをシート部材の主面に向かって動作させるように構成されていてもよい。

また、本実施の形態１に係る搬送システムでは、制御装置は、シート部材の主面をアームの吸着部により吸着させた後、シート部材が鉛直方向上方に移動するようにアームを動作させるように構成されていてもよい。

さらに、本実施の形態１に係る搬送システムでは、ロボットは、第１吸着部を有する第１アームと、第２吸着部を有する第２アームと、を備えていてもよい。

以下、本実施の形態１に係る搬送システムの一例について、図１〜図８を参照しながら説明する。

［搬送システムの構成］
図１は、本実施の形態１に係る搬送システムの概略構成を示す模式図である。図２は、図１に示す搬送システムにおけるロボットの概略構成を示す模式図である。図３は、図２に示すロボットの制御装置の構成を概略的に示す機能ブロック図である。

なお、図１においては、ロボットにおける前後方向、上下方向、及び左右方向を図における前後方向、上下方向、及び左右方向として表している。また、図２においては、ロボットにおける上下方向及び左右方向を図における上下方向及び左右方向として表している。

図１に示すように、本実施の形態１に係る搬送システム１００は、ロボット１０１と、シート部材１０２を収納する容器１０３と、ベルトコンベア１０５と、を備えていて、ロボット１０１が、容器１０３に収納されているシート部材１０２を、載置装置１０４を介して、ベルトコンベア１０５に搬送するように構成されている。

容器１０３は、箱状に形成されていて、シート部材１０２が縦置きされている。具体的には、容器１０３の背面に、その主面が当接するように、シート部材１０２が配置されている。

また、容器１０３の背面は、上方に向かうにつれて、ロボット１０１の後方に向かうように形成されている。すなわち、容器１０３は、底面と背面とのなす角度が、鈍角（９０°より大きく、１８０°より小さい角度）になるように、形成されている。これにより、容器１０３内に、シート部材１０２の主面が傾斜するように、配置することができる。

容器１０３の上面と正面は、開口されていて、一対の側面（左右の側面）が、略三角形状に形成されている。これにより、縦置きされているシート部材１０２を取り出しやすくなる。

載置装置１０４は、アーム部１０４ａと保持部１０４ｂを有している。載置装置１０４は、保持部１０４ｂにシート部材１０２が載置され、アーム部１０４ａが下方に引き込まれることにより、シート部材１０２をベルトコンベア１０５上に載置するように構成されている。

ベルトコンベア１０５は、ロボット１０１の側方（ここでは、左側）に配置されていて、ロボット１０１により、ベルトコンベア１０５の上面に配置されたシート部材１０２を後方に送るように構成されている。

次に、図２を参照しながら、ロボット１０１の具体的構成について、説明する。なお、以下においては、ロボット１０１として、水平多関節型の双腕ロボットを説明するが、ロボット１０１としては、水平多関節型・垂直多関節型等の他のロボットを採用してもよい。

図２に示すように、ロボット１０１は、台車１２と、第１アーム１３Ａと、第２アーム１３Ｂと、真空発生装置２５と、制御装置１４と、を備えていて、制御装置１４が、第１アーム１３Ａ、第２アーム１３Ｂ、及び真空発生装置２５を制御するように構成されている。なお、本実施の形態１においては、台車１２の内部に制御装置１４及び真空発生装置２５が配置されている形態を採用したが、これに限定されず、これらの機器は、台車１２外部に配置されていてもよい。

台車１２の上面には、基軸１６が固定されている。基軸１６には、当該基軸１６の軸心を通る回転軸線Ｌ１周りに回動可能に第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂが設けられている。具体的には、第１アーム１３Ａと第２アーム１３Ｂとが上下に高低差を有するように設けられている。さらに、台車１２内には、制御装置１４及び真空発生装置２５が収納されている。なお、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂは、独立して動作したり、互いに関連して動作したりすることができるように構成されている。

第１アーム１３Ａは、第１アーム部１５Ａ、第１リスト部（リンク部材）１７Ａ、第１ハンド部１８Ａ、及び第１装着部２０Ａを有している。同様に、第２アーム１３Ｂは、第２アーム部１５Ｂ、第２リスト部（リンク部材）１７Ｂ、第２ハンド部１８Ｂ、及び第２装着部２０Ｂを有している。なお、第２アーム１３Ｂは、第１アーム１３Ａを同様に構成されているので、その詳細な説明は省略する。

第１アーム部１５Ａは、本実施の形態１においては、略直方体状の第１リンク部材５ａ及び第２リンク部材５ｂで構成されている。第１リンク部材５ａは、基端部に回転関節Ｊ１が設けられていて、先端部に回転関節Ｊ２が設けられている。また、第２リンク部材５ｂは、先端部に直動関節Ｊ３が設けられている。

そして、第１リンク部材５ａは、回転関節Ｊ１を介して、その基端部が基軸１６と連結されていて、回転関節Ｊ１により、回転軸線Ｌ１周りに回動することができる。また、第２リンク部材５ｂは、回転関節Ｊ２を介して、その基端部が第１リンク部材５ａの先端部と連結されていて、回転関節Ｊ２により、回転軸線Ｌ２周りに回動することができる。

第２リンク部材５ｂの先端部には、直動関節Ｊ３を介して、第１リスト部１７Ａが第２リンク部材５ｂに対し昇降移動可能に連結されている。第１リスト部１７Ａの下端部には、回転関節Ｊ４が設けられていて、回転関節Ｊ４の下端部には、第１装着部２０Ａが設けられている。

第１装着部２０Ａは、第１ハンド部１８Ａを着脱可能に構成されている。具体的には、例えば、第１装着部２０Ａは、その間隔が調整可能に構成されている、一対の棒部材を有していて、当該一対の棒部材により、第１ハンド部１８Ａを挟み込むことにより、第１ハンド部１８Ａを第１リスト部１７Ａに装着することができる。これにより、第１ハンド部１８Ａは、回転関節Ｊ４により、回転軸線Ｌ３周りに回動することができる。なお、棒部材は先端部分が折れ曲がっていてもよい。

また、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂの第１関節ＪＴ１〜第４関節ＪＴ４には、それぞれ、各関節が連結する２つのリンク部材を相対的に回転させるアクチュエータの一例としての駆動モータＭ１〜Ｍ４が設けられている。駆動モータＭ１〜Ｍ４は、例えば、制御装置１４によってサーボ制御されるサーボモータであってもよい。

また、第１関節ＪＴ１〜第４関節ＪＴ４には、それぞれ、駆動モータＭ１〜Ｍ４の回転位置（回転角度値；位置現在値）を検出する回転センサ（回転検知器）Ｅ１〜Ｅ４（図５参照）と、駆動モータＭ１〜Ｍ４の回転を制御する電流を検出する電流センサ（電流検知器）Ｃ１〜Ｃ４（図５参照）と、が設けられている。回転センサＥ１〜Ｅ４は、例えば、エンコーダであってもよい。

なお、上記の駆動モータＭ１〜Ｍ４、回転センサＥ１〜Ｅ４、及び電流センサＣ１〜Ｃ４の記載では、第１関節ＪＴ１〜第４関節ＪＴ４に対応してアルファベットに添え字の１〜４が付されている。以下では、第１関節ＪＴ１〜第４関節ＪＴ４のうち任意の関節を示す場合には添え字を省いて「関節ＪＴ」と称し、駆動モータＭ、回転センサＥ、及び電流センサＣについても同様とする。

ここで、図２及び図４を参照しながら、第１アーム１３Ａの第１ハンド部１８Ａについて、詳細に説明する。

図４は、図２に示すロボットにおける第１ハンド部の右側側面の概略構成を示す模式図である。なお、図４においては、ロボットにおける上下方向及び前後方向を図における上下方向及び前後方向として表している。

図２及び図４に示すように、第１アーム１３Ａの第１ハンド部１８Ａは、固定部７０Ａ、本体８０Ａ、及び第１吸着部９０Ａにより構成されている。固定部７０Ａは、第１装着部２０Ａが当接する部位であり、ここでは、棒状に形成されている。

本体８０Ａは、略Ｌ字状に形成されていて、水平方向に延びる第１部分８１Ａと上下方向に延びる第２部分８２Ａとを有している。第２部分８２Ａは、シート部材１０２の傾斜角度θと平行になるように形成されていてもよい。また、第２部分８２Ａは、その傾斜角度を任意に変更できるように構成されていてもよい。

ここで、シート部材１０２の傾斜角度θは、ロボット１０１の後方側を０°とし、ロボットロボット１０１の前方側を１８０°としたときに、水平面６０Ａとシート部材１０２の主面とのなす角度をいう。

また、第２部分８２Ａの前面には、１つ以上（ここでは、４つ）の開口９１Ａが設けられていて、当該開口９１Ａには、円錐台状の吸着パッド９２Ａが設けられている。また、開口９１Ａは、第１配管９３Ａを介して、真空発生装置２５に接続されている（図２参照）。なお、開口９１Ａ、吸着パッド９２Ａ、及び第１配管９３Ａにより、第１吸着部９０Ａが構成されている。

真空発生装置２５は、第１吸着部９０Ａ内を負圧にする装置であり、例えば、真空ポンプ又はＣＯＮＶＵＭ（登録商標）等を用いてもよい。第１配管９３Ａには、開閉弁（図示せず）が設けられている。開閉弁が、第１配管９３Ａを開放又は閉鎖することによって、吸着パッド９２Ａによるシート部材１０２の吸着及びその解除が行われる。なお、真空発生装置２５の動作及び開閉弁の開閉は、制御装置１４により制御される。

図２に示すように、第１吸着部９０Ａの適所には、圧力検知器９４Ａが設けられている。圧力検知器９４Ａは、第１吸着部９０Ａ内の圧力を検知し、検知した圧力を制御装置１４に出力するように構成されている。なお、本実施の形態１においては、第１吸着部９０Ａに圧力検知器を設ける形態を採用したが、これに限定されず、第２吸着部９０Ｂに圧力検知器を設ける形態を採用してもよく、第１吸着部９０Ａと第２吸着部９０Ｂのそれぞれに、圧力検知器を設ける形態を採用してもよい。

図３に示すように、制御装置１４は、ＣＰＵ等の演算部１４ａと、ＲＯＭ、ＲＡＭ等の記憶部１４ｂと、サーボ制御部１４ｃと、を備える。制御装置１４は、例えばマイクロコントローラ等のコンピュータを備えたロボットコントローラである。

なお、制御装置１４は、集中制御する単独の制御装置１４によって構成されていてもよいし、互いに協働して分散制御する複数の制御装置１４によって構成されていてもよい。また、本実施の形態１においては、記憶部１４ｂが、制御装置１４内に配置されている形態を採用したが、これに限定されず、記憶部１４ｂが、制御装置１４と別体に設けられている形態を採用してもよい。

記憶部１４ｂには、ロボットコントローラとしての基本プログラム、各種固定データ等の情報が記憶されている。演算部１４ａは、記憶部１４ｂに記憶された基本プログラム等のソフトウェアを読み出して実行することにより、ロボット１０１の各種動作を制御する。すなわち、演算部１４ａは、ロボット１０１の制御指令を生成し、これをサーボ制御部１４ｃに出力する。サーボ制御部１４ｃは、演算部１４ａにより生成された制御指令に基づいて、ロボット１０１の第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂの関節Ｊ１〜Ｊ４のそれぞれに対応するサーボモータの駆動を制御するように構成されている。

［搬送システムの動作］
次に、本実施の形態１に係る搬送システム１００の動作について、図１〜図９を参照しながら説明する。なお、以下の動作は、制御装置１４の演算部１４ａが、記憶部１４ｂに格納されているプログラムを読み出すことにより実行される。

まず、本実施の形態１に係る搬送システム１００におけるロボット１０１を自動運転するときの信号の流れについて、図５を参照しながら説明する。

図５は、本実施の形態１に係る搬送システム（ロボット）の制御系の一例を示すブロック図である。

図５に示すように、制御装置１４は、ロボット１０１を自動運転するときには、タスクプログラムを読み出して、ロボットの動作指令値（ΔＰ１）により、ロボット１０１の駆動モータＭの回転位置を制御する。なお、以下においては、ロボット１０１の動作指令値（ΔＰ１）が、時系列データを含む軌道指令値（位置指令値）とする。

減算器４２ｂは、入力された位置指令値から、回転センサＥで検出された位置現在値を減算して、角度偏差を生成する。減算器４２ｂは、生成した角度偏差を位置制御器４２ｃに出力する。

位置制御器４２ｃは、予め定められた伝達関数、又は比例係数に基づいた演算処理により、減算器４２ｂから入力された角度偏差から速度指令値を生成する。位置制御器４２ｃは、生成した速度指令値を減算器４２ｅに出力する。

微分器４２ｄは、回転センサＥで検出された位置現在値情報を微分して、駆動モータＭの回転角度の単位時間あたりの変化量、すなわち、速度現在値を生成する。微分器４２ｄは、生成した速度現在値を減算器４２ｅに出力する。

減算器４２ｅは、位置制御器４２ｃから入力された速度指令値から、微分器４２ｄから入力された速度現在値を減算して、速度偏差を生成する。減算器４２ｅは、生成した速度偏差を速度制御器４２ｆに出力する。

速度制御器４２ｆは、予め定められた伝達関数、又は比例係数に基づいた演算処理により、減算器４２ｅから入力された速度偏差からトルク指令値（電流指令値）を生成する。速度制御器４２ｆは、生成したトルク指令値を減算器４２ｇに出力する。

減算器４２ｇは、速度制御器４２ｆから入力されたトルク指令値から、電流センサＣで検出された電流現在値を減算して、電流偏差を生成する。減算器４２ｇは、生成した電流偏差を駆動モータＭに出力し、駆動モータＭを駆動する。

なお、本実施の形態１においては、ロボットの動作指令値（ΔＰ１）が、時系列データを含む軌道指令値（位置指令値）とする形態を採用したが、これに限定されない。例えば、ΔＰ１を速度指令値とする形態を採用してもよく、トルク指令値とする形態を採用してもよい。

次に、本実施の形態１に係る搬送システム１００によるシート部材１０２の搬送動作について、図６〜図９を参照しながら説明する。

図６は、本実施の形態１に係る搬送システムの動作の一例を示すフローチャートである。図７〜図９は、図６に示すフローチャートに沿って、ロボットが動作しているときのロボットの状態を示す模式図である。

具体的には、図７は、第１アームと第２アームが、それぞれ、シート部材と当接している状態（シート部材を吸着部により吸着している状態）を示す斜視図である。図８は、シート部材を吸着部により吸着した状態で、第１アームと第２アームを鉛直方向上方に動作させた後、水平方向（後方）に動作させている状態を示す斜視図である。図９は、第１アーム及び第２アームを反時計回りに回動させて、シート部材を載置装置に載置させている状態を示す斜視図である。

まず、図１に示すように、ロボット１０１の前方には、シート部材１０２が収納された容器１０３が配置されていて、ロボット１０１の側方には、ベルトコンベア１０５が配置されているとする。そして、制御装置１４に、オペレータから、図示されない入力装置を介して、容器１０３内に収納されているシート部材１０２を取り出して、ベルトコンベア１０５に載置する動作を実行することを示す指示情報が入力されたとする。

すると、制御装置１４は、図６に示すように、第１吸着部９０Ａの適所に設けられている開閉弁（図示せず）を開放し（ステップＳ１０１）、真空発生装置２５を作動させる（ステップＳ１０２）。

次に、制御装置１４は、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂを前方に動作させ（ステップＳ１０３）、圧力検知器９４Ａが検知した圧力値を取得する（ステップＳ１０４）。ついで、制御装置１４は、ステップＳ１０４で取得した圧力値が、第１圧力値以下であるか否かを判定する（ステップＳ１０５）。

ここで、第１圧力値は、実験等により、予め設定することができる。具体的には、例えば、開閉弁を開放した状態で、真空発生装置２５を作動させて、吸着パッド９２Ａ及び吸着パッド９２Ｂをシート部材１０２の主面に当接させ、圧力検知器９４Ａが検知した圧力値を第１圧力値としてもよい。また、例えば、第１圧力値として、−７０ｋＰａ〜−９０ｋＰａであってもよい。

制御装置１４は、ステップＳ１０４で取得した圧力値が、第１圧力値より大きいと判定した場合（ステップＳ１０５でＮｏ）には、ステップＳ１０３に戻り、ステップＳ１０４で取得した圧力値が、第１圧力値以下になるまで、ステップＳ１０３〜ステップＳ１０５を繰り返す。

一方、制御装置１４は、ステップＳ１０４で取得した圧力値が、第１圧力値以下であると判定した場合（ステップＳ１０５でＹｅｓ）には、吸着パッド９２Ａ及び吸着パッド９２Ｂがシート部材１０２の主面に当接して、吸着をしている状態（図７参照）であるため、ステップＳ１０６の処理に進む。

ステップＳ１０６では、制御装置１４は、仰角方向であって、シート部材１０２の主面の法線方向Ａ（図４参照）以外の角度方向に、シート部材１０２が移動するように、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂを動作させる。

より詳細には、制御装置１４は、シート部材１０２を当該シート部材１０２に隣接するシート部材１０２Ａ（図８参照）から離間させる方向であって、シート部材１０２の主面の法線方向Ａと、シート部材１０２の主面と平行な角度方向以外の方向に、シート部材１０２が移動するように、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂを動作させる。具体的には、本実施の形態１においては、制御装置１４は、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂを鉛直方向上方に所定の距離を移動するように動作させる（図８参照）。

これにより、隣接するシート部材１０２、１０２間に生じる静電気力により、ロボット１０１で移送させようとしているシート部材１０２に隣接するシート部材１０２Ａが、シート部材１０２に引っ付いて移送されることを抑制できる。

また、シート部材１０２を移動させるときに、シート部材１０２Ａと擦れることが抑制され、シート部材１０２、１０２Ａの表面に傷がつくことを抑制することができる。

なお、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂが上方に移動する距離は、シート部材１０２の大きさ（上下方向の長さ）、第１リスト部１７Ａ及び第２リスト部１７Ｂの長さ、及び第２部分８２Ａ及び第２部分８２Ｂの長さにより、適宜、設定される。

次に、制御装置１４は、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂを後方に移動するように動作させ（ステップＳ１０７）、その後、反時計回りに回転させる（ステップＳ１０８；図９参照）。ついで、制御装置１４は、開閉弁を閉止させる（ステップＳ１０９）。

これにより、また、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂは、それぞれ、シート部材１０２の吸着保持を解放し、シート部材１０２の主面を保持部１０４ｂに当接させることができる。そして、載置装置１０４は、シート部材１０２が保持部１０４ｂに載置されると、アーム部１０４ａが下方に移動して、シート部材１０２をベルトコンベア１０５上に載置させる。

次に、制御装置１４は、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂが予め設定されている所定の位置（初期位置）に位置するように動作させて（ステップＳ１１０）、本プログラムを終了する。

なお、載置装置１０４の動作を制御装置１４が制御してもよい。また、制御装置１４は、本プログラムを繰り返して、容器１０３内に収納されているシート部材１０２を全て搬送すると、搬送が終了したことを示す情報（例えば、映像、音、光等）を出力してもよい。

［搬送システムの作用効果］
ところで、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂにより、シート部材１０２をシート部材１０２の主面の法線方向に向かって移動させると、隣接するシート部材１０２、１０２間に生じる静電気力により、ロボット１０１で移送させようとしているシート部材１０２に隣接するシート部材１０２Ａが、シート部材１０２に引っ付いて移送されるおそれがある。

しかしながら、本実施の形態１に係る搬送システム１００では、制御装置１４が、仰角方向であって、シート部材１０２の主面の法線方向Ａ以外の角度方向に、シート部材１０２が移動するように、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂを動作させる。すなわち、制御装置１４は、シート部材１０２を隣接するシート部材１０２Ａから離間させる方向であって、シート部材１０２の主面の法線方向Ａと、シート部材１０２の主面と平行な角度方向以外の方向に、シート部材１０２が移動するように、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂを動作させる。

これにより、複数のシート部材１０２が縦置きに積層されている容器１０３内からシート部材１０２を容易に１つずつ搬送することができる。また、シート部材１０２を搬送するときに、隣接するシート部材１０２Ａと擦れることが抑制され、シート部材１０２、１０２Ａの表面に傷がつくことを抑制することができる。

（実施の形態２）
本実施の形態２に係る搬送システムは、実施の形態１に係る搬送システムにおいて、容器にシート部材の残量を検知する残量検知器が設けられていて、制御装置は、残量検知器が検知したシート部材の残量に基づいて、アームをシート部材の主面に向かって動作させる動作量を設定するように構成されている。

以下、本実施の形態２に係る搬送システムの一例について、図１０及び図１１を参照しながら説明する。

［搬送システムの構成］
図１０は、本実施の形態２に係る搬送システムの概略構成を示す模式図である。なお、図１０においては、ロボットにおける前後方向、上下方向、及び左右方向を図における前後方向、上下方向、及び左右方向として表している。

図１０に示すように、本実施の形態２に係る搬送システム１００は、実施の形態１に係る搬送システム１００と基本的構成は同じであるが、容器１０３に残量センサ１０３Ａが設けられている点が異なる。残量センサ１０３Ａは、容器１０３内に配置されているシート部材１０２の残量を検知し、検知した残量を制御装置１４に出力するように構成されている。残量センサ１０３Ａとしては、公知の残量センサ（可変抵抗器を有するセンサ等）を用いることができる。

なお、本実施の形態２に係る搬送システム１００では、ロボット１０１に圧力検知器９４Ａを設けていなくてもよく、また、圧力検知器９４Ａを設けていてもよい。

［搬送システムの動作及び作用効果］
次に、本実施の形態２に係る搬送システム１００の動作及び作用効果について、図１０及び図１１を参照しながら説明する。なお、以下の動作は、制御装置１４の演算部１４ａが、記憶部１４ｂに格納されているプログラムを読み出すことにより実行される。

図１１は、本実施の形態２に係る搬送システムの動作の一例を示すフローチャートである。

図１１に示すように、本実施の形態２に係る搬送システム１００の動作は、実施の形態１に係る搬送システム１００の動作と基本的には同様に実行されるが、ステップＳ１０３〜ステップＳ１０５に代えて、ステップＳ１０３Ａ〜ステップＳ１０５Ａが実行される点が異なる。

具体的には、制御装置１４は、残量センサ１０３Ａが検知した容器１０３内のシート部材１０２の残量を取得する（ステップＳ１０３Ａ）。ついで、制御装置１４は、ステップＳ１０３Ａで取得したシート部材１０２の残量に基づき、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂの動作量を算出する（ステップＳ１０４Ａ）。

より詳細には、制御装置１４は、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂの動作する方向と、その変化量を算出する。制御装置１４は、例えば、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂの各関節Ｊ１〜Ｊ４に配置されている駆動モータＭ１〜Ｍ４のそれぞれの回転角度を算出してもよい。また、制御装置１４は、例えば、駆動モータＭ１〜Ｍ４のそれぞれを作動させるための電流の出力量（電流値）を算出してもよい。

次に、制御装置１４は、ステップＳ１０４Ａで算出した動作量に基づいて、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂを動作させる（ステップＳ１０５Ａ）。具体的には、例えば、制御装置１４は、初期位置に位置する第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂを、吸着パッド９２Ａ及び吸着パッド９２Ｂがシート部材１０２の主面と当接する距離の分だけ移動ように、前方に動作させてもよい。

次に、制御装置１４は、実施の形態１に係る搬送システム１００と同様に、ステップＳ１０６〜ステップＳ１１０の各処理を実行し、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂにより、シート部材１０２をベルトコンベア１０５に搬送する。

このように構成された、本実施の形態２に係る搬送システム１００であっても、実施の形態１に係る搬送システム１００と同様の作用効果を奏する。

また、本実施の形態２に係る搬送システム１００では、残量センサ１０３Ａが検知した容器１０３内のシート部材１０２の残量に基づいて、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂの動作量を設定するため、実施の形態１に係る搬送システム１００に比して、より正確に吸着パッド９２Ａ及び吸着パッド９２Ｂがシート部材１０２の主面と当接させることができる。

なお、本実施の形態２に係る搬送システム１００では、残量センサ１０３Ａが検知したシート部材１０２の残量を基に、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂの動作量を設定する形態を採用したが、これに限定されない。例えば、制御装置１４が、撮影装置が撮影した映像情報を取得し、取得した映像情報から、容器１０３内に収納されているシート部材１０２の位置情報を取得して、当該位置情報を基に、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂの動作量を設定する形態を採用してもよい。

（実施の形態３）
本実施の形態３に係る搬送システムは、実施の形態１又は２に係る搬送システムにおいて、アームには、接触検知器が設けられていて、制御装置は、接触検知器がシート部材の主面との接触を検知するまで、アームをシート部材の主面に向かって動作させるように構成されている。

以下、本実施の形態３に係る搬送システムの一例について、図１２及び図１３を参照しながら説明する。

［搬送システムの構成］
図１２は、本実施の形態３に係る搬送システムにおけるロボットの第１ハンド部の概略構成を示す模式図である。なお、図１２においては、ロボットにおける上下方向及び前後方向を図における上下方向及び前後方向として表している。

図１２に示すように、本実施の形態３に係る搬送システム１００は、実施の形態１に係る搬送システム１００と基本的構成は同じであるが、ロボット１０１の第１アーム１３Ａに接触検知器１０６が設けられている点が異なる。

接触検知器１０６は、吸着パッド９２Ａがシート部材１０２の主面に接触するときに、シート部材１０２の主面との接触を検知することができるように、配設されている。具体的には、本実施の形態３においては、接触検知器１０６は、第１アーム１３Ａの第１ハンド部１８Ａの先端部（本体８０Ａ）に配設されている。

また、接触検知器１０６は、シート部材１０２の主面と接触すると、接触したことを示す信号（情報）を制御装置１４に出力するように構成されている。なお、接触検知器１０６としては、公知の接触検知器を用いることができる。

［搬送システムの動作及び作用効果］
次に、本実施の形態３に係る搬送システム１００の動作及び作用効果について、図１２及び図１３を参照しながら説明する。なお、以下の動作は、制御装置１４の演算部１４ａが、記憶部１４ｂに格納されているプログラムを読み出すことにより実行される。

図１３は、本実施の形態３に係る搬送システムの動作の一例を示すフローチャートである。

図１３に示すように、本実施の形態３に係る搬送システム１００の動作は、実施の形態１に係る搬送システム１００の動作と基本的には同じであるが、ステップＳ１０４とステップＳ１０５に代えて、ステップＳ１０４Ｂが実行される点が異なる。

具体的には、制御装置１４は、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂを前方に動作させ（ステップＳ１０３）、接触検知器１０６がシート部材１０２の主面との接触を検知したか否かを判定する（ステップＳ１０４Ｂ）。

制御装置１４は、接触検知器１０６がシート部材１０２の主面との接触を検知していないと判定した場合（ステップＳ１０４ＢでＮｏ）には、ステップＳ１０３に戻り、接触検知器１０６がシート部材１０２の主面との接触を検知するまで、ステップＳ１０３とステップＳ１０４を繰り返す。

一方、制御装置１４は、接触検知器１０６がシート部材１０２の主面との接触を検知したと判定した場合（ステップＳ１０４ＢでＹｅｓ）には、吸着パッド９２Ａ及び吸着パッド９２Ｂがシート部材１０２の主面に当接して、シート部材１０２が吸着パッド９２Ａ及び吸着パッド９２Ｂに吸着されていると判断できる。このため、制御装置１４は、ステップＳ１０６の処理に進む。

以下、制御装置１４は、実施の形態１に係る搬送システム１００と同様に、ステップＳ１０６〜ステップＳ１１０の処理を実行する。

このように構成された、本実施の形態３に係る搬送システム１００であっても、実施の形態１に係る搬送システム１００と同様の作用効果を奏する。

（実施の形態４）
本実施の形態４に係る搬送システムは、実施の形態１〜３のいずれか１つの実施の形態に係る搬送システムにおいて、ロボットが、関節を介して接続されている、２つのリンク部材を相対的に駆動させるための駆動モータと、駆動モータの回転角度を検知する回転検知器と、をさらに備え、制御装置は、駆動モータへの回転角度指令値と、回転検知器が検知した回転角度値と、の偏差が、予め設定されている第１所定値より大きくなるまで、アームをシート部材の主面に向かって動作させるように構成されている。

以下、本実施の形態４に係る搬送システムの一例について、図１４及び図１５を参照しながら説明する。

［搬送システムの構成］
図１４は、本実施の形態３に係る搬送システムにおけるロボットの概略構成を示す模式図である。なお、図１４においては、ロボットにおける上下方向及び左右方向を図における上下方向及び左右方向として表している。

図１４に示すように、本実施の形態４に係る搬送システム１００は、実施の形態１に係る搬送システム１００と基本的構成は同じであるが、ロボット１０１の第１吸着部９０Ａに、圧力検知器９４Ａが設けられていない点が異なる。なお、本実施の形態４においては、圧力検知器９４Ａが設けられていない形態を採用したが、これに限定されず、実施の形態１に係る搬送システム１００のように、圧力検知器９４Ａが設けられている形態を採用してもよい。

［搬送システムの動作及び作用効果］
次に、本実施の形態４に係る搬送システム１００の動作及び作用効果について、図１４及び図１５を参照しながら説明する。なお、以下の動作は、制御装置１４の演算部１４ａが、記憶部１４ｂに格納されているプログラムを読み出すことにより実行される。

図１５は、本実施の形態４に係る搬送システムの動作の一例を示すフローチャートである。

図１５に示すように、本実施の形態４に係る搬送システム１００の動作は、実施の形態１に係る搬送システム１００の動作と基本的には同じであるが、ステップＳ１０４とステップＳ１０５に代えて、ステップＳ１０４ＣとステップＳ１０５Ｃが実行される点が異なる。

具体的には、制御装置１４は、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂを前方に動作させ（ステップＳ１０３）、回転センサＥ（図５参照）が検知した回転角度値を取得する（ステップＳ１０４Ｃ）。

次に、制御装置１４は、駆動モータに出力した回転角度指令値と、ステップＳ１０４Ｃで取得した回転角度値と、の偏差が、予め設定されている第１所定値よりも大きいか否かを判定する（ステップＳ１０５Ｃ）。第１所定値は、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂが、無負荷（第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂが、シート部材１０２の主面等と接触していない状態）で動作しているときの偏差よりも大きな値で任意に設定してもよく、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂが、無負荷で動作しているときの偏差の最大値としてもよい。第１所定値としては、例えば、０であってもよい。

制御装置１４は、駆動モータに出力した回転角度指令値と、ステップＳ１０４Ｃで取得した回転角度値と、の偏差が、第１所定値以下であると判定した場合（ステップＳ１０４ＣでＮｏ）には、ステップＳ１０３に戻り、駆動モータに出力した回転角度指令値と、ステップＳ１０４Ｃで取得した回転角度値と、の偏差が、第１所定値よりも大きくなるまで、ステップＳ１０３〜ステップＳ１０５Ｃを繰り返す。

一方、制御装置１４は、駆動モータに出力した回転角度指令値と、ステップＳ１０４Ｃで取得した回転角度値と、の偏差が、第１所定値よりも大きいと判定した場合（ステップＳ１０５ＣでＹｅｓ）には、吸着パッド９２Ａ及び吸着パッド９２Ｂがシート部材１０２の主面に当接して、シート部材１０２が吸着パッド９２Ａ及び吸着パッド９２Ｂに吸着されていると判断でき、ステップＳ１０６の処理に進む。

以下、制御装置１４は、実施の形態１に係る搬送システム１００と同様に、ステップＳ１０６〜ステップＳ１１０の処理を実行する。

このように構成された、本実施の形態４に係る搬送システム１００であっても、実施の形態１に係る搬送システム１００と同様の作用効果を奏する。

（実施の形態５）
本実施の形態５に係る搬送システムは、実施の形態１〜４のいずれか１つの実施の形態に係る搬送システムにおいて、ロボットが、関節を介して接続されている、２つのリンク部材を相対的に駆動させるための駆動モータと、駆動モータの回転を制御する電流値を検知する電流検知器と、をさらに備え、制御装置は、駆動モータへの電流指令値と、電流検知器が検知した電流値と、の偏差が、予め設定されている第２所定値より大きくなるまで、アームをシート部材の主面に向かって動作させるように構成されている。

以下、本実施の形態５に係る搬送システムの一例について、図１６を参照しながら説明する。なお、本実施の形態５に係る搬送システム１００は、実施の形態４に係る搬送システム１００と同様に構成されているため、その詳細な説明は省略する。

［搬送システムの動作及び作用効果］
図１６は、本実施の形態５に係る搬送システムの動作の一例を示すフローチャートである。なお、以下の動作は、制御装置１４の演算部１４ａが、記憶部１４ｂに格納されているプログラムを読み出すことにより実行される。

図１６に示すように、本実施の形態５に係る搬送システム１００の動作は、実施の形態１に係る搬送システム１００の動作と基本的には同じであるが、ステップＳ１０４とステップＳ１０５に代えて、ステップＳ１０４ＤとステップＳ１０５Ｄが実行される点が異なる。

具体的には、制御装置１４は、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂを前方に動作させ（ステップＳ１０３）、電流センサＣ（図５参照）が検知した電流値を取得する（ステップＳ１０４Ｄ）。

次に、制御装置１４は、駆動モータに出力した電流指令値と、ステップＳ１０４Ｄで取得した電流値と、の偏差が、予め設定されている第２所定値よりも大きいか否かを判定する（ステップＳ１０５Ｄ）。第２所定値は、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂが、無負荷（第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂが、シート部材１０２の主面等と接触していない状態）で動作しているときの偏差よりも大きな値で任意に設定してもよく、第１アーム１３Ａ及び第２アーム１３Ｂが、無負荷で動作しているときの偏差の最大値としてもよい。第２所定値としては、例えば、０であってもよい。

制御装置１４は、駆動モータに出力した電流指令値と、ステップＳ１０４Ｄで取得した電流値と、の偏差が、第２所定値以下であると判定した場合（ステップＳ１０４ＤでＮｏ）には、ステップＳ１０３に戻り、駆動モータに出力した電流指令値と、ステップＳ１０４Ｄで取得した電流値と、の偏差が、第２所定値よりも大きくなるまで、ステップＳ１０３〜ステップＳ１０５Ｄを繰り返す。

一方、制御装置１４は、駆動モータに出力した電流指令値と、ステップＳ１０４Ｄで取得した電流値と、の偏差が、第２所定値よりも大きいと判定した場合（ステップＳ１０５ＤでＹｅｓ）には、吸着パッド９２Ａ及び吸着パッド９２Ｂがシート部材１０２の主面に当接して、シート部材１０２が吸着パッド９２Ａ及び吸着パッド９２Ｂに吸着されていると判断でき、ステップＳ１０６の処理に進む。

以下、制御装置１４は、実施の形態１に係る搬送システム１００と同様に、ステップＳ１０６〜ステップＳ１１０の処理を実行する。

このように構成された、本実施の形態５に係る搬送システム１００であっても、実施の形態１に係る搬送システム１００と同様の作用効果を奏する。

上記説明から、当業者にとっては、本発明の多くの改良又は他の実施形態が明らかである。従って、上記説明は、例示としてのみ解釈されるべきであり、本発明を実行する最良の態様を当業者に教示する目的で提供されたものである。本発明の精神を逸脱することなく、その構造及び／又は機能の詳細を実質的に変更できる。

本発明の搬送システム及びその運転方法は、複数のシート部材が縦置きに積層されている容器内からシート部材を容易に１つずつ搬送することができるため、産業ロボットの分野において有用である。

５ａ 第１リンク部材
５ｂ 第２リンク部材
１２ 台車
１３Ａ 第１アーム
１３Ｂ 第２アーム
１４ 制御装置
１４ａ 演算部
１４ｂ 記憶部
１４ｃ サーボ制御部
１５Ａ 第１アーム部
１５Ｂ 第２アーム部
１６ 基軸
１７Ａ 第１リスト部
１７Ｂ 第２リスト部
１８Ａ 第１ハンド部
１８Ｂ 第２ハンド部
２０Ａ 第１装着部
２０Ｂ 第２装着部
２５ 真空発生装置
４２ｂ 減算器
４２ｃ 位置制御器
４２ｄ 微分器
４２ｅ 減算器
４２ｆ 制御器
４２ｇ 減算器
６０Ａ 水平面
７０Ａ 固定部
８０Ａ 本体
８１Ａ 第１部分
８２Ａ 第２部分
８２Ｂ 第２部分
９０Ａ 第１吸着部
９０Ｂ 第２吸着部
９１Ａ 開口
９２Ａ 吸着パッド
９２Ｂ 吸着パッド
９３Ａ 第１配管
９４Ａ 圧力検知器
１００ 搬送システム
１０１ ロボット
１０２ シート部材
１０２Ａ シート部材
１０３ 容器
１０３Ａ 残量センサ
１０４ 載置装置
１０４ａ アーム部
１０４ｂ 保持部
１０５ ベルトコンベア
１０６ 接触検知器
Ａ 法線方向
Ｃ 電流センサ
Ｅ 回転センサ
Ｊ１ 回転関節
Ｊ２ 回転関節
Ｊ３ 直動関節
Ｊ４ 回転関節
ＪＴ 関節
ＪＴ１ 第１関節
ＪＴ４ 第４関節
Ｌ１ 回転軸線
Ｌ２ 回転軸線
Ｌ３ 回転軸線
Ｍ 駆動モータ

Claims (16)

1. その主面が傾斜するように、複数のシート部材が縦置きされている容器と、
   複数の関節と吸着部を有するアームを備えるロボットと、
   制御装置と、を備え、
   前記制御装置は、前記シート部材の主面を前記アームの前記吸着部により吸着させた後、
   仰角方向であって、前記シート部材の主面の法線方向以外の角度方向に、前記シート部材が移動するように前記アームを動作させるように構成されている、搬送システム。
2. 前記吸着部には、圧力検知器が設けられていて、
   前記制御装置は、前記圧力検知器が検知した圧力が、予め設定されている第１圧力値以下になるまで、前記アームを前記シート部材の主面に向かって動作させるように構成されている、請求項１に記載の搬送システム。
3. 前記容器には、前記シート部材の残量を検知する残量検知器が設けられていて、
   前記制御装置は、前記残量検知器が検知した前記シート部材の残量に基づいて、前記アームを前記シート部材の主面に向かって動作させる動作量を設定するように構成されている、請求項１又は２に記載の搬送システム。
4. 前記アームには、接触検知器が設けられていて、
   前記制御装置は、前記接触検知器が前記シート部材の主面との接触を検知するまで、前記アームを前記シート部材の主面に向かって動作させるように構成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の搬送システム。
5. 前記ロボットは、前記関節を介して接続されている、２つのリンク部材を相対的に駆動させるための駆動モータと、前記駆動モータの回転角度を検知する回転検知器と、をさらに備え、
   前記制御装置は、前記駆動モータへの回転角度指令値と、前記回転検知器が検知した回転角度値と、の偏差が、予め設定されている第１所定値より大きくなるまで、前記アームを前記シート部材の主面に向かって動作させるように構成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の搬送システム。
6. 前記ロボットは、前記関節を介して接続されている、２つのリンク部材を相対的に駆動させるための駆動モータと、前記駆動モータの回転を制御する電流値を検知する電流検知器と、をさらに備え、
   前記制御装置は、前記駆動モータへの電流指令値と、前記電流検知器が検知した電流値と、の偏差が、予め設定されている第２所定値より大きくなるまで、前記アームを前記シート部材の主面に向かって動作させるように構成されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の搬送システム。
7. 前記制御装置は、前記シート部材の主面を前記アームの前記吸着部により吸着させた後、前記シート部材が鉛直方向上方に移動するように前記アームを動作させるように構成されている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の搬送システム。
8. 前記ロボットは、第１吸着部を有する第１アームと、第２吸着部を有する第２アームと、を備える、請求項１〜７のいずれか１項に記載の搬送システム。
9. その主面が傾斜するように縦置きされているシート部材を収納する容器と、吸着部を有するアームを備えるロボットと、を備える、搬送システムの運転方法であって、
   前記アームが前記シート部材の主面に向かって動作する（Ａ）と、
   前記（Ａ）の後、前記アームの前記吸着部が、前記シート部材の主面を吸着する（Ｂ）と、
   前記（Ｂ）の後、仰角方向であって、水平面と前記シート部材の主面とのなす角度である第１角度のうち、前記シート部材の主面の法線方向以外の角度方向に、前記シート部材を移動させるように前記アームが動作する（Ｃ）と、を備える、搬送システムの運転方法。
10. 前記吸着部には、圧力検知器が設けられていて、
    前記（Ａ）では、前記圧力検知器が検知した圧力値が、予め設定されている第１圧力値以下になるまで、前記アームが前記シート部材の主面に向かって動作する、請求項９に記載の搬送システムの運転方法。
11. 前記容器には、前記シート部材の残量を検知する残量検知器が設けられていて、
    前記（Ｂ）は、前記残量検知器が検知した前記シート部材の残量に基づいて、前記アームが前記シート部材の主面に向かって動作する動作量を設定する（Ｂ１）と、前記（Ｂ１）で設定した動作量に基づいて、前記アームが前記シート部材の主面に向かって動作する（Ｂ２）と、を有する、請求項９又は１０に記載の搬送システムの運転方法。
12. 前記アームには、接触検知器が設けられていて、
    前記（Ａ）では、前記接触検知器が前記シート部材の主面との接触を検知するまで、前記アームが前記シート部材の主面に向かって動作する、請求項９〜１１のいずれか１項に記載の搬送システムの運転方法。
13. 前記ロボットは、前記関節を介して接続されている、２つのリンク部材を相対的に駆動させるための駆動モータと、前記駆動モータの回転位置を検知する回転検知器と、をさらに備え、
    前記（Ａ）では、前記駆動モータへの指令値と、前記回転検知器が検知した検知値と、の偏差が、予め設定されている第１所定値より大きくなるまで、前記アームが前記シート部材の主面に向かって動作する、請求項９〜１２のいずれか１項に記載の搬送システムの運転方法。
14. 前記ロボットは、前記関節を介して接続されている、２つのリンク部材を相対的に駆動させるための駆動モータと、前記駆動モータの回転を制御する電流値を検知する電流検知器と、をさらに備え、
    前記（Ａ）では、前記駆動モータへの指令値と、前記電流検知器が検知した検知値と、の偏差が、予め設定されている第２所定値より大きくなるまで、前記アームが前記シート部材の主面に向かって動作する、請求項９〜１３のいずれか１項に記載の搬送システムの運転方法。
15. 前記（Ｃ）において、前記アームは、前記シート部材が鉛直方向上方に移動するように動作する、請求項９〜１４のいずれか１項に記載の搬送システムの運転方法。
16. 前記ロボットは、第１吸着部を有する第１アームと、第２吸着部を有する第２アームと、を備える、請求項９〜１５のいずれか１項に記載の搬送システムの運転方法。
    
    

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